常見PECVD鍍膜色差片

1、 現(xiàn)象：1、片子的背面外圍一圈沒有鍍上膜，呈硅片原色，中間顏色不定，有藍(lán)色 和彩色等； 2、片子的正面邊緣色彩正常，為藍(lán)色，膜厚正常，中間一般呈紅色。 一、石墨舟片上有一面沒有插片 背面正面 原因分析：石墨片上有一面未插硅片，就會造成兩片返工片，一片為背面，一片為 正面，已經(jīng)跟生產(chǎn)部強調(diào)過一定要插滿石墨片，但這種現(xiàn)象仍然存在很多。 解決方法：要求生產(chǎn)人員石墨片上一定要插滿硅片，若硅片不夠，用假片代替。 二、鍍膜過程中硅片滑落或者碎裂 現(xiàn)象：1、片子表面一部分已經(jīng)鍍上膜，還有一部分為硅片本色； 2、片子上部分鍍膜均勻，部分呈彩虹色彩，顏色較多。 滑落碎片 原因分析：由于上舟過程中的機械臂抖動造成

2、硅片部分滑落或者碎片，這樣在鍍 膜過程中會造成如上圖的現(xiàn)象。 解決辦法：在產(chǎn)線員工插片前首先清除石墨舟里的碎片，插好片時要對石墨舟輕 輕拍打，看是否存在片子沒有卡到的現(xiàn)象，如有，及時調(diào)整，插片過程中，如有 碎片，要及時清理出，同時在上舟時要盡量保持舟和機械臂、漿的平穩(wěn)性。 三、片子整體發(fā)白 現(xiàn)象：片子整體發(fā)白 原因分析： 1、由于在上一舟由于短路未鍍上膜，立即進(jìn)入爐管這樣因為溫度偏高，導(dǎo)致膜 厚偏大（一般整舟出現(xiàn)）； 2、還有可能是在運行過程出現(xiàn)各種報警，導(dǎo)致石墨舟在爐管里時間過長，也會 造成溫度異常，而造成膜厚偏厚； 3、在區(qū)PSG的時候片子沒有洗干凈，在后面會出現(xiàn)膜厚偏高，片子發(fā)白； 4、

3、鍍膜出來的片子膜厚正常，但是片子發(fā)白，用橢偏儀檢測后發(fā)現(xiàn)折射率偏高。 解決方法： 1、出現(xiàn)因短路造成沒鍍上膜的的片子（整舟出現(xiàn)）（需要工藝人員確認(rèn)），石 墨舟退出后，待石墨舟冷卻后再進(jìn)入爐管重新鍍膜； 2、當(dāng)機器出現(xiàn)報警時，工藝要做的就是把握片子在爐管的時間，要及時和設(shè)備 溝通，如果需要維修時間較長，可以將工藝關(guān)閉，讓設(shè)備手動取出舟，然后再讓 其維修； 3、當(dāng)發(fā)現(xiàn)去PSG沒有洗干凈時，立即將所有從去PSG留下的片子取回重新清洗， 在清洗前要檢查酸槽的濃度是否正常，如果不正常，建議重新?lián)Q酸后再清洗； 4、折射率偏低的片子， 4-1、先要檢查氣體流量是否被更改； 4-2、要及時檢查機器氣體流量是否

4、異常存不存在在工藝時氣體流量被關(guān)閉的現(xiàn) 象，如有，及時和設(shè)備溝通，維修機器； 4-3、如果氣體流量正常，可以請設(shè)備檢查氣體單向閥和流量計是否異常。 四、片子部分發(fā)白 現(xiàn)象：片子的某一部分呈白色，有規(guī)則的、位置相同的，有不規(guī)則的位置不相同的。 清洗后鍍膜后 原因分析：此為前面擴散工序在擴散過程中偏磷酸滴落在片子上導(dǎo)致 解決方法：前段在交接此等片子的時候，一定要通知PE工藝，如果沒有通知，發(fā)現(xiàn) 立即對此停做，片子返回前段工序，讓其返工。 不規(guī)則的，位置不相同的 規(guī)則的，位置相同的 原因分析：規(guī)則的一般是在同一邊，由于去PSG機器長時間的清洗，每一次提籃 可能都會帶走一些液體，導(dǎo)致槽內(nèi)的液位降低，當(dāng)

