北郵微波測(cè)量實(shí)驗(yàn)報(bào)告_第1頁(yè)
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1、微波射頻測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)報(bào)告 題目:微波射頻測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)學(xué)院:電子工程學(xué)院班級(jí):姓名:學(xué)號(hào):2013xxxxxx實(shí)驗(yàn)一 微波同軸測(cè)量系統(tǒng)的熟悉一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?、了解常用微波同軸測(cè)量系統(tǒng)的組成,熟悉各部分構(gòu)件的工作原理,熟悉其操作和特性。2、熟悉矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的操作以及測(cè)量方法。二、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1、常用微波同軸測(cè)量系統(tǒng)的認(rèn)識(shí),簡(jiǎn)要了解其工作原理。微波同軸測(cè)量系統(tǒng)實(shí)物圖如下圖所示:微波同軸測(cè)量系統(tǒng)包括三個(gè)主要部分:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、同軸線和校準(zhǔn)元件或測(cè)量元件。各部分功能如下:(1)矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀:對(duì)RF領(lǐng)域的放大器、衰減器、天線、同軸電纜、濾波器、分支分配器、功分器、耦合器、隔離器、環(huán)形器等RF器件進(jìn)行幅

2、頻特性、反射特性和相頻特性測(cè)量。 (2)同軸線:連接矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和校準(zhǔn)元件或測(cè)量元件。 (3)a.校準(zhǔn)元件:對(duì)微波同軸側(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行使用前校準(zhǔn),以盡量減小系統(tǒng)誤差。b.測(cè)量元件:待測(cè)量的原件(如天線、濾波器等),可方便地通過同軸線和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀連起來。2、掌握矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的操作以及測(cè)量方法。注意在實(shí)驗(yàn)報(bào)告中給出儀器使用報(bào)告包括下列內(nèi)容:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的面板組成以及各部分功能。實(shí)驗(yàn)中涉及的面板組成及功能: 顯示器:用于向用戶顯示儀器當(dāng)前的工作狀態(tài)及輸出測(cè)試結(jié)果; “激勵(lì)”區(qū):“起始”和“終止”按鈕用來設(shè)定儀器的起始頻率和終止頻率,默認(rèn)頻率范圍為300KHz3GHz;“中心

3、”按鈕點(diǎn)擊后顯示出當(dāng)前頻率范圍的中間值;“跨度”按鈕點(diǎn)擊后顯示出當(dāng)前頻率范圍的差值大小。 “響應(yīng)”區(qū):點(diǎn)擊“測(cè)量”按鈕進(jìn)行實(shí)際測(cè)量;“格式”按鈕點(diǎn)擊后可用于更改輸出格式,實(shí)驗(yàn)中選擇的是Smith圓圖和直角坐標(biāo);“校準(zhǔn)”鍵用于對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn),消除一定誤差。 “光標(biāo)/分析”區(qū):點(diǎn)擊“光標(biāo)”按鈕后可以給輸出曲線添加光標(biāo),得到一些點(diǎn)的精確坐標(biāo)值,可添加多個(gè)光標(biāo)并進(jìn)行移動(dòng)。 “調(diào)解”按鈕:可用于調(diào)解光標(biāo)的位置使之在曲線上移動(dòng)。 “輸入”區(qū):用于對(duì)儀器的的一些參數(shù)進(jìn)行輸入,如開始和截止頻率的值可在此處進(jìn)行設(shè)置。 端口:此處接入同軸線,從而實(shí)現(xiàn)與外部元件的銜接,共兩個(gè)插口。 USB插口:可用于插入外部設(shè)備(

