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1、目錄第一章 基本光學(xué)測(cè)試技術(shù) 2第二章 光學(xué)準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直 5第三章 光學(xué)測(cè)角技術(shù) 9第四章:光學(xué)干涉測(cè)試技術(shù) 12第六章:光學(xué)系統(tǒng)成像性能評(píng)測(cè) 15第一章基本光學(xué)測(cè)試技術(shù)? 對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦的定義、目的;對(duì)準(zhǔn)又稱橫向?qū)?zhǔn),是指一個(gè)對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)(?)與比較標(biāo)志(?)在垂直瞄準(zhǔn)軸 (?)方向像的重合或置中。例:打靶、長(zhǎng)度度量人眼的對(duì)準(zhǔn)與未對(duì)準(zhǔn):PlP2對(duì)準(zhǔn)的目的:1瞄準(zhǔn)目標(biāo)(打靶);2精確定位、測(cè)量某些物理量(長(zhǎng)度、角度度量)。調(diào)焦又稱縱向?qū)?zhǔn),是指一個(gè)目標(biāo)像(?)與比較標(biāo)志(?)在瞄準(zhǔn)軸(?)方向的重合。 人眼調(diào)焦:調(diào)焦的目的:1.使目標(biāo)與基準(zhǔn)標(biāo)志位于垂直于瞄準(zhǔn)軸方向的同一個(gè)面上,也就是使二者位于同一空間
2、深度;2使物體(目標(biāo))成像清晰;定焦。3確定物面或其共軛像面的位置? 人眼調(diào)焦的方法及其誤差構(gòu)成;常見(jiàn)的調(diào)焦方法有清晰度法和消視差法。清晰度法是以目標(biāo)與比較標(biāo)志同樣清晰為準(zhǔn)。調(diào)焦誤差是由于存在幾何焦深和物理 焦深所造成的。消視差法是以眼鏡在垂直平面上左右擺動(dòng)也看不出目標(biāo)和標(biāo)志有相對(duì)橫移為準(zhǔn)的。 誤差來(lái)源于人眼的對(duì)準(zhǔn)誤差。(消視差法特點(diǎn):可將縱向調(diào)焦轉(zhuǎn)變?yōu)闄M向?qū)?zhǔn);可通過(guò)選擇誤差小的對(duì)準(zhǔn)方式來(lái)提高調(diào)焦精確度; 不受焦深影響)對(duì)準(zhǔn)誤差、調(diào)焦誤差的表示方法;對(duì)準(zhǔn)誤差的表示法:人眼、望遠(yuǎn)系統(tǒng)用張角表示; 顯微系統(tǒng)用物方垂軸偏離量表示;調(diào)焦誤差的表示法:人眼、望遠(yuǎn)系統(tǒng)用視度表示;顯微系統(tǒng)用目標(biāo)與標(biāo)志軸向
3、間距表示;常用的對(duì)準(zhǔn)方式;常見(jiàn)的對(duì)準(zhǔn)方式有壓線對(duì)準(zhǔn),游標(biāo)對(duì)準(zhǔn),夾線對(duì)準(zhǔn),叉線對(duì)準(zhǔn),狹縫叉線對(duì)準(zhǔn)或狹 縫夾線對(duì)準(zhǔn)。? 光學(xué)系統(tǒng)在對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦中的作用; 提高對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦精度,減小對(duì)準(zhǔn)、調(diào)焦誤差。? 提高對(duì)準(zhǔn)精度、調(diào)焦精度的途徑; 使用光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn),調(diào)焦;光電自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、光電自動(dòng)調(diào)焦;? 光具座的主要構(gòu)造;平行光管(準(zhǔn)直儀);帶回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡(前置鏡);透鏡夾持器;帶目鏡測(cè)微器的測(cè)量顯微鏡;底座? 平行光管的用途、簡(jiǎn)圖;作用是提供無(wú)限遠(yuǎn)的目標(biāo)或給出一束平行光。簡(jiǎn)圖如下:? 三種自準(zhǔn)直目鏡的光路簡(jiǎn)圖;高斯式自準(zhǔn)直目鏡如下圖 1虛線框中所示:阿貝式自準(zhǔn)直目鏡如下圖 2虛線框中所示:圖2雙分劃板
