電子元器件失效分析

1、ir confidential2021-10-301電子元器件失效分析電子元器件失效分析_培訓(xùn)總結(jié)報告培訓(xùn)總結(jié)報告尤利甯 賀永紅2006-7-6ir confidential2021-10-302提綱提綱：可靠性的基本概念和新的觀念；失效分析的8個步驟；3. 失效分析的概念，目的，作用，物件和分類；4. 與我們生產(chǎn)有關(guān)的例子；5. 失效分析的新技術(shù)。ir confidential2021-10-303一一. 關(guān)於可靠性？關(guān)於可靠性？電子產(chǎn)品可靠性定義：電子產(chǎn)品可靠性定義： 是指產(chǎn)品在規(guī)定的條件下及規(guī)定的時間內(nèi)完成規(guī)定功能的能力，它是電子產(chǎn)品品質(zhì)的一個重要組成部分。可靠性的表徵：可靠性的表徵：

2、壽命；失效率；故障；mtbf；返修；賠償 注：電子產(chǎn)品的壽命：包括硬體壽命到期；技術(shù)壽命到期（過了換代期的電子產(chǎn)品）ir confidential2021-10-304傳統(tǒng)可靠性觀念：傳統(tǒng)可靠性觀念： 是以失效資料的統(tǒng)計和分析為手段，表徵產(chǎn)品的可靠性，比如mtbf?？煽啃缘男掠^念：可靠性的新觀念： 是以失效分析為手段，尋找失效的根本原因，並加以解決以達到從根本上提高可靠性的目的。幾個概念： 可靠性強化試驗可靠性強化試驗(ret, reliability enhancement testing）,或稱為步進應(yīng)力試驗；高加速壽命試驗halt，高加速應(yīng)力篩選hass等面向失效分析的可靠性新技術(shù) 失效

3、物理學(xué)失效物理學(xué)（pof，physics of failure），把失效作為主體研究，通過激發(fā)，研究和根治失效達到提高可靠性的目的 可靠性工程新舊觀念對比可靠性工程新舊觀念對比ir confidential2021-10-305 可靠性觀念變化比較可靠性觀念變化比較傳統(tǒng)觀念現(xiàn)時觀念可靠性是一種成本可靠性是一種資產(chǎn)遵照規(guī)範(fàn)操作為用戶提供價值可靠性公式和手冊保證可靠性良好的設(shè)計和生產(chǎn)與設(shè)計和生產(chǎn)脫離與設(shè)計和生產(chǎn)融為一體只用mtbf作為可靠性統(tǒng)計參數(shù)同時用故障率和有效壽命作為可靠性的統(tǒng)計參數(shù)檢測故障，協(xié)調(diào)解決分析故障，消除故障重複運作改進運作ir confidential2021-10-306失效物

4、理方法的失效物理方法的8個步驟：個步驟：確定真正的系統(tǒng)要求；確定使用環(huán)境；（包括生產(chǎn)環(huán)境，但這點經(jīng)常被忽略）驗明潛在的失效部位和失效機理；采用可靠的原材料的元器件；設(shè)計可靠的產(chǎn)品；鑒定加工和裝配過程；鑒定加工和裝配過程；控制加工和裝配過程；（從設(shè)計和製造過程加強可靠性）控制加工和裝配過程；（從設(shè)計和製造過程加強可靠性）對產(chǎn)品的壽命期成本和可靠性進行管理（採購後到達到使用壽命結(jié)束這中間的所有管理，培訓(xùn)，控制等等成本之和）ir confidential2021-10-307另一領(lǐng)域的失效分析另一領(lǐng)域的失效分析醫(yī)藥學(xué)的歷史與人類的病痛一樣長，大量醫(yī)藥科學(xué)的進步都是建立在外科醫(yī)生的屍體解剖上。（仁慈的

5、東方人除外）；在這個專業(yè)領(lǐng)域，這一做法通常稱為“失效分析”；每個失效部件都應(yīng)被視為進行可靠性改進的機會，從這個角度講，失效部件有時甚至是“珍貴的”這個例子可以幫助我們理解失效分析的作用和失效部件的重要這個例子可以幫助我們理解失效分析的作用和失效部件的重要性。性。ir confidential2021-10-308二二. 失效分析基本概念失效分析基本概念失效失效：功能退化或著功能喪失；失效模式失效模式：失效現(xiàn)象的表現(xiàn)形式，如開路，短路，參數(shù)漂移，不穩(wěn)定等；失效機理失效機理：導(dǎo)致失效的物理化學(xué)變化過程，和對這一過程的解釋，如電遷移開路，銀電化學(xué)遷移短路。工程上，也會把失效原因說成失效機理。應(yīng)力應(yīng)力

