各種硅片不良的解決方案

1、斷線善后處理首先做好斷線記錄（斷線時(shí)間、機(jī)臺(tái)號(hào)、部位、切深）留好線頭一.查明斷線原因及斷線情況.二.急時(shí)上報(bào)，未經(jīng)同意，不得私自處理。三.處理流程：1. 在出線端斷線,寬度不超過(guò)10毫米的直接拉線切割.2.切深60mm中部或進(jìn)線端斷線，以30mm/min直接升起，迅速布線，8000流量砂漿沖洗，沖片時(shí)在線網(wǎng)上鋪上無(wú)塵紙，沖開(kāi)粘在一起的片子后，迅速把晶棒降到距線網(wǎng)2mm處，然后以10mm/min的進(jìn)給認(rèn)真仔細(xì)的“認(rèn)刀”。3.中部或進(jìn)線端斷線，切深在50mm-80mm之間的，以10mm/min的速度升料到距進(jìn)刀處30-40毫米,，停止。線速調(diào)到2m/s，以2%走線1cm，以調(diào)平線網(wǎng)，停止。打開(kāi)砂漿

2、8000流量均勻沖片子。把晶棒兩側(cè)的線網(wǎng)小心的剪掉（剪時(shí)要用手捏著）,留出3-4厘米的線頭,另一端不剪.(進(jìn)線端有線網(wǎng)的一定要保留該部分線網(wǎng),以便重新布線.剪兩側(cè)線網(wǎng)時(shí)一定要用手或其他夾緊物,夾緊預(yù)留的線網(wǎng)頭.)布線網(wǎng),重新切割。4進(jìn)線端或中部斷線切深超過(guò)80mm的視情況能認(rèn)刀的就認(rèn)刀否則就反切或直接拉線正向切割。4.進(jìn)線端斷線，第一次斷線，切深在80mm.1換掉放線輪，用一個(gè)空的收線輪來(lái)代替。以低于原2n（左19和右21）的張力，切割線方向改為:右，其他參數(shù)不變,手動(dòng)2m/s的線速走1m,不要開(kāi)砂漿。2把晶棒提升至30-40mm處，重新對(duì)接焊線，焊線時(shí)要焊接均勻，焊接點(diǎn)的點(diǎn)徑要和線徑相同。經(jīng)

3、15n的線速走線300400米，改張力為自動(dòng)切割的張力，每秒1米，不開(kāi)沙漿，走到出線端5米時(shí)，把張力改為15n，待線頭在收線輪上繞23圈，改回原來(lái)的張力。把晶棒壓到斷線位置誤差在0.05mm，打開(kāi)砂漿。以1m/s速度的20%，走上1m，經(jīng)班長(zhǎng)確認(rèn)無(wú)誤后進(jìn)行切割。5.經(jīng)上環(huán)節(jié)中必須處理好線網(wǎng)（其中包括，碎片、膠條、沙漿顆粒）在升晶棒前，把膠條去掉，上升速度為每分鐘10mm,上升過(guò)程中如夾線，不可用手去摸，只能用手動(dòng)輕微探摁一下，把線網(wǎng)走平。6.認(rèn)線前5m/s的速度走線100m，在不松開(kāi)張力的情況下，停止走線，然后以10mm/min認(rèn)刀，要一次性認(rèn)進(jìn)。7.反向切割設(shè)置修改：進(jìn)給降低1個(gè)百分點(diǎn)，線速

4、降低1m/s，流量增加300kg/h。8.線頭編號(hào)方法:年+月+日+機(jī)臺(tái)號(hào)+第幾次斷線數(shù).例如:080501-20-019.請(qǐng)工序稽查人員按照此標(biāo)準(zhǔn)做巡檢崩邊問(wèn)題問(wèn)題點(diǎn)：粘膠面崩邊 異?，F(xiàn)象：脫膠后，在方棒兩頭的硅片粘膠面呈現(xiàn)邊沿發(fā)亮，硅層呈線式脫落崩邊, 及距粘膠面0.1mm處線式崩邊。脫膠和清洗時(shí)觀察不到崩邊，檢驗(yàn)時(shí)能發(fā)現(xiàn)崩邊。 原因分析： 一.開(kāi)方進(jìn)給不穩(wěn)，外圓刀鋸轉(zhuǎn)速不穩(wěn)，刀鋸金剛砂層質(zhì)量不好，造成刀痕過(guò)重，方棒表面刀紋不平，凹凸起伏，隱型損傷（指的是鋸開(kāi)方）線開(kāi)方損傷可忽略 二.方棒溫度低，膠在凝固時(shí)的高溫反應(yīng)熱，破壞了粘膠面的硅層結(jié)構(gòu) 三.硅片預(yù)沖洗水溫低于xx度，脫膠水溫低于xx