4、式自準(zhǔn)直目鏡如下圖 3虛線框中所示:圖3由不同的自準(zhǔn)直目鏡構(gòu)成的自準(zhǔn)直望將自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡中的平面鏡換成球面? 自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、自準(zhǔn)直顯微鏡(構(gòu)成、光路簡(jiǎn)圖)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡由自準(zhǔn)直目鏡,物鏡和平面鏡構(gòu)成,遠(yuǎn)鏡的光路簡(jiǎn)圖如圖 1、2、3 所示自準(zhǔn)直顯微鏡由自準(zhǔn)直目鏡,物鏡和球面鏡構(gòu)成。鏡即是自準(zhǔn)直顯微鏡。? 放大率法的原理簡(jiǎn)圖及測(cè)量裝置; 原理簡(jiǎn)圖:平行光管物鏡被測(cè)物鏡測(cè)量裝置:光具座(光源、波羅板、平行光管、測(cè)量顯微鏡) ? 放大率法焦距測(cè)量計(jì)算;ffcy? 放大率法焦距測(cè)量中的注意事項(xiàng);負(fù)透鏡(測(cè)量顯微鏡工作距離)光源光譜組成(色差)被測(cè)鏡頭像質(zhì)近軸焦距與全口徑焦距(球差)、測(cè)量顯微鏡 NA第二章
5、光學(xué)準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直? 準(zhǔn)直、自準(zhǔn)直的概念;準(zhǔn)直:獲得平行光束自準(zhǔn)直:利用光學(xué)成像原理,使物和像都在同一個(gè)平面上并重合的方法? 準(zhǔn)直的目的、用途;獲得平行光束? 實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直的方法;激光束:很好的方向性、很高的亮度,是直線性測(cè)量的理想光束 進(jìn)一步提高激光束準(zhǔn)直性(平行性),可采用激光束的準(zhǔn)直技術(shù)利用倒裝望遠(yuǎn)鏡法,實(shí)現(xiàn)激光束的準(zhǔn)直?自準(zhǔn)直儀的類別;自準(zhǔn)直儀一般指自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡和自準(zhǔn)直顯微鏡。? 實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直的方法; ? 自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡法測(cè)量平行差的原理;實(shí)質(zhì)上是測(cè)量透明玻璃平板平行度的自準(zhǔn)直原理。自準(zhǔn)克望遠(yuǎn)鏡讀數(shù)減半? 什么是第一平行差、第二平行差;第一光學(xué)平行差q:棱鏡展開(kāi)后的玻璃板在主截面內(nèi)的不平行度誤差
6、,是由于棱鏡主截面內(nèi)的角度誤差引起的。第二光學(xué)平行差 q |:棱鏡展開(kāi)后的玻璃板在垂直于主截面方向上的不平行度誤差,是由棱鏡的各個(gè)棱不平行而造成的,也稱棱差或塔差。? 直角棱鏡DI-90光學(xué)平行差測(cè)量原理;8 6 4 -1亠 L2 一2468II 1111.111111 1 H 111 11 i 1 11 1 1fc4 丫68Q=In I2n 45rw=IIn II6A =145J厶 A 45=z450? 自準(zhǔn)直顯微鏡法測(cè)量球面曲率半徑的原理、簡(jiǎn)圖; 凹面鏡:CP2即測(cè)量方法為移動(dòng)自準(zhǔn)直顯微鏡使之分別定焦在被測(cè)球面的圓心和定點(diǎn)處,兩次聚焦自 準(zhǔn)直顯微鏡移動(dòng)的距離即為球面曲率半徑。? 自準(zhǔn)直顯微
