設(shè)備管理_真空技術(shù)-對(duì)水環(huán)真空泵的幾點(diǎn)看法

真空技術(shù)對(duì)水環(huán)真空泵的幾點(diǎn)看法開發(fā)的幾點(diǎn)看法眾所周知，由于水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡單、使用維修方便的特點(diǎn)，因而在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。特別是具有等溫壓縮的特點(diǎn)，極易抽吸、壓縮易燃易爆的氣體。下面就其發(fā)展及設(shè)計(jì)開發(fā)談幾點(diǎn)粗淺的看法。1 大型化由于煤礦、化工、制藥、造紙等行業(yè)的發(fā)展，對(duì)水環(huán)真空泵的要求越來越向大型化方面發(fā)展。在2000年以前，我國能生產(chǎn)抽氣量在100m3min以上的水環(huán)真空泵僅3-4個(gè)企業(yè)，全國年產(chǎn)量也不過幾十臺(tái)。而僅過了三年，到2003年全國能生產(chǎn)100m3min以上的大泵的廠家達(dá)10多家(其中僅淄博地區(qū)就有7-8家)，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，全國的大泵的產(chǎn)量達(dá)幾百臺(tái)以上，這些產(chǎn)品主要應(yīng)用于： (1)煤礦行業(yè) 由于國家加強(qiáng)了對(duì)煤礦的安全要求，因而用水環(huán)真空泵，特別是大型水環(huán)真空泵抽除瓦斯氣體已成為煤礦行業(yè)必須的安全要求，例如去年陜西某礦務(wù)局訂購的多臺(tái)抽氣量達(dá)400m3min的特大型水環(huán)真空泵就是用以抽除瓦斯氣體，有的一個(gè)大型煤礦使用100m3min以上的大泵就達(dá)7-8臺(tái)。隨著國家對(duì)安全工作進(jìn)一步加強(qiáng)，大型、特大型水環(huán)真空泵將在煤礦系統(tǒng)得到越來越廣泛的應(yīng)用。此外，由于煤炭產(chǎn)量的飛速增加，煤礦的洗、選煤所用的真空過濾機(jī)也向大型化方面發(fā)展，在八十年代大多配抽氣量為27m3min的SZ-4型水環(huán)真空泵，這在當(dāng)時(shí)也是較大的。而近幾年煤礦的過濾機(jī)都選配抽氣量為80-150m3min的大型水環(huán)真空泵，有的達(dá)到200m3min以上，而且還有氣量繼續(xù)增大的趨勢(shì)。(2)化工行業(yè) a)氯堿行業(yè) 近幾年來我國啟動(dòng)了許多大型的基本建設(shè)和技術(shù)改造項(xiàng)目，這些項(xiàng)目的實(shí)童都需要大量的聚氯乙烯材料，特別是房地產(chǎn)的興旺，更加推動(dòng)了聚氯乙烯行業(yè)的發(fā)展，據(jù)氯堿行業(yè)的統(tǒng)計(jì)，我國去年生產(chǎn)了410萬噸聚氯乙烯，進(jìn)口了200可噸。據(jù)該行業(yè)的預(yù)測(cè)，2005年的全國需求量將達(dá)800萬噸，而到了2010年將達(dá)到1500萬噸，正是因?yàn)樾枨罅扛咚僭黾?，使得我國的氯堿行業(yè)的企業(yè)加改造擴(kuò)產(chǎn)，并且近一、二年新上了許多企業(yè)。氯堿企業(yè)的發(fā)展，必須配套水陜空泵和水環(huán)壓縮機(jī)j用以抽除和壓縮乙炔和氫氣的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮 機(jī)過去最大也不過30m3min，而現(xiàn)在年產(chǎn)10萬噸燒堿和10萬噸聚氯乙烯的企業(yè)，需要的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)達(dá)70m3min以上。 在這里需要特別介紹的是，正是由于這個(gè)行業(yè)的發(fā)展，推動(dòng)和加快了較高I力水環(huán)壓縮機(jī)的開發(fā)和生產(chǎn)。 長期以來，我國的水環(huán)壓縮機(jī)一般是當(dāng)吸入壓力為1個(gè)大氣壓或略低于呔氣壓時(shí)，排除壓力為O1MPa，即壓縮比為2，個(gè)別企業(yè)生產(chǎn)過排除壓力達(dá)25MPaG的水環(huán)壓縮機(jī)，而且僅1-2個(gè)規(guī)格。為了適應(yīng)聚氯乙烯的生產(chǎn)，91原國務(wù)院重大裝備辦公室在“八五”重大技術(shù)裝備攻關(guān)項(xiàng)目-年產(chǎn)4噸低聚合度聚氯乙烯裝置設(shè)備研制中提出了氯乙烯回收水環(huán)壓縮機(jī)的研制攻關(guān)課題，這種回收氯乙烯單體的水環(huán)壓縮機(jī)要求在吸入壓力為常壓或微負(fù)壓的情況下，排出壓力要達(dá)到O.55-0.6MPaG，而且排氣量要達(dá)到700m3min。經(jīng)過幾年的努力，我公司于96年12月通過了由原國家機(jī)械部組織的技術(shù)鑒定，客項(xiàng)技術(shù)酥達(dá)到了攻關(guān)要求。在此產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，我公司又開發(fā)了系列產(chǎn)品，排氣量由90m3min到2000m。h。由于該設(shè)備是聚氯乙烯行業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備之一，因而在近幾年全國大上聚氯乙烯項(xiàng)目的形勢(shì)下，這種水環(huán)壓縮機(jī)得到了推廣和應(yīng)用，完全替代了進(jìn)口。 