新建廠房項(xiàng)目投資立項(xiàng)申請報告

1目錄1申報單位概況12項(xiàng)目建設(shè)背景和必要性23項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)34工程建設(shè)方案35消防56環(huán)保67勞動安全和職業(yè)衛(wèi)生68節(jié)能措施89工程實(shí)施計劃910投資規(guī)模和資金籌措911項(xiàng)目主要指標(biāo)1012需要說明的內(nèi)容1011申報單位概況1申報單位11企業(yè)名稱12企業(yè)性質(zhì)有限公司13公司地址上海市浦東14法人代表15注冊資金公司注冊資本4940萬元人民幣。16公司經(jīng)營目的、經(jīng)營范圍和主導(dǎo)產(chǎn)品公司主要從事微電子裝備的開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)，經(jīng)營本企業(yè)自產(chǎn)產(chǎn)品的出口業(yè)務(wù)和本企業(yè)所需要的機(jī)械設(shè)備、零配件、原輔材料的進(jìn)口業(yè)務(wù)。17經(jīng)營期限經(jīng)營期限自2007年08月03日至2022年03月06日18建設(shè)單位簡介（以下簡稱公司），成立于2002年6月，是由上海電氣（集團(tuán)）總公司、上?？萍纪顿Y公司、上海工業(yè)投資公司等多家單位投資組建的有限責(zé)任公司。公司憑借上海電氣（集團(tuán)）總公司豐富的機(jī)、電、儀設(shè)計、制造能力，集中了光學(xué)、精密機(jī)械、精密控制、軟件方面從事微電子裝備研究的團(tuán)隊，進(jìn)行微電子裝備的研究、開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化制造。公司承擔(dān)了國家科技部“十五”、“十一五”重大技術(shù)專項(xiàng)（國家集成電路光刻設(shè)備項(xiàng)目）等任務(wù)。公司現(xiàn)有占地面積384545平方米，已建建筑和目前另設(shè)項(xiàng)目正在建設(shè)的“新建工業(yè)中試研發(fā)樓”建筑面積合計256375平方米。公司現(xiàn)有職工人數(shù)約500人，其中具有中高級技術(shù)職稱的技術(shù)人員和管理人員約460人，技術(shù)工人約40人。22項(xiàng)目建設(shè)背景和必要性高端光刻機(jī)是微電子裝備中系統(tǒng)最復(fù)雜、技術(shù)難度最大、單臺價值最高、國外限制最嚴(yán)的關(guān)鍵設(shè)備，目前世界上僅有荷蘭和日本等少數(shù)國家具備制造高端光刻機(jī)的能力，且僅有三家公司制造高端光刻機(jī)。高端光刻機(jī)融合了精密光學(xué)、精密機(jī)械、精密控制、計算機(jī)軟件、精密測量、特種材料、微環(huán)境控制等科技領(lǐng)域的最新成就，代表了高科技制造領(lǐng)域的最高水平。自成立以來，一直致力于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的投影光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，公司產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于IC制造與先進(jìn)封裝、MEMS、TSV/3D、TFTOLED等制造領(lǐng)域。公司自主研發(fā)的首臺高端封裝步進(jìn)投影式光刻機(jī)已經(jīng)交付客戶使用，成為國內(nèi)唯一的一家具備步進(jìn)投影式光刻機(jī)研發(fā)、制造、集成、調(diào)試能力的企業(yè)，也是世界上為數(shù)不多的掌握此類產(chǎn)品開發(fā)制造的企業(yè)之一。