靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范

1、F«NAmiciSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范NO.洛 口 STJ-QAW-43 獅勺PAGE第 1 頁/共 23 頁REV.修訂ITEM 條文 項(xiàng)次DESCRIPTION 說明PREPARE經(jīng)辦APPROVAL審查/核準(zhǔn)EFFECTIVE DATE 生效日期0000(1)015.65.5.46.3.4對應(yīng)原PQNA文件編號-QAW-43.刪除：5.6增加：5.5.4修改：1 .靜電防護(hù)材料的測試頻率,見第18頁表上。2 .修改附件：靜電防護(hù)項(xiàng)目測試作業(yè)指導(dǎo)書第5項(xiàng)：周轉(zhuǎn)車的測試方法3 .所有品管變更為品保4 .所有編號改為STJ修改以卜表格格式，使記錄簽名和審核簽名對 應(yīng)1. ST

2、J-QAW-43-02A接地導(dǎo)通測試記錄表2. STJ-QAW-43-03A防靜電工作表面（臺） 對地電阻測試記錄表3. STJ-QAW-43-04A防靜電桌墊表面阻抗 測試記錄表4. STJ-QAW-43-06A 非 ESD 控制物料表5. STJ-QAW-43-10A防靜電地板測試記錄 表6. STJ-QAW-43-11A周轉(zhuǎn)車對地電阻測試 記錄表刪除：附件一測試靜電防護(hù)項(xiàng)目測試作業(yè)指導(dǎo)書1.3; 1.4 ; 1.5修改：靜電腕帶測試記錄表STJ-QAW-43-01袁紅梅袁紅梅袁紅梅秦誠/韋成 壽秦誠/韋成 壽2013/5/62014/6/9SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE

3、 DATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第2頁/共23頁1目的：建立STJ內(nèi)靜電防護(hù)操作之工作指導(dǎo)，并藉由此規(guī)范的實(shí)行，預(yù)防靜電敏感對象被ESD損壞，提升產(chǎn)品質(zhì)量，滿足客戶需求。2范圍：2.1 本規(guī)范適用于進(jìn)料檢驗(yàn)、倉儲、備料、加工、 CPU刻錄、貼裝、AI , MI , ICT、 半成品檢驗(yàn)、維修(包括市場返修品和生產(chǎn)不良品維修)、裝配、成品拆機(jī)檢驗(yàn)，半成品包裝等有操作或存放靜電敏感對象的制造區(qū)域，在處理電氣、電子零件、 裝置和設(shè)備中，對靜電放電損害的敏感度超過或等于人體模型100V的情況。2.2 說明：本文中提到的靜電敏感

4、對象包括靜電敏感組件和裝有靜電敏感組件的 PCBA以及未封外蓋的組裝品。3參考數(shù)據(jù)：3.1 文件管理準(zhǔn)則(STJ -QAP-01 ) 03.2 記錄管理準(zhǔn)則(STJ -QAP-04 )。3.3 ANSI/ESD S20.20-2007 靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)之2007版。3.4 ANSI/ESD S541-2008 靜電放電敏感物體之包裝材料3.5 ANSI/ESD S6.1-2005 接地。3.6 GB50169-2006電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范。3.7 MIL-STD-1916 出抽樣標(biāo)準(zhǔn)。3.8 ESD ADV1.0-2009 靜電放電協(xié)會專門名詞表。3.9 ANSI/ESD S

5、1.1-2006 防靜電手腕帶。3.10 ANSI/ESD STM2.1-1997 工作服。3.11 ANSI/ESD STM3.1-2006 電離化。3.12 ANSI/ESD SP3.3-2006 空氣電離器之定期檢測。3.13 ANSI/ESD S4.1-2006 工作表面-電阻特性。SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第3頁/共23頁3.14 ANSI/ESD STM4.2-2006防靜電工作表面 -消電的特性。3.15 ANSI/ESD S7.1-2005 地板材料

6、-材料特性。3.16 ANSI/ESD STM9.1-2006鞋類-電阻特性。3.17 ANSI/ESD STM12.1-2006 座椅-電阻測量。3.18 ESD TR53-01-06 ESD 防護(hù)設(shè)備和材料的周期性檢測。4定義：4.1 靜電：Electrostatic ,靜電就是物體表面過?；虿蛔愕南鄬o止電荷，它是電能 的一種表現(xiàn)形式。靜電是正負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果，是通過電子轉(zhuǎn)移而形成的。4.2 靜電放電（ESD） : Electrostatic Discharge ,靜電電荷在不同電勢的物體或表面 之間轉(zhuǎn)移的過程。4.3 靜電放電敏感物件：Electrostatic dis

7、charge susceptible item ,具有靜電放電敏感性級別的電氣或電子零部件、裝置、組件、部件或設(shè)備。如我司組件料號前三碼 為 084-090-、618- 710- 712- 126-等。4.4 導(dǎo)電性材料：Conductive Material,即為導(dǎo)體，這種材料的表面電阻為1*10 4ohms。4.5 靜電耗散材料： Static Dissipative Material ,導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間，能 通過接地方式快速耗散其表面或物體內(nèi)部靜電荷，同時(shí)能防止靜電放電過快對靜電敏感組件造成損傷。靜電耗散材料的表面電阻為二1刈04。且 1X1011 Qo4.6 低帶電材料/抗

