特氣控制系統(tǒng).

1、特氣系統(tǒng)控制口 - 一 I屈&心&HHU h氣柜組成：1 電控2. COMPUTER3. GAS PANEL與媒農(nóng)手改直生S81.電氣控制電磁閥場(chǎng)tt!攜手改迎生SS場(chǎng)tt!攜手改迎生SS2. COMPUTERphilips3 盤(pán)面（一）與媒擴(kuò)手改直生S5單盤(pán)面示意圖D HPVVACUUM ACCESS PORTVACUUM GENERATORSOURCEREGULATOR RELEF VENT與媒擴(kuò)手改直生S5與媒擴(kuò)手改直生S5COMICAL FILTER GASKET Excess FLOW WITCH HIGH PWESSURE ISOLATION HIGH fRESSUNE VCMT

2、fWICATIM fREMURE WITCH LOW PRESSURE ISOLATION LOW HCSStME VWT KMGE 6AS ISOLATIOM PRESSURE SWITCHWOM疋九UM四 F ktr 匚._3 JWWi *JW0E trifleWiMTLW FWV 32心 心噸力沖*1 &A Hrt*MV CA5 iSttAHQ* MIMA 和6；常25般良補(bǔ)腫 %WTf性注mjmt mjm irota與媳攜手改直生RS（二）GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD1kX4OJ4 ibHAWI FCLC 4.更

3、換鋼瓶操作（依照L鋼瓶為例）-.Semi-Gas全自動(dòng)氣柜更換鋼瓶操作步驟:如果是液態(tài)類(lèi)氣體需要輸入“凈重”確認(rèn)。1接通220V電源，打開(kāi)“EMO”緊急開(kāi)關(guān)，進(jìn)入盤(pán)面畫(huà)面。2輸入password,按確認(rèn)。3 L盤(pán)面進(jìn)入 “In shutdown”按 ucommands菜單。4 選擇 terminate purge5 Yes”。5選擇“select purge”按uCylinder change,按“Yes”,按“ACK”確認(rèn)，進(jìn)入更換鋼瓶的過(guò) 程。6 L-Cyliiider shutoff test,執(zhí)行process Gas removal置換。7更換鋼瓶前Pre-purge前吹掃，執(zhí)行完循

4、環(huán)次數(shù)。8 Cylinder change 更換鋼瓶，按ACK” 確認(rèn)。9 Process Gas removal執(zhí)行工藝氣體置換。10 Auto leak tes咱動(dòng)檢漏測(cè)試11 Manual leak test手動(dòng)檢漏測(cè)試，按“ ACK”確認(rèn)。12 Leak Repair泄漏維護(hù)，按“ACI”確認(rèn)。13 Repair Leak test維護(hù)后泄漏測(cè)試，按“ ACK”確認(rèn)。14更換鋼瓶后Pos t-purge后吹掃，執(zhí)行完循環(huán)次數(shù)。15 Regulator調(diào)壓閥 shutoff及測(cè)試。16緩慢完全打開(kāi)鋼瓶手動(dòng)閥，回1/4圈，進(jìn)入鋼瓶壓力測(cè)試。17緩慢調(diào)節(jié)Regulatorii壓閥的二次壓力至

5、供氣壓力。18按“service進(jìn)入鋼瓶供氣或備用。與媒農(nóng)手改直生S8二半自動(dòng)氣柜和全自動(dòng)氣柜更換鋼瓶操作步驟：1選擇需要更換的鋼瓶，按“更換鋼瓶”后按“確認(rèn)” O2關(guān)閉更換鋼瓶的鋼瓶手動(dòng)閥，按“下一步” o3確認(rèn)鋼瓶手動(dòng)閥已經(jīng)關(guān)閉，按“確認(rèn)”。4進(jìn)行低壓釋放。5進(jìn)行預(yù)吹掃，完成設(shè)置的循環(huán)次數(shù)。6鋼瓶檢測(cè)結(jié)束報(bào)警，按“close”，按“下一步”。7更換鋼瓶，結(jié)束后按“下一步”。8進(jìn)行鋼瓶Fitting測(cè)漏，正常后按“確認(rèn)” o9進(jìn)行后吹掃，完成循環(huán)次數(shù)。10鋼瓶檢測(cè)結(jié)束，按“close”。11如果是液態(tài)類(lèi)氣體需要輸入皮重和切換壓力“凈重”確認(rèn)。12緩慢完全打開(kāi)鋼瓶手動(dòng)閥，回1/4圈。13選擇供

6、氣或備用。14緩慢調(diào)節(jié)Reguktor調(diào)壓閥的二次壓力至供氣壓力。三手動(dòng)氣柜更換鋼瓶操作步驟:要求PN2鋼瓶的出口壓力80+/-10PSIo1關(guān)閉鋼瓶手動(dòng)閥。234567打開(kāi)低壓放穿的左抽空開(kāi)關(guān)（V3L、V4L、V7L）,使之管道內(nèi)氣體完全放空， 然后關(guān)閉此閥，同時(shí)關(guān)閉Regulator o更換鋼瓶前的Pre-piirge：打開(kāi)鋼瓶PN2管路左吹掃開(kāi)關(guān)進(jìn)行Pi驢ul吹掃5秒后關(guān) 閉，然后打開(kāi)高產(chǎn)戲空的左高抽開(kāi)關(guān)使之對(duì)P爐ul管道部分連行抽真空3秒后關(guān) 閉；再次PN2進(jìn)行Pigtail管路吹掃以及抽真空，循環(huán)往復(fù)執(zhí)行10次。執(zhí)行更換鋼瓶的過(guò)程。更換鋼瓶后的Pigtail Fitting漏：打開(kāi)鋼

7、瓶PN2管路左吹掃開(kāi)關(guān)，然后再關(guān)閉， 進(jìn)行Pigtail Fitting的check leako檢漏通過(guò)后進(jìn)行Pigtml后吹掃。更換鋼瓶后的Post-purge：打開(kāi)鋼瓶PN2管路左吹掃開(kāi)關(guān)進(jìn)行Pi驢ul吹掃5秒后關(guān) 閉，然后打開(kāi)高朮放皋的左高抽開(kāi)關(guān)使之對(duì)Pigt通管道部分進(jìn)仔抽真空3秒后關(guān) 閉；再次PN2進(jìn)行PigSil管路吹掃以及抽真空，循環(huán)往復(fù)執(zhí)行10次。關(guān)閉L盤(pán)面上所有氣動(dòng)閥件，打開(kāi)L鋼瓶手動(dòng)閥，調(diào)節(jié)Regubtor的壓力使之滿足 工藝設(shè)備的供氣壓力。如果是液態(tài)類(lèi)氣體需要輸入切攜壓力“毛重”確認(rèn)。8緩慢完全打開(kāi)鋼瓶手動(dòng)閥，回1/4圈。9緩慢調(diào)節(jié)Regiiktor調(diào)壓閥的二次壓力至供氣壓力。10按“供氣開(kāi)關(guān)”或“備用開(kāi)關(guān)” o與媒農(nóng)手改直生S85 氣柜操作流程圖6 鋼瓶更換分解圖示前吹掃：1 ）放空（圖一）開(kāi)VGS LPV-REG-HP I2 ）通PN 2關(guān)LPV-HP I 開(kāi)PG I3）抽真空開(kāi)VGS HPV后吹掃：1 ）Pigt