光學(xué)薄膜檢測(cè)技術(shù)教材

1、光學(xué)薄膜檢測(cè)技術(shù)光學(xué)薄膜檢測(cè)技術(shù)綜述綜述u測(cè)試技術(shù)是一門(mén)學(xué)科u測(cè)試技術(shù)的重要性只要能測(cè)的出來(lái)的特性，就一定能制備的出來(lái)元件制備出來(lái)了，但不知性能怎樣性能測(cè)出來(lái)了，但不知測(cè)的準(zhǔn)不準(zhǔn)u光學(xué)薄膜測(cè)試技術(shù)的發(fā)展隨著薄膜制備技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展，不斷更新不斷進(jìn)步反射透射散射吸收折射率厚度應(yīng)力附著力組分結(jié)構(gòu)光學(xué)薄膜檢測(cè)技術(shù)光學(xué)薄膜檢測(cè)技術(shù)光學(xué)特性光學(xué)參數(shù)非光學(xué)特性薄膜厚度和折射率的測(cè)量薄膜厚度和折射率的測(cè)量u厚度測(cè)量臺(tái)階儀干涉法具有臺(tái)階樣品的制備 膠帶紙 刀片對(duì)于干涉法，在臺(tái)階樣品基板上全部鍍上不透光的金屬膜 消除位相躍變的影響LL20LLd薄膜厚度和折射率的測(cè)量薄膜厚度和折射率的測(cè)量u折射率

2、測(cè)量方法很多，最簡(jiǎn)單最普遍方法是測(cè)量單層薄膜在中心波長(zhǎng)位置的R，由 得到薄膜折射率精確測(cè)量的方法有布儒斯特角法改變偏振光的入射角，當(dāng)膜層反射光強(qiáng)與基底反射光強(qiáng)一致時(shí)，這時(shí)的入射角就是布儒斯特角，有 tg0n，即得到薄膜折射率snnRRn011薄膜透過(guò)率和反射率的測(cè)量薄膜透過(guò)率和反射率的測(cè)量u常用測(cè)量方法分光光度計(jì)u其它方法根據(jù)元件的特殊要求建立相應(yīng)的一些測(cè)量裝置薄膜透過(guò)率和反射率的測(cè)量薄膜透過(guò)率和反射率的測(cè)量u常用測(cè)量方法分光光度計(jì)u其它方法根據(jù)元件的特殊要求建立相應(yīng)的一些測(cè)量裝置分光光度計(jì)分光光度計(jì)u基于光譜分光原理單光路分光光度計(jì)分光光度計(jì)u基于光譜分光原理雙光路雙光路分光光度計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖

3、雙光路分光光度計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖光源及單色部分分光部分樣品室探測(cè)器部分處理系統(tǒng)處理系統(tǒng)透射率測(cè)量透射率測(cè)量u在透射測(cè)量時(shí)，儀器測(cè)量的是通過(guò)樣品光路到達(dá)檢測(cè)器的光強(qiáng)P與通過(guò)參比光路到達(dá)檢測(cè)器的光強(qiáng)P0的比值，稱之為透過(guò)率T光路校準(zhǔn)測(cè)量PP0反射率測(cè)量反射率測(cè)量u相對(duì)反射率測(cè)量簡(jiǎn)單難找到滿足測(cè)量要求的參考樣品u任意角度下的相對(duì)反射率的測(cè)量反射率測(cè)量反射率測(cè)量u絕對(duì)反射率測(cè)量V-W型反射率測(cè)量反射率測(cè)量u絕對(duì)反射率測(cè)量V-N型反射率測(cè)量反射率測(cè)量u根據(jù)V-W和V-N測(cè)量原理設(shè)計(jì)自己的測(cè)量附件自己設(shè)計(jì)制作的45絕對(duì)反射率測(cè)量附件分光光度計(jì)中影響測(cè)量的因素分光光度計(jì)中影響測(cè)量的因素光源及單色部分分光部分樣品室

4、探測(cè)器部分處理系統(tǒng)處理系統(tǒng)分光光度計(jì)中影響測(cè)量的因素分光光度計(jì)中影響測(cè)量的因素u光源影響波長(zhǎng)的測(cè)量范圍u單色部分狹縫的大小影響波長(zhǎng)的分辨率u探測(cè)器影響測(cè)量精度u光學(xué)系統(tǒng)形成部分偏振光以及非平行光影響測(cè)量精度噪聲容易忽略的影響因素容易忽略的影響因素u探測(cè)器探測(cè)器必須工作在其線性范圍之內(nèi)探測(cè)器光敏面不同位置引起不同的接受信號(hào)大小，從而對(duì)測(cè)量的影響u光學(xué)系統(tǒng)部分偏振光發(fā)散角具體測(cè)量中的一些問(wèn)題具體測(cè)量中的一些問(wèn)題u傾斜入射入射光位置偏移帶來(lái)測(cè)量的問(wèn)題如果測(cè)自然光的傾斜入射透過(guò)率，由于入射光偏振態(tài)的問(wèn)題帶來(lái)測(cè)量問(wèn)題 突跳現(xiàn)象傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法u入射光位置偏移帶來(lái)測(cè)量的

5、問(wèn)題加光路補(bǔ)償鏡傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法u入射光位置偏移帶來(lái)測(cè)量的問(wèn)題加光路補(bǔ)償鏡探測(cè)器用積分球傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法u測(cè)自然光的傾斜入射透過(guò)率，由于入射光偏振態(tài)的問(wèn)題帶來(lái)測(cè)量問(wèn)題加消偏器消偏器消偏器傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法傾斜入射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法u測(cè)自然光的傾斜入射透過(guò)率，由于入射光偏振態(tài)的問(wèn)題帶來(lái)測(cè)量問(wèn)題加消偏器加起偏器T=(Tp+Ts)/2起偏器起偏器傾斜入射透射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法傾斜入射透射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法u測(cè)自然光的傾斜入射透過(guò)率，由于入射光偏振態(tài)的問(wèn)題帶來(lái)測(cè)量問(wèn)題加消偏器加起偏器沒(méi)有消偏器和起偏器時(shí)將入射面旋轉(zhuǎn)90度測(cè)量二次 T=(T1+T2)/2傾斜入射透射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法傾斜入射透射測(cè)量問(wèn)題的解決辦法u突跳現(xiàn)象u突跳現(xiàn)象產(chǎn)生的原因這種現(xiàn)象一般都出現(xiàn)在傾斜入射的情況下偏振的影響偏振光在可見(jiàn)光和近紅外光的