b)化肥行業(yè) 化肥行業(yè)特別是磷肥的生產(chǎn)也是我國經(jīng)濟(jì)宏觀調(diào)控中重點(diǎn)支持的產(chǎn)業(yè)，由于新上項(xiàng)目及老企業(yè)的技術(shù)改造均以上水平、上規(guī)模為主，因而大型、特大型水環(huán)真空泵在此也得到了應(yīng)用，如云南某磷肥企業(yè)一次改造就新增抽氣量為300m3min的特大型水環(huán)泵3臺(tái)。 此外，還有許多磷肥企業(yè)工藝要求在壓力為絕壓80-lOOhPa時(shí)，仍要有較大的抽氣能力，因而兩級(jí)水環(huán)真空泵及帶大氣噴射器的兩級(jí)水環(huán)真空泵用在這種工況下，就具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，許多化肥企業(yè)淘汰了振動(dòng)噪聲大而真空度較高的往復(fù)真空泵，用兩級(jí)水環(huán)真空泵替代，并收到了較好的效果，可以說兩級(jí)水環(huán)真空泵在該行業(yè)應(yīng)用將會(huì)越來越廣泛。 c)造紙行業(yè) 上世紀(jì)末和本世紀(jì)初，我國的國債投入造紙行業(yè)占有較大的比例，全國各地的造紙廠爭先恐后地改造上水平、上規(guī)模，這大大地拉動(dòng)了大型水環(huán)真空泵的開發(fā)生產(chǎn)，東北某造紙廠一次改造抽氣量為400IIl3min的特大型水環(huán)真空泵(目前我國生產(chǎn)的最大規(guī)格的水環(huán)真空泵)6臺(tái)，總配動(dòng)力為400kW?？梢哉f近幾年來的抽氣量在100m3min以上的大型水環(huán)真空泵的50是用在造紙行業(yè)，而且這種發(fā)展趨勢(shì)有增無減。 d)制藥行業(yè) 真空濃縮脫水、干燥、蒸餾是制藥企業(yè)的主要工藝過程，制藥企業(yè)的技術(shù)改造也同樣是上水平、上規(guī)模，這在一些大型制藥企業(yè)更為明顯。過去，大多用10m3min以下的小泵，而現(xiàn)在，在這些企業(yè)的項(xiàng)目招標(biāo)中，抽氣量在20m3min以上的中、大型泵已占多數(shù)。此外，制藥行業(yè)的許多廠過去使用抽氣量為6-12m3min的兩級(jí)水環(huán)真空泵較多，而現(xiàn)在都配20-30m3min的兩級(jí)水環(huán)真空泵，有的還達(dá)到60m3min，如四川某合資制藥廠去年一次招標(biāo)買抽氣量為60m3min的泵達(dá)到10臺(tái)。 除以上行業(yè)外，輕工行業(yè)的食品、啤酒企業(yè)以及冶金、發(fā)電、石化、建材等行業(yè)的真空系統(tǒng)均向大型方面發(fā)展，如山東某鋁廠長期使用多臺(tái)抽氣量為85m3min的水環(huán)真空泵，而去年的技改項(xiàng)目設(shè)備招標(biāo)要求的水環(huán)真空泵抽氣量要達(dá)到140m3min。 2 成套性 應(yīng)當(dāng)說，在2000年以前國內(nèi)的水環(huán)真空泵的生產(chǎn)廠家?guī)缀跞且凿N售單泵為主，極少有用戶訂成套設(shè)備，而近兩年來，化工、制藥行業(yè)的技改項(xiàng)目設(shè)備招標(biāo)中成套設(shè)備占的比例越來越大，一般是要求配分離器、冷卻器(換熱器)、補(bǔ)液泵、閥門、儀表、管件以及控制裝置，形成閉式循環(huán)，并且要求與企業(yè)的OCS系統(tǒng)相連，對(duì)液位、壓力、力量等進(jìn)行在線控制。 對(duì)這種機(jī)電一體化成套設(shè)備的要求在許多行業(yè)越來越普遍。 3 較高真空下要求較大的抽氣量 許多化工、制藥行業(yè)的真空蒸餾、濃縮、脫水、干燥以及發(fā)電廠的抽除尾氣都要求在吸入壓力為3-8kPa之間有較大的抽氣量，單級(jí)水環(huán)真空泵在這一區(qū)間抽氣能力已相當(dāng)弱，而兩級(jí)水環(huán)真空泵和帶一級(jí)大氣噴射器的兩級(jí)水環(huán)真空泵的特點(diǎn)是在該區(qū)間有較大的吸氣量，在2000年以前對(duì)于兩級(jí)泵的需求大多是15m3min以下，而現(xiàn)在達(dá)40-50m3min。此外，還應(yīng)當(dāng)指出，單級(jí)水環(huán)真空泵帶一級(jí)大氣噴射器時(shí)，如果設(shè)計(jì)合理，在吸入壓力為4-5kPa時(shí)仍有較大的抽氣量，這大大擴(kuò)大了單級(jí)水環(huán)真空泵的使用范圍，如我國某飛機(jī)研究所就使用該類泵多臺(tái)。 綜上所述，可以看出，水環(huán)真空泵及水環(huán)壓縮機(jī)作為基本的粗低真空獲得設(shè)備在各行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，也可以說國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)的迅速發(fā)展推動(dòng)了水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)的開發(fā)生產(chǎn)。因此為使其更好地適應(yīng)各行業(yè)的發(fā)展，現(xiàn)就該泵的研制開發(fā)提出以下幾點(diǎn)粗淺的看法。 (1)用可行性設(shè)計(jì)和高性能的密封件，提高整機(jī)的平均無故障運(yùn)行期（MTBF） 水環(huán)真空泵及水環(huán)壓縮機(jī)的工作可靠性，即平均無故障運(yùn)行期，應(yīng)當(dāng)說與其它的粗低真空獲得設(shè)備相比還是較高的，平均無故障運(yùn)行期可達(dá)10000小時(shí)以上。但隨著各行業(yè)技術(shù)進(jìn)步工作的加強(qiáng)和對(duì)整個(gè)真空系統(tǒng)的可靠性要求的提高，因而對(duì)其可靠性要求也相應(yīng)更高了。特別是在化工和煤礦抽瓦斯氣體的這樣對(duì)安全要求嚴(yán)格的工況下，泵要長期持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，國際先進(jìn)水平可達(dá)幾萬小時(shí)以上。