JJF(鄂) 115-2024 線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范

湖北省地方計量技術(shù)規(guī)范JJF(鄂)115—2024線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范LinewidthStandardSampleCalibrationSpecification2024-05-14發(fā)布2024-09-01實施湖北省市場監(jiān)督管理局發(fā)布線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范LinewidthStandardSampleCalibrationSpecification歸口單位：湖北省市場監(jiān)督管理局主要起草單位：中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所武漢大學(xué)本規(guī)范主要起草人：羅錦暉（中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所）房斌（中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所）張騁（中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所）薄濤（中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所）鄭鋒（中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所）丁超（中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所）梁康（武漢大學(xué)）東芳（武漢大學(xué)）I （II） （1） （1） （1） （1） （1） （1） （1） （1） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （2） （3） （3） （3） （3） （4） （5） （6）1本規(guī)范適用于線寬在100nm~10μm之間的線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片線寬的校準(zhǔn)。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用本規(guī)范。3術(shù)語和計量單位3.1線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片linewidthstandardsample3.2標(biāo)準(zhǔn)樣片standardsample3.3線寬linewidth線條兩側(cè)平均線邊緣之間的距離。線寬平均線邊緣線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片（以下簡稱標(biāo)準(zhǔn)樣片）是針對集成電集成電路關(guān)鍵尺寸量值，通過掃描電子顯微鏡進(jìn)行測量，在實2標(biāo)準(zhǔn)樣片是具備一個或多個典型值的專用標(biāo)準(zhǔn)樣品，5.1標(biāo)準(zhǔn)樣片厚度的測量范圍5.2標(biāo)準(zhǔn)樣片的厚度標(biāo)稱值厚度標(biāo)稱值最大允許誤差±3nm±6nm±10nm±10nm±10nm±10nm±10nm注：標(biāo)準(zhǔn)樣片的標(biāo)準(zhǔn)值和測量不確定度以最終校準(zhǔn)結(jié)果賦值為準(zhǔn)。5.3標(biāo)準(zhǔn)樣片應(yīng)具備的參數(shù)及性能要求注：以上技術(shù)指標(biāo)不做合格性判別，僅提供參考。6.2校準(zhǔn)用設(shè)備校準(zhǔn)用設(shè)備應(yīng)經(jīng)過法定計量技術(shù)機構(gòu)檢定或校準(zhǔn)，滿足37校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法7.1校準(zhǔn)項目7.2校準(zhǔn)方法樣片平面成直角）進(jìn)行移動。原子力顯微鏡在掃描標(biāo)準(zhǔn)樣片時，探針懸臂的方向zyxb)給標(biāo)準(zhǔn)樣片線寬參數(shù)校準(zhǔn)時，原子力顯微鏡通過探針對標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行掃描，掃描參數(shù)設(shè)置為輕敲模式，掃描范圍一般選取1μm×10μm。在測量時均勻地選取8校準(zhǔn)結(jié)果的處理4l)如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時，應(yīng)對校準(zhǔn)過程中被校對象的設(shè)置和操作復(fù)校時間間隔可由用戶根據(jù)需要自定。相鄰兩次校準(zhǔn)時間間隔內(nèi)，被校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)樣片的計量性能變化應(yīng)在實際需求允許的范圍內(nèi)。建議復(fù)校時間間隔為1年。。5校準(zhǔn)記錄參考格式環(huán)境溫度：℃相對濕度：6校準(zhǔn)結(jié)果不確定度評定示例標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)的項目為線寬，需進(jìn)行測量不確定度評定。本附錄以線寬的200nm及B.2.1測量模型線寬校準(zhǔn)采用直接測量的方法，當(dāng)原子力顯微鏡的力的作用使懸臂發(fā)生偏轉(zhuǎn)或振幅改變，懸臂的這種變化經(jīng)檢測系統(tǒng)傳遞給反饋系統(tǒng)和成像系統(tǒng)，記錄掃描過程中一系列探針變化就可圖像，根據(jù)圖像中柵格線的像素個數(shù)換算出寬度值，該值B.2.2測量不確定度來源B.2.3不確定度評定a)原子力顯微鏡測量線寬的誤差引入的不確定度分量uB1：均勻分布，k1=，uB1==57.7pmb)原子力顯微鏡中激光干涉儀分辨力引入的不確定度分量uA1：，，c)標(biāo)準(zhǔn)樣片各處線寬的不均勻性引入的不確定度分量uA2：7123456789B.2.4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度B.2.5擴展不確定度取包含因子k=2，U=k×uc=0.15nmB.3.1測量模型線寬校準(zhǔn)采用直接測量的方法，當(dāng)原子力顯微鏡的力的作用使懸臂發(fā)生偏轉(zhuǎn)或振幅改變，懸臂的這種變化經(jīng)檢測系統(tǒng)傳遞給反饋系統(tǒng)和成像系統(tǒng)，記錄掃描過程中一系列探針變化就可B.3.2測量不確定度來源B.3.3不確定度評定8a)原子力顯微鏡測量線寬的誤差引入的不確定度分量uB1：為均勻分布，k1=，uB1==0.35nmb)原子力顯微鏡中激光干涉儀分辨力引入的不確定度分量uA1：c)標(biāo)準(zhǔn)樣