OLED是一種新型平板顯示技術(shù)，具有自發(fā)光、清晰亮麗、輕薄、響應(yīng)速度快、視角寬、低功耗、操作溫度范圍大等特點(diǎn)，已被公認(rèn)為最理想的顯示技術(shù)。按照發(fā)光方式的不同，可將OLED分為被動矩陣OLED（PMOLED）和主動矩陣OLED（AMOLED）兩大類。PMOLED易于制造，但是它需要外部電路，因此耗電量大于其他類型的OLED。AMOLED具有完整的陰極層、有機(jī)分子層以及陽極層，但陽極層覆蓋著一個薄膜晶體管（TFT）陣列，形成一個矩陣。TFT陣列本身就是一個電路，能決定哪些像素發(fā)光，進(jìn)而決定圖像的構(gòu)成。AMOLED的耗電量低于PMOLED，因而AMOLED適合用于大型顯示屏。AMOLED還具有更高的刷新率，適于顯示視頻。目前OLED已逐漸擁有手機(jī)、MP3、汽車顯示器這些小尺寸顯示的市場。未來大尺寸顯示市場，如筆記本電腦、電視機(jī)等將成為OLED主要的應(yīng)用領(lǐng)域。此外，下一代OLED照明開發(fā)正方興未艾。公司和上海大學(xué)已經(jīng)進(jìn)行了一年的緊密合作，200MMX200MM中試線用光刻機(jī)將于2010年12月交付“上海大學(xué)平板顯示工程中心”使用，是最具有先行啟動25代和45代AMOLED光刻機(jī)設(shè)備開發(fā)條件的企業(yè)。與其他國家的競爭對手相比較，占據(jù)了明顯的地緣優(yōu)勢，能夠?yàn)閲?內(nèi)AMOLED面板生產(chǎn)企業(yè)提供快速響應(yīng)、優(yōu)廉的技術(shù)支持服務(wù)，對于降低用戶的使用維護(hù)成本具有重要意義。公司的劣勢主要在于進(jìn)入平板顯示器市場相對較晚，競爭對手已經(jīng)具備一定數(shù)量的裝機(jī)量，在市場上享有更高的知名度。為進(jìn)一步增強(qiáng)公司平板顯示器用光刻機(jī)的研發(fā)能力和制造水平、擴(kuò)大研發(fā)和生產(chǎn)場地面積，公司經(jīng)董事會決議批準(zhǔn)，將實(shí)施本項(xiàng)目新建廠房建設(shè)。本項(xiàng)目僅含廠房土建和一般機(jī)電工程，未來將由公司視發(fā)展需要另行安裝研發(fā)和生產(chǎn)工藝設(shè)備。3項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)位于上海市浦東張江高科技園，公司現(xiàn)有場地內(nèi)。基地北臨金秋路、西臨張東路，東側(cè)和南側(cè)為其他公司用地。公司毗鄰地鐵二號線，北入連接內(nèi)環(huán)線和浦東國際機(jī)場的重要通道龍東大道，西臨連接內(nèi)環(huán)線和外環(huán)線的主干道路羅南大道，交通網(wǎng)線發(fā)達(dá)，距浦東國際機(jī)場僅需30分鐘，至國際博覽中心、陸家嘴金融貿(mào)易中心、東方明珠、金茂大廈等都十分便捷。4工程建設(shè)方案41總圖規(guī)劃公司用地總面積384545平方米，在基地北側(cè)金秋路、西側(cè)張東路分別開有主、次出入口，基地內(nèi)已建有一座生產(chǎn)廠房和一座辦公研發(fā)樓，基地東南角為另設(shè)項(xiàng)目在建的工業(yè)中試研發(fā)樓。本項(xiàng)目新建廠房位于現(xiàn)有生產(chǎn)廠房北側(cè)，與現(xiàn)有廠房間距1185米。新建廠房占地面積約2714平方米，總建筑面積119763平方米。新建廠房與現(xiàn)有建筑之間間距符合規(guī)劃部門的要求，廠區(qū)布局較為緊湊，為方便人流、貨流的出入，廠區(qū)道路均為環(huán)網(wǎng)狀布局，最小轉(zhuǎn)彎半徑為6米，最小寬度為40米，以滿足消防道路的要求，方便人流，貨流的出入。新建廠房利用基地內(nèi)預(yù)留土地面積建設(shè)，工程建設(shè)完成后總圖各項(xiàng)指標(biāo)滿足規(guī)劃要求。