所以水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)的設(shè)計(jì)工作的開發(fā)情況和制造條件的限制以及密封件（特別是機(jī)械密封件）的質(zhì)量現(xiàn)狀，要真正提高整機(jī)的可靠性尚需進(jìn)一步對(duì)以上幾方面的工作進(jìn)一步加強(qiáng)。 (2)采用優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，努力提高泵的效率，降低能耗 水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)是耗能高，效率低的產(chǎn)品，這是公認(rèn)的事實(shí)，小泵一般為30-35，大泵達(dá)40或略高，這樣低的效率與國家對(duì)機(jī)電產(chǎn)品的要求及我國目前能源緊張的現(xiàn)狀是極不相適應(yīng)的。因此應(yīng)盡快采用優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，對(duì)影響泵的效率最關(guān)鍵的葉輪的各幾何參數(shù)及吸排氣孔的起始位置、面積等建立數(shù)學(xué)模型，進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，選擇各參數(shù)的最佳組合方案，并采用汽液兩相流的有關(guān)理論及計(jì)算公式進(jìn)行設(shè)計(jì)，盡量減少水環(huán)的渦流損失，達(dá)到提高效率的目的。所以說盡快設(shè)計(jì)開發(fā)成功高效節(jié)能的水環(huán)真空泵及壓縮機(jī)以淘汰耗能高、效率低的落后產(chǎn)品是擺在水環(huán)真空泵的設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)企業(yè)面前的一項(xiàng)重要工作。 (3)提高帶大氣噴射器時(shí)的工況點(diǎn)的氣量。 國外無論單級(jí)水環(huán)真空泵還是兩級(jí)水環(huán)真空泵配大氣噴射器以提高在較低吸入壓力下的抽氣量的情況還是較多的。從國外技術(shù)先進(jìn)的企業(yè)的技術(shù)資料上可以看出，單級(jí)水環(huán)真空泵帶一級(jí)大氣噴射器時(shí)，在吸入壓力為5kPa點(diǎn)，抽氣速率可達(dá)該泵不帶大氣噴射時(shí)吸入壓力為400hPa點(diǎn)的抽氣速率（用戶常用的單級(jí)水環(huán)真空泵的共況點(diǎn)）的65-70，兩級(jí)水環(huán)真空泵帶一級(jí)大氣噴射器時(shí)，在吸入壓力為1.5kPa點(diǎn)抽氣速率可達(dá)該泵不帶大氣噴射器時(shí)吸入壓力為8kPa點(diǎn)的抽氣速率（兩級(jí)水環(huán)真空泵常用的工況點(diǎn)）的70-75，這樣便大大擴(kuò)大了水環(huán)真空泵的應(yīng)用范圍，即滿足了化工、制藥、輕工、儀器、冶金、發(fā)電等行業(yè)要求在吸入壓力為1.5-5kPa點(diǎn)大抽氣速率的工藝條件。但目前國內(nèi)一是水環(huán)真空泵帶大氣噴射器的應(yīng)用不夠廣泛；二是在1.5-5kPa點(diǎn)的抽氣速率較小，與國外先進(jìn)廠家技術(shù)水平有一定差距。為進(jìn)一步推廣應(yīng)用，應(yīng)當(dāng)研究改進(jìn)大氣噴射器的設(shè)計(jì)與水環(huán)真空泵的最佳配比，由于氣流在大氣噴射器的噴嘴（拉伐爾噴管）與擴(kuò)壓器的漸縮段流動(dòng)是超音速氣流，并且大氣與被抽氣體兩股氣流的混合過程中的動(dòng)量交換較為復(fù)雜，無法完全依靠理論計(jì)算的方法進(jìn)行設(shè)計(jì)，必須進(jìn)行多次試驗(yàn)，但從擴(kuò)大水環(huán)真空泵的應(yīng)用及提高其效率的角度出發(fā)應(yīng)當(dāng)加強(qiáng)試驗(yàn)研究，努力提高其抽氣效率。羅茨泵水環(huán)泵真空機(jī)組工作原理羅茨真空機(jī)組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級(jí)泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時(shí)候更為明顯。羅茨泵水環(huán)泵機(jī)組廣泛地用于化工、食品升華干燥、高空模擬試驗(yàn)等的抽真空系統(tǒng)中。這類聯(lián)合機(jī)組，大致有如下幾種類型。（1）羅茨泵水環(huán)泵：機(jī)組中水環(huán)泵的作用是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，因此要求該水環(huán)泵的最大允許排氣壓力，即是說，一方面要盡量提高水環(huán)泵的極限真空，另一方面，也要設(shè)法提高羅茨泵的最大允許排氣壓力。 一般情況，單級(jí)水環(huán)泵極限真空度不高，而目前我國生產(chǎn)的羅茨泵要求的預(yù)真空又較高，故實(shí)際上不用單級(jí)水環(huán)泵作為羅茨泵的前級(jí)泵，而用能提高極限真空度的雙級(jí)水環(huán)泵作為前級(jí)泵使用，采用雙級(jí)水環(huán)泵，還可以提高機(jī)組的極限真空度。一臺(tái)羅茨泵的極限真空度是較低的，特別是當(dāng)它與水環(huán)泵組合運(yùn)行時(shí)，使用范圍受到限制，整個(gè)機(jī)組的極限真空度可能更低，但若用兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就能大大提高機(jī)組的極限真空度。