6、：驅(qū)動產(chǎn)品完成功能所需的動力和產(chǎn)品經(jīng)歷的環(huán)境條件。是產(chǎn)品退化的誘因；缺陷：缺陷：ir confidential2021-10-309失效分析的目的和作用失效分析的目的和作用失效分析:是對已失效的器件進行的一種事後檢查，使用電測試和先進的物理，進行和化學(xué)分析技術(shù)，驗證所報告的失效，確定其失效模式，找出失效機理。失效分析程式應(yīng)得出相應(yīng)結(jié)論，確定失效原因或相應(yīng)關(guān)係，或著在生產(chǎn)工藝，器件設(shè)計，試驗或應(yīng)用方面採取措施，以消除失效模式或機理產(chǎn)生的原因，或防止其重新出現(xiàn)。ir confidential2021-10-3010失效分析的物件失效分析的物件實物物件：包括已發(fā)生失效或發(fā)生重要變化的測試結(jié)構(gòu)，半成品

7、，試製品，試驗品，整機應(yīng)用以及外場應(yīng)用失效品。過程物件：包括元器件的研發(fā)過程和應(yīng)用過程。 研發(fā)過程:可細分為設(shè)計優(yōu)化，制造工藝優(yōu)化，測試篩選與評價試驗優(yōu)化等過程（比如hexfred ir漂移事件的解決，我們設(shè)計新的篩選程式）； 應(yīng)用過程：元器件選型，二次篩選條件優(yōu)化，設(shè)備研製生產(chǎn)中的故障控制對策，可靠性增長，全壽命維護等（更偏向用戶）ir confidential2021-10-3011失效模式的概念和種類失效模式的概念和種類失效模式：就是失效的外在表現(xiàn)形式，不需要深入說明其物理原因按持續(xù)性分類：致命性失效，間歇失效，緩慢退化；按失效時間分類：早期失效，隨即失效，磨損失效；按電測試結(jié)果分類：開

8、路，短路或漏電，參數(shù)漂移，功能失效按失效原因分類：eos（electrical over stress/esd (electrostatic discharge);製作工藝不良。ir confidential2021-10-3012三三. 一些例子一些例子 eg1. esd失效機理解釋失效機理解釋定義：處於不同靜電電位的兩個物體間發(fā)生的靜電電荷轉(zhuǎn)移就形成了esd，這種靜電放電將給電子元件帶來損傷，引起產(chǎn)品失效。電子元器件由靜電放電引發(fā)的失效可分為：突發(fā)性失效突發(fā)性失效和潛在潛在性失效性失效兩種模式。ir confidential2021-10-3013突發(fā)性失效：突發(fā)性失效： 是指元器件受到e

9、sd損傷後，突然完全喪失其規(guī)定的功能，主要表現(xiàn)為開路，短路或參數(shù)嚴重漂移。潛在性失效：潛在性失效： 是指靜電放電能量較低，僅在元器件內(nèi)部造成輕微損傷，放電後器件電參數(shù)仍能合格或略有變化，但器件的抗過電的能力已經(jīng)明顯削弱，再受到工作應(yīng)力後將進一步退化，使用壽命將明顯縮短。ir confidential2021-10-3014esd失效的不同機理失效的不同機理過電壓場致失效：過電壓場致失效： 發(fā)生於mos器件，包括含有mos電容或鉭電容的雙極性電路和混合電路；過電流熱致失效：過電流熱致失效：多發(fā)生於雙極器件，包括輸入用pn結(jié)二極體保護電路的mos電路，肖特基二極體以及含有雙極器件的混合器件實際發(fā)生

10、哪種失效，取決於靜電放電回路的絕緣程度！實際發(fā)生哪種失效，取決於靜電放電回路的絕緣程度！ 如果放電回路阻抗較低，絕緣性差，器件往往會因放電期間的強電流脈衝導(dǎo)致高溫損傷，這屬於過電流損傷； 相反，因阻抗高，絕緣性好，器件接受高電荷而產(chǎn)生高壓，導(dǎo)致強電場損傷，屬於過壓損傷。ir confidential2021-10-3015esd 損傷圖片ir confidential2021-10-3016ir confidential2021-10-3017ir confidential2021-10-3018eg2. 塑封器件分層效應(yīng)（塑封器件分層效應(yīng)（“爆米花效應(yīng)爆米花效應(yīng)”） ”爆米花效應(yīng)“是指塑封器

11、件塑封材料內(nèi)的水份在高溫下受熱發(fā)生膨脹，使塑封料與金屬框架和晶片間發(fā)生分層，拉斷鍵合絲，發(fā)生開路失效或間歇失效。ir confidential2021-10-3019tohdtoddtpost分層效應(yīng) csam圖片ir confidential2021-10-30201. 基本思路：資訊分析（失效環(huán)境，標(biāo)準，規(guī)範(fàn)，經(jīng)驗）失效模式確認（通過測試，試驗，對比分析）可能的失效機理（在前兩項的基礎(chǔ)上）尋找證據(jù)（物理，化學(xué)，試驗）原因推演必要的驗證和結(jié)論四四. 失效分析技術(shù)與設(shè)備失效分析技術(shù)與設(shè)備ir confidential2021-10-30212. 基本流程：基本流程：失效現(xiàn)場資訊調(diào)查外觀檢查失效