4、如U盤、硬盤等)讀取、存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)結(jié)果,也可接入鼠標(biāo)、鍵盤對(duì)儀器進(jìn)行操作。a) S 參數(shù)測(cè)量步驟: 經(jīng)過SOLT校準(zhǔn),消除系統(tǒng)誤差; 將待測(cè)元件通過同軸線接入矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀; 在矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀上選擇S參數(shù)進(jìn)行測(cè)量,得到曲線,可以通過加光標(biāo)得到一些點(diǎn)的坐標(biāo)值; 保存數(shù)據(jù),選擇S2P(只測(cè)量S11和S22時(shí)可選擇S1P)格式;保存曲線圖像可選擇.jpg格式。b) 如何用Smith圓圖顯示所測(cè)結(jié)果以及如何與直角坐標(biāo)轉(zhuǎn)換; 點(diǎn)擊“格式”按鈕,選擇“史密斯圓圖”,就可以用Smith圓圖顯示所測(cè)結(jié)果; 點(diǎn)擊“格式”按鈕,選擇“對(duì)數(shù)幅度”,就可以轉(zhuǎn)換為直角坐標(biāo)形式。c) 如何保存所測(cè)數(shù)據(jù),以及可存的數(shù)據(jù)格式;點(diǎn)

5、擊“文件”按鈕,選擇“另存為”,為文件命名后選擇保存方式為S2P,就可以保存所測(cè)數(shù)據(jù);若數(shù)據(jù)為S11或S22,可選擇S1P數(shù)據(jù)格式。若需要保存曲線圖像,則保存為.jpg格式。保存成功后可導(dǎo)入U(xiǎn)盤,也可直接在桌面進(jìn)行查看。d) 開路校準(zhǔn)件的電容值設(shè)定(校準(zhǔn)系數(shù));C(f)=C0+C1f+C2f²+C3f³e) 短路校準(zhǔn)件的電感值設(shè)定(校準(zhǔn)系數(shù));L(f)=L0+L1f+L2f²+L3f³f) 儀器提供什么樣的校準(zhǔn)方法。儀器提供SOLT校準(zhǔn)方法,TRL校準(zhǔn)方法等集中校準(zhǔn)方法,實(shí)驗(yàn)中使用SOLT(shortopenloadthrough)校準(zhǔn)方法。 三、思考題

6、是否可以直接進(jìn)行電路參數(shù)的測(cè)量,為什么?如何從測(cè)量的S參數(shù)導(dǎo)出電路參數(shù)?答:不可以;測(cè)量需要完成校準(zhǔn)后才能進(jìn)行,但是仍然不能直接測(cè)量得到電路參數(shù),因?yàn)槲⒉ㄍS測(cè)量系統(tǒng)只能對(duì)于微波的入射和反射的電壓電流關(guān)系進(jìn)行分析。S參數(shù)到Z參數(shù)的轉(zhuǎn)換公式如下:實(shí)驗(yàn)二 微波同軸測(cè)量系統(tǒng)校準(zhǔn)方法一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?1、了解常用微波同軸測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法以及精度。 2、熟悉矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的SOLT校準(zhǔn)步驟以及校準(zhǔn)精度驗(yàn)證方法。二、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1、總結(jié)常用微波同軸測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法,了解其校準(zhǔn)原理和優(yōu)缺點(diǎn)。SOLT校準(zhǔn)能夠提供優(yōu)異的精度和可重復(fù)性。這種校準(zhǔn)方法要求使用短路、開路和負(fù)載標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件。如果被測(cè)件上有雌雄連接器,還需要

7、分別為雌雄連接提供對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)件,連接兩個(gè)測(cè)量平面,形成直通連接。SOLT校準(zhǔn)方法使用12項(xiàng)誤差修正模型,其中被測(cè)件的正向有6項(xiàng),反向有6項(xiàng)。圖2顯示了正向誤差項(xiàng):ED(方向)、ES(源匹配)、EL(負(fù)載匹配)、ERF(反射跟蹤)、ETF(發(fā)射跟蹤)和EX(串?dāng)_)。操作正確的話,SOLT可以測(cè)量百分之一分貝數(shù)量級(jí)的功率和毫度級(jí)相位。常用的校準(zhǔn)套件中都包含SOLT標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件。這些校準(zhǔn)件包括各種連接器類型,并且價(jià)格相對(duì)便宜,小心使用的話可以用很多年。有的SOLT校準(zhǔn)套件包含滑動(dòng)負(fù)載,因此可改變路徑的線路長(zhǎng)度,同時(shí)保持恒定的負(fù)載阻抗(通常為50或75)?;瑒?dòng)負(fù)載在高頻時(shí)尤為重要,因?yàn)樵谶@種情況下很難實(shí)

