集成電路工藝認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)報(bào)告

集成電路工藝認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)報(bào)告1. 專題一 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）工藝認(rèn)識(shí)1.1 重慶大學(xué)微系統(tǒng)研究中心概況重慶微光機(jī)電工程技術(shù)研究中心依托于重慶大學(xué)，主要合作單位有中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所等。中心主要從事MEMS設(shè)計(jì)、研發(fā)及加工關(guān)鍵技術(shù)研究、產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化和人才培養(yǎng)。中心建立了面向西南地區(qū)的“MEMS器件及系統(tǒng)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)聯(lián)合開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，擁有國(guó)際先進(jìn)的MEMS和CMOS電路設(shè)計(jì)及模擬軟件，MEMS傳感器及微型分析儀器的組裝和測(cè)試設(shè)備。1.2主要研究成果 真空微電子壓力傳感器、集成真空微電子觸覺(jué)傳感器、射頻微機(jī)械無(wú)源元件、硅微低電壓生化分析系統(tǒng)、折衍混合集成微小型光譜分析儀器、全集成硅微二維加速度傳感器、集成硅微機(jī)械光壓力傳感器、硅微加速度陣列傳感器、硅微力平衡電容式加速度傳感器、反射式混合集成微型光譜分析系統(tǒng) 、微型振動(dòng)式發(fā)電機(jī)系統(tǒng)、真空微電子加速度傳感器1.3微系統(tǒng)中心主要設(shè)備簡(jiǎn)介1.3.1. 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)主要用途：對(duì)單晶硅、多晶硅、二氧化硅、氮化硅等薄膜進(jìn)行干法刻蝕。1.3.2雙面光刻機(jī)主要用途：可進(jìn)行雙面光刻、鍵合預(yù)對(duì)準(zhǔn)。1.3.3. 鍵合機(jī)主要功能：可進(jìn)行陽(yáng)極鍵合，硅硅鍵合、共熔鍵合等。1.3.4.探針臺(tái)主要功能：可用于微電子微機(jī)電系統(tǒng)測(cè)試。1.3.5. 等離子去膠機(jī)主要功能：用于干法去除光刻膠，去除基片殘膠，掃底膜工藝。 1.3.6. 旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要功能：用于硅片、掩模板等的高潔凈度沖洗甩干。1.3.7. 氧化擴(kuò)散爐主要功能：用于擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。 1.3.8. 低壓化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)主要功能：用于淀積多晶硅、二氧化硅、氮化硅等薄膜材料。 1.3.9. 臺(tái)階儀主要功能：用于微槽及微結(jié)構(gòu)的深度/高度測(cè)量。 1.3.10. 光學(xué)三維形貌測(cè)試儀主要功能：微結(jié)構(gòu)三維形貌測(cè)量1.3.11. 膜厚測(cè)試儀主要功能：用于二氧化硅、氮化硅等透明薄膜的厚度檢測(cè)。 1.3.12. 感應(yīng)耦合等離子體（ICP）刻蝕機(jī)主要功能：對(duì)硅片進(jìn)行干法深刻蝕 1.3.13. 箱式真空鍍膜機(jī)主要功能：用于在在4英寸圓晶上生長(zhǎng)金屬薄膜以及化合物半導(dǎo)體等。1.3.14. 槽式兆聲清洗機(jī)主要功能： 用于清除樣片表面附著的污染和顆粒，清洗拋光，對(duì)樣片無(wú)損傷。1.3.15.射頻等離子體系統(tǒng)主要功能： 用于清除樣片表面附著的有機(jī)污染、光刻膠的去除及硅片表面的活化等。