8、靜電材料：Low Charging/Antistatic Material ,指能抑制摩擦生電 的材料，防靜電材料通常其摩擦起電的電壓i200V,注：抗靜電材料沒有表面電阻率或體積電阻率的要求。4.7 絕緣材料：Insulative Material,這種材料表面電阻為蘭1*1011ohms。4.8 靜電屏蔽材料：Static Shielding Material,這種材料的表面電阻或體積電阻1*10 3ohms,可防止靜電敏感組件遭受外界的靜電場破壞的一種防護(hù)屏蔽。（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01FiT«NAmnd aAMhlSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE D

9、ATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第4頁/共23頁以上材料表面電阻分類圖如圖一所示:Desi 口 nminrtShielding <10* | nR-裳isuane電Ex口grtt Fonnat、10ID110010:Conductive <10*|1r0001OJ1Dissipative廿y toKlD11A10,00010* 1D0hQD010s1.000,0001D610,000r000107100r000,00D10s1,000,000,000lDfl10,000,000.0001O1QInsulativ

10、e 三I 100.000,000,00010HAWSI/ESD S5414.9 表面電阻：直流電壓除以接觸到材料同一面的兩電極間流過的電流，單位是ohm或ohms或奧姆，以 Q表示。4.10 靜電防護(hù)區(qū)域（EPA） : ESD Protected Area ,具有確定邊界和專門標(biāo)記的適于從 事靜電敏感對象操作和存放工作場所。如：維修區(qū)、PCBA制造區(qū)、檢驗(yàn)區(qū)、靜電敏感對象存放區(qū)等。4.11 ESD工作站：ESD protected Station ,使用必要的防靜電材料和設(shè)施，能夠防止 靜電敏感器件在其中操作受到ESD損傷的工作臺或區(qū)域。4.12 接地體：是指埋入地中并直接與大地接觸的金屬導(dǎo)體

11、。靜電接地體可與AC接地體共享（G&N不可斷開），也可以獨(dú)立埋設(shè)。4.13 接地線：是指電氣設(shè)備的接地端子或接地母線或接線盒與接地體或零線連接用的 在正常情況下不載流的金屬導(dǎo)體。4.14 接地裝置：接地體和接地線的總和。4.15 接地電阻：接地體或自然接地體的對地電阻和接地線電阻的總和，稱為接地裝置的接地電阻。接地電阻的數(shù)值等于接地裝置對地電壓與通過接地體流入地中電流 的比值。5權(quán)責(zé)：5.1 總務(wù)單位：5.1.1 負(fù)責(zé)全廠靜電接地系統(tǒng)架設(shè)&layout ,包括接地的接地棒的埋設(shè)和到各樓層（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01F«NSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFEC

12、TIVE DATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第5頁/共23頁的接地母/干線。并將該layout圖紙?zhí)峁┙o相關(guān)施工單位進(jìn)行施工。施工時(shí) 需作好相應(yīng)的 ESD接地標(biāo)示。并合理保存 layout圖紙。layout圖紙保存期 限直至該工廠生命終止。5.1.2 負(fù)責(zé)每年進(jìn)行一次接地裝置對地電阻的量測。5.1.3 負(fù)責(zé)全廠靜電接地系統(tǒng)維護(hù)，每年進(jìn)行一次接地系統(tǒng)（接地體、接地裝置到 接地母線，接地母線到樓層的接地系統(tǒng)）的導(dǎo)通量測，當(dāng)測試過程發(fā)現(xiàn)異常 時(shí)，需及時(shí)改善，并將問題和改善記錄于相應(yīng)的測試報(bào)告中。5.2 生產(chǎn)單位：5.2.1 負(fù)責(zé)

13、生產(chǎn)區(qū)域內(nèi) ESD測量項(xiàng)目，當(dāng)測試過程發(fā)現(xiàn)異常，需及時(shí)通知領(lǐng)班與 制工人員處理，并將該異常和處理結(jié)果記錄于相應(yīng)的測試報(bào)告中。5.2.2 人員在生產(chǎn)過程中有處理或接觸到靜電敏感對象時(shí)，在處理或接觸前需做好相應(yīng)的靜電防護(hù)措施。5.2.3 負(fù)責(zé)非該區(qū)域的工作人員或訪客的陪同/引導(dǎo)和管理，確保其在未做靜電防護(hù)措施的情況下，至 EPA區(qū)域不得接觸靜電敏感對象。5.3 廠區(qū)物料單位（倉庫）：5.3.1 負(fù)責(zé)倉庫內(nèi)ESD測量項(xiàng)目，當(dāng)測試過程發(fā)現(xiàn)異常，需及時(shí)通知領(lǐng)班與制工 人員處理，并將該異常和處理結(jié)果記錄于相應(yīng)的測試報(bào)告中。5.3.2 人員在取放或備靜電敏感物件到產(chǎn)線時(shí)，需作好相應(yīng)的靜電防護(hù)措施。5.4 O

14、PEX-制造工程單位：5.4.1 負(fù)責(zé)各樓層內(nèi)至 EPA接地系統(tǒng)支線的規(guī)劃和架設(shè)，并合理保存和維護(hù) layout圖紙。施工時(shí)需依圖紙作好相應(yīng)的ESD接地標(biāo)示。layout圖紙保存期限直至該工廠制造區(qū)域layout變更或工廠生命終止。5.4.2 負(fù)責(zé)提供制造單位有關(guān)ESD測試項(xiàng)目的測試作業(yè)指導(dǎo)書，并進(jìn)行指導(dǎo)作業(yè)。5.4.3 負(fù)責(zé)制造區(qū)域內(nèi)有關(guān)ESD問題的改善。5.4.4 在制造現(xiàn)場處理靜電敏感對象時(shí)，在處理或接觸前需做好該EPA區(qū)域要求的靜電防護(hù)措施。5.5 廠區(qū)品保單位：SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVI

15、SIONPAGEnd修訂版次01第6頁/共23頁5.5.1負(fù)責(zé)品保制程段 EPA內(nèi)的ESD測量項(xiàng)目5.5.1 在制造現(xiàn)場處理靜電敏感對象時(shí)，需做好相應(yīng)的靜電防護(hù)措施。5.5.2 負(fù)責(zé)定期依ESD管制項(xiàng)目表稽核各單位接地系統(tǒng)維護(hù)和靜電防護(hù)措施 執(zhí)行的有效性?；说念l率依據(jù)廠區(qū)ESD系統(tǒng)實(shí)施的狀況決定，但至少應(yīng)半年一次。5.5.3 負(fù)責(zé)靜電防護(hù)系統(tǒng)文件的修訂，對廠區(qū)的ESD推行和實(shí)施提供必要的技術(shù)支持和協(xié)助。負(fù)責(zé)員工的ESD培訓(xùn)。6內(nèi)容：6.1 靜電接地系統(tǒng)架設(shè)和管制：6.1.1 為防止靜電敏感對象性能受到破壞，提供靜電放電安全泄放途徑以及考慮人員操作設(shè)備時(shí)的安全，應(yīng)建立一個(gè)完整的靜電接地系統(tǒng)，靜

16、電接地系統(tǒng)架構(gòu)包括接地裝置，接地母線，等電位連接主母線，支線，終端五個(gè)部分。廠區(qū) ESD接地系統(tǒng)layout圖紙需包括制定人、版本、初次制定日期、修訂日期 等信息。（1）靜電接地系統(tǒng)的接地裝置：接地體（線）的連接方式應(yīng)采用焊接或螺栓連接，具由廠房設(shè)計(jì)時(shí)提出并于建筑時(shí)設(shè)立。（a）防靜電接地體（線）不得與防雷接地體（線）共享，可與 AC設(shè)備接地共享一 個(gè)接地體（線）。但零線和地線不得混接。（注：雖然N線有接地，但N線與R, S, T線有形成回路，因此N線不可以獨(dú)立作為防靜電地線。）（b）總務(wù)單位（臺北為廠務(wù)單位負(fù)責(zé)）需每年對接地電阻進(jìn)行測量，接地電阻三 4ohms,可外部機(jī)構(gòu)或公司自行進(jìn)行測量，若

17、為請外測機(jī)構(gòu)進(jìn)行測量，須涵蓋 接地體及至各樓層接地點(diǎn)的接地阻值，且結(jié)果符合公司靜電系統(tǒng)量測之判定標(biāo)準(zhǔn)，窗體屬性參照靜電接地系統(tǒng)驗(yàn)收報(bào)告，窗體格式也可依外測機(jī)構(gòu)出示的測試報(bào)告為準(zhǔn)，但內(nèi)容項(xiàng)目須符合公司要求；若公司內(nèi)有建立起測試能力 后，再行測量作業(yè)，并記錄于靜電接地系統(tǒng)驗(yàn)收報(bào)告中。（c）另外測試需注意事項(xiàng)：不得在雨、雪中或雨、雪后立即進(jìn)行，建議連續(xù)三天大 晴后測量。（2）靜電接地系統(tǒng)的接地母線：SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第7頁/共23頁靜電接地系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置總接地端子或接

18、地母線或總接線盒，并與接地線、保護(hù)接地 等電位連接干線和安全接地、電氣設(shè)備共享接地裝置的功能性接地線等相連接。(3)靜電接地系統(tǒng)的等電位聯(lián)結(jié)主母線：等電位連接主母線是由靜電接地系統(tǒng)接地母線出發(fā)，延伸至各樓層以及各工作站/區(qū)的靜電接地通道做為連接設(shè)備，機(jī)臺等防靜電接地之接口，等電位連接主母線 的最小截面積不應(yīng)小于6mm2。當(dāng)采用銅線時(shí)，其截面積不應(yīng)小于 2.5 mm2。該等 電位連接主母線應(yīng)由廠房設(shè)計(jì)時(shí)提出并于建筑時(shí)設(shè)立，可依據(jù)樓層之具體排配做 適當(dāng)調(diào)整及變動(dòng)，等電位聯(lián)結(jié)主母線的連接方式應(yīng)采用焊接或采用螺栓，若采用 螺栓，需保證牢固連接。建議在做等電位聯(lián)結(jié)主母線架設(shè)時(shí)，采用死循環(huán)布線， 方便后期

19、維護(hù)。總務(wù)單位(臺北為廠務(wù)單位負(fù)責(zé))每年需對靜電接地系統(tǒng)的等電 位聯(lián)結(jié)主母線及至各樓層干線進(jìn)行接地導(dǎo)通測試，并記錄于靜電接地系統(tǒng)驗(yàn) 收報(bào)告中。(4)靜電接地系統(tǒng)的支線：支線是指由靜電接地系統(tǒng)的等電位聯(lián)結(jié)主母線延伸至最終工作站/區(qū)之防靜電接地線，做為連接設(shè)備，人員等防靜電接地之末端接口，截面積應(yīng)不小于1.25 mm2, 各支線的連接須采用焊接或螺栓固定，若采用螺栓，需保證牢固連接。由產(chǎn)線設(shè) 立時(shí)提出并確認(rèn)，可依據(jù)產(chǎn)線之具體排配做適當(dāng)調(diào)整及變動(dòng)。由使用該區(qū)域的生 產(chǎn)單位或品保單位或資材單位等定期進(jìn)行接地導(dǎo)通測試，并記錄于接地導(dǎo)通測 試記錄表中。(5)靜電接地系統(tǒng)的終端：靜電接地系統(tǒng)的終端包括靜電之