總圖主要經(jīng)濟(jì)和技術(shù)指標(biāo)序號名稱單位原有和在建本期完整項(xiàng)目41基地總面積M23845453845453845452建筑總占地面積M210222827141293683總建筑面積M2256375123273792794建筑密度3365容積率0986綠化率4877集中綠化率32242建筑新建廠房為混凝土結(jié)構(gòu)，整棟建筑由677米（長）35米（寬）的四層車間/倉庫和81米（長）36米（寬）的七層支持輔助用房組成。一層車間為千級潔凈車間，主要是為光刻機(jī)的總裝集成，由于設(shè)備總高達(dá)4米，重約12T，加上橋式起重機(jī)和凈化系統(tǒng)，為此層高達(dá)96米，二層和三層車間層高各高5米，為萬級潔凈車間；四層層高4米，為潔凈倉庫。七層的支持輔助用房內(nèi)設(shè)有員工餐廳、衛(wèi)生生活設(shè)施、休息區(qū)、備品備件、設(shè)備維修等生產(chǎn)支持輔助等面積。新建廠房總建筑面積119763平方米。43給排水本項(xiàng)目暫無生產(chǎn)用水，預(yù)計新增生活用水量12M3/D，由廠區(qū)原有室外供水管網(wǎng)供應(yīng)。生活排水系統(tǒng)采用污廢水分流，設(shè)置伸頂透氣閥，生活污廢水經(jīng)化糞池處理后排入廠區(qū)原有排水系統(tǒng)。循環(huán)水系統(tǒng)補(bǔ)水由廠內(nèi)現(xiàn)有室外供水管網(wǎng)提供。新建廠房內(nèi)，除IT機(jī)房、衛(wèi)生間、配電間、動力設(shè)備房外，其他場所均安裝自動噴淋系統(tǒng)；各層均設(shè)室內(nèi)消火栓保護(hù)；各機(jī)房、走廊和固定人員值班場所，按規(guī)范要求配備手提式滅火器。廠區(qū)內(nèi)已建有消防泵房，本項(xiàng)目的室內(nèi)外消火栓由原消防泵房內(nèi)消火栓泵供應(yīng)（穩(wěn)高壓，無需另設(shè)屋頂水箱），項(xiàng)目室內(nèi)噴淋系統(tǒng)通過原消防泵房內(nèi)的噴淋泵供應(yīng)（穩(wěn)高壓，無需另設(shè)屋頂水箱）。44空調(diào)、凈化和通風(fēng)千級潔凈室氣流組織采用上送下側(cè)回，萬級潔凈室氣流組織采用上送上回。各層車間內(nèi)采用風(fēng)冷熱泵空調(diào)系統(tǒng)，室內(nèi)機(jī)為吊頂式空調(diào)處理機(jī)組加高效過濾器，室外機(jī)放置于車間屋面；新風(fēng)采用新風(fēng)處理機(jī)組，與吊頂式空氣處理機(jī)組共用室外機(jī)，新風(fēng)由新風(fēng)機(jī)房外側(cè)墻百葉引入。生產(chǎn)輔助區(qū)域和行政生活區(qū)域采用變頻多聯(lián)空調(diào)系統(tǒng)，室內(nèi)機(jī)為四面出風(fēng)5式空調(diào)，室外機(jī)放置于屋面，新風(fēng)采用全熱交換式換氣機(jī)，新風(fēng)由側(cè)墻百葉引入。車間內(nèi)安裝集中排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)機(jī)安裝于車間屋頂。衛(wèi)生間按10次/小時換氣次數(shù)設(shè)計機(jī)械排風(fēng)，采用排風(fēng)扇將空氣排至室外。45電氣預(yù)計新建廠房內(nèi)未來可能的工藝、測試和研發(fā)設(shè)備用電量約1000KW，其他包括照明、插座300KW，空調(diào)凈化和動力1200KW，給排水系統(tǒng)300KW，新建廠房預(yù)計用電量2800KW。項(xiàng)目用電由公司現(xiàn)有10KV系統(tǒng)提供。低壓配電采用樹干式與放射式相結(jié)合的形式，干線電纜沿橋架敷設(shè)，引至配電箱時局部穿鋼管保護(hù)。車間、行政生活區(qū)、生產(chǎn)輔助區(qū)均采用嵌入式霧面隔柵熒光燈具；在主要出入口及主要通道設(shè)疏散指示及誘導(dǎo)照明，應(yīng)急放電時間不小于90分鐘。