8、施良好的固定負(fù)載。線路長(zhǎng)度的變化會(huì)直接成比例地改變電長(zhǎng)度,導(dǎo)致測(cè)量路徑中發(fā)生相移。通過在校準(zhǔn)過程中使用幾種不同長(zhǎng)度的線路和相應(yīng)的相移,可以更精確地測(cè)量網(wǎng)絡(luò)分析儀的方向性(圖3)。雙向直通SOL通常稱為“未知直通”。這種方法允許在遵守一些基本原則的條件下,在校準(zhǔn)過程中使用電纜、電路板線軌或Ecal模塊作為直通路徑。當(dāng)處理非插入式設(shè)備(具有同性或不兼容的連接器,在校準(zhǔn)期間需要使用適配器才能建立直通連接)時(shí),未知直通尤為有用。該適配器會(huì)給校準(zhǔn)帶來一個(gè)誤差。未知直通因?yàn)闊o需使用精密的或經(jīng)過校準(zhǔn)的適配器,并且可以最大限度地減少校準(zhǔn)期間的電纜移動(dòng),所以非常有用。它通常比其他需要去除適配器的方法更方便、更精

9、確。TRL校準(zhǔn)極為精確,在大多數(shù)情況下,精確度甚至超過SOLT校準(zhǔn)。然而絕大多數(shù)校準(zhǔn)套件中都不包含TRL標(biāo)準(zhǔn)件。在要求高精度并且可用的標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件與被測(cè)件的連接類型不同的情況下,一般采用TRL校準(zhǔn)。使用測(cè)試夾具進(jìn)行測(cè)量或使用探頭進(jìn)行晶圓上的測(cè)量,通常都屬于這種情況。因此,某些情況下需要構(gòu)建和表征與被測(cè)件配置介質(zhì)類型相同的標(biāo)準(zhǔn)件。制造和表征三個(gè)TRL標(biāo)準(zhǔn)件比制造和表征四個(gè)SOLT標(biāo)準(zhǔn)件更容易。TRL校準(zhǔn)還有另一個(gè)重要優(yōu)勢(shì):標(biāo)準(zhǔn)件不需要像SOLT標(biāo)準(zhǔn)件那樣進(jìn)行完整或精確的定義。雖然SOLT標(biāo)準(zhǔn)件是完全按照標(biāo)準(zhǔn)的定義進(jìn)行表征和儲(chǔ)存,而TRL標(biāo)準(zhǔn)件只建立模型而不進(jìn)行完整表征,但是TRL校準(zhǔn)的精度與TRL

10、標(biāo)準(zhǔn)件的質(zhì)量和可重復(fù)性成正比。物理中斷(例如傳輸線路彎曲和同軸結(jié)構(gòu)中的焊縫)將會(huì)降低TRL校準(zhǔn)的精度。接口必須保持清潔并允許可重復(fù)的連接。2、掌握矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的SOLT校準(zhǔn)步驟以及校準(zhǔn)精度驗(yàn)證方法。注意在實(shí)驗(yàn)報(bào)告中包括下列內(nèi)容:a) 校準(zhǔn)前測(cè)量各校準(zhǔn)件(開路、短路、匹配和直通)S參數(shù),并保存數(shù)據(jù) 校準(zhǔn)前開路對(duì)數(shù)圖:校準(zhǔn)前開路Smith圓圖: 準(zhǔn)前短路對(duì)數(shù)圖: 校準(zhǔn)前短路Smith圓圖: 校準(zhǔn)前負(fù)載匹配對(duì)數(shù)圖: 校準(zhǔn)前匹配負(fù)載Smith圓圖: 校準(zhǔn)前直通對(duì)數(shù)圖: 校準(zhǔn)前直通Smith圖:b) 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀SOLT的校準(zhǔn)步驟 設(shè)置好頻率范圍; 點(diǎn)擊“校準(zhǔn)”鍵,選擇“測(cè)量機(jī)械校準(zhǔn)”,然后接入SH