5、度，膠層未完全軟化時(shí)員工就用手把硅片用力作倒。 四.由于采用的是小槽距大線徑，不可避免會(huì)在出刀時(shí)造成硅片向阻力小的一方的傾斜，方棒兩頭的硅片受到的阻力最小，造成兩個(gè)棒 子四個(gè)頭部近32毫米長(zhǎng)度內(nèi)的硅片出現(xiàn)崩邊。五.粘接劑太硬（不便說(shuō)出硬度系數(shù)），在鋼線出硅棒粘膠面的瞬間，破壞了硅層。 預(yù)防措施： 一.脫膠，經(jīng)過(guò)控制脫膠的規(guī)范操作，即使前道工序已經(jīng)對(duì)方棒表面產(chǎn)生不良影響，經(jīng)過(guò)優(yōu)化粘膠方式和手法，也要把損失降低到最 低點(diǎn)。在目前的設(shè)備配置前提下，嚴(yán)格要求脫膠工“4550 度溫水，浸泡25分鐘”聯(lián)系設(shè)備部，做硅片隔條，降低硅片倒伏時(shí)的傾度。 二.嚴(yán)格控制方棒超聲池的水溫在40度，超聲到粘膠的時(shí)間間隔

6、控制在2小時(shí)內(nèi)，粘膠房的溫度控制在25度，濕度不超過(guò)50%。 三.對(duì)開(kāi)方機(jī)進(jìn)行一次進(jìn)給和轉(zhuǎn)速校正，開(kāi)方后的方棒經(jīng)打磨后再滾圓。并請(qǐng)?jiān)O(shè)備部做出設(shè)備三級(jí)維護(hù)計(jì)劃書(shū)。做定期維護(hù)保養(yǎng) 四.“分線網(wǎng)”硅片切割：方棒兩頭各留出2mm不切割，減少切割過(guò)程中硅片向兩側(cè)“分叉”另外一種辦法：做一個(gè)可調(diào)試擋板系統(tǒng)，擋住 方棒兩頭，防止硅片“分叉”崩邊。 五，采用線開(kāi)方和磨面機(jī)，有條件的最好腐蝕一下。更換粘接力強(qiáng)但硬度適中的粘接劑善后處理：磨砂玻璃和1700#碳化硅 按一定的水分比例 選擇某種手勢(shì)，力度，角度磨掉在邊長(zhǎng)要求范圍內(nèi)的崩邊（標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)）硅片厚薄不均預(yù)防措施一. tv偏大或偏?。焊鶕?jù)客戶要求片厚，計(jì)算

7、出最佳成本/質(zhì)量的槽距，鋼線，碳化硅，砂漿密度。 二.ttv15um的硅片占比超過(guò)0.62%，屬于異常。對(duì)于一次切割的單位，應(yīng)增加導(dǎo)向條（部位不提供），兩次切割的單位最好把導(dǎo)輪（主輥）槽距改一下或第二次切割時(shí)砂漿流量增大500公斤/小時(shí)（5l/min）或多更換20公斤砂漿。 三.硅片的進(jìn)刀處的進(jìn)線端（角）偏薄或偏厚，應(yīng)修改進(jìn)刀時(shí)的砂漿流量 四：同一個(gè)硅片的厚度呈大-小-大-小分布的，應(yīng)調(diào)整切割工藝程序。進(jìn)給，線速，流量應(yīng)均勻同步變化。 五，跳線引起的某刀硅片厚度異常，同一個(gè)片的厚度異常，不同片子的厚度偏差等，因通過(guò)加過(guò)濾網(wǎng)/過(guò)濾袋/振蕩過(guò)濾器和切割前仔細(xì)過(guò)濾，沒(méi)有跳線來(lái)消除。線痕5m1e分析花