20、最終釋放源或產(chǎn)生體，包括與支線連接之作業(yè)平 臺之防靜電膠皮，與支線連接之靜電手環(huán)等導(dǎo)線。該部分由使用該區(qū)域的生產(chǎn)單 位或0品保單位進(jìn)行定期檢查與確認(rèn)，并記錄于相關(guān)窗體中，相應(yīng)部分見6.3.2和6.3.4部分的測試項(xiàng)目。接地系統(tǒng)連接示意圖如圖二所示:圖二（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第8頁/共23頁A»«V Aww說明：1紫色線表示建議等電位連接母線采用閉 環(huán)接線方式，便于后期維護(hù)；2藍(lán)色線表示靜電接地系統(tǒng)接線到各樓

21、配電箱接地端子升各樓層靜電腕帶，防靜電工彳仙桌墊等統(tǒng)端 靜電腕帶,防靜電十絳工作桌墊接到支城的接地導(dǎo)線結(jié)點(diǎn)EPA總接等電位連接主母韁IJ1樓配電箱地線端子.接地端子排靜電腕帶，防靜電工修河桌墊等靜電腕帶，防靜工作桌墊接到支EPA 2接 地線端子.接地線（扁銅）.總接地端F妾地 母線總配電箱樓層 1配電房地面接地體地下（地棒）接地系統(tǒng)示意圖IfoMAKtaSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.始星.STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第9頁/共23頁6.1.2 接地方式：(1)接地連接示意圖一接入AC設(shè)備接地或輔助接地(

22、又叫 ESD獨(dú)立接地)，如圖三所 示：說明：?Auxiliary Ground-輔助接地，是指 ESD獨(dú)立接地，ESD接地可以是AC設(shè)備接地也可以是輔助接地，二者都可以選用。?2 Metal chassis or conduit (common point ground), 是指總接地端子或接地母線或者接線盒，一般為接線盒中的扁銅，上接有接線柱，或是整條接線扁銅。SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第10頁/共23頁?接地連接示意圖-輔助接地方式，如圖四所示:圖四：AC Equ

23、ipment GroundAC設(shè)備接地Auxiliary Ground輔助接地Metal Chassis or ConduitCommon point Ground接地母線共同接地點(diǎn)Shelf貨架有兩個(gè)共同接地點(diǎn)的工作臺需通過輔助接地進(jìn)行接地Wrist Strap腕帶說明：輔助接地以及AC設(shè)備接地之間有一虛線是指輔助接地(ESD獨(dú)立地)和AC設(shè) 備接地兩個(gè)接地系統(tǒng)進(jìn)行跨接，以消除電勢差。(2)接地連接示意圖-等電位連接方式，如圖五所示：冬I五:典型的 EPA 區(qū)域外操作條件使用的等電位連接說明：如是臨時(shí)性的工作臺/區(qū)或是戶外操作靜電敏感對象時(shí)，可以采用等電位連接方式, 至少，靜電敏感對象、工作

24、人員和其他相關(guān)導(dǎo)電體有共同的連接點(diǎn)。除此之外的 制造區(qū)域，需按照公司統(tǒng)一要求進(jìn)行接地。（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01F«NSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISION修訂版次01PAGE 第11頁/共23頁6.2 人員接地：6.2.1 人員接地方式有三種:(1)有線式腕帶接地(可戴在手腕上，也可戴在腳踝上)；(2)穿防靜電衣，通過靜電衣上安裝靜電扣再接到接地端子上；(3)通過地板-防靜電鞋接地。說明：(a)當(dāng)人員采用坐姿處理靜電敏感對象時(shí)，必須采用方式一有線式腕帶接地， 且坐椅須使用低帶電性防

25、靜電材質(zhì)；(b) 當(dāng)人員采用站姿作業(yè)時(shí)，可通過以上三種方式之一接地；(c) 考慮到人員安全，高壓站測試人員不得佩戴靜電手環(huán)。6.2.2 人員接地要求標(biāo)準(zhǔn)如表一：說明：當(dāng)人員采用地板-防靜電鞋系統(tǒng)進(jìn)行接地時(shí)，表二的 Methodi和Method2需至少符 合其中之一的要求：(a)當(dāng)系統(tǒng)綜合電阻(從人員，通過鞋和地板，到接地 /等電位連接系統(tǒng)) < 3.5*107ohms 時(shí)，采用表一 methodi;(b) 當(dāng)系統(tǒng)綜合電阻(從人員，通過鞋和地板，到接地 /等電位連接系統(tǒng)> 3.5 * 107ohms,且< 1*109ohms 時(shí)，采用表一 method2。SUBJECT靜電防護(hù)

26、作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第12頁/共23頁P(yáng)ersonnel GroundingTechnical Requirement 人員接地技術(shù)要求Product Qualification產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)Compliance Verification系統(tǒng)驗(yàn)證Test Method測試方法Required Limit(s)規(guī)格要求Test Method測試方法Required Limit(s)規(guī)格要求Wrist Strap System腕帶系統(tǒng)防靜電手腕帶< 3.5*10 7ohms人體-手腕帶系