11、ORT校準(zhǔn)件,觀察對(duì)數(shù)曲線,在0dB附近,然后點(diǎn)擊“短路”按鈕; 點(diǎn)擊 “開路”鍵,然后接入OPEN校準(zhǔn)件,觀察對(duì)數(shù)曲線,在0dB附近,然后點(diǎn)擊“開路”按鈕; 點(diǎn)擊“負(fù)載”鍵,然后接入LOAD校準(zhǔn)件,觀察對(duì)數(shù)曲線,在-20dB以下,然后點(diǎn)擊“負(fù)載”按鈕; 返回上一層,點(diǎn)擊“測(cè)量機(jī)械校準(zhǔn)”按鈕,然后點(diǎn)擊“直通”按鈕,接入THROUGH校準(zhǔn)件,觀察對(duì)數(shù)曲線,在-20dB以下,然后點(diǎn)擊“直通”按鈕; 校準(zhǔn)完畢。c) 校準(zhǔn)后測(cè)量各校準(zhǔn)件(開路、短路、匹配和直通)S參數(shù),并保存數(shù)據(jù) 校準(zhǔn)后開路對(duì)數(shù)圖: 校準(zhǔn)后開路Smith圓圖: 校準(zhǔn)后短路對(duì)數(shù)圖: 校準(zhǔn)后短路Smith圓圖: 校準(zhǔn)后匹配負(fù)載對(duì)數(shù)圖: 校

12、準(zhǔn)后匹配負(fù)載Smith圓圖: 校準(zhǔn)后直通對(duì)數(shù)圖: 校準(zhǔn)后直通Smith圓圖:d) 比較校準(zhǔn)前后校準(zhǔn)件(開路、短路、匹配和直通)的S參數(shù),解釋說明各條曲線,并指出所做校準(zhǔn)的精度情況。 開路:網(wǎng)絡(luò)開路,=1。校準(zhǔn)前S參數(shù)的對(duì)數(shù)曲線是一條在0dB附近的不規(guī)則曲線,圓圖曲線較為雜亂;接入OPEN校準(zhǔn)件后曲線是一條值為0db的水平線,在圓圖上隨頻率變化順時(shí)針移動(dòng),由圖知,校準(zhǔn)精確度很高; 短路:網(wǎng)絡(luò)短路,=-1。校準(zhǔn)前S參數(shù)的對(duì)數(shù)曲線是一條在0dB附近的不規(guī)則曲線,圓圖曲線較為雜亂;接入SHORT后曲線是一條值為0db的水平線,在圓圖上隨頻率變化逆時(shí)針移動(dòng),由圖知,校準(zhǔn)精確度很高; 匹配:網(wǎng)絡(luò)負(fù)載匹配,

13、=0,S參數(shù)db值應(yīng)很小。校準(zhǔn)前S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線值均在-20dB以下,主要分布在-30dB-40dB之間,在圓圖上為位于圓心附近的不規(guī)則環(huán)狀曲線;校準(zhǔn)后對(duì)數(shù)曲線值均在-50dB左右,明顯小于校準(zhǔn)前,在Smith上只有位于圓心的一點(diǎn)。因此,校準(zhǔn)后S參數(shù)約為-50db,足夠小,因而校準(zhǔn)精確度很高。 直通:電路網(wǎng)絡(luò)直通,=0,S參數(shù)db值應(yīng)很小。校準(zhǔn)前S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線值主要分布在-30dB-40dB之間,部分大于-20dB,在圓圖上為位于圓心附近的不規(guī)則環(huán)狀曲線;校準(zhǔn)后對(duì)數(shù)曲線值均在-50dB左右,值明顯小于校準(zhǔn)前,在Smith上只有位于圓心的一點(diǎn)。因此,校準(zhǔn)后S參數(shù)約為-50db,足夠小,因而校準(zhǔn)精確

