光柵的工作原理

1、.光柵的工作原理常見(jiàn)光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。圖4-9是其工作原理圖。當(dāng)使指示光柵上的線紋與標(biāo)尺光柵上的線紋成一角度來(lái)放置兩光柵尺時(shí)，必然會(huì)造成兩光柵尺上的線紋互相交叉。在光源的照射下，交叉點(diǎn)近旁的小區(qū)域內(nèi)由于黑色線紋重疊，因而遮光面積最小，擋光效應(yīng)最弱，光的累積作用使得這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶。相反，距交叉點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域，因兩光柵尺不透明的黑色線紋的重疊部分變得越來(lái)越少，不透明區(qū)域面積逐漸變大，即遮光面積逐漸變大，使得擋光效應(yīng)變強(qiáng)，只有較少的光線能通過(guò)這個(gè)區(qū)域透過(guò)光柵，使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶。這些與光柵線紋幾乎垂直，相間出現(xiàn)的亮、暗帶就是莫爾條紋。莫爾條紋具有以下性質(zhì)：(1

2、) 當(dāng)用平行光束照射光柵時(shí)，透過(guò)莫爾條紋的光強(qiáng)度分布近似于余弦函數(shù)。(2) 若用W表示莫爾條紋的寬度，d表示光柵的柵距，表示兩光柵尺線紋的夾角，則它們之間的幾何關(guān)系為W=d/sin（415）當(dāng)角很小時(shí)，取sin，上式可近似寫(xiě)成W=d/ （416）若取d=0.01mm,=0.01rad，則由上式可得W=1mm。這說(shuō)明，無(wú)需復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)和電子系統(tǒng)，利用光的干涉現(xiàn)象，就能把光柵的柵距轉(zhuǎn)換成放大100倍的莫爾條紋的寬度。這種放大作用是光柵的一個(gè)重要特點(diǎn)。(3) 由于莫爾條紋是由若干條光柵線紋共同干涉形成的，所以莫爾條紋對(duì)光柵個(gè)別線紋之間的柵距誤差具有平均效應(yīng)，能消除光柵柵距不均勻所造成的影響。(4)

3、 莫爾條紋的移動(dòng)與兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)相對(duì)應(yīng)。兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距d，莫爾條紋便相應(yīng)移動(dòng)一個(gè)莫爾條紋寬度W，其方向與兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向垂直，且當(dāng)兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向改變時(shí)，莫爾條紋移動(dòng)的方向也隨之改變。圖4-9 光柵工作原理點(diǎn)擊進(jìn)入動(dòng)畫(huà)觀看光柵工作原理示意根據(jù)上述莫爾條紋的特性，假如我們?cè)谀獱枟l紋移動(dòng)的方向上開(kāi)4個(gè)觀察窗口A，B，C，D，且使這4個(gè)窗口兩兩相距14莫爾條紋寬度，即W4。由上述討論可知，當(dāng)兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)時(shí)，莫爾條紋隨之移動(dòng)，從4個(gè)觀察窗口A，B，C，D可以得到4個(gè)在相位上依次超前或滯后(取決于兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的方向)14周期(即2)的近似于余弦函數(shù)的光強(qiáng)度變化過(guò)程，

4、用La,Lb,LC,LD表示，見(jiàn)圖4-9(c)。若采用光敏元件來(lái)檢測(cè)，光敏元件把透過(guò)觀察窗口的光強(qiáng)度變化轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電壓信號(hào)，設(shè)為L(zhǎng)a,Lb,LC,LD。根據(jù)這4個(gè)電壓信號(hào)，可以檢測(cè)出光柵尺的相對(duì)移動(dòng)。1位移大小的檢測(cè)由于莫爾條紋的移動(dòng)與兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)是相對(duì)應(yīng)的，故通過(guò)檢測(cè)Va,Vb,Vc,Vd這4個(gè)電壓信號(hào)的變化情況，便可相應(yīng)地檢測(cè)出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)。Va,Vb,Vc,Vd每變化一個(gè)周期，即莫爾條紋每變化一個(gè)周期，表明兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)了一個(gè)柵距的距離；若兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)不到一個(gè)柵距，因Va,Vb,Vc,Vd是余弦函數(shù)，故根據(jù)Va,Vb,Vc,Vd之值也可以計(jì)算出其相對(duì)移動(dòng)

5、的距離。2位移方向的檢測(cè)在圖4-9(a)中，若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng)，指示光柵沿正方向移動(dòng)，這時(shí)，莫爾條紋相應(yīng)地沿向下的方向移動(dòng)，透過(guò)觀察窗口A和B，光敏元件檢測(cè)到的光強(qiáng)度變化過(guò)程La和Lb及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào)Va和Vb如圖4-10(a)所示，在這種情況下，Va滯后Vb的相位為2；反之，若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng)，指示光柵沿負(fù)方向移動(dòng)，這時(shí)，莫爾條紋則相應(yīng)地沿向上的方向移動(dòng)，透過(guò)觀察窗口A和B，光敏元件檢測(cè)到的光強(qiáng)度變化過(guò)程和及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào)Va和Vb如圖4-10(b)所示，在這種情況下，超前的相位為2。因此，根據(jù)Va和Vb兩信號(hào)相互間的超前和滯后關(guān)系，便可確定出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)方向。圖 4-