8、污片分析：一.切割液摻有次氯酸,特別是回收液.對(duì)硅片腐蝕特別嚴(yán)重.(請(qǐng)品管部門分析切割液的成分)2.預(yù)沖洗的水壓,水質(zhì),流量,角度,沖洗時(shí)間等,總之預(yù)沖洗要硅片表面無(wú)明顯贓污,才能進(jìn)入脫膠3.脫膠時(shí)盡量全泡,水溫50-60,加3%的草酸或檸檬酸或乳酸,自然倒伏.4.脫膠完畢后,2530純水中超聲10分鐘,超聲功率在2000w左右水要循環(huán).5.清洗劑(不同廠家)大部們都是重量比為5%的比例,溫度設(shè)為60,超聲5分鐘.6.關(guān)鍵是員工有沒(méi)有執(zhí)行和我們提供的設(shè)備工具能否滿足需要.7.如果是個(gè)老廠,突然出現(xiàn)花污片了一般要在輔料上找問(wèn)題(切割液 清洗劑 回收砂  等.)8.更換時(shí)一定要

9、用標(biāo)準(zhǔn)容器，更換量視故硅片規(guī)格和數(shù)量而定我們這次碰到的結(jié)果發(fā)現(xiàn)花污提取物中含有超過(guò)3%fe，由于在線切過(guò)程中大量帶進(jìn)fe的只會(huì)是剛線本身的磨損，所以可以看出，硅片經(jīng)過(guò)脫膠清洗之后，仍然殘留fe,就是殘余砂漿在作祟。fe本身在切割液環(huán)境中是出于還原氣氛，所以相對(duì)穩(wěn)定，但是在脫膠的時(shí)候，接觸的是60度左右的水，這是一個(gè)氧化的環(huán)境，金屬氧化物非常容易與殘余的碳?xì)滏I形成共價(jià)物粘附于硅表面，難以清洗。一種是將整軸鋼線進(jìn)多次切割，每次為單向切割，這種工藝我們使用在ntc機(jī)型上；一種是一段線進(jìn)行多次切割，這種工藝我們使用在mbds264機(jī)型上。鋼線有兩個(gè)參數(shù)，一個(gè)是橢圓度，一個(gè)是磨損量。你可以從這兩個(gè)方面考

10、慮，鋼線經(jīng)過(guò)一次切割后會(huì)磨損變形，這是多次切割就會(huì)對(duì)硅片表面造成影響。單向切割表面粗糙度一般在5微米內(nèi)，雙向切割表面粗糙度會(huì)增加35倍。線網(wǎng)斷線：我的定義：拉伸強(qiáng)度超出了鋼線的極限拉伸強(qiáng)度，造成拉伸斷裂。分析問(wèn)題的方法：人、機(jī)、料、法、環(huán)。人、機(jī)、法、環(huán)：廣度較大，我不做分析。料：硅料、漿料硅料：分單晶和多晶。切割過(guò)程中，我認(rèn)為硅棒對(duì)鋼線的作用主要是力的作用，徑向的壓力（工件平臺(tái)始終向下運(yùn)動(dòng)），摩擦力（阻礙鋼線橫向移動(dòng)）；漿料：切割過(guò)程中，我認(rèn)為漿料對(duì)鋼線的傷害是很大的，也存在很多不確定因素。主要表現(xiàn)為磨損，降低鋼線的極限拉升強(qiáng)度。綜上，硅棒對(duì)鋼線的作用力越大，漿料對(duì)鋼線的磨損越嚴(yán)重（極限拉伸