14、度很高。3、自制TRL校準(zhǔn)件進(jìn)行校準(zhǔn),編制TRL校準(zhǔn)程序。推導(dǎo)出所用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的誤差模型,并以Matlab畫圖的形式給出。實(shí)驗(yàn)三 利用微波同軸測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)際器件測(cè)量一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?1、利用SOLT校準(zhǔn)方法進(jìn)行微波同軸測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)2、測(cè)量功分器、耦合器和濾波器的實(shí)際性能二、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1、存儲(chǔ)測(cè)量結(jié)果,并通過測(cè)量結(jié)果了解功分器、耦合器、濾波器和天線的工作原理以及性能。a) 功分器、耦合器和濾波器的S參數(shù)測(cè)量曲線(均為校準(zhǔn)后) 功分器的S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線: 耦合器傳輸?shù)腟參數(shù)對(duì)數(shù)曲線: 耦合器隔離度的S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線: 濾波器的S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線: 天線的S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線:b) 通過分析其S參數(shù),了解功分器

15、、耦合器和濾波器所組成的網(wǎng)絡(luò)的特性(是否為對(duì)稱性、互易性和無耗性?)。 功分器的S21對(duì)數(shù)曲線是一條-3dB左右的水平直線,所以功分器構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)具有對(duì)稱性、互易性和無耗性; 耦合器的S21對(duì)數(shù)曲線是一條-3dB左右的水平直線,所以耦合器構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)具有對(duì)稱性、互易性和無耗性; 濾波器的對(duì)數(shù)曲線在通帶內(nèi)S21較大,S11對(duì)數(shù)值??;在通帶外S21較小,S11對(duì)數(shù)值大。濾波器在通帶內(nèi)具有對(duì)稱性、互易性和無耗性。2、在分別經(jīng)過校準(zhǔn)和沒有校準(zhǔn)的情況下測(cè)量功分器、耦合器、濾波器和天線的性能,比較兩類測(cè)量結(jié)果,給出實(shí)驗(yàn)報(bào)告,包括以下內(nèi)容:a) 未校準(zhǔn)和校準(zhǔn)后功分器、耦合器和濾波器測(cè)量曲線比較; 校準(zhǔn)前功分器的

16、S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線:比較:校準(zhǔn)前功分器的曲線不是很平滑,對(duì)數(shù)值在-4dB左右,圖中光標(biāo)讀取數(shù)值為-4.235dB;校準(zhǔn)后功分器的曲線較為平滑,對(duì)數(shù)值在-3dB左右,圖中光標(biāo)讀取數(shù)值為-3.397dB。功分器的作用是實(shí)現(xiàn)功率的平等分配,因此S21理想狀況下應(yīng)為1/2,對(duì)數(shù)值約為-3dB,所以校準(zhǔn)后的對(duì)數(shù)值更接近該值,性能更好。 校準(zhǔn)前耦合器傳輸?shù)腟參數(shù)對(duì)數(shù)曲線:比較:校準(zhǔn)前耦合器的曲線不是很平滑,對(duì)數(shù)值主要分布在-4dB-5dB,圖中光標(biāo)讀取數(shù)值為-3.907dB和-4.632dB;校準(zhǔn)后耦合器的曲線較為平滑,對(duì)數(shù)值主要分布在-3dB-4dB,圖中光標(biāo)讀取數(shù)值為-3.633dB。耦合器的傳輸作用是實(shí)