故在這種類型里通常見到的是兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)后再用雙級(jí)水環(huán)泵作前級(jí)泵（圖1）組成機(jī)組。（2）羅茨泵水環(huán)泵大氣泵機(jī)組：即使采用雙級(jí)水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內(nèi)，這是因?yàn)槭艿剿娘柡驼羝麎旱南拗?。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實(shí)際上水環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級(jí)泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。見圖2。這樣，串聯(lián)一級(jí)大氣泵后的極限真空度可達(dá)2030Torr,如果水環(huán)泵與二級(jí)大氣泵組合，則極限真空可達(dá)210Torr。（3）羅茨泵水環(huán)泵并聯(lián)機(jī)械真空泵：此機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統(tǒng)，例如在真空干燥方面。要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個(gè)機(jī)組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機(jī)械真空泵作為前級(jí)泵使用。但由于水環(huán)泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長時(shí)間的真空干燥系統(tǒng)中，用水環(huán)泵作為羅茨泵前級(jí)泵很不經(jīng)濟(jì)。在上述情況下，可將氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵與水環(huán)泵并聯(lián)，作為羅茨泵的前級(jí)泵。真空干燥時(shí)，先用水環(huán)泵進(jìn)行預(yù)抽，直至水蒸汽大量減少時(shí)，再開動(dòng)氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵，切斷水環(huán)泵。如需要較長時(shí)間才能完成干燥的場(chǎng)合，所需冷卻水和功率都較少，如圖3所示。羅茨泵水環(huán)泵機(jī)組的運(yùn)行（1）機(jī)組前裝冷凝器為了盡量使機(jī)組的體積小些，可設(shè)法使待抽的蒸汽在進(jìn)入泵機(jī)組之前冷凝，這樣剩下來的就是非可凝性氣體和微量殘余蒸汽。氣體降溫后在相同壓力下體積也減小。所以冷凝后所需抽氣量減小，相應(yīng)地泵也可以選得小一些。采用哪種方式較經(jīng)濟(jì)？應(yīng)視其具體情況而定，舉例說明如下：冷凝蒸汽有兩種方式：一種是安裝一臺(tái)冷卻裝置，另一種是在機(jī)組的高壓級(jí)中裝一臺(tái)冷凝器，以便能用普通的水冷卻。 其系統(tǒng)需要每小時(shí)抽除50kg的水蒸汽量，在吸入壓力為1Torr時(shí)的容積流量為50000m3/h。1)要抽吸上述的水蒸汽量，需要三個(gè)羅茨泵串聯(lián)，并用一臺(tái)水環(huán)泵作前級(jí)組成的機(jī)組，該機(jī)組的總功率90kW。2）為了使蒸汽在到達(dá)真空泵之前冷凝，就要在位于A處裝一個(gè)冷凝器和一個(gè)功率為30000kcal/h的冷卻裝置，如圖4所示。在1Torr的吸入壓力下，水蒸汽的冷凝溫度均為-19，為了能保證連續(xù)工作，應(yīng)取冷凝裝置的冷凝溫度為-25，且并聯(lián)安裝2臺(tái)冷凝器。根據(jù)非冷凝氣體的組成部分計(jì)算得，真空泵的抽氣量就可以降低到10002000m3/h，總機(jī)組（包括冷凝器的消耗功率）的功率同樣是90kW。3）先用羅茨泵抽出水蒸汽，并在45Torr壓力下進(jìn)行冷凝，該壓力下有的冷凝溫度約為36，于是可使冷凝器的冷凝溫度保持在3035之間，可用普通冷卻水冷卻。冷凝器設(shè)在B處。這時(shí)總功率的消耗為75kW左右。通過上述三組方式的比較可知，第三種方案最好，可減少15kW的動(dòng)力消耗。綜上所述，水蒸汽冷卻后只剩下非可凝性氣體。在壓力很低時(shí)，水蒸汽的比容相當(dāng)大，這些可凝性蒸汽冷凝后，泵所需要的抽氣量顯然就大為降低了。另外，不論蒸汽是否冷凝，在同樣壓力下只要?dú)怏w溫度降低，其容積流量就會(huì)減少。例如化工流程中200300溫度的氣體并不少見。若從300冷卻到50之后，干燥空氣的容積減少45%左右，這樣就可以選擇較小容量的抽氣真空泵機(jī)組裝置。（2）機(jī)組的操作順序：1）機(jī)組中無旁通閥時(shí)，應(yīng)先開動(dòng)水環(huán)泵，被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵（氣體推動(dòng)羅茨泵轉(zhuǎn)子自行轉(zhuǎn)動(dòng)，如同流量計(jì)一般）進(jìn)入水環(huán)泵后再排至大氣，待水環(huán)泵的吸入壓力（如串聯(lián)有大氣泵，則為大氣泵的吸入壓力）達(dá)到羅茨泵的起初規(guī)定值時(shí)（即允許排氣壓力），始啟動(dòng)羅茨泵，機(jī)組正式運(yùn)轉(zhuǎn)，開始工作。2）機(jī)組中有旁通閥時(shí)，如圖5所示，先啟動(dòng)水環(huán)泵，接著開動(dòng)羅茨泵，此時(shí)，羅茨泵進(jìn)排氣壓差較大，旁通閥自動(dòng)開啟，被抽容器中的氣體一部分經(jīng)過旁通閥進(jìn)入水環(huán)泵，另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進(jìn)入水環(huán)泵，顯然抽氣速率增加，這樣很快達(dá)到羅茨泵的預(yù)真空，進(jìn)排氣壓差較小，閥門自動(dòng)關(guān)閉（或人工關(guān)閉），機(jī)組正式工作。