27、統(tǒng)< 3.5*10 7ohmsFlooring/FootwearSystem-Method1地板/鞋子系統(tǒng)-方法1地板材料和鞋類< 3.5 10 7ohms人體-鞋-地板-接地系統(tǒng)之地板< 3.5*10 7ohms人體-鞋-地板-接 地系統(tǒng)之鞋類< 3.5*10 7ohmsFlooring/FootwearSystem-Method2 地板/鞋子系統(tǒng)-方法2(兩者都要求)地板材料和鞋類< 1*10 9ohms人體-鞋-地板-接地系統(tǒng)之地板< 1*10 9ohms地板材料和鞋類< 100 Volts人體-鞋-地板-接 地系統(tǒng)之鞋類< 1*10 9o

28、hmsGroundable StaticControl GarmentSystem可接地的靜電服系統(tǒng)靜電服< 3.5*10 7 ohms靜電服接地系統(tǒng)之服裝< 3.5*10 7ohms注：Product Qualfication是指針對產(chǎn)品本身的要求參數(shù)，在初始選擇 ESD控制產(chǎn) 品和材料時(shí)采用；Compliance Verification是指在應(yīng)用環(huán)境下的綜合測量參數(shù)。6.2.3 以上人員接地方式應(yīng)用說明：(1)對于采用腕帶接地方式的人員，腕帶測試器每日上班前需做一次測試，靜電手腕 帶在每日上午、下午上班前及加班前須各測試一次并記錄。另外，在實(shí)際生產(chǎn)過 程中靜電手環(huán)如取下重新佩

29、戴時(shí)，需要在佩戴后進(jìn)行重新測試合格后才可以進(jìn)入 ESD防護(hù)區(qū)域。當(dāng)測試異常時(shí)，需判斷是佩戴問題或者靜電腕帶本身的問題，如 靜電腕帶異常，需及時(shí)進(jìn)行更換。使用手環(huán)監(jiān)控器 /報(bào)警器的區(qū)域仍需使用靜電手 環(huán)測試器每班測試防靜電手環(huán)，手環(huán)狀況正常方可使用。(2)對于采用防靜電衣接地方式的人員，在每日上班前必須測量靜電衣的對地阻值。 該接地方式(2)暫不執(zhí)行，待應(yīng)用后再行建制測試指導(dǎo)書以及測試記錄窗體。(3)對于采用地板-防靜電鞋接地方式的人員，測量包括人員，防靜電鞋，地板的綜合 電阻，依附件一 靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié) 2在每日上午、下午及加班前SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DA

30、TE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第13頁/共23頁須各測試一次，每次測試完后，需將測試結(jié)果填入人體綜合阻值測試記錄表 中。測試過程中如果出現(xiàn)異常，需及時(shí)通知領(lǐng)班處理，如果檢測后仍出現(xiàn)測試不 過時(shí)，需立即更換。測試合格后方可進(jìn)入 EPA區(qū)域作業(yè)。6.3 靜電防護(hù)區(qū)域：6.3.1 所有人員在進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域時(shí)，需作好相應(yīng)靜電防護(hù)區(qū)的人員接地要求以及該區(qū)域特殊的靜電防護(hù)要求，分別說明如下：(1)該區(qū)域的工作人員，在進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)時(shí)，需做好相應(yīng)的人員接地和特殊防護(hù)措 施，相關(guān)要求見6.2的說明。(2)非該區(qū)域的工作人員，如處理異常的產(chǎn)

31、品開發(fā)單位人員和制造的物料，品保人員， 生產(chǎn)，制工等會接觸到靜電敏感對象時(shí)，這些人員必須遵守各區(qū)域的人員接地要 求，在該區(qū)域的工作人員的指導(dǎo)下作好相應(yīng)的人員接地和特殊防護(hù)措施。(3)非該區(qū)域的工作人員或訪客，至此區(qū)域不接觸靜電敏感對象時(shí)，人員接地不做要 求，但需由ESD培訓(xùn)合格人員陪同或引導(dǎo)。如未按照EPA區(qū)域要求做好人體ESD 防護(hù)，不得接觸ESD對象。(4)另外針對廠內(nèi)已有的防靜電衣帽、手套、手指套等穿著和靜電鞋穿著進(jìn)行如下說明：(a) 防靜電衣具有屏蔽作用，不得將防靜電衣敞開或?qū)㈧o電衣袖口卷起，防止人 員和內(nèi)部衣物產(chǎn)生的靜電場對周圍的靜電敏感對象產(chǎn)生影響。(b) 在穿著防靜電鞋時(shí)，需穿純

32、棉襪子或赤腳，保證人體與防靜電鞋的導(dǎo)通阻抗 <1*109ohms。(c) 佩戴防靜電帽時(shí)，因?yàn)轭^發(fā)是強(qiáng)靜電源，需全部包入防靜電帽內(nèi)。(d)防靜電衣帽、手套、手指套僅起到屏蔽人體靜電的作用，接觸或處理靜電敏 感元器件時(shí)仍需做好人體接地。(5)所有人員在進(jìn)入AI室，CPU刻錄等區(qū)域前，都必須依著裝規(guī)定穿戴好防靜電衣帽 和防靜電鞋(或防靜電鞋的代用品：腳束帶，防靜電鞋套等)，并依附件一靜 電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié)2穿戴好后進(jìn)行系統(tǒng)綜合阻值量測，如果工作崗位 需戴防靜電手套或手指套，也需一起穿戴完整進(jìn)行系統(tǒng)綜合阻值測量。具體測試 方式、頻率等見6.2.3 (3)章節(jié)之描述。另外，需依附件一 靜電