17、現(xiàn)將一路微波功率按比例分成幾路傳輸出去。實(shí)驗(yàn)中使用的耦合器為兩個(gè)輸出端口,所以傳輸對(duì)數(shù)值越接近-3dB說明性能越好。校準(zhǔn)后的對(duì)數(shù)值更接近該值,性能更好。 校準(zhǔn)前耦合器隔離度的S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線:比較:校準(zhǔn)前耦合器的曲線較為平緩,對(duì)數(shù)值均在-10dB以下,由圖中光標(biāo)讀取數(shù)值可知在f=2.19305GHz時(shí)S參數(shù)對(duì)數(shù)值為-34.333dB;校準(zhǔn)后耦合器的曲線對(duì)數(shù)值均在-10dB以下,但是曲線陡峭程度更大,由圖中光標(biāo)讀取數(shù)值可知在f=2.195GHz時(shí)S參數(shù)對(duì)數(shù)值為-50.804dB。耦合器的隔離作用是實(shí)現(xiàn)微波功率傳輸而盡量減小反射。校準(zhǔn)后的對(duì)數(shù)值更小,說明反射的比例更小,性能更好。 校準(zhǔn)前濾波器的S參

18、數(shù)對(duì)數(shù)曲線:比較:該濾波器的在f=2.215GHz時(shí)S21值最大,S11值最小,所以該濾波器為一帶通濾波器。校準(zhǔn)前S11對(duì)數(shù)曲線在通帶以外頻率范圍內(nèi)在0dB附近擺動(dòng),不是很穩(wěn)定,說明在通帶以外的地方信號(hào)沒有完全反射;而校準(zhǔn)后對(duì)數(shù)曲線在通帶以外恒為0,說明通帶外的信號(hào)都沒能通過濾波器。在f=2.215GHz時(shí),校準(zhǔn)前S11對(duì)數(shù)值大于校準(zhǔn)后,S21對(duì)數(shù)值小于校準(zhǔn)后,說明校準(zhǔn)后濾波器對(duì)通帶內(nèi)信號(hào)反射小,通過比例大。所以校準(zhǔn)后濾波器的各項(xiàng)性能更好。 校準(zhǔn)前天線的S參數(shù)對(duì)數(shù)曲線:比較:校準(zhǔn)前天線的S11曲線較不規(guī)則,曲線上存在對(duì)個(gè)極大值極小值;校準(zhǔn)后曲線更為平滑,極小值點(diǎn)只有一個(gè),明確地表示出天線的最佳

19、工作頻率點(diǎn)。所以校準(zhǔn)后天線的性能更好。b) 結(jié)合實(shí)驗(yàn)二指出對(duì)于三個(gè)器件,十二項(xiàng)誤差模型中哪個(gè)誤差項(xiàng)的影響比較大,原因是什么;由實(shí)驗(yàn)二可知對(duì)于三個(gè)器件,十二項(xiàng)誤差模型中影響比較大的誤差項(xiàng)為:ETF、ETR傳輸跟蹤誤差和ERF、ERR反射跟蹤誤差,因?yàn)闇y(cè)試電纜等在工作頻帶范圍內(nèi)其特性都會(huì)存在變化。c) 通過測(cè)量結(jié)果分析三個(gè)器件的工作原理; 功分器:功分器的作用是實(shí)現(xiàn)功率的平等分配,對(duì)應(yīng)不同的S轉(zhuǎn)移參數(shù),本實(shí)驗(yàn)為一分二,對(duì)應(yīng)S21對(duì)數(shù)值=-3dB。 耦合器:功分器的作用是將一路微波功率按比例分成幾路,即功率分配問題。 濾波器:濾波器的作用是將輸入信號(hào)中需要的頻率部分留下,其他部分通過反射回去而實(shí)現(xiàn)濾除,這樣可以得到需要的頻率范圍信號(hào)作為輸出。3、比較編制TRL程序和矢網(wǎng)SOLT校準(zhǔn)后的測(cè)試結(jié)果,驗(yàn)證TRL校準(zhǔn)方法和程序的正確性。TRL校準(zhǔn)極為精確,在大多數(shù)情況下,精確度甚至超過SOLT校準(zhǔn),然而絕大多數(shù)校準(zhǔn)套件中都不包含TRL標(biāo)準(zhǔn)件。在要求高精度并且可用的標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件與被測(cè)件

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