真空蒸發(fā)鍍膜膜厚影響因素的實驗研究

1、真空蒸發(fā)鍍膜膜厚影響因素的實驗研究鞍山范學院學報真空蒸發(fā)鍍膜膜厚影響因素的實驗研究高紅 李慶綿鞍山師范學院物理系，遼寧鞍山4005行了擬合，從而最終找 到了這些因素對鍍膜厚度的影響規(guī)律。在真空鍛膜過程中，影響鍍膜質量的因素很多，而膜厚是主要 因素之。本文的目的就是通過實驗1實驗儀器及材料介紹1.17, 450 型真空鍍膜機70450型真空鍍膜機以高真空油擴散栗為主機，可獲得 2爪4帕的低氣壓環(huán)境。其主要技術性能數據如下極限壓力6.64帕； 2抽氣速率5007秒；3擴故泵加熱功率1.5千瓦；4機饑總功率3.5 千瓦。1.2辦1型膜厚動態(tài)監(jiān)測儀乙河趣膜厚動態(tài)監(jiān)測儀適用于真空 鍍膜中動態(tài)測量薄膜的幾

2、何厚度沉積速率和鍍膜時間，其度厚監(jiān)測范 圍為1江999.9,分辨率為1立13實驗材料本實驗所用基片為面平整 的玻璃，選用的鍍膜材料分別為鋁銅鎂鉛錫鈦鋅等。2實驗過程，450型真空披膜機在鍛膜過程中可以調節(jié)的實驗 條件小要有以下兒個蒸發(fā)鍛用付料的質量；2蒸發(fā)鍍用材料的種類； 3基片到蒸發(fā)源的距離。因此，本文主要研究上述個實驗條件對鍍膜 厚度的影響規(guī)汴。2.1研究鍍料的質量對鍍膜厚度的影響鍍料選擇招條，基片中 心到蒸發(fā)源的距離為43,改變鋁條的質量，分別測量不同質量條件 下蒸鍍得到的鍍膜厚度。2.2研究鍍料的密度對鍍膜厚度的影響句質，為6, 8,明沖心 到蒸7,的距離為43叫分別以鋁銅鎂鉛構汰鋅為

3、篇發(fā)用披料，分別 測量不同種類鍍料蒸發(fā)所得的鍍膜厚度。2.3研究基片到蒸發(fā)源的距離對鍛膜厚度的影響選擇質量為 0.608的鋁條，改變基片中心到蒸發(fā)源的距離，分別測量不同距離條 件下蒸發(fā)所得的鍛膜厚議。3實驗結果及討論依據述實驗，并利1科學繪厚度的影響規(guī)律 的實驗曲線。3.1鍛料質量對鍛膜厚度的影響保持不變的前提下，鍍料質量 與鍍膜厚度基本成線性關系，即隨著鍍料質量的增加，鍍膜厚度呈線 性增長。而運用，線性擬合所得到的方程+,也1正實了這點，方程。 1代橫坐標即鋁條的質最。代縱坐標即鍍膜厚度，參數數，廠的數值 越接近1說明曲線擬合得越好。3.2鍛料密度對鍍膜厚度的影響量的 蒸鍍材料在與基片等距離

4、的條件下蒸發(fā)鍍膜所得薄膜的厚度會逐漸 減小。運用出沖時對鍛膜厚度與鍍料密度的關系曲線擬合所得方程為 71似+人其中，代縱坐標即鍍膜厚度，代衷搖你+如3.3基片與蒸發(fā)源 的距離對鍍膜厚度的影響又儀，比夫糸。為了排除叢片面和對于蒸發(fā)源角度因素的影響，實驗過程中僅 改變基炒中心到蒸發(fā)源的距離。而保持基尸衣面相付于蒸發(fā)源的角度 大致相同。實驗結果3相同種類的蒸鍍材料在保持質景+變的前提下。隨基片心到蒸發(fā)源距離的增加。蒸發(fā)披膜所得的薄膜度逐漸減小。應 用階叫咖對鍍膜厚度與基片心到蒸發(fā)源代縱坐標即彼膜度。代橫咆 標即基片中k, i, w.r, dc, 3基片中心到蒸發(fā)源的距離與膜厚的關 系曲線七刮黑發(fā)源的距聞，鄉(xiāng)，=175.544920045862,的月奏近似為2, 即鍍膜厚度近似與基片心到蒸發(fā)源距離的平方成反比。4結論通過實驗，我們對蒸發(fā)鍍膜過程中的個主要實驗條件鍍 料質量鍍料密度基片中心到蒸發(fā)源的距離乂寸薄膜厚度的影響規(guī)律 進行了分析和討論，并應用郵軟牛對實驗曲線進行了擬合，最終得出 結論在鍍料種類及基片與黑發(fā)源距離保持不變的前提下，鍍膜厚度隨 鍍料質量的，加作線性增長；在與基片等距離的條件下，相同質量的 蒸鍍材料蒸發(fā)鍍膜所得薄膜的厚度與所用鍛料密度近似成反比；在保 持質量不變的