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查找故障 故障現象 檢查 操作 系統(tǒng)通電時，LED沒有閃爍0.5秒 電源是否出現故障 確保電源已打開并且保險絲（及限流設備）未松開。 發(fā)送并行“啟動”命令后泵不旋轉 檢查電源是否打開并且故障輸出是否活動 如果有故障信號，應檢查橙色狀態(tài)LED是否閃爍。如果出現閃爍，則應參見章節(jié)5.5.1.如果電源已打開、沒有故障信號并且轉軸任然不旋轉，則表示泵出現故障。 發(fā)送串行“啟動”命令后泵不旋轉 檢查泵是否回復“啟動”命令 如果沒有回復，則應檢查串行通信鏈接是否通電并且“串行啟用”是否激活以及電源是否打開。檢查橙色狀態(tài)LED是否閃爍。 泵在多站模式下不響應 檢查是否啟用多站模式 確保泵有多站地址并且使用多站協議發(fā)送命令。 橙色狀態(tài)LED閃爍錯誤代碼 注意每個序列6下閃爍中長閃爍的位置，以解讀錯誤代碼。 查閱相關錯誤代碼并按照所提供的說明進行操作 運行時額定LED不亮或泵沒有以全速旋轉或泵出現故障 入口壓力是否過高？ 如果是這樣，應減小抽取負載或檢查系統(tǒng)是否有大泄漏。 泵運行時是否太熱？ 增加泵的冷卻?？赡苄枰獜耐L冷卻變成水冷?？赡苄枰龃罄鋮s水流量或降低水溫或同時采取這兩種措施。檢查外部熱源確保沒有輻射過多熱量。 轉軸旋轉是否順暢？ 如果不是，泵軸承可能已損壞。 無法達到極限壓力 壓力是否因水蒸氣而受限？ 烘烤系統(tǒng)和泵。 是否任何真空壓力表有污物？ 如果是這樣，應清潔或更換。 抽取速度是否不足（由于泵和壓力表接觸不良或中間有太大的腔）？ 使其接觸良好或減小體積。 層間入口壓力是否0.5mbar(50pa) 如果層間入口壓力太大，渦輪分子泵上的入口壓力會增大；應確保層間入口壓力10mbar? 如果是這樣，前級壓力可能太大。檢查后備管道是否有泄漏。如果對處理能力要求較高，則可能需要更大的后備泵。 系統(tǒng)的高真空區(qū)域是否有污物？ 如果是這樣，應清潔高真空系統(tǒng)。 檢查系統(tǒng)的其它部分是否有泄漏或污物。 如果發(fā)現有，則應修補泄漏處并清除污物。 泵噪音很大或振動過大或兩種情況同時出現 泵轉速與所連接系統(tǒng)的共振頻率是否相同？ 如果是這樣，則應更改系統(tǒng)的固有頻率或使用活動風箱隔離泵。 震動是從轉動的后備泵傳遞過來的嗎？ 如果是這樣，則應在后備線路中安裝活動風箱或隔振器。 噪音是不是不規(guī)則并且越

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