5消防廠區(qū)內(nèi)主要單體建筑四周均設(shè)有環(huán)形消防車道，建筑之間的距離均控制在10米以上。設(shè)室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)和室內(nèi)自動噴淋系統(tǒng)，消火栓及噴淋給水系統(tǒng)為與生活供水系統(tǒng)分開的獨(dú)立系統(tǒng)，消防系統(tǒng)采用穩(wěn)高壓給水系統(tǒng)。消防泵房為廠區(qū)內(nèi)現(xiàn)有，消防設(shè)備為雙電源供電，消防水泵日常為電動泵做為應(yīng)急備用。室內(nèi)設(shè)應(yīng)急照明，應(yīng)急照明燈具內(nèi)自帶蓄電池，應(yīng)急時間不小于90分鐘。在建筑的主要出入口處、疏散走道、樓梯間設(shè)置誘導(dǎo)標(biāo)志燈作為疏散照明，其地面照度值不低于1LX，疏散路線上的誘導(dǎo)標(biāo)志燈帶方向指示，出口的誘導(dǎo)標(biāo)志燈安裝在門的上方，誘導(dǎo)標(biāo)志燈帶蓄電池，應(yīng)急時間不小于90分鐘?？照{(diào)凈化系統(tǒng)的風(fēng)管采用不燃材料鍍鋅鋼板制作。冷熱水的保溫材料采用難燃閉孔橡塑海綿材料；凝結(jié)水管道的保溫材料采用不燃離心玻璃棉保溫管殼。風(fēng)管穿越防火分區(qū)隔墻處、穿越空調(diào)機(jī)房隔墻或樓板處、垂直風(fēng)管與每層水平風(fēng)管支接處等均設(shè)防火閥，并與該系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖，防火閥關(guān)閉則風(fēng)機(jī)停運(yùn)，防火閥也可根據(jù)消防中心發(fā)出的信號動作。防火閥可在70度時自動關(guān)閉。廠房生產(chǎn)車間設(shè)置排煙系統(tǒng)，排煙量按照每平方米60立方米/小時設(shè)計；6靠外墻的房間采用自然排煙，設(shè)置不小于房間面積2的可開啟外窗。6環(huán)保本項(xiàng)目不涉及生產(chǎn)工藝，其影響環(huán)境的主要因素為生活污水、固體廢料和廢物、工業(yè)噪聲等各種污染。61生活污水項(xiàng)目建成使用后，生活污廢水排放量為10立方米/天，生活排水系統(tǒng)采用污廢水分流，設(shè)置伸頂透氣閥，生活污廢水經(jīng)化糞池處理后排入廠區(qū)原有排水系統(tǒng)。62噪聲治理本項(xiàng)目除優(yōu)選低噪聲設(shè)備外，通過合理布局，集中控制人機(jī)分離，建筑設(shè)計等綜合防治措施，確保作業(yè)場所噪聲控制在85DB，廠界噪聲達(dá)到類標(biāo)準(zhǔn)。63固體廢物處理與利用本項(xiàng)目中固體廢物有廢棄包裝材料、廢棄封裝材料和生活垃圾等。根據(jù)固體廢物性質(zhì)及其可利用資源的情況，進(jìn)行分類處置與利用，防止流失，造成二次污染。生活垃圾及污泥（渣）委托環(huán)衛(wèi)部門集中處置。7勞動安全和職業(yè)衛(wèi)生在廠房建設(shè)期間將充分考慮到用戶的實(shí)際使用情況，根據(jù)國家和地方政策及相關(guān)專業(yè)規(guī)范，設(shè)置相應(yīng)的勞動保護(hù)和衛(wèi)生設(shè)施。71勞動安全本項(xiàng)目在組織生產(chǎn)經(jīng)營活動中主要安全因素涉及電氣系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝技術(shù)裝備、作業(yè)運(yùn)行與勞動防護(hù)等方面。72作業(yè)安全定期做好設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)，保證設(shè)備安全運(yùn)行。按作業(yè)工種配置勞防用品，安全生產(chǎn)。企業(yè)員工嚴(yán)格按各自崗位及作業(yè)規(guī)程、質(zhì)量管理和環(huán)境管理要求作業(yè)。