1.4 MEMS的主要特點(diǎn)體積小，重量輕，材料省，能耗低；完整的MEMS一般是由微動(dòng)力源、微致動(dòng)器、微傳感器組成，智能化程度高，集成度高；MEMS整體慣性小，固有頻率高，響應(yīng)快，易于信號(hào)實(shí)時(shí)處理；由于采用光刻、LIGA等新工藝，易于批量生產(chǎn)，成本低；MEMS可以達(dá)到人手難于達(dá)到的小空間和人類(lèi)不能進(jìn)入的高溫，放射等惡劣環(huán)境，靠MEMS的自律能力和對(duì)微機(jī)械群的遙控，可以完成宏觀機(jī)械難于完成的任務(wù)。1.5 MEMS器件的應(yīng)用 1.5.1工業(yè)自動(dòng)控制領(lǐng)域 應(yīng)用MEMS器件對(duì)“溫度、壓力、流量”三大參數(shù)的檢測(cè)與控制，目前普遍采用有微壓力、微流量和微測(cè)溫器件 1.5.2生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域 微型血壓計(jì)、神經(jīng)系統(tǒng)檢測(cè)、細(xì)胞組織探針和生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)，并證實(shí)MEMS器件具有再生某些神經(jīng)細(xì)胞組織的功能。 1.5.3光電領(lǐng)域 Agere公司推出業(yè)界首款三維MEMS系統(tǒng)。該系統(tǒng)由微鏡像開(kāi)關(guān)、驅(qū)動(dòng)器芯片等系列器件構(gòu)成，集光、電、微機(jī)械和微封裝于一體MEMS器件應(yīng)用于數(shù)字光處理器件（DLP）。日本航空電子研究所的OADH元件使用于DMDW通信系統(tǒng)中，用于篩選出某個(gè)波長(zhǎng)信號(hào)或者迭加信號(hào)。 1.5.4生活家庭領(lǐng)域 汽車(chē)安全氣囊、汽車(chē)用各種參數(shù)檢測(cè)中的微傳感器、游戲機(jī)系統(tǒng)均采用MEMS器件。 1.5.5軍工領(lǐng)域 射頻元器件燃料電池制導(dǎo)彈藥電子引信仿生機(jī)器生物微飛行器微納衛(wèi)星2專題二 高壓阻尼線、水溫傳感器、點(diǎn)火線圈生產(chǎn)工藝認(rèn)識(shí) 2.1重慶棟能汽車(chē)電子有限公司概況略2.2高壓阻尼線工藝流程：2.2.1下線（根據(jù)汽車(chē)型號(hào)）2.2.2穿針2.2.3鉚接2.2.4裝箱2.3水溫傳感器2.3.1原理水溫傳感器是一個(gè)負(fù)溫度系數(shù)的熱敏電阻，熱敏電阻式溫度傳感器的主要部件是熱敏元件，在熱敏元件的兩個(gè)端面各引出一個(gè)電極，并連接到傳感器插座上。熱敏電阻是利用陶瓷半導(dǎo)體材料的電阻值隨溫度變化而變化的特性制成的，其突出優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、響應(yīng)特性好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉。汽車(chē)上的冷卻液溫度傳感器和進(jìn)氣溫度傳感器普遍采用NTC熱敏電阻，其阻值與溫度的關(guān)系可用下述公式表示：低溫測(cè)量用熱敏電阻的常數(shù)B值范圍在200010000K之間，常用值為3000K左右。高溫測(cè)量用熱敏電阻的常數(shù)B值范圍在1000015000K之間2.3.2工藝流程1.電阻應(yīng)變計(jì)篩選：1）外觀檢查；2）測(cè)量電阻值2.彈性元件準(zhǔn)備3.劃線4.預(yù)熱5.粘貼應(yīng)變計(jì)：1）貼片面的清洗；2）刷膠；3)貼片4）加壓5）固化6）自檢6.組橋：1）焊點(diǎn)打磨、掛錫2）焊接導(dǎo)線的準(zhǔn)備3）橋路的連接7.防護(hù)與密封2.4點(diǎn)火線圈2.4.1工作原理：通常的點(diǎn)火線圈里面有兩組線圈，初級(jí)線圈和次級(jí)線圈。初級(jí)線圈用較粗的漆包線，通常用0.5-1毫米左右的漆包線繞200-500匝左右；次級(jí)線圈用較細(xì)的漆包線，通常用0.1毫米左右的漆包線繞15000-25000匝左右。