SEM操作規(guī)程.doc

JSM-7800F掃描電鏡操作規(guī)程1、確認Maintenance界面內的GUN/AC內GUN參數（電流值穩(wěn)定）和SIP1和SIP2的真空度正常方可運行！2、選擇正確的樣品座放置樣品并固定，樣品高度不要超過樣品座上方10mm。注意：接觸樣品座，取放樣品時務必戴手套操作！3、裝樣品前必須確認高壓處于關閉狀態(tài)。4、點擊SEM應用程序軟件中Specimen窗口的Exchange Position按鈕，使樣品交換室控制面板EXCH POSN燈點亮，并確認樣品臺處于樣品交換的位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm，R：0.00，T：0.00）。5、按下VENT按鈕對Exchange chamber放氣，直至VENT常亮，表示樣品交換室處于大氣狀態(tài)。6、松開交換室鎖扣，打開樣品交換室，將已固定好樣品的樣品座，按箭頭方向置于樣品座夾具內。7、完全關閉樣品交換室門，扣好鎖扣。8、按下EVAC按鈕，開始抽真空，EVAC閃爍，待真空達到要求時，EVAC常亮。9、手持樣品交換桿，將樣品桿放下至水平并向前輕推，將樣品Holder完全送進交換室中，注意當HLDR燈亮起后，再完全拉出樣品桿，垂直立起放置，此時樣品已正常放置于樣品室內。注意：在拉動樣品桿時，若有警報聲，應立即停止操作，將樣品桿歸位，檢查操作步驟是否正確。10、在SEM應用程序軟件界面正確選擇所使用Holder的類型，輸入樣品高度值，點擊OK確認。11、輸入Z值10mm。11、查看樣品室真空度，確認真空度小于5.010-4 Pa時才可開始進行圖像操作。12、觀察樣品，獲取圖像。（1）點擊ON，打開高壓，根據樣品選擇所需的電壓。（2）如果有多個樣品，按下LDF按鈕切換到低倍模式，選擇要觀察的樣品位置，選好后按LDF按鈕切換回高倍模式。（3）確認Scanning Mode在Quick View狀態(tài)，尋找樣品表面的明顯特征。先切換到較高倍率，轉動FOCUS的旋鈕進行聚焦，X、Y散光像差校正旋鈕進行像散調整，調整亮度與對比度（可按ACB自動調整或手動調整），直至樣品表面特征的圖像清晰為止（低倍率時，利用AUTO鍵進行自動對焦）。然后切回所需之倍率進行圖像觀察。a）如果聚焦時出現圖像是模糊的，需要進行電子束對中調整。b）按鍵盤上RDCIMAGE鍵，打開調整窗口，按鍵盤上WOBB鍵，此時圖像會來回擺動，旋轉鍵盤上X、Y調整旋鈕使圖像停止擺動（X方向擺動調整X旋鈕，Y方向擺動調整Y旋鈕）。c）關閉WOBB鍵，此時STIG鍵自動亮，分別旋轉鍵盤上X、Y調整旋鈕將圖像調整清晰。d）繼續(xù)放大倍數，轉動FOCUS旋鈕進行聚焦，如圖像不清晰，重復c步直到將圖像調整清晰。e）如果圖像已經調整好，按鍵盤上“RDCIMAGE”鍵關閉調整窗口，進行全屏顯示。（4）圖像聚焦像散調整完畢后，按下FINEVIEW鍵及FREEZE鍵掃描圖像并定格，也可按下PHOTO鍵獲取最終圖像，輸入樣品名稱，選擇文件類型和文件保存位置，點擊“Save”進行保存。（5）按“FREEZE”鍵取消鎖定，按“QUICKVIEW”進行快速掃描，為下一次調整圖像做好準備。13、背散射（BEI detector）觀察1）點擊Exchange Position，EXCH POSN燈同步亮，樣品臺回到樣品交換的初始位置。2）點擊OFF，關閉高壓，確認高壓處于關閉狀態(tài)！3）在儀器狀態(tài)區(qū)域將BEI勾選，BEI detector自動伸入樣品室。4）點擊ON，打開高壓，根據樣品選擇所需的電壓。5）找好要分析的樣品位置，調整好倍率，聚焦及像散。6）在圖像顯示區(qū)域選擇圖像信號為BEC7）按Fine view2 獲取圖像，按下PHOTO鍵獲取最終圖像，選擇 “Save”模式進行保存。8）使用完成后，先關閉高壓，再將BEI打勾取消（即表示BEI detector退回）。14、結束觀察：1）將放大倍率調至最低倍。2）點擊OFF，關閉高壓，確認高壓處于關閉狀態(tài)！2）點擊軟件中Specimen窗口的Exchange Position按鈕，EXCH POSN燈同步亮，樣品臺復位，處于樣品交換的初始位置。3）利用樣品交換桿將樣品Holder拉出樣品交換室。4）按下VENT鍵放氣，直至VENT常亮。5）打開樣品交換室，按箭頭方向取出樣品Holder及樣品，并檢查樣品交換室是否正常。6）關閉樣品交換室并按EVAC抽真空，待EVAC燈不再閃動后，觀察結束。注意事項1、接觸樣品座，取放樣品時務必戴手套操作，并確保樣品在樣品臺上固定牢固；樣品柱高度最好不要超過樣品座上方10mm。樣品高出樣品臺時，不要將Z值輸入過小，造成鏡頭碰撞樣品臺。2、注意：在拉動樣品桿時，若有警報聲，應立即停止操作，將樣品桿歸位，檢查操作步驟是否正確。3、拉出拉桿時，切記一定要將拉桿完全拉出后才可以立起，否則樣品桿會彎折變形。4、實驗完成后只需關閉計算機顯示器，其他任何頁面及裝置不予關閉。樣品操作按鈕介紹Specimen exchange chamber（樣品交換室）控制面板VENT：Exchange ch