定期開展安全教育，提高員工安全意識，并在生產(chǎn)過程中及時報告設(shè)備運(yùn)行過程中異常現(xiàn)象及其他隱患，及時采取糾正措施，防止意外事故的發(fā)生。773設(shè)備安全采取空壓機(jī)集中供氣方式，人機(jī)分離，設(shè)置空壓機(jī)站房?？諌簷C(jī)、壓力容器及送氣系統(tǒng)符合設(shè)備安全標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)計規(guī)范。放氣閥出口設(shè)置氣流消聲器。74電氣安全防雷和接地電氣系統(tǒng)采用接零保護(hù)，變壓器中性點(diǎn)、電氣設(shè)備外殼等均接地可靠。電阻4歐姆，高壓母線上設(shè)置避雷器。建筑物按其相應(yīng)類別防雷標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)置避雷裝置，接地電阻4歐姆。照明線路采用BV型絕緣導(dǎo)線、鋼管保護(hù)暗敷，外保護(hù)鋼管接地電阻4歐姆。動力線路布局及走線合理在動力線路中采用橋架鋪設(shè)部分，走線合理，符合電氣設(shè)計規(guī)范，安全可靠，維護(hù)方便。強(qiáng)化電氣安全管理，持證上崗，定期培訓(xùn)。嚴(yán)格執(zhí)行維護(hù)保養(yǎng)規(guī)定，使電氣系統(tǒng)處于良好的運(yùn)行狀態(tài)。75職業(yè)衛(wèi)生主要職業(yè)衛(wèi)生因素為照明、空調(diào)通風(fēng)、噪聲及生活設(shè)施配置。按工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)及有關(guān)規(guī)定，進(jìn)行工程設(shè)計，符合衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。751照明按衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)、工藝要求和建筑設(shè)計通則規(guī)定，以及工藝要求選擇照度標(biāo)準(zhǔn)。752空調(diào)和通風(fēng)在生產(chǎn)區(qū)、辦公生活區(qū)、動力支持區(qū)分別安裝空調(diào)或通風(fēng)系統(tǒng)，既滿足將來高端汽車燈裝配生產(chǎn)需要，又保證職工工作環(huán)境相對舒適?？照{(diào)區(qū)域保證一定的新風(fēng)量和換氣次數(shù)。753噪聲控制本項(xiàng)目生產(chǎn)過程并無較大的噪聲源。對產(chǎn)生較大噪聲的動力設(shè)備如空調(diào)機(jī)組、風(fēng)機(jī)等，考慮消聲降噪措施。與生產(chǎn)區(qū)域間隔墻采用吸音材料，同時采用消聲減噪措施。76生活設(shè)施8按企業(yè)員工編制及性別比例和相關(guān)規(guī)范，合理配置生活設(shè)施廁所、休息室及配備相應(yīng)設(shè)備。工作場所設(shè)開水供應(yīng)點(diǎn)，女工集中的區(qū)域設(shè)置女工衛(wèi)生間，在生產(chǎn)車間內(nèi)設(shè)置一定的休息場所，以利消除工人因長時間操作的疲勞。車間內(nèi)設(shè)置人、貨分流、安全行走路線，設(shè)置行走指示牌。廠內(nèi)明確規(guī)范的安全生產(chǎn)制度，并設(shè)專人負(fù)責(zé)管理實(shí)施。8節(jié)能措施81建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)屋面部分根據(jù)公共建筑節(jié)能設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，屋面?zhèn)鳠嵯禂?shù)K07W/M2K，混凝土屋面采用不小于40厚的擠塑型聚苯乙烯保溫板；輕鋼屋面設(shè)保溫層，采用75厚擠塑型聚苯乙烯保溫板。