33、防護(hù)項(xiàng)目測試 指導(dǎo)書章節(jié)3每月對防靜電衣袖對袖電阻進(jìn)行量測，測試結(jié)果記錄于防靜電 衣袖對袖電阻測試記錄表中。（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01FiT«NSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第14頁/共23頁(6) EPA區(qū)域內(nèi)員工所穿著的普通工衣需滿足低帶電性， 低帶電性測試方法請參閱附 件一靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié)10。(7)有鋪設(shè)靜電地板的生產(chǎn)場地，需依附件一 靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié) 6每 月進(jìn)行表面阻抗和對地電阻量測，測試結(jié)果記錄于防靜電地板測試記錄表

34、中。 如出現(xiàn)異常，需記錄并及時(shí)通知領(lǐng)班和制工工程師處理。(8)有使用離子風(fēng)機(jī)等離子化靜電消除設(shè)備的生產(chǎn)場地，需將設(shè)備半年校驗(yàn)一次，以 確保其功能無異，離子化靜電消除設(shè)備需每月進(jìn)行使用中功能檢測。檢測方法依附件一靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié) 9。檢測結(jié)果記錄在離子化靜電消除 設(shè)備定期檢測記錄表中。6.3.2 靜電防護(hù)區(qū)域可以是一個(gè)工作臺，也可以是房間，在靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi)可以存在非靜電防護(hù)區(qū)，比如生產(chǎn)現(xiàn)場有辦公場所，只需將之識別出并用ESD邊界專用膠帶對 EPA作邊界標(biāo)識(如圖十三)。但不得在此區(qū)域內(nèi)存放或處 理沒有任何靜電防護(hù)的靜電敏感對象，若需存放或處理沒有任何靜電防護(hù)的靜電敏感對象時(shí)，需在EPA

35、區(qū)域或規(guī)定的區(qū)域內(nèi)存放和處理，操作要求與靜電防護(hù)區(qū)要求一致。6.3.3 涉及到靜電敏感對象的場地就應(yīng)當(dāng)設(shè)置為防護(hù)區(qū)，并在靜電防護(hù)區(qū)域的入口處需張貼靜電防護(hù)區(qū)域警告標(biāo)示，靜電防護(hù)區(qū)警告標(biāo)示見圖十一。保護(hù)區(qū)設(shè)置要求如表二所示: 表二：I 箍型娶求涉及匿域完整包裝靜宜被 感密件的存幡集中存放，鷲示提配盒電M室不完整包裝靜雷救感物件的存皤典歉感元件榛作顯相 同更求檢輯圓罐修甌盒凰儲粒扇 域室靜哥費(fèi)嗓物件的 操作顯(&)警K，措旭佯雷位 、辭霍螃雷卜檔槨 材料控制-攆作要求國良、椀糜國、耀修國6.3.4 靜電防護(hù)區(qū)域管理：(1)工作臺設(shè)置：(a) 不管是金屬工作臺還是其他非導(dǎo)體的工作臺,只要有操

36、作或存放非完整包裝 的靜電敏感對象，統(tǒng)一鋪設(shè)防靜電工作桌墊，并將該防靜電工作桌墊接地，SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第15頁/共23頁可采用爪鉤或其他方式接地，須保證接地牢固。另外如果金屬桌本身有牢固 接地者，且表面無絕緣漆等能與防靜電桌墊很好接觸者，該防靜電桌墊可不 再連接接地線，將通過金屬工作臺進(jìn)行二級接地，同樣能起到靜電解放的作 用，否則，防靜電桌墊必須接地。(b)防靜電桌墊的接地扣需使用焊接或螺絲怫接等固定方式連接至接地線，確保 接地牢固。(c) 防靜電桌墊需進(jìn)行

37、定期測試，測試項(xiàng)目：?需每月進(jìn)行一次防靜電桌墊表面阻抗測試，選擇最大測試值記錄于防靜電 桌墊表面阻抗測試記錄表中，測試方法見附件一靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié)4。?需每月進(jìn)行對地電阻測試，無論工作臺是否為金屬，均需測量防靜電桌墊的對 地電阻值，并將結(jié)果記錄于防靜電工作表面(臺)對地電阻測試記錄表中， 測試方法見附件一 靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書節(jié)4。(d)防靜電桌墊須保持整潔，可用清水或防靜電清洗劑進(jìn)行清潔。(e) 在防靜電桌墊上，若需黏貼標(biāo)示等，需采用低帶電性的膠帶，不得使用一般 的封箱膠、透明膠帶黏貼在上面，一般的封箱膠，透明膠帶為靜電源，用紙 皮摩擦，其膠帶上能產(chǎn)生靜電壓已達(dá) 2000V/in

38、ch左右。(2)貨架設(shè)置：如表三所示：表三：分場存放,即SD敏感物件to八4存放封朗包裝的ESD敏感物件1ESD敏感物件集中存放2在架上做好警告膘示存放非封包裝的 附敏感f”件1E£D敏感物件集中存放2在貨架上做好警告梯示3鄴皿敏感物件操作工作豪同幸施德求該貨架是指材倉，半成品倉庫，線邊倉的貨架。貨架每月需進(jìn)行接地導(dǎo)通測試，測 試結(jié)果記錄于接地導(dǎo)通測試記錄表。測試方法可參考附件一 靜電防護(hù)項(xiàng)目測 試指導(dǎo)書章節(jié)7。（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01F«NSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVI

39、SIONPAGEnd修訂版次01第16頁/共23頁(3)設(shè)備和工具設(shè)置：如表四所示: 表四：設(shè)備或工具常見物品措施交流手持設(shè)備和工具電動(dòng)螺絲起子、 烙鐵、電動(dòng)吸錫 器AC接地，詳見說明(c)直流/氣體做動(dòng)力的設(shè) 備和工具材料處理(保證低;帶電性)或金屬外殼接地自動(dòng)化組裝設(shè)備SMT, Bonding設(shè)備AC接地、與器件接觸的材料使用耗散材料移動(dòng)設(shè)備推車、rack架通過吊金屬鏈、外接接地線或?qū)щ娸喗拥兀?1)若存放或周轉(zhuǎn)靜電敏感對象，則與器件接觸的 部分使用靜電耗散材料或防靜電周轉(zhuǎn)箱；(2)若在推車上操作或存放非完整包裝的靜電敏 感對象時(shí)，需鋪設(shè)防靜電工作桌墊，并接地，要 求同工作臺.其他設(shè)備(工

40、具、測試 與檢驗(yàn)設(shè)備)測試夾具，手動(dòng) 吸錫槍，銀子， 吸筆，ICT治具等與器件接觸的部分使用耗散材料并接地，至少要 保證低帶電性。其中:(a) 推車、rack架等移動(dòng)設(shè)備采用金屬鏈、外接接地線或?qū)щ娸喗拥?，以消散運(yùn)輸 過程中產(chǎn)生的靜電，每三個(gè)月需測試一次對地電阻并檢查接地是否良好，測 試數(shù)據(jù)記錄于周轉(zhuǎn)車對地電阻測試記錄表中，相關(guān)使用說明見附件一靜 電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié)5。(b) 交流設(shè)備外接接地線時(shí)，每月需進(jìn)行接地導(dǎo)通測試，測試數(shù)據(jù)記錄于接地 導(dǎo)通測試記錄表中，相關(guān)安裝和測試方法見附件一靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié)8。(c) 交流手持設(shè)備或工具如電動(dòng)吸錫器、烙鐵和電批，每日開班前需進(jìn)行接地

41、導(dǎo) 通測試，測試方法見附件一 靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié) 8,測試值記 錄于接地導(dǎo)通測試記錄表中。(d) 其他設(shè)施要求有相應(yīng)的接地措施和/或材質(zhì)低帶電性(表面電壓i200V)的證SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第17頁/共23頁明數(shù)據(jù)，低帶電性測試方法請參閱附件一 靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié)10。(4)靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi)物品材料控制：EPA區(qū)域內(nèi)的材料有靜電敏感材料，防靜電材料以及絕緣材料。(a) 靜電敏感對象的控制和管理：采用防靜電材料統(tǒng)一存放靜電敏感對象，并進(jìn)行必要的警示標(biāo)

42、示。(b)防靜電材料的控制和管理：?廠內(nèi)使用的防靜電材料包括防靜電桌墊、防靜電周轉(zhuǎn)箱、防靜電箱蓋、防 靜電中空隔板、防靜電IXPE泡棉、防靜電普通泡棉、防靜電零件盒、防 靜電托盤、防靜電RACK架、防靜電包裝袋、防靜電坐椅、ICT治具以及 回收供貨商來料使用的IC管、IC托盤等。?有接觸到靜電敏感組件的部分需采用靜電耗散材質(zhì)的防靜電材料，作為封 閉包裝材料使用的防靜電周轉(zhuǎn)箱、組件盒、托盤、箱蓋、中空隔板、包裝 袋也可以是靜電屏蔽材質(zhì)。?防靜電材料的來料檢驗(yàn)與監(jiān)控：所有靜電防護(hù)材料來料時(shí)均需供貨商提供證明檔和每批之出廠檢驗(yàn)報(bào)告 (用于確保材料的靜電防護(hù)功能)，由使用部門依表五確認(rèn)并登記于靜 電防

43、護(hù)材料進(jìn)料登記表后方可使用。?靜電防護(hù)材料在使用中的定期檢驗(yàn)與監(jiān)控：防靜電桌墊表面阻抗和對地電阻依 6.3.4 (1) ( c)章節(jié)所述進(jìn)行檢驗(yàn)；防 靜電毛刷表面阻抗檢驗(yàn)頻率為每月一次，每次全檢。其余防靜電材料參照表五進(jìn)行檢驗(yàn)，按MIL-STD-1916m級水平進(jìn)行抽檢(參照表七)，只要 發(fā)現(xiàn)某一防靜電用品其中1PC出現(xiàn)測試FAIL異常，則需立即知會領(lǐng)班及 制工處理，并對余下的所有該類防靜電用品執(zhí)行全檢。測試合格貼上防護(hù) 靜電用品有效期標(biāo)簽(如圖六)。已檢驗(yàn)到的不良品不可繼續(xù)在 EPA區(qū)域 內(nèi)使用，應(yīng)及時(shí)報(bào)廢處理。測試結(jié)果記錄在靜電防護(hù)材料定期檢驗(yàn)記錄 表中。廠內(nèi)使用的防靜電刀卡管控方式如下：

44、每年進(jìn)行測試表面阻抗，若 OK粘（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第18頁/共23頁貼抽測合格標(biāo)簽（如圖七）后仍繼續(xù)使用。NG者進(jìn)行報(bào)廢處理，測試結(jié)果記錄于靜電防護(hù)材料定期檢驗(yàn)記錄表中。所有防靜電材料需檢測合格，并貼上有效期標(biāo)簽后方可使用。表五：靜電防護(hù)材料規(guī)格表品名性能參數(shù)摩擦靜電壓外觀檢驗(yàn)頻率ESD塑料卡條表面阻抗1*106ohms<200V無破損、臟污1年中空隔板表向阻抗<1*10 6ohms<200V無破損、臟污1