初級(jí)線圈一端與車(chē)上低壓電源（+)聯(lián)接，另一端與開(kāi)關(guān)裝置（斷電器）聯(lián)接。次級(jí)線圈一端與初級(jí)線圈聯(lián)接，另一端與高壓線輸出端聯(lián)接輸出高壓電。 點(diǎn)火線圈之所以能將車(chē)上低壓電變成高電壓，是由于有與普通變壓器相同的形式，初級(jí)線圈與次級(jí)線圈的匝數(shù)比大。但點(diǎn)火線圈工作方式卻與普通變壓器不一樣，普通變壓器是連續(xù)工作的，而點(diǎn)火線圈則是斷續(xù)工作的，它根據(jù)發(fā)動(dòng)機(jī)不同的轉(zhuǎn)速以不同的頻率反復(fù)進(jìn)行儲(chǔ)能及放能。2.4.2制造工藝：繞線=刮皮=組裝=灌裝=檢測(cè)3.專題三 單片機(jī)認(rèn)識(shí)3.1三三電器有限公司概況重慶三三電器有限公司是一家開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售汽車(chē)、摩托車(chē)數(shù)字儀表的高科技企業(yè)。2000年開(kāi)始研發(fā)數(shù)字儀表，現(xiàn)已擁有十分完善的技術(shù)資源。汽車(chē)、摩托車(chē)數(shù)字儀表的開(kāi)發(fā)包括硬件及軟件開(kāi)發(fā)，硬件設(shè)計(jì)包括電源設(shè)計(jì)及信號(hào)的處理等，其中核心的部分是硬件抗干擾設(shè)計(jì)；軟件開(kāi)發(fā)包括信號(hào)的處理，數(shù)據(jù)的可靠存儲(chǔ)，步進(jìn)電機(jī)的軟件模擬驅(qū)動(dòng)程序等，其中軟件設(shè)計(jì)的核心部分同樣是軟件抗干擾設(shè)計(jì)。公司以人為本，利用現(xiàn)代的高科技技術(shù)，現(xiàn)已形成年生產(chǎn)120萬(wàn)臺(tái)汽車(chē)、摩托車(chē)數(shù)字儀表的能力，產(chǎn)品已供給宗申、隆鑫、力帆、建設(shè)、星月等知名企業(yè)，并通過(guò)主機(jī)廠將本公司所有產(chǎn)品出口到世界各地，獲得了用戶的好評(píng)。3.2單片機(jī)原理：它內(nèi)部也用和電腦功能類(lèi)似的模塊，比如CPU，內(nèi)存，并行總線，還有和硬盤(pán)作用相同的存儲(chǔ)器件。單片機(jī)是靠程序的，并且可以修改。通過(guò)不同的程序?qū)崿F(xiàn)不同的功能，語(yǔ)言用的是匯編。3.3單片機(jī)在職能儀表上的應(yīng)用單片機(jī)具有體積小、功耗低、控制功能強(qiáng)、擴(kuò)展靈活、微型化和使用方便等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于儀器儀表中，結(jié)合不同類(lèi)型的傳感器，可實(shí)現(xiàn)諸如電壓、功率、頻率、濕度、溫度、流量、速度、厚度、角度、長(zhǎng)度、硬度、元素、壓力等物理量的測(cè)量。采用單片機(jī)控制使得儀器儀表數(shù)字化、智能化、微型化，且功能比起采用電子或數(shù)字電路更加強(qiáng)大。例如精密的測(cè)量設(shè)備（功率計(jì)，示波器，各種分析儀）。4.專題四 SMT工藝認(rèn)識(shí)4.1重慶甌福安電子有限公司簡(jiǎn)介是一家專業(yè)從事電子產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)的科技型生產(chǎn)企業(yè)。公司場(chǎng)地面積為1000平方米，現(xiàn)擁有SMT有鉛生產(chǎn)線3條，主要設(shè)備：半自動(dòng)絲印機(jī) 2臺(tái)、全自動(dòng)絲印機(jī)1臺(tái)、貼片機(jī) YAMAHA YV100- 3臺(tái)、YAMAHA YV88- 1臺(tái)、回流焊爐 Folung NW-850 1臺(tái)；SMT無(wú)鉛焊全自動(dòng)生產(chǎn)線2條，主要設(shè)備：絲印機(jī) MPM UP2000HIE 1臺(tái)、貼片機(jī) YAMAHA YV100-XG 2臺(tái)、回流焊爐 VITRONICSSOLTEC XPM2-820 1臺(tái)；手工焊接流水生產(chǎn)線1條，因公司發(fā)展公司另引進(jìn)回流焊1臺(tái)，高智能貼片機(jī)2臺(tái)。