GB∕T 37213-2018 硅晶錠尺寸的測定 激光法

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37213—2018

硅晶錠尺寸的測定激光法

Testmethodforsiliconbrickdimension—Lasertechnologymethod

2018-12-28發(fā)布2019-11-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T37213—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì)共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位蘇州協(xié)鑫光伏科技有限公司江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司山東大海新能

:、、

源發(fā)展有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人宮龍飛金善明林清香夏根平唐珊珊劉坤

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T37213—2018

硅晶錠尺寸的測定激光法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用激光法非接觸式測量方形硅晶錠尺寸的方法包括對角線倒角垂直度邊長和

,、、、

長度

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體及光伏領(lǐng)域硅單晶棒或多晶硅鑄錠切割成的方形硅晶錠尺寸的測量

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

太陽能電池用硅單晶

GB/T25076

太陽能級鑄造多晶硅塊

GB/T29054

3術(shù)語和定義

和界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264、GB/T25076GB/T29054。

4方法原理

采用激光技術(shù)構(gòu)架一個(gè)尺寸測量系統(tǒng)用激光光源作為入射光照射硅晶錠通過激光探頭接收激

,。

光反射信號形成激光脈沖波形圖并將數(shù)據(jù)反饋至計(jì)算機(jī)軟件處理控制系統(tǒng)通過計(jì)算機(jī)軟件處理控

,,。

制系統(tǒng)對硅晶錠對角線倒角垂直度邊長長度參數(shù)進(jìn)行模擬與計(jì)算從而得出硅晶錠的尺寸參數(shù)

、、、、,。

硅晶錠對角線倒角垂直度參數(shù)由激光測量組件測量如圖所示硅晶錠邊長長度

、、A、B、C、D,1。、

參數(shù)由激光測量組件測量如圖所示測量硅晶錠長度時(shí)硅晶錠垂直于激光測量組件平

P、L、Q、R,2。,

面運(yùn)動(dòng)當(dāng)硅晶錠第一端面通過激光測量組件平面時(shí)記錄四個(gè)側(cè)面的初始位置當(dāng)硅晶錠第二端面通

,,,

過激光測量組件平面時(shí)記錄四個(gè)側(cè)面的終止位置進(jìn)而確定硅晶錠長度

,,。

說明

:

激光測量組件

A、B、C、D———。