T-GXDSL 023-2024 氣凝膠氈塵埃粒子防逸工藝規(guī)范_第1頁(yè)
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.010T/GXDSLProcessSpecificationsforAnti-escapeofDustParticlesinAerogelBlankets廣西電子商務(wù)企業(yè)聯(lián)合會(huì)發(fā)布IT/GXDSL023—2024 一、范圍 1二、規(guī)范性引用文件 1三、術(shù)語(yǔ)和定義 11.氣凝膠氈 12.塵埃粒子防逸 1四、材料與設(shè)備 21.原材料要求 22.設(shè)備要求 2五、生產(chǎn)環(huán)境要求 21.潔凈度等級(jí) 32.溫濕度控制 33.氣流組織 3六、工藝步驟與技術(shù)要求 31.表面預(yù)處理 32.涂層處理 43.裁剪與加工 44.封裝與防護(hù) 4七、質(zhì)量檢測(cè)與控制 51.檢測(cè)項(xiàng)目 52.質(zhì)量控制 5八、包裝與運(yùn)輸 51.包裝要求 52.運(yùn)輸要求 6九、安全與環(huán)保要求 61.安全要求 62.環(huán)保要求 6十、附則 7T/GXDSL023—2024本文件依據(jù)GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由廣西產(chǎn)學(xué)研科學(xué)研究院提出。本文件由廣西電子商務(wù)企業(yè)聯(lián)合會(huì)歸口。本文件起草單位:廣西研科院高新技術(shù)有限公司,尤特森新材料集團(tuán)有限公司,尤特森(廣西)新材料科技有限公司,廣西產(chǎn)學(xué)研科學(xué)研究院,尤科新材科技有限公司,尤特森(安徽)新材料科技有限公司,清遠(yuǎn)瀚江玻璃棉科技有限公司,合肥尤特森新材料科技有限公司,廣西研科院傳媒有限公司,廣西澤靈科技有限公司。本文件主要起草人:莊文斌、劉東方,梁玲玲,周伯韜,甘漢才,韋新,陳世卿,周濤,牛光普,張建軍,張婷。本文件為首次發(fā)布。1T/GXDSL023—2024氣凝膠氈塵埃粒子防逸工藝規(guī)范一、范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氣凝膠氈塵埃粒子防逸工藝的術(shù)語(yǔ)和定義、材料與設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境要求、工藝步驟與技術(shù)要求、質(zhì)量檢測(cè)與控制、包裝與運(yùn)輸以及安全與環(huán)保要求等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于氣凝膠氈在生產(chǎn)、加工、存儲(chǔ)、運(yùn)輸及使用過(guò)程中的塵埃粒子防逸處理,以確保氣凝膠氈產(chǎn)品的潔凈度和穩(wěn)定性,滿足相關(guān)領(lǐng)域?qū)Φ蛪m埃粒子污染的應(yīng)用需求。二、規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。?GB/T16292醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測(cè)試方法?GB/T2918塑料試樣狀態(tài)調(diào)節(jié)和試驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境?GB50073潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范三、術(shù)語(yǔ)和定義1.氣凝膠氈一種以納米氣凝膠為主體材料,通過(guò)特殊工藝與纖維基材復(fù)合而成的具有極低導(dǎo)熱系數(shù)、輕質(zhì)、柔軟等特性的保溫隔熱材料。2.塵埃粒子防逸2T/GXDSL023—2024通過(guò)一系列工藝措施,防止氣凝膠氈在生產(chǎn)、處理、使用等過(guò)程中塵埃粒子的脫落、散發(fā),從而保持其周圍環(huán)境的潔凈度以及自身的性能穩(wěn)定性。四、材料與設(shè)備1.原材料要求?氣凝膠氈的基體材料應(yīng)具有良好的纖維強(qiáng)度和穩(wěn)定性,其纖維直徑宜控制在3μm-8μm之間,以減少纖維斷裂產(chǎn)生塵埃粒子的可能性。?用于氣凝膠氈表面處理的涂層材料應(yīng)具備高附著力、低塵性和耐磨損性,涂層材料的粒徑分布應(yīng)在20nm-80nm之間,且不含易脫落的雜質(zhì)顆粒。2.設(shè)備要求?裁剪設(shè)備:采用高精度數(shù)控裁剪設(shè)備,其刀具鋒利度應(yīng)能保證切割面整齊光滑,切割過(guò)程中產(chǎn)生的碎屑量每平方米不超過(guò)5克,且設(shè)備應(yīng)配備有效的吸塵裝置,吸塵效率不低于95%,以即時(shí)吸除切割產(chǎn)生的塵埃粒子。?