4.2 SMT介紹SMT就是表面組裝技術(shù)（表面貼裝技術(shù)），是目前電子組裝行業(yè)里最流行的一種技術(shù)和工藝，其特點(diǎn)是組裝密度高、電子產(chǎn)品體積小、重量輕，貼片元件的體積和重量只有傳統(tǒng)插裝元件的1/10左右，一般采用SMT之后，電子產(chǎn)品體積縮小40%60%，重量減輕60%80%。 可靠性高、抗振能力強(qiáng)。焊點(diǎn)缺陷率低。 高頻特性好。減少了電磁和射頻干擾。 易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，提高生產(chǎn)效率。降低成本達(dá)30%50%。 節(jié)省材料、能源、設(shè)備、人力、時(shí)間等。4.3 SMT工藝流程印刷（或點(diǎn)膠）- 貼裝 - （固化） - 回流焊接 - 清洗 - 檢測(cè) - 返修4.3.1印刷：其作用是將焊膏或貼片膠漏印到PCB的焊盤(pán)上，為元器件的焊接做準(zhǔn)備。所用設(shè)備為印刷機(jī)（錫膏印刷機(jī)）4.3.2點(diǎn)膠：為防止二次回爐時(shí)投入面的元件因錫膏再次熔化而脫落，將膠水滴到PCB的固定位置上，其主要作用是將元器件固定到PCB板上。設(shè)備，點(diǎn)膠機(jī)4.3.3貼裝：其作用是將表面組裝元器件準(zhǔn)確安裝到PCB的固定位置上。所用設(shè)備為貼片機(jī)4.3.4固化：其作用是將貼片膠融化，從而使表面組裝元器件與PCB板牢固粘接在一起。所用設(shè)備為固化爐4.3.5回流焊接：其作用是將焊膏融化，使表面組裝元器件與PCB板牢固粘接在一起。所用設(shè)備為回流焊爐4.3.6清洗：其作用是將組裝好的PCB板上面的對(duì)人體有害的焊接殘留物如助焊劑等除去。所用設(shè)備為清洗機(jī)4.3.7檢測(cè)：其作用是對(duì)組裝好的PCB板進(jìn)行焊接質(zhì)量和裝配質(zhì)量的檢測(cè)。所用設(shè)備有放大鏡、顯微鏡、在線測(cè)試儀（ICT）、飛針測(cè)試儀、自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)（AOI）、X-RAY檢測(cè)系統(tǒng)、功能測(cè)試儀等4.3.8返修：其作用是對(duì)檢測(cè)出現(xiàn)故障的PCB板進(jìn)行返工。所用工具為烙鐵、返修工作站等5.專題五 SCDMA工藝過(guò)程分析5.1信威通信簡(jiǎn)介重慶信威通信技術(shù)有限責(zé)任公司成立于1998年, 整個(gè)信威公司定位為三大部分，北京信威是公司總部，負(fù)責(zé)芯片研發(fā)和市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)；深圳信威致力于SCDMA核心網(wǎng)研發(fā)；重慶信威是應(yīng)用研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化基地。作為國(guó)內(nèi)第一個(gè)擁有完整自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)無(wú)線通信標(biāo)準(zhǔn)SCDMA（同步碼分多址）產(chǎn)業(yè)化的龍頭企業(yè)，公司已經(jīng)成為國(guó)家級(jí)高科技產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)示范單位。通過(guò)產(chǎn)業(yè)聯(lián)合和技術(shù)合作，公司與多個(gè)合作伙伴在通信產(chǎn)品、數(shù)碼產(chǎn)品和其他IT設(shè)備的二次開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)及OEM、ODM產(chǎn)業(yè)化等方面進(jìn)行深入合作，已經(jīng)成為西部地區(qū)通信與電子產(chǎn)品制造的主要基地之一。