這種方法能大大縮短預(yù)抽時(shí)間，但設(shè)備較復(fù)雜。（3）機(jī)組羅茨泵前級(jí)泵性能關(guān)系機(jī)組的性能與羅茨泵的性能密切相關(guān)，而羅茨泵的性能又隨前級(jí)泵的不同而有所不同。1）由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間存在著間隙，因此有返流存在，而這種返流受進(jìn)口壓力和出口壓力的影響，即使是同一臺(tái)羅茨泵，使用不同的前級(jí)泵時(shí)，其抽氣速率也會(huì)有所不同。羅茨泵的抽氣速率可由下式確定： 0(P2/P1/K)式中：0設(shè)計(jì)的抽氣速率；P1進(jìn)口壓力；P2出口壓力；K固有常數(shù)，由該泵轉(zhuǎn)子的形狀、間隙量、轉(zhuǎn)子圓周速度和出口壓力來確定。由上式可知，抽氣量受到出口壓力與進(jìn)口壓力之比的影響，亦即若增加前級(jí)泵的抽氣速率，那么羅茨泵的抽氣速率也會(huì)增大。（2）極限壓力由泵的抽氣速率，各間隙的返流量，泵體泄漏量及高真空側(cè)的放氣量所決定。即：P0(Q1+Q2+Q3)/式中：P0極限壓力； 抽氣速率； Q1返流量； Q2泄漏量； Q3放氣量。在這些參數(shù)中，Q1受排氣壓力即前級(jí)泵的極限壓力的影響很大，在用水環(huán)泵作前級(jí)泵時(shí)，羅茨泵的極限壓力隨水環(huán)的飽和蒸汽壓的不同而不同。圖6是用同一臺(tái)羅茨泵配不同的前級(jí)泵時(shí)的性能比較。從圖可見，前級(jí)泵的極限真空度愈高時(shí)，機(jī)組的極限真空度也隨之增高；兩級(jí)羅茨泵串聯(lián)使用，則能提高機(jī)組的極限真空度（實(shí)質(zhì)上就是前一個(gè)羅茨泵為后一個(gè)羅茨泵的前級(jí)泵），且性能曲線平緩擴(kuò)大，也即使用的范圍擴(kuò)大（由曲線1與2，曲線3與5的比較而得）。機(jī)組1、2的曲線大致相同。同樣，機(jī)組3、4、5的曲線也有相同之處。然而1、2機(jī)組曲線和3、4、5機(jī)組曲線卻是完全不同的兩組曲線。這說明對(duì)于同一羅茨泵而言，選用不同的前級(jí)泵時(shí)，其機(jī)組的性能曲線有本質(zhì)的差異。由此可見，前級(jí)泵對(duì)機(jī)組性能有相當(dāng)大的影響。 （4）水環(huán)泵的選擇所謂水環(huán)泵就是用水作為液環(huán)的液環(huán)泵，用水作液環(huán)有很多優(yōu)點(diǎn)，如價(jià)廉、易得、不會(huì)污染環(huán)境等。但也有一個(gè)很大缺點(diǎn)，由于水的飽和蒸汽壓高，使得水環(huán)泵的吸入壓力也高。這時(shí)如改用飽和蒸汽壓低的液體作為液環(huán)，則可提高泵的極限真空度。如果某機(jī)組中羅茨泵最大允許的排氣壓力為10Torr，則用水作液環(huán)時(shí)還須加大氣泵才能作為該羅茨泵的前級(jí)泵，若改用礦物油作液環(huán)則不加大氣泵即可作為前級(jí)泵，這樣可以簡化裝置。（5）機(jī)組性能與羅茨泵允許排出壓力機(jī)組的性能在很大程度上取決于羅茨泵的允許排出壓力。這種允許值越低，水環(huán)泵作為前級(jí)泵的可能性就越小。如果羅茨泵這種允許值為110Torr，而不論單、多級(jí)的水環(huán)泵極限壓力大大高于這個(gè)數(shù)值，因此就不可能單獨(dú)與這種羅茨泵組合使用，而需要加二級(jí)大氣泵。如果羅茨泵排出壓力允許值在100Torr以上，則前級(jí)的水環(huán)泵也可以作為羅茨泵的前級(jí)泵的前級(jí)泵，這就大大地?cái)U(kuò)充了前級(jí)泵的應(yīng)用范圍。（6）應(yīng)用實(shí)例某化纖產(chǎn)品的生產(chǎn)過程為：低分子高分子制成帶狀切片干燥（運(yùn)用羅茨泵水環(huán)泵機(jī)組進(jìn)行真空干燥）抽絲牽伸、加熱紡織成品。其中一個(gè)重要的工序是將555(mm)大小的切片進(jìn)行干燥，以便進(jìn)行抽絲，抽絲過程中理想的狀況是使水份含量為零，實(shí)際上由于不能達(dá)到這一目的，故要求水份含量不大于0.02%，如果水份超過這一要求，要高溫高壓下抽絲，會(huì)使高分子分解，影響產(chǎn)品的強(qiáng)度。在干燥這一工序中所應(yīng)用的羅茨泵水環(huán)泵機(jī)組的抽真空系統(tǒng)裝置如圖7所示。機(jī)組中各泵的技術(shù)參數(shù)如下表。名 稱抽 氣 速 率(m3/h)轉(zhuǎn)子直徑(mm) 轉(zhuǎn) 速(r/min)配用功率(kW) 羅茨泵140016014502.2羅茨泵220010229001.3雙級(jí)水環(huán)泵100前級(jí)葉輪為后級(jí)之半14505.5主要設(shè)備的功用簡介如下：（1）真空閥關(guān)閉真空閥，機(jī)組停止運(yùn)行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。（2）自動(dòng)氣動(dòng)安全閥為防止機(jī)組突然停車時(shí)水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。（3）壓差閥機(jī)組開始運(yùn)行時(shí)，先啟動(dòng)水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達(dá)到一定值時(shí)，閥自動(dòng)開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經(jīng)此閥流進(jìn)水環(huán)泵。