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文檔簡介
1、熱透鏡效應及其不良原因的分辨方法(再次判斷)1.現(xiàn)象通過初級判斷確認了加工不良的原因可能是來自熱透鏡效應后,接下來就需要判斷是透過型光學元件中的PR鏡與加工透鏡中的哪一個發(fā)生了熱透鏡效應?可通過如下步驟進行確認,找到原因所在。2.分辨方法2.1 操作步驟對光學元件不施加熱負荷;僅對PR鏡施加熱負荷;同時對PR鏡和加工透鏡施加熱負荷。2.2 操作方法圖1所示為進行確認時的切割方法。準備好產(chǎn)生加工不良的材料,從其邊緣開始切割,確認切縫寬度。進行確認工作時,要注意在每次加工之前冷卻1min以上。圖1 確認產(chǎn)生了熱透鏡效應的位置所在照射光束后,立即(沒有等待時間)切割,以此切縫寬度作為標準。加工透鏡和
2、PR鏡都還處于低溫,沒有發(fā)生熱透鏡效應。在發(fā)振器的外部光閘關閉的情況下,激振(照射光束)30s后,打開外部光閘進行切割。僅對PR鏡施加熱負荷,加工透鏡處于低溫狀態(tài)。打開光閘激振30s后再進行切割,對加工透鏡和PR鏡都施加熱負荷的狀態(tài)。2.3 分辨熱透鏡效應產(chǎn)生的原因 下面對以上三種情況下,加工出的切縫寬度(上部切縫寬度)進行比較。 (1)如果、全都是相同的縫寬(=),則說明沒有發(fā)生熱透鏡效應。(2)如果和是相同的寬度,僅變寬(=)時,則說明加工透鏡發(fā)生了熱透鏡效應。(3)如果和的切縫寬度相對于來講,所增加的寬度相同(<=)時,則說明PR鏡發(fā)生了熱透鏡效應。(4) 如果切縫是按照、的順序漸漸變寬(<<)。則說明PR鏡和加工透鏡都發(fā)生了熱透鏡效應。3.解決方法 通過以上步驟的確認,如果確定發(fā)生了熱透鏡效應,則須向負向(下方)調整焦點位置以便應急。常規(guī)做法則是對PR鏡和
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