7、鏡法測(cè)量透鏡頂焦距的原理、簡(jiǎn)圖;第三章光學(xué)測(cè)角技術(shù)? 精密測(cè)角儀的主要部件關(guān)鍵部件及其作用;自準(zhǔn)直前置鏡(瞄準(zhǔn)、定位)平行光管(產(chǎn)生無(wú)限遠(yuǎn)的瞄準(zhǔn)標(biāo)記:狹縫、分劃線等)精密軸系(圍繞旋轉(zhuǎn)中心平穩(wěn)旋轉(zhuǎn),圓錐軸系、圓柱軸系、空氣靜壓軸系) 圓分度器件(角度基準(zhǔn))顯微讀數(shù)系統(tǒng)(將被測(cè)角與度盤進(jìn)行比較,得到角度值)? 常見(jiàn)的圓分度器件;最常用的是度盤,其他的還有多面體、圓光柵、光學(xué)軸角編碼器、感應(yīng)同步器等。? 符合成像系統(tǒng)與對(duì)徑讀數(shù)法的用途;為消除度盤分度圓中心與旋轉(zhuǎn)軸中心不能完全重合帶來(lái)的偏心誤差,可利用在度盤直徑兩端取得讀數(shù)后取平均值的方法,稱為對(duì)徑讀數(shù)法。所采用的光學(xué)讀數(shù)系統(tǒng)為符合成像系統(tǒng)。符合成
8、像系統(tǒng)使得對(duì)徑刻線的像能夠在同一視場(chǎng)內(nèi)出現(xiàn),并位于分界線兩側(cè)。? 如何減小或消除自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡的視差?? 如何減小或消除平行光管分劃面的離焦?? 掌握至少一種基于測(cè)角儀的棱鏡角度測(cè)量方法; 棱鏡角度測(cè)量(方法1)轉(zhuǎn)過(guò)一個(gè)角度后,光線垂直于 AC,再次觀察到自準(zhǔn)直現(xiàn)象。望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)過(guò)的角度和A角有確定的幾何關(guān)系。棱鏡角度測(cè)量(方法 2、3)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)相似的,如圖所示光路,自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡會(huì)先后兩次觀察到自準(zhǔn)直現(xiàn)象,鏡轉(zhuǎn)過(guò)的角度是角 A的2倍。is H J IS I Myjuy-j 人丿 IS H JII ?A互補(bǔ)。如上圖所示光路,望遠(yuǎn)鏡中會(huì)觀察到平行光 轉(zhuǎn)動(dòng)載物臺(tái)再次觀察到重合現(xiàn)象,轉(zhuǎn)過(guò)的角度和角 ? V
9、棱鏡法折射率測(cè)量原理及精度水平;測(cè)量原理光路圖如下圖所示:測(cè)量不確定度可達(dá)到12 10*? V棱鏡折光儀的主要構(gòu)造;平行光管、V棱鏡、對(duì)準(zhǔn)望遠(yuǎn)鏡 、度盤、讀數(shù)顯微鏡? 折射液的作用;排除V棱鏡和待測(cè)透鏡之間的空氣,從而提高測(cè)量精度。? 光學(xué)玻璃折射率測(cè)量的其它方法及精度水平;最小偏向角法(了解)精度高,測(cè)量不確定度可達(dá) 10-6任意偏向角法(了解)精度高,測(cè)量不確定度可達(dá) 10-6A2yB-fn八AB2yo7 JL2 32 32 3? 鏡頭焦距測(cè)量的其它方法; 精密測(cè)角法測(cè)量物鏡焦距: 測(cè)量原理光路圖:第四章:光學(xué)干涉測(cè)試技術(shù)? 時(shí)間相干性、空間相干性的實(shí)質(zhì);由于光源的非單色性(頻譜展寬),干