封裝設(shè)備:具有良好的密封性能,能夠在封裝過(guò)程中使氣凝膠氈處于相對(duì)封閉的環(huán)境,避免外界塵埃粒子的污染,封裝設(shè)備的密封壓力應(yīng)可調(diào)節(jié),范圍在0.2MPa-0.5MPa之間,確保封裝的緊密性。?清潔設(shè)備:包括空氣過(guò)濾器、真空吸塵器等??諝膺^(guò)濾器的過(guò)濾精度應(yīng)達(dá)到0.3μm-0.5μm,能夠有效過(guò)濾生產(chǎn)環(huán)境中的塵埃粒子;真空吸塵器的吸力應(yīng)不低于20kPa,且配備高效過(guò)濾器,防止吸塵過(guò)程中塵埃粒子的二次排放。五、生產(chǎn)環(huán)境要求3T/GXDSL023—20241.潔凈度等級(jí)氣凝膠氈的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的應(yīng)用需求設(shè)定相應(yīng)的潔凈度等級(jí),一般不得低于GB/T16292規(guī)定的8級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn),如在電子芯片制造領(lǐng)域應(yīng)用時(shí),生產(chǎn)環(huán)境潔凈度應(yīng)達(dá)到5級(jí)。2.溫濕度控制生產(chǎn)車間的溫度應(yīng)控制在20℃-25℃之間,相對(duì)濕度控制在40%-60%之間,以減少因溫濕度變化導(dǎo)致氣凝膠氈材料變形或表面結(jié)露而產(chǎn)生塵埃粒子的風(fēng)險(xiǎn)。3.氣流組織采用合理的氣流組織形式,如單向流或非單向流,確保生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)的氣流均勻穩(wěn)定,氣流速度宜控制在0.2m/s-0.5m/s之間,避免氣流紊亂造成塵埃粒子的飛揚(yáng)和擴(kuò)散。六、工藝步驟與技術(shù)要求1.表面預(yù)處理?采用靜電除塵技術(shù)對(duì)氣凝膠氈表面進(jìn)行初步清潔,靜電電壓應(yīng)控制在30kV-50kV之間,使表面塵埃粒子帶上電荷,便于后續(xù)吸附清除,處理后表面塵埃粒子數(shù)量每平方厘米不得超過(guò)10個(gè)。?對(duì)于表面有油污或其他污染物的氣凝膠氈,應(yīng)使用專用的環(huán)保型清潔劑進(jìn)行擦拭,清潔劑應(yīng)具有低揮發(fā)性和高溶解性,擦拭后應(yīng)采用無(wú)塵干燥工藝,如低溫真空干燥,干燥溫度不超過(guò)50℃,確保表面無(wú)殘留清潔劑和水分,避免產(chǎn)生新的塵埃粒子源。4T/GXDSL023—20242.涂層處理?在清潔后的氣凝膠氈表面均勻涂覆防逸涂層,涂層厚度應(yīng)控制在10μm-30μm之間,采用噴涂、輥涂或浸涂等工藝,確保涂層的完整性和均勻性。?涂覆后的氣凝膠氈應(yīng)進(jìn)行固化處理,固化溫度根據(jù)涂層材料特性設(shè)定在80℃-120℃之間,固化時(shí)間為30min-60min,使涂層與氣凝膠氈基體緊密結(jié)合,提高涂層的附著力和耐久性,固化過(guò)程中應(yīng)在無(wú)塵環(huán)境下進(jìn)行,防止塵埃粒子污染。3.裁剪與加工?在裁剪氣凝膠氈前,應(yīng)對(duì)裁剪設(shè)備及周邊環(huán)境進(jìn)行清潔處理,確保無(wú)塵埃粒子殘留。裁剪時(shí),應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品尺寸要求精確操作,裁剪誤差不超過(guò)±2mm,同時(shí)開啟吸塵裝置,及時(shí)吸除裁剪過(guò)程中產(chǎn)生的塵埃粒子。?對(duì)于需要進(jìn)行拼接、打孔等加工操作的氣凝膠氈,應(yīng)采用精密加工設(shè)備,并在加工部位周圍設(shè)置局部吸塵裝置,加工后對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行再次清潔處理,確保加工過(guò)程中未引入新的塵埃粒子。4.封裝與防護(hù)?采用具有良好阻隔性能的包裝材料對(duì)氣凝膠氈進(jìn)行封裝,如多層復(fù)合塑料薄膜或鋁箔袋,包裝材料的氧氣透過(guò)率應(yīng)不超過(guò)10cm3/(m2?24h?0.1MPa),水蒸氣透過(guò)率不超過(guò)2g/(m2?24h),以防止外界塵埃粒子進(jìn)入包裝內(nèi)部。?在包裝內(nèi)可放置干燥劑和脫氧劑,以保持包裝內(nèi)的干燥和低氧環(huán)境,進(jìn)一步降低塵埃粒子產(chǎn)生的可能性。干燥劑的吸濕率應(yīng)不低于30%,脫氧劑的脫氧能力應(yīng)能使包裝內(nèi)氧氣含量在7天內(nèi)降低至0.1%以下。5T/GXDSL023—2024七、質(zhì)量檢測(cè)與控制1.檢測(cè)項(xiàng)目?