當(dāng)大氣逐漸通過大氣泵流進(jìn)水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時(shí)間。（4）水位計(jì)起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。操作順序如下：先開動(dòng)水環(huán)泵，系統(tǒng)中氣體徑由羅茨泵（此時(shí)推動(dòng)羅茨泵轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)）進(jìn)入水環(huán)泵而由汽水分離器排向大氣。當(dāng)抽到絕對(duì)壓力為50Torr時(shí)啟動(dòng)羅茨泵2，當(dāng)絕對(duì)壓力到20Torr時(shí)再啟動(dòng)羅茨泵1，最后系統(tǒng)壓力可達(dá)到0.088Torr，一般情況下可維持在1Torr以下。產(chǎn)品展示 W、WY系列往復(fù)式真空泵W、WY系列往復(fù)式真空泵是獲得粗真空的主要設(shè)備，使用于煉油、顏料、塑料、肥皂、食品、制糖、制藥等方面的蒸發(fā)結(jié)晶、干燥過濾；建筑方面的混凝土作業(yè)；冶金工業(yè)中的真空除氣及其它部門需要的低壓、低溫作業(yè)。往復(fù)式真空泵主要技術(shù)規(guī)格W-50 (W3) W-70 (W4-1)W-100 (W4) W-150 (W5-1)W-200 (W5-1)抽氣速率 1/S5070100150200極限真空KPa1.3 (10TOrr)2.6 (20TOrr)1.3 (10TOrr)2.6 (20TOrr)2.6 (20TOrr)轉(zhuǎn)速 r/min300364200300430配用電機(jī)型號(hào)Y132S-4Y160W-6Y160L-6Y180L-6Y200L2-6功率(KW)5.57.5111522進(jìn)出口管直徑mm508080 125125進(jìn)出口水管直徑1/21/23/43/43/4氣缸直徑*行程mm250*150250*150350*200350*200350*200外型尺寸mm長14021408177318561856寬615515800665665高640537891772772技術(shù)性能參數(shù)型號(hào)WL-50WL-100WL-200抽氣速率L/s(m3/h)50(180)100(360)200(720)極限真空 Pa(TOrr)2.66*103(20)進(jìn)排氣管徑mm(in)65(2*1/2)80(3)125(5)進(jìn)出水管徑 in1/21/23/4活塞直徑*行程 mm220*130300*150375*180轉(zhuǎn)速 r/min350320330電動(dòng)機(jī)型號(hào)Y132M1-6Y160-6Y180L-6功率 KW47.515噪音 dB外型尺寸:長*寬*高 mm1050*520*12001360*640*13851430*785*1440重量(不包括電動(dòng)機(jī))kg4207209402sk 系 列 雙 級(jí) 水 環(huán) 式 真 空 泵使用范圍: 主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性,不溶于水,允許含有少量固體顆粒的氣體.廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中. 該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn).型號(hào)名稱 2SK-1.5A2SK-3A2SK-6A2SK-12A抽氣速率(m3/mim)1.53612極限壓力(Pa)3.3 * 1033.3 * 1033.3 * 1033.3 * 103電機(jī)功率(Kw)47.51522泵轉(zhuǎn)速(rpm)144014401460970供水量(L/min)10-1515-2025-3040-50吸排氣口徑(mm)404050100真空泵的選擇 選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)：1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4510-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：1.盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。2.應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級(jí)泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可選用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動(dòng)平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長。二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對(duì)于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號(hào)。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我廠網(wǎng)頁真空計(jì)算公式。真空單位換算1、真空區(qū)域劃分真空區(qū)域壓強(qiáng)范圍托(Torr)帕(Pa)低真空760101333中真空1010-313331.3310-1高真空10-310-81.3310-110-6超高真空10-810-1210-610-10極高真空10-1210-102、長度：公制-英制對(duì)照表單位米(m)英尺(ft)英寸(in)1米(1m)13.2839.371英尺(1ft)0.30518.331英寸0.02541213、重量：公斤-磅-央士對(duì)照表單位公斤(kg)英磅(Ib)央士(oz)1公斤12.235.271磅0.451161央士0.030.0614、各種真空計(jì)及規(guī)管對(duì)照表真空計(jì)名稱電阻真空計(jì)熱偶真空計(jì)1.