6、10 光柵的位移檢測(cè)原理圖圖 4-11 光柵信息處理線路框圖3速度的檢測(cè)兩光柵尺的相對(duì)移動(dòng)速度決定著莫爾條紋的移動(dòng)速度，即決定著透過(guò)觀察窗口的光強(qiáng)度的頻率，因此，通過(guò)檢Va,Vb,Vc,Vd的變化頻率就可以推斷出兩光柵尺的相對(duì)移動(dòng)速度。如前所述，當(dāng)兩光柵尺有相對(duì)位移時(shí)，光柵讀數(shù)頭中的光敏元件根據(jù)透過(guò)莫爾條紋的光強(qiáng)度變化，將兩光柵尺的相對(duì)位移即工作臺(tái)的機(jī)械位移轉(zhuǎn)換成了四路兩兩相差/2的電壓信號(hào)VA，VB，VC，VD，這四路電壓信號(hào)的變化頻率代表了兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)的速度；它們每變化一個(gè)周期，表示兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)了一個(gè)柵距；四路信號(hào)的超前滯后關(guān)系反映了兩光柵尺的相對(duì)移動(dòng)方向。但在實(shí)際應(yīng)用中，常常需要

7、將兩光柵尺的相對(duì)位移表達(dá)成易于辨識(shí)和應(yīng)用的數(shù)字脈沖量，因此，光柵讀數(shù)頭輸出的四路電壓信號(hào)還必須經(jīng)過(guò)進(jìn)一步的信息處理，轉(zhuǎn)換成所需的數(shù)字脈沖形式。圖4-11 光柵信息處理線路框圖圖4-11給出了一種用于光柵信息處理的線路框圖。它由三個(gè)部分組成，即放大環(huán)節(jié)、整形環(huán)節(jié)和鑒向倍頻線路。1、放大與整形放大與整形環(huán)節(jié)與一般系統(tǒng)中采用的原理及結(jié)構(gòu)無(wú)多大差別，主要是用以求得電壓與功率的圖4-11光柵信息處理線路框圖放大以及波形的規(guī)整。這里的放大環(huán)節(jié)主要采用的是差動(dòng)放大器，以抑制各種共模干擾信號(hào)的影響及矯正因光柵尺和光柵讀數(shù)頭的機(jī)械誤差造成的光柵讀數(shù)頭輸出信號(hào)的相位誤差，經(jīng)過(guò)放大環(huán)節(jié)后，VA，VB，VC，VD(其

8、初相位分別對(duì)應(yīng)于圖4-11中的0，/2，和3/2)四路電壓信號(hào)變成兩路，一路其初相位和頻率同VA一樣，一路同VB一樣，分別記為VA和VB(對(duì)應(yīng)于圖4-11中放大環(huán)節(jié)輸出的0和/2)。整形環(huán)節(jié)采用的是電壓比較器，其作用是將VA和VB轉(zhuǎn)換成同頻率同相位的兩路方波信號(hào)A和B(分別對(duì)應(yīng)于圖4-11中的sin和cos)，見(jiàn)圖4-12。電壓比較器可選用LM311。圖4-12 整形環(huán)節(jié)信號(hào)輸入輸出關(guān)系2、鑒向倍頻顧名思義，鑒向倍頻線路的功能有兩個(gè)：一是鑒別方向，即根據(jù)整形環(huán)節(jié)輸出的兩路方波信號(hào)A和B的相位關(guān)系確定出工作臺(tái)的移動(dòng)方向；二是將A和B兩路信號(hào)進(jìn)行脈沖倍頻，即將圖4-13鑒向倍頻線路框圖一個(gè)周期內(nèi)的

9、一個(gè)脈沖(方波)變?yōu)樗膫€(gè)脈沖，這四個(gè)脈沖兩兩相距1/4周期。因一個(gè)周期內(nèi)的一個(gè)脈沖表示工作臺(tái)移動(dòng)了一個(gè)柵距，這一個(gè)周期內(nèi)的四個(gè)脈沖中的每一個(gè)則表示了工作臺(tái)移動(dòng)了1/4柵距，這樣就提高了光柵測(cè)量裝置的分辨率。圖4-13是鑒向倍頻線路的框圖，圖中實(shí)現(xiàn)四倍頻的線路如圖4-14所示，其波形圖見(jiàn)圖4-15。這種倍頻線路產(chǎn)生的脈沖信號(hào)與時(shí)鐘CP同步，應(yīng)用比較方便，工作也十分可靠。在該四倍頻線路中，時(shí)鐘脈沖信號(hào)的頻率要遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于方波信號(hào)A和B的頻率以減少倍頻后的相移誤差。此外，從圖4-15也可以看出，真正實(shí)現(xiàn)四倍頻，M1M2M3和M4還需要“或”起來(lái)，這將由鑒向線路來(lái)完成。圖4-13 鑒相倍頻線路框圖圖4-1

10、4 四倍頻線路邏輯圖圖4-15 四倍頻線路波形圖圖4-16是鑒向線路圖，它實(shí)際上是由一個(gè)雙“四選一”線路所組成。雙“四選一”線路有專用的集成電路。如74LS153，其真值表見(jiàn)表4-2。圖4-16 鑒向線路圖表4-2 雙“四選一”線路真值表數(shù) 據(jù) 選 則輸 出ENB ENA y0 0 y=C00 1y=C11 0 y=C21 1y=C3如果我們用1y表示正向脈沖輸出端，2y表示反向脈沖輸出端，根據(jù)雙“四選一”線路的真值表，可以得到1y和2y的表達(dá)式：（417）（418）由上式可畫(huà)出方波A滯后于B(即工作臺(tái)正向移動(dòng))和A超前于B(即工作臺(tái)反向移動(dòng))時(shí)波形圖如圖4-17所示。由圖中可以看出：工作臺(tái)正向移