已閱讀5頁，還剩44頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
微傳感器微傳感器與微驅(qū)動(dòng)器原理（一）與微驅(qū)動(dòng)器原理（一）micro-systemrrllrrstrainchangeceresisrelativegf/tanalrldldddlldd/21daaldaldladr2adadldlrdrdddada2ldlada2dldlrdr)21 (11/)21 (/drdrldlrdrgfmetal foil1 to 5bar semiconductor80 to 150diffusion semiconductor80 to 200table comparing the gauge factors of differential types of strain gaugedacr0).(22110nnrrdddac返回dacr0)(0zeii返回dtddtddtdvdtxda2222;bmkqmkdtdxkxdtxdfrelrel;/;022基本的加工工藝是這樣的 首先在si上加工對(duì)準(zhǔn)用的孔，然后生長和加工1.5um厚的氧化膜。然后擴(kuò)散10歐區(qū)域用于歐姆接觸和100歐的壓阻區(qū)。最后利用陽極健和si和7740玻璃。3244)()1 (37)()1 (316prhyhyeh這里p-所施加的壓力，pa;r-薄膜直徑;e-楊氏模量，pa;h-薄膜厚度，m;-泊松比;y-膜中心點(diǎn)位移。dxdy
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 產(chǎn)科急救培訓(xùn)課件
- 木材加工企業(yè)的信息化建設(shè)與管理考核試卷
- 化工產(chǎn)品批發(fā)商銷售團(tuán)隊(duì)激勵(lì)與培訓(xùn)實(shí)踐考核試卷
- 冷凍飲品行業(yè)企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略與實(shí)施路徑考核試卷
- 半導(dǎo)體照明器件的振動(dòng)測(cè)試考核試卷
- 家具品牌形象塑造考核試卷
- 機(jī)床附件的行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局與市場(chǎng)定位考核試卷
- 國際貿(mào)易中的社會(huì)責(zé)任與合規(guī)性考核試卷
- 成人高考物理電磁學(xué)綜合應(yīng)用考核試卷
- 小學(xué)生師生互動(dòng)課件
- 魚骨圖培訓(xùn)課件
- 護(hù)理禮儀與人文關(guān)懷
- 運(yùn)維服務(wù)體系建立實(shí)施方案（5篇）
- 路面基層(級(jí)配碎石)施工方案
- 2025年日歷(日程安排-可直接打印)
- 四川政采評(píng)審專家入庫考試基礎(chǔ)題復(fù)習(xí)試題及答案（一）
- 患者手術(shù)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與術(shù)前準(zhǔn)備制度
- 口腔執(zhí)業(yè)醫(yī)師定期考核試題(資料)帶答案
- 2024年三八婦女節(jié)婦女權(quán)益保障法律知識(shí)競(jìng)賽題庫及答案（共260題）
- 2023年7月浙江省普通高中學(xué)業(yè)水平考試（學(xué)考）語文試題答案
- 2024年計(jì)算機(jī)軟件水平考試-初級(jí)信息處理技術(shù)員考試近5年真題集錦（頻考類試題）帶答案
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論