熱陰極電離真空計(jì)2.壓強(qiáng)自動(dòng)控制儀冷陰極碰控真空計(jì)中真空計(jì)超高真空計(jì)規(guī)管名稱電阻規(guī)管熱偶規(guī)管電離規(guī)管冷陰極規(guī)管中真空規(guī)管B-A規(guī)管規(guī)管型號(hào)ZJ-52TZJ-51(DL-3)ZJ-53ZJ-27(DL-9)ZJ-2(DL-2)ZJ-10(DL-5)M014DL-5DL-8ZJ-32ZJ-32BCZJ-125、絕對(duì)溫度、攝氏、華氏溫度對(duì)照表溫度形式K(絕對(duì)溫度)(攝氏)F(華氏)K(絕對(duì)溫度)1+273.155/9(F+459.67)(攝氏)K-273.1515/9(F-32)F(華氏)9/5(K-459.67)9/5(+32)16、抽氣速率單位換算表單位立方米/秒(m3/s)升/秒(L/s)立方米/小時(shí)立方英尺/分1立方米/秒(1m3/s)1100036002118.881升/秒(1L/s)10-313.62.1191立方米/小時(shí)(1m3/h)2.7810-40.27810.591立方英尺/分(1cft/min)4.7210-40.471.6917、各種水的電阻率(歐姆)水海水劣質(zhì)自來水優(yōu)質(zhì)自來水蒸餾水超凈水電阻率1010-21031041051061071088、20空氣在不同壓強(qiáng)下的分子平均自由程P(托)110-310-410-510-610-9(厘米)4.7210-34.7247.247247204.721069、常用壓強(qiáng)單位換算表帕Pa 托Torr 微米汞柱mHg 微巴bar 毫巴mbar 大氣壓atm 工程大氣壓am 英寸汞柱inHg 磅/英寸2lb/in2 1 Pa 1 7.510-3 7.5 10 10-2 9.8692310-61.0197105 2.95310-4 1.45010-4 1 Torr 133.32 1 103 1333.2 1.3332 1.3157910-3 1.359510-3 3.93710-2 1.93410-2 1 mHg 0.13332 10-3 1 1.3332 1.333210-3 1.3157910-6 1.359510-6 3.93710-5 1.93410-5 1 bar 10-1 7.510-4 7.510-1 1 10-3 9.8692310-7 1.019710-6 2.95310-5 1.45010-5 1 mbar 102 7.510-17.5102 103 1 9.8692310-4 1.019710-3 2.95310-2 1.45010-2 1 atm 760 760103 1013.25103 1013.25 1 1.0333 29.921 14.696 1 am 98066.3 735.56 735.56103 10-3 0. 1 28.959 14.223 1 inHg 3386 25.4 25.4103 3.386104 33.86 3.34210-2 3.45310-2 1 4.91210-1 1 lb/in2 6895 51.715 51.715103 6.895104 68.95 6.80510-2 7.03110-2 2.086 1 10、不同壓強(qiáng)下空氣分子密度P(托)110-310-410-510-610-9n0(個(gè)/厘米3)4101641013410124101141010410711、真空油脂的主要性能名稱成分20時(shí)飽和蒸氣壓(托)最高使用溫度()2#高分子碳3.110-8303#氧化合物10-9354#皂基脂10-710-81307501硅油加硅粉10-6以下-40+20012、力單位的換算 達(dá)因(Dyn) 牛頓(N) 斯坦 公斤力(kgf) 1 10-5 10-8 1.0210-6 13、功率單位換算 單位 馬力 千瓦 瓦 馬力(PS) 1 0.735 735 千瓦(kW） 1.36 1 1000 瓦(W) 1.36 0.001 1 14、真空封膏特性真空脂名稱 真空封脂 真空封泥 50 80 30 溫度 50 80 30 10-710-8托 10-710-8托 510-4托 15、各種橡膠特性表橡膠種類 天然橡膠 丁基橡膠 丁腈橡膠 氟橡膠 特性1 耐水性，耐酸性，耐堿性良好 滲透率小 耐油良好 23型耐強(qiáng)酸 特性2 出氣量較大 升華嚴(yán)重 彈性較好 26型滲透率低出氣率小 真空范圍 1105托 107托 108托 10-8托 溫度 3080 30150 30120 -20200 16、面積單位換算平方米(m2)平方厘米(cm2)平方毫米(mm2)平方市尺(sc2)平方英尺(ft2)平方英寸(in2)110000910.7639155017、容積單位換算立方米升立方市尺英加侖美加侖(液體)立方英尺立方英寸日升1100027219.98264.1835.31470.06103554.3718、1號(hào)真空機(jī)械泵油的主要性能指標(biāo)項(xiàng)目運(yùn)動(dòng)粘離(厘泊)閃點(diǎn)()飽和蒸汽壓20時(shí)(托)比重(克/厘米3)分子量(克)KK-150時(shí)(4757)100時(shí)(811)不低于15不高于410-50.8633319、國產(chǎn)擴(kuò)散泵油性能指標(biāo)牌號(hào)1#2#3#274硅油275硅油飽和蒸氣壓(托)20不大于410-8210-8210-8210-81.710-8運(yùn)動(dòng)粘度(厘泊)45605565688038316520凝固點(diǎn)()不高于-15-15-15-10-14-18閃點(diǎn)()不低于