5.2 SCDMA概述SCDMA是同步碼分多址的無(wú)線接入技術(shù)，它采用了智能天線、軟件無(wú)線電、以及自主開(kāi)發(fā)的SWAP+空中接口協(xié)議等先進(jìn)技術(shù)，是一個(gè)全新的體系，一個(gè)全新的我國(guó)擁有完整自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的第三代無(wú)線通信技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。SCDMA的獨(dú)特技術(shù)優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在： SCDMA是世界上第一套將智能天線應(yīng)用于商業(yè)電信運(yùn)營(yíng)的無(wú)線通信技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)；第一次將時(shí)分雙工（TDD）用于宏蜂窩結(jié)構(gòu)，其基站與終端都大規(guī)模采用軟件無(wú)線電結(jié)構(gòu)；并第一次優(yōu)化組合以上功能，實(shí)現(xiàn)了同步碼分多址的無(wú)線通信協(xié)議，成為國(guó)際領(lǐng)先的無(wú)線通信技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。SCDMA是由信威通信公司研制的新一代無(wú)線通信技術(shù)平臺(tái)，也是我國(guó)第一個(gè)擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的無(wú)線通信核心技術(shù)，于2001年獲得國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。這項(xiàng)技術(shù)也是我國(guó)第三代移動(dòng)通信技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)TD-SCDMA的知識(shí)產(chǎn)權(quán)核心組成部分。5.3六大亮點(diǎn)：略5.4應(yīng)用：略5.5生產(chǎn)車(chē)間5.5.1生產(chǎn)寬帶基站、系統(tǒng)產(chǎn)品、塔放車(chē)間 系統(tǒng)產(chǎn)品生產(chǎn)流程：略系統(tǒng)單板生產(chǎn)流程：略5.5.2固定終端車(chē)間寬帶終端產(chǎn)品生產(chǎn)流程：略6.心得體會(huì) 通過(guò)這次集成電路工藝和認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)，鞏固、擴(kuò)大和加深了我們從課堂上所學(xué)的理論知識(shí)，也讓我們更進(jìn)一步實(shí)地了解到集成電路的有關(guān)知識(shí)及其相關(guān)應(yīng)用，初步了解了部分制造工藝以及所用到的有關(guān)集成電路的原理，參觀了一些先進(jìn)設(shè)備和生產(chǎn)流水線，幫助我們更加直觀的去認(rèn)識(shí)集成電路的相關(guān)知識(shí)。 首先，我想談一下實(shí)習(xí)的意義。實(shí)習(xí)是一種對(duì)用人單位和實(shí)習(xí)生都有益的人力資源制度安排，讓我們了解用人單位的文化和理念，從而增強(qiáng)社會(huì)對(duì)該組織的認(rèn)同感并贏得聲譽(yù)。對(duì)學(xué)生而言，實(shí)習(xí)可以使每一個(gè)學(xué)生有更多的機(jī)會(huì)嘗試不同的工作，扮演不同的社會(huì)角色，逐步完成職業(yè)化角色的轉(zhuǎn)化，發(fā)現(xiàn)自己真實(shí)的潛力和興趣，以奠定良好的事業(yè)基礎(chǔ)，也為自我成長(zhǎng)豐富了閱歷，