45、年ESD珍珠棉1*106ohms<表面阻抗<1*10 11ohms<200V無破損、臟污見下文后關(guān)珍珠 棉檢測的說明IXPE防靜電泡棉表面阻抗1*106ohms<200V無破損、臟污六個(gè)月防靜電膠皮1、綠色：表面阻抗 1*10 9ohms<100V無破損、臟污一個(gè)月2、黑色：表面阻抗 1*105ohms防靜電毛刷表面阻抗<1*10 9ohms<200V無破損、臟污一個(gè)月防靜電組件盒表面阻抗<1*10 6ohms<200V無破損、臟污1年防靜電托盤表面阻抗1*106ohms<200V無破損、臟污1年防靜電包裝袋1*104ohms<

46、表面阻抗<1*10 11ohms<200V無破損、臟污1年防靜電箱表面阻抗<1*10 6ohms<200V無破損、臟污1年防靜電箱蓋表面阻抗<1*10 6ohms<200V無破損、臟污1年防靜電坐椅表面阻抗1*109ohms<100V無破損、臟污1年防靜電RACK架表面阻抗<1*10 9ohms<100V無破損、臟污1年防靜電IC管表面阻抗<1*10 11ohmsW 50V無破損、臟污1年ICT治具1*106ohms<表面阻抗<1*10 11ohms<200V無破損、臟污1年表六：人體靜電防護(hù)用品規(guī)格表品名性能參數(shù)外

47、觀防靜電鞋點(diǎn)對點(diǎn)電阻1*109ohms無破損、臟污（內(nèi)頁） STJ-QAW-05-01F«NE1IUtRnwra flun*iraSUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE DATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第19頁/共23頁防靜電帽表面阻抗1*10 11ohms無破損、臟污防靜電手套/手指套表向阻抗1*1011ohms無破損、臟污防靜電衣（不接地用）1*10 5ohms袖對袖阻抗 1*10 11ohms無破損、臟污且必須有松緊袖口圖六：防靜電材料有效期卷標(biāo)范例（可依檢驗(yàn)批次更改標(biāo)簽顏色）防靜電材料有效期標(biāo)簽

48、進(jìn)料批號：XXXX測試日期：2009年06月30日測試結(jié)果：合格有效期限：2010年6月30日ik至少13mm測試人：XXX1f至少26mm進(jìn)料批號：XXXX測試結(jié)果：PASS測試日期：2009年06月30日圖七：防靜電刀卡有效期卷標(biāo)范例至少10mm至少26mm表七(MIL-STD-1916 m):批量2-170171-288289-544545-960961-16321633-3072323232404864批量3073-54405441-92169217-1740817409-3072030721 and larger8080808080SUBJECT靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范EFFECTIVE D

49、ATE生效日期2014/6/9NO.編號STJ -QAW-43REVISIONPAGEnd修訂版次01第20頁/共23頁注：批量小于32時(shí)，需全檢?廠內(nèi)使用的珍珠棉和黏有珍珠棉的隔板的使用壽命， 供貨商建議為5個(gè)月， 管制方法如下：-激光生產(chǎn)日期和有效期限在珍珠棉和粘有珍珠棉的隔板上；-對于黏有珍珠棉的隔板，可采用印章方式管理，在進(jìn)料檢驗(yàn)時(shí)進(jìn)行蓋 章。蓋章為進(jìn)料日期?？赏ㄟ^以上兩種方式任選其一進(jìn)行管制，在滿4個(gè)月時(shí)根據(jù)MIL-STD-1916 出標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行抽測表面阻抗，若 OK粘貼防靜電用品有效期標(biāo)簽后仍繼續(xù)使 用，若出現(xiàn)NG,則進(jìn)行全檢，對于OK者，后續(xù)每月全檢一次，NG者進(jìn) 行報(bào)廢處理，測試

50、結(jié)果記錄于靜電防護(hù)材料定期檢驗(yàn)記錄表中。(c) 絕緣材料的控制和管理：對EPA中的絕緣材料需要進(jìn)行登記與管理，堆放的除靜電敏感對象、靜電防護(hù) 材料以外的常用物品均需進(jìn)行識別，確保靜電源受有效管控。主要包括三類：?文具類：活頁夾、透明膠帶、PE袋、泡沫制品、各類容器、顯示器、打印 機(jī)等；?工治具類：各種治具、銀子、吸筆、吸錫槍等；?材料類：絕緣紙、風(fēng)道紙等。每個(gè)EPA區(qū)域需每季度識別一次靜電源，以及有新物品進(jìn)入本靜電防護(hù)區(qū)域 時(shí)需對其進(jìn)行評估。靜電源的檢測和管控方法見附件一靜電防護(hù)項(xiàng)目測試指導(dǎo)書章節(jié)10,并將結(jié)果記錄于非ESD控制物料表。6.3.5靜電防護(hù)中常用儀器和測試設(shè)備的精度需在t0%內(nèi)。6.4 靜電敏感對象包裝要求：6.4.1 在EPA內(nèi)，與靜電敏感對象接觸的包裝材料使用低帶電性防靜電材料，通 常使用周轉(zhuǎn)箱，隔板，物料盒，屏蔽袋或防靜電包裝袋等存放