5、液位低至籃的最高位置時， 就會出現(xiàn)此種情況； 解決方法：先要找到是那臺機器存在問題，發(fā)現(xiàn)后立即對其加液，加滿后對此 酸的濃度進(jìn)行檢測，如正常，可正常生產(chǎn)，如酸濃度較低，得對此進(jìn)行酸液補 償 五、彩虹片 現(xiàn)象：片子的某一位置存在混合顏色的片子 原因分析：可能由于有部分碎片粘在硅片上、定位柱損壞、插片時未插到位、或 者由于其他原因?qū)е鹿杵暇植侩娏鬟^大都會造成彩虹片。 解決辦法： 插片要插到位，若發(fā)現(xiàn)定位柱有損傷，請立即通知工藝人員。 六、部分位置發(fā)黃片 現(xiàn)象：部分位置發(fā)黃，主要是片子的邊緣四周會出現(xiàn)發(fā)黃 原因分析： 1、由于插片時未到位或者在移動石墨舟過程中造成硅片與石墨片未完全接觸，會 造成部

6、分位置發(fā)黃； 2、石墨舟使用時間過長，舟的某些部位較臟，會出現(xiàn)一些色差片，會有此類片子 產(chǎn)生 解決辦法： 1、在產(chǎn)線員工插片前首先清除石墨舟里的碎片，插好片時要對石墨舟輕輕拍打，看 是否存在片子沒有卡到的現(xiàn)象，如有，及時調(diào)整，插片過程中，如有碎片，要及時 清理出，同時在上舟時要盡量保持舟和機械臂、漿的平穩(wěn)性。 2、當(dāng)出現(xiàn)此種色差片的時候，我們首先要做的是要統(tǒng)計其色差片的次數(shù)，如果超過 10pcs，我們就要對此舟進(jìn)行跟蹤： 一、檢查舟的使用次數(shù)，如果到了工藝規(guī)定的使用壽命，立即對其停用，對其清洗； 二、檢驗舟的插片情況，可能會存在新人作業(yè)，插片不到位導(dǎo)致色差，確認(rèn)無誤； 三、檢查片子在舟里的出處

7、，看是否為我們工藝造成的色差（這個需要重新用一個 好舟來驗證），如果是，及時調(diào)整； 四、也有可能為新洗舟沒有洗干凈導(dǎo)致，及時對其停用，重新清洗。 七、整體發(fā)黃 現(xiàn)象：整體發(fā)黃 1、硅片表面呈淡黃色； 2、硅片表面呈深黃色； 3、硅片表面黃色和其他顏色共存。 顏色共存 原因分析：由于工藝運行中出現(xiàn)各種報警、流量計堵塞、導(dǎo)致射頻停止，這樣鍍膜 不完全，會造成整舟出現(xiàn)發(fā)黃片。 解決辦法：與機器設(shè)備有關(guān)，如何解決各種報警信息（如高頻異常、真空異常、壓 力異常）等，廠商還未給出較好的答案，工藝要做的就是在發(fā)生問題的時候找到屬 于工藝自己的答案，交由設(shè)備處理，同時對1、2兩種情況的片子有興趣的話可以進(jìn) 行重新鍍膜。 重新鍍膜可以嘗試的方法： 用橢偏儀檢測發(fā)黃片子的膜厚： 1、如果在50nm左右可以直接放置在原先的管中運行至第5步，然后跳步至14步，開 始二次鍍膜； 2、如果檢測出來的膜厚超過50nm，譬如55nm，我們可以計算，原硅片的膜厚大概 在47nm左右，一次鍍膜后膜厚在50nm左右，我們以50nm為準(zhǔn)，那么根據(jù)我們所要得 到的膜厚85nm來計算，第二步鍍膜我們需要