10、涉條紋對(duì)比度會(huì)下降,降低程度與兩相干光波 的傳播時(shí)間差有關(guān)。把這種因頻譜展寬引起的相干性問(wèn)題稱為時(shí)間相干性。通常擴(kuò)展光源上不同的點(diǎn)發(fā)出的光是不相干的,不同點(diǎn)源產(chǎn)生的干涉條紋的非相干 疊加會(huì)導(dǎo)致條紋對(duì)比度下降,降低程度與擴(kuò)展光源的空間大小有關(guān)。把這種因光源的空間擴(kuò)展引起的相干性問(wèn)題稱為空間相干性。? 干涉測(cè)量的用途、特點(diǎn);用途:光學(xué)面形檢驗(yàn):平面、球面、二次曲面角度偏差檢驗(yàn):楔鏡、棱鏡、角錐玻璃材料均勻性(折射率)球面曲率半徑測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)波像差:有限共軛,無(wú)限共軛測(cè)量精度高。可達(dá)到幾分之一或幾十分之一光波長(zhǎng)測(cè)量裝置圖:? 等傾干涉、等厚干涉;等傾干涉(分振幅):(指相對(duì)于平板法線的傾斜角度相等的
11、入射光線(或反射光 線)將發(fā)生干涉。)等厚干涉(分振幅)? 影響干涉條紋對(duì)比度的因素;時(shí)間相干性與空間相干性;相干光束的光強(qiáng) ;相干光束的振動(dòng)方向;雜散光 ;振動(dòng)、空氣擾動(dòng)? 牛頓干涉儀簡(jiǎn)圖、時(shí)間相干性、空間相干性討論;特點(diǎn):零光程暗紋(n相位躍變,光疏到光密的反射有n相位躍變);同心圓環(huán)狀條紋;條紋內(nèi)疏外密;-x 二 mR上式可以用來(lái)球面曲率半徑,各字母代表的含義如上圖所示。 ?干涉法楔角測(cè)量及楔角方向判斷;楔角二小.,其中I是條紋間距。楔角方向判斷:上移上層玻璃板,條紋向空氣層稀薄的方向移動(dòng)。?邁克爾遜干涉儀、泰曼干涉儀、菲索干涉儀的特點(diǎn)與區(qū)別;邁克爾遜干涉儀,采用準(zhǔn)單色擴(kuò)展光源(面光源)
12、,需要加補(bǔ)償板,一般不完全是等 厚條紋,也存在等傾條紋。泰曼干涉儀:采用電光源,泰曼干涉本質(zhì)上基于牛頓干涉原理,分光路容易受環(huán)境影響;菲索干涉儀分振幅、共光路牛頓干涉儀,本質(zhì)上為牛頓干涉原理。共光路,可減小 環(huán)境干擾。? 菲索平面干涉儀原理、構(gòu)造、光路簡(jiǎn)圖;? 菲索平面干涉儀的時(shí)間相干性、空間相干性;? 平面面形誤差檢驗(yàn)的干涉條紋特征;? 平面面形凸、凹判斷,目視半徑偏差(光圈數(shù))判讀; 單色光源: 輕輕按壓上面的零件。條紋擴(kuò)散則凸,條紋收縮則凹。白光光源:按壓使兩者緊密接觸,中央暗斑、第一亮紋幾乎為白色。其余亮紋內(nèi)側(cè) 藍(lán)色、外側(cè)紅色則為凸,反之為凹。? 平行平板平行度的干涉測(cè)量方法、條紋特點(diǎn)
13、、棱邊方向、厚薄判斷及角度計(jì)算;? 移相干涉術(shù)的特點(diǎn);精度高,傳統(tǒng)靜態(tài)條紋判讀法入/10移相法入/50可減小或消除系統(tǒng)誤差,放寬對(duì)干涉儀光學(xué)元件制造精度要求第六章:光學(xué)系統(tǒng)成像性能評(píng)測(cè)? 三種像質(zhì)檢測(cè)法的優(yōu)缺點(diǎn);星點(diǎn)檢驗(yàn)基本、直觀簡(jiǎn)便、 靈敏度較咼,全 面主觀、定性或半定性評(píng) 價(jià)法,對(duì)檢測(cè)人員專業(yè) 技能要求較咼分辨率法定量、簡(jiǎn)單方便主觀性大,信息量少光學(xué)傳遞函數(shù)法客觀、定量設(shè)計(jì)原理復(fù)雜,測(cè)量過(guò) 程復(fù)雜(目前已改善)? 什么是星點(diǎn)檢驗(yàn)?點(diǎn)光源”經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)所成的像稱為點(diǎn)光源”作為物,并放置在無(wú)限遠(yuǎn),俗稱星點(diǎn); 星點(diǎn)像;? 理想衍射受限系統(tǒng)及其星點(diǎn)像特點(diǎn); 星點(diǎn)像是艾里斑? 星點(diǎn)檢驗(yàn)裝置;IJI?