塵埃粒子檢測(cè):按照GB/T16292規(guī)定的方法,定期對(duì)生產(chǎn)環(huán)境、生產(chǎn)設(shè)備表面、氣凝膠氈產(chǎn)品表面及包裝內(nèi)部的塵埃粒子數(shù)量和粒徑分布進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)頻率為每4小時(shí)一次,生產(chǎn)環(huán)境中的塵埃粒子濃度不得超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值,氣凝膠氈產(chǎn)品表面塵埃粒子數(shù)量每平方厘米不得超過(guò)5個(gè),包裝內(nèi)部塵埃粒子數(shù)量每立方米不得超過(guò)100個(gè)。?涂層性能檢測(cè):包括涂層厚度檢測(cè),采用涂層測(cè)厚儀進(jìn)行測(cè)量,測(cè)量精度應(yīng)達(dá)到±2μm;涂層附著力檢測(cè),采用劃格法或拉伸法,附著力等級(jí)應(yīng)不低于2級(jí);涂層耐磨損性檢測(cè),通過(guò)模擬實(shí)際使用環(huán)境下的摩擦試驗(yàn),磨損量每平方米不得超過(guò)0.5克。2.質(zhì)量控制?建立質(zhì)量追溯體系,對(duì)每一批次氣凝膠氈產(chǎn)品的原材料來(lái)源、生產(chǎn)工藝參數(shù)、質(zhì)量檢測(cè)數(shù)據(jù)等信息進(jìn)行記錄和保存,保存期限不少于5年,以便在出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題時(shí)能夠快速追溯和分析原因。?當(dāng)質(zhì)量檢測(cè)結(jié)果不符合要求時(shí),應(yīng)立即停止生產(chǎn),對(duì)不合格產(chǎn)品進(jìn)行標(biāo)識(shí)、隔離,并采取相應(yīng)的糾正措施,如調(diào)整工藝參數(shù)、更換原材料或設(shè)備等,經(jīng)再次檢測(cè)合格后方可恢復(fù)生產(chǎn)。八、包裝與運(yùn)輸1.包裝要求?氣凝膠氈產(chǎn)品應(yīng)采用雙層包裝,內(nèi)層為密封包裝,外層為防護(hù)包裝。內(nèi)層包裝材料應(yīng)與氣凝膠氈產(chǎn)品直接接觸,具有良好的柔韌性和低塵性,外層包裝應(yīng)具有足夠的強(qiáng)度和抗沖擊性,能夠保護(hù)產(chǎn)品在6T/GXDSL023—2024運(yùn)輸和存儲(chǔ)過(guò)程中不受損壞。?在包裝上應(yīng)標(biāo)注產(chǎn)品名稱、規(guī)格、數(shù)量、生產(chǎn)日期、保質(zhì)期、生產(chǎn)廠家、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)以及注意事項(xiàng)等信息,標(biāo)注應(yīng)清晰、準(zhǔn)確、完整。2.運(yùn)輸要求?運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)避免氣凝膠氈產(chǎn)品受到劇烈顛簸、擠壓和碰撞,運(yùn)輸車輛應(yīng)具備良好的減震和固定裝置,產(chǎn)品在車廂內(nèi)的堆放高度不得超過(guò)2米,且應(yīng)與其他貨物隔離,防止交叉污染。?對(duì)于長(zhǎng)途運(yùn)輸或在惡劣環(huán)境下運(yùn)輸?shù)那闆r,應(yīng)采取額外的防護(hù)措施,如在車廂內(nèi)設(shè)置防塵罩、控溫裝置等,確保運(yùn)輸過(guò)程中氣凝膠氈產(chǎn)品的質(zhì)量和性能不受影響。九、安全與環(huán)保要求1.安全要求?生產(chǎn)車間應(yīng)設(shè)置明顯的安全警示標(biāo)志,如防火、防爆、防觸電等標(biāo)志,操作人員應(yīng)佩戴必要的個(gè)人防護(hù)用品,如工作服、手套、口罩、護(hù)目鏡等,防止在生產(chǎn)過(guò)程中受到傷害。?生產(chǎn)過(guò)程中使用的電氣設(shè)備應(yīng)符合相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn),接地良好,定期進(jìn)行安全檢查和維護(hù),防止電氣故障引發(fā)安全事故。2.環(huán)保要求?生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣、廢水、廢渣等應(yīng)按照國(guó)家相關(guān)環(huán)保法規(guī)進(jìn)行處理,達(dá)標(biāo)后排放或回收利用。例如,廢氣應(yīng)經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾和凈化處理,去除其中的塵埃粒子和有害氣體

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