11、強(qiáng)度越?。?，鋼線越易斷線。注：多晶比單晶易斷線，因?yàn)槎嗑Т嬖诰Ы?，晶界的組成很復(fù)雜，由于硬度等關(guān)系，對(duì)鋼線的作用力是變化，瞬間超出極限拉伸強(qiáng)度的可能性較大。    漿料中雜質(zhì)較多，顆粒不均勻，鋼線斷線的幾率也會(huì)提高斷線主要分布在1、收放線部分。1-1、滑輪磨損過(guò)大或被割穿，這個(gè)時(shí)候也許不會(huì)斷線！但是鋼線會(huì)纏在滑輪上！所以滑輪品質(zhì)的穩(wěn)定性非常重要。1-2、鋼絲的磨損過(guò)大也容易引起收線端斷線。1-3、象樓上的兄弟所定義：拉伸強(qiáng)度超出了鋼線的極限拉伸強(qiáng)度，造成拉伸斷裂。所以滑輪的材質(zhì)要選對(duì)，不能太硬。利用軟件系統(tǒng)記錄每一次切片的詳細(xì)數(shù)據(jù)，比如說(shuō)：整個(gè)切片過(guò)程中機(jī)器的各種參數(shù)及其變

12、化曲線、漿料信息、以及前段工藝中有關(guān)硅塊結(jié)晶情況等等。將這些數(shù)據(jù)與切片的結(jié)果關(guān)聯(lián)起來(lái)，做成一個(gè)龐大的數(shù)據(jù)庫(kù)。這個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)，就是寶貴的專家經(jīng)驗(yàn)。接著這樣做：系統(tǒng)自動(dòng)比對(duì)前段工藝中的硅塊的品質(zhì)信息，線切機(jī)最近的運(yùn)行狀態(tài)，鋼線的使用次數(shù)、磨損量，裝載的漿料的成分品質(zhì)信息、回收次數(shù)等等。然后找出以前的切片中與之最匹配、切片效果最佳的配方設(shè)定點(diǎn)，線速、線弓大小、力度等等。鋼線。如果鋼線的橢圓度差的話，也會(huì)出現(xiàn)線痕。比如片子上整體比較干凈，但是在某個(gè)高度時(shí)出現(xiàn)單道線痕，而且是所有片子在同一個(gè)高度出現(xiàn)。在切割過(guò)程中，大家經(jīng)常會(huì)遇到各種問(wèn)題，謹(jǐn)就大家經(jīng)常認(rèn)為是碳化硅微粉造成的影響以及硅片表面線痕問(wèn)題探討如下：&

13、#160;   1.        硅片表面偶爾出現(xiàn)單一的一條陰刻線（凹槽）或一條陽(yáng)刻線（凸出），并不是由于碳化硅微粉的大顆粒造成的，而是單晶硅、多晶硅在拉制或澆筑過(guò)程中出現(xiàn)的硬質(zhì)點(diǎn)造成線網(wǎng)波動(dòng)形成的；2.        硅片表面在同一位置帶有線痕，很亂且不規(guī)則，我認(rèn)為是導(dǎo)輪或機(jī)床震動(dòng)過(guò)大或者是多晶硅鑄錠的大塊硬質(zhì)點(diǎn)造成的；  3.        重啟機(jī)床后第一刀出現(xiàn)線痕機(jī)床殘留水分或液體，造成砂漿粘度低，鋼線粘附碳化硅微粉量下降，切削能力降低。

14、4.        調(diào)整新工藝、更換新型耗材后出現(xiàn)線痕：        砂、液比例不合適，或液體粘度太大，造成砂漿粘度太大或太小，砂漿難以進(jìn)入線縫或碳化硅含量較低。        碳化硅切割能力差，無(wú)法與切割速度相適應(yīng)。        鋼線圓度不好，進(jìn)入鋸縫砂漿量不穩(wěn)定。        鋼線的張力太大或太小，造成鋼線攜帶砂漿能力差或線弓太小砂漿無(wú)法正常進(jìn)入鋸縫。    

15、0;   鋼線速度過(guò)快或過(guò)慢，造成砂漿無(wú)法粘附或切割效率下降，影響切割效果。        各參數(shù)適配性差。5. 硅片切割到某一段出現(xiàn)偏薄或偏厚的廢片，分界非常明顯，一般是由于跳線引起的，跳線的原因：        導(dǎo)輪使用時(shí)間太長(zhǎng)，嚴(yán)重磨損引起的跳線。        砂漿的雜質(zhì)進(jìn)入線槽引起的跳線。        導(dǎo)輪表面臟污。        晶棒端面從切割開(kāi)始到切割結(jié)束依次變長(zhǎng)，造成鋼線受側(cè)向力而跳出槽外。