14、星點(diǎn)檢驗(yàn)條件; 星孔大小要適中 不能切割光束;觀察顯微鏡/前置鏡的放大倍率要足夠大;觀察顯微鏡/前置鏡的成像質(zhì)量?jī)?yōu)良; 裝調(diào)準(zhǔn)確。? 星點(diǎn)檢驗(yàn)?zāi)軝z什么像差,不能檢什么像差?星點(diǎn)檢驗(yàn)對(duì)慧差、像散、球差靈敏,不能反映畸變、場(chǎng)曲。? 三類光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)分辨率表示形式;um望遠(yuǎn)系統(tǒng)一一用角度表示剛能分辨的兩點(diǎn)之間的最小距離;弧秒 顯微系統(tǒng)一一直接以剛能分辨開(kāi)的兩物點(diǎn)之間的最小距離表示;照相系統(tǒng) 以像面上剛能分辨的兩個(gè)像點(diǎn)間距的倒數(shù)表示。mm-1, lp/mm? 空間頻率;? 理想衍射受限系統(tǒng)的分辨率定義;考察兩個(gè)非相干獨(dú)立發(fā)光點(diǎn)在像面上形成的兩個(gè)點(diǎn)像;由于光的衍射,一個(gè)發(fā)光點(diǎn) 通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)成像得到一個(gè)
15、衍射斑(艾里斑),兩個(gè)衍射斑重疊部分的光強(qiáng)度為兩個(gè)光斑重疊區(qū)對(duì)應(yīng)強(qiáng)度之和(線性疊加);理想衍射受限系統(tǒng)的理論分辨率數(shù)值,通?;谠撓到y(tǒng)所能分辨的最小間距來(lái)確定。? 三類光學(xué)系統(tǒng)的理論光學(xué)分辨率計(jì)算;瑞利道斯斯派羅望遠(yuǎn)1.221.020.947兀(rad)DDD照相111-11.22 F1.02 F0.947 F(m m )顯微0.610.510.47 扎(mm)NANANA? 分辨率測(cè)量裝置及分辨率板;理論分辨率分析采用雙像點(diǎn)(艾里斑)分析法。實(shí)際測(cè)量:在平行光管上,采用分辨率板作為分劃板,觀察被測(cè)系統(tǒng)所成的像,判 讀所能分辨的最細(xì)密條紋? 照相物鏡軸上分辨率測(cè)量與計(jì)算;1在光具座上夾好被測(cè)照相物鏡;2.通過(guò)觀察顯微鏡判讀可看清的最細(xì)密的四組條紋屬于幾號(hào)板幾單元;3直接查表得線條寬度 p,或按公式換算出每毫米的線對(duì)數(shù);4求像面上的軸上目視分辨率。? 點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù);星點(diǎn)像的歸一化能量分布(光強(qiáng)分布)即為點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)? 線擴(kuò)展函數(shù);對(duì)點(diǎn)擴(kuò)展函數(shù)一維方向求積分可得線擴(kuò)展函數(shù)?;颍何锲矫嫔系囊痪€光源,經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)成像后,像的一維光強(qiáng)分布。? 空間頻率;? 光學(xué)傳遞函數(shù)物理意義、基本定義;? 調(diào)制傳遞函數(shù)與相位傳遞函數(shù);光學(xué)傳遞函數(shù)(Opti
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