12、模式確認方方案案設(shè)設(shè)計計非破壞性分析破壞性分析綜合分析報告編寫操作原則：操作原則：先外部後內(nèi)部；先非破壞性後半破壞性；最後破壞性；避免引進新的失效機理。ir confidential2021-10-30223. 失效資訊調(diào)查與方案設(shè)計失效資訊調(diào)查與方案設(shè)計資訊類別：資訊類別： 基本資訊：包括處於管理需要的資訊，包括樣品來源，型號，批次，編號，時間，地點等。 技術(shù)資訊：是判斷可能的失效機理和失效分析方案設(shè)計的重要依據(jù)。 特定使用應(yīng)用資訊: 整機故障現(xiàn)象,異常環(huán)境,在整機中的狀態(tài),應(yīng)用電路,二次篩選應(yīng)力,失效歷史,失效比例,失效率及隨時間的變化. 特定的生產(chǎn)工藝: 生產(chǎn)工藝條件和方法;特種器件應(yīng)先

13、用好品開封瞭解和研究其結(jié)構(gòu)特點.ir confidential2021-10-3023一些分析途徑簡介一些分析途徑簡介1. 非破壞性分析的基本途徑（先實施易行的，低成本的） 外觀檢查模式確認（測試和試驗，對比分析）檢漏可動微粒檢測（pind）x光照相光照相csam模擬試驗ir confidential2021-10-30241. csam 和和x射線透視儀射線透視儀ir confidential2021-10-3025csam和和x射線透視儀的成像射線透視儀的成像ir confidential2021-10-30262. 半破壞性分析的基本途徑（多餘物，污染，缺陷，微區(qū)電特性和電光熱效應(yīng)）可動

14、微粒收集內(nèi)部氣氛檢測開封：專用工具，研磨，觀察研磨面塌陷區(qū)域； 濕法腐蝕（化學(xué)法）：硫酸，硝酸； 幹法腐蝕：在真空條件下，等離子體轟擊不加電的內(nèi)部檢驗：光學(xué)，不加電的內(nèi)部檢驗：光學(xué)，sem，微區(qū)成分；，微區(qū)成分；加電的內(nèi)部檢驗：加電的內(nèi)部檢驗： 微探針，熱像，光發(fā)射，電壓襯度像，束感生電微探針，熱像，光發(fā)射，電壓襯度像，束感生電流像，電子束探針。流像，電子束探針。ir confidential2021-10-3027不加電的內(nèi)部檢驗設(shè)備不加電的內(nèi)部檢驗設(shè)備金相顯微鏡，掃描電鏡（sem）ir confidential2021-10-3028能譜儀（能譜儀（eds）及其特點）及其特點ir conf

15、idential2021-10-3029加電的內(nèi)部檢查加電的內(nèi)部檢查ir confidential2021-10-3030以電流效應(yīng)為基礎(chǔ)的定位技術(shù)以電流效應(yīng)為基礎(chǔ)的定位技術(shù)ir confidential2021-10-3031光發(fā)射顯微鏡定位技術(shù)光發(fā)射顯微鏡定位技術(shù)ir confidential2021-10-30323. 破壞性分析的基本途徑（進一步的微區(qū)電特性，污染，缺陷）加電的內(nèi)部檢驗（去除鈍化層，微探針，聚焦粒子束，電子束探針）剖切面分析（光學(xué)，sem,tem)ir confidential2021-10-3033去除鈍化層技術(shù)去除鈍化層技術(shù)化學(xué)方法去除鈍化層在真空條件下，等離子體轟

16、擊去除鈍化層。缺點：對半導(dǎo)體材料表面有損傷，而且有輻射，會影響材料的性質(zhì)ir confidential2021-10-3034金相切片製備技術(shù)金相切片製備技術(shù)ir confidential2021-10-3035注意注意：金相切片技術(shù)，要觀察金屬見化合物，還要採用適當(dāng)?shù)母g液，使不同金屬或合金成分顯示不同的顏色，並且要注意過程中不能產(chǎn)生新的失效或破壞原來的失效。ir confidential2021-10-3036金相切片分析方法特點金相切片分析方法特點破壞性方法；試樣制備週期長，需要1d，最好3d；3. 試樣製備要求高；4. 可直觀獲取材料內(nèi)部大量資訊；5. 對操作和分析人員要求較高ir confidential2021-10-3037附錄：附錄： 分析技術(shù)與設(shè)備清單分析技術(shù)與設(shè)備清單ir confidential2021-10-3038附錄：附錄： 分析技術(shù)與設(shè)備清單分析技術(shù)與設(shè)備清單ir confidential2021-10-3039附錄：附錄： 分析技術(shù)與設(shè)備清單分析技術(shù)與設(shè)備清單ir confidential2021-10-3040相關(guān)知識（軍工企業(yè)的要求）相關(guān)知識（軍工企業(yè)的要求）品質(zhì)問題技術(shù)歸零技術(shù)歸零 為徹底解決由於技術(shù)原因造成的產(chǎn)品品質(zhì)問題，避免重複發(fā)生，要“定位準確