230230230210243比重(克/厘米2)1.051.081.090.0220、真空泵的種類及其工作范圍真空泵工作范圍(托)真空泵工作范圍(托)旋片真空泵760510-4往復(fù)真空泵76010-2滑閥真空泵760510-3吸附泵76010-4油增壓泵10-110-4濺射離子泵10-410-10羅茨真空泵10-110-4鈦升華泵10-310-10油擴(kuò)散泵10-3510-7分子泵10-310-10水環(huán)真空泵76025低溫泵10-310-1021、水在各種溫度下的飽合蒸氣壓溫度壓力溫度壓力PaTorrPaTorr-13225.41.691-10386.52.149-7361.92.715-3489.63.6730610.44.5793757.85.685710017.5131012289.20913149711.2317193714.5320233717.5423280821.0727356426.7430424231.8233502937.7337627447.0740737855.3243863864.80471061079.60501233092.515314290107.25717310129.86019910149.46322840171.46727320205.07335420265.7774187031468762480468.79378460588.69790920682.1100760.0101787.6真空名詞術(shù)語1、真空的定義 真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)2、真空度 處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度單位 通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。1托1/760大氣壓1毫米汞柱4、托與帕的轉(zhuǎn)換 1托133.322帕或1帕7.510-3托5、平均自由程 作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“”表示。6、流量 單位時(shí)間流過任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示，單位為帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。7、流導(dǎo) 表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。 UQ/(P2- P1)8、壓力或壓強(qiáng) 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 壓強(qiáng)為每平方厘米達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。10、極限真空 真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。11、抽氣速率 在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即SpQ/（PP0）12、熱偶真空計(jì) 利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測(cè)量真空度的真空計(jì)。13、電離真空計(jì)（又收熱陰極電離計(jì)） 由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。14、復(fù)合真空計(jì) 由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成，測(cè)量范圍從大氣10-5Pa。15、冷陰極電離計(jì) 陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。16、電阻真空計(jì) 利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測(cè)量真空度的真空計(jì)。17、麥克勞真空計(jì)（壓縮式真空計(jì)） 將待測(cè)的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。18、BA規(guī) 這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測(cè)量下限，可測(cè)超高真空。19、水環(huán)真空泵 泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。20、往復(fù)真空泵 利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。21、油封機(jī)械真空泵 用油來保持密封的機(jī)械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。22、羅茨真空泵 具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。23、渦輪分子真空泵 有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。24、油擴(kuò)散真空泵 擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除。25、低溫真空泵 利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。26、冷阱（水冷擋板） 置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。27、氣鎮(zhèn)閥 油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量