外墻部分根據(jù)公共建筑節(jié)能設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，外墻傳熱系數(shù)K10W/M2K，采用30厚保溫砂漿，內(nèi)面抹灰為20厚保溫砂漿；彩鋼板外墻采用50厚彩鋼夾芯板。地面及地下室外墻（與土壤相接觸的墻）根據(jù)公共建筑節(jié)能設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，采用30厚耐水?dāng)D塑型聚苯乙烯保溫板。外窗采用保溫及密封性能好的半隱框玻璃幕墻窗。可以滿足國家規(guī)范要求82凈化、空調(diào)和動力節(jié)能設(shè)計凈化、空調(diào)、采暖和通風(fēng)在滿足使用條件下，經(jīng)濟(jì)地確定環(huán)境參數(shù)以利節(jié)能；按建筑物使用功能與各層面分區(qū)布置情況采取自然通風(fēng)、機(jī)械通風(fēng)、分散與集中空調(diào)系統(tǒng)相結(jié)合等多種方式調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度，節(jié)約用電?？照{(diào)系統(tǒng)設(shè)計充分利用室內(nèi)循環(huán)風(fēng)，減少系統(tǒng)的冷熱負(fù)荷。并根據(jù)室外氣溫及室內(nèi)負(fù)荷變化采用自動控制調(diào)節(jié)冷、熱量以利節(jié)省能耗。對工藝生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的排風(fēng)系統(tǒng)與新風(fēng)系統(tǒng)間設(shè)置熱交換裝置，利用工藝排風(fēng)對空調(diào)新風(fēng)進(jìn)行一次熱交換，將排風(fēng)中的熱量回收后再排掉，可減少空調(diào)系統(tǒng)加熱量。保溫冷媒、熱媒的輸送管道、空調(diào)凈化風(fēng)管、風(fēng)道均進(jìn)行良好的保溫，減少冷9熱能耗。選用保溫性能好的保溫材料，如離心玻璃棉、橡塑海綿保溫材料?？照{(diào)房間圍護(hù)結(jié)構(gòu)采取保溫措施，以降低能量消耗。選用節(jié)能設(shè)備所有空調(diào)器、風(fēng)機(jī)等均采用高效率節(jié)能設(shè)備。新風(fēng)空調(diào)機(jī)、接工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)均采用變頻風(fēng)機(jī)，可根據(jù)工藝生產(chǎn)的實(shí)際情況對風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速進(jìn)行調(diào)節(jié)。空調(diào)系統(tǒng)均設(shè)有溫濕度傳感器等，并采用自動控制，以節(jié)約冷熱量。83電氣節(jié)能設(shè)計照明系統(tǒng)采用高效節(jié)能型熒光燈具配電子鎮(zhèn)流器，提高光效，降低能耗。優(yōu)選低噪聲節(jié)能型生產(chǎn)設(shè)備和動力設(shè)備，合理能源配置。84其他節(jié)能措施選用節(jié)水型衛(wèi)生潔具及配水件衛(wèi)生間坐便器采用節(jié)水型6L坐便器，便器水箱建議采用兩檔型，蹲便器采用腳踏式延時開關(guān)；衛(wèi)生間小便器采用感應(yīng)式小便器沖洗閥；洗手盆龍頭采用陶瓷芯感應(yīng)式龍頭；其他潔具和五金配件均采用節(jié)水型產(chǎn)品。85選用節(jié)能設(shè)備在選用工程所需機(jī)電設(shè)備時，充分考慮和比較同類型設(shè)備的效率、能耗等經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)，合理布置，以確保工藝的先進(jìn)及運(yùn)行能耗的最低