《傳感器元件與實(shí)驗(yàn)》課件-2.7

2.7熱電偶測溫電路序言

圖2.73熱電偶測一點(diǎn)溫度南京理工大學(xué)紫金學(xué)院序言2.測量兩點(diǎn)溫度差圖2.74所示為測量兩點(diǎn)溫度差原理電路。圖中兩熱電偶型號相同，延伸導(dǎo)線相同，兩熱電偶反相串聯(lián)，此時(shí)測溫回路總電勢等于兩熱電偶電勢之差，即圖2.74熱電偶測兩點(diǎn)溫差

南京理工大學(xué)紫金學(xué)院序言3.測量多點(diǎn)溫度的平均值測量多點(diǎn)溫度的平均值有兩種基本形式的電路接法，如圖2.75所示。a）b）圖2.75熱電偶測多點(diǎn)溫度的平均值圖2.75a)所示為采用多個(gè)熱電偶相串聯(lián)測多點(diǎn)溫度平均值的方法，此時(shí)儀表指示多個(gè)熱電偶電勢之和，即南京理工大學(xué)紫金學(xué)院序言式中，N為熱電偶個(gè)數(shù)，熱電偶的平均值

；設(shè)置有除法電路的儀表，可由表頭直接讀出平均值。在選用串聯(lián)時(shí)，要求各串聯(lián)熱電偶在測溫范圍內(nèi)都具有線性工作特性，使回路熱電勢與被測溫度成線性關(guān)系。圖2.75b)所示為采用多個(gè)熱電偶并聯(lián)測多點(diǎn)溫度平均值的方法，此時(shí)儀表指示值即為多個(gè)熱電偶熱電勢的平均值，即

采用并聯(lián)接法時(shí)，延伸線上應(yīng)接入較大的限流電阻，且各熱電偶應(yīng)工作于線性范圍之內(nèi)。并聯(lián)接法的缺點(diǎn)是由于儀表指示的平均值較小，若某一熱電偶無輸出(開路)，操作者難以發(fā)現(xiàn)以至讀出值產(chǎn)生誤差。南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第一節(jié)一、熱電偶的選擇南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第一節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院熱電偶的結(jié)構(gòu)類型很多，其特性及應(yīng)用環(huán)境不同，在選擇熱電偶測溫時(shí)，應(yīng)從溫度變化范圍、測量精度要求、安裝及維護(hù)方便、價(jià)格高低等幾個(gè)方面綜合考慮。常用熱電偶的特性及應(yīng)用環(huán)境如表2.3所示。名稱(代號)分度號適應(yīng)溫度/℃工作特性鉑銠10-鉑(WRLB)LB-3,S0~1600

熱電特性穩(wěn)定，抗氧化，測溫精度高、范圍大，宜制成標(biāo)準(zhǔn)熱電偶鉑銠30-鉑銠6(WRLL)LL-2,B0~1800

比鉑銠10-鉑具有更穩(wěn)定的熱電特性和精度、更大的測溫范圍，熱電勢更小，可作標(biāo)準(zhǔn)熱電偶；冷端溫度在50℃以下時(shí)可不必考慮冷端誤差鎳鉻-鎳硅(鋁)(WREU)EU-2,K-50~1300

熱電勢大，熱電特性接近于線性，有較強(qiáng)的抗氧化性和抗腐蝕性，復(fù)制性好，價(jià)格便宜，工業(yè)應(yīng)用廣泛；測量精度和穩(wěn)定性稍差鎳鉻-康銅(WREA)E-200~900

熱電勢大，熱電特性線性，價(jià)格便宜，適于在還原性和中性氣體中使用；測溫范圍小銅-康銅CK-270~400

熱電勢大，價(jià)格低；高溫下銅極易氧化表2.3常用熱電偶工作特性及適應(yīng)溫度第一節(jié)為了適應(yīng)各種特殊場合測溫需要，目前已研制出多種特殊性能的熱電偶。舉例如下。1.鎢錸系熱電偶鎢錸系材料是目前較好的超高溫材料，測溫范圍可達(dá)0℃~3000℃。例如鎢錸5-鎢錸20熱電偶，一般測溫范圍為300℃~2400℃時(shí)，精度可達(dá)±1%，且熱電勢大，適用于高溫測量；但尚無合適的延伸導(dǎo)線，測溫時(shí)應(yīng)采用0℃恒溫法或軟件法實(shí)現(xiàn)冷端補(bǔ)償。2.鎳鉻-金鐵熱電偶這類熱電偶低溫性能極好，在絕對溫度1~300范圍，熱電勢大且穩(wěn)定，適用于超低溫測量。還有銅-金鉆熱電偶，也是低溫?zé)犭娕肌?.薄膜熱電偶這是由兩種不同的金屬材料蒸鍍到絕緣薄片上而形成的膜片式熱電偶，薄膜厚度一般為0.01~0.1mm，平面尺寸也很小，因而測溫靈敏度高、反應(yīng)快(毫秒級)，適用于溫度變化快的場合。南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第二節(jié)二、非金屬電極熱電偶南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第二節(jié)這類熱電偶是用石墨和難以熔化的化合物做成熱電極，用于測量2000℃以上的高溫，其工作穩(wěn)定性好，熱電勢大，價(jià)格不高，具有取代貴重金屬高溫?zé)犭娕嫉拈_發(fā)價(jià)值。但這種熱電偶復(fù)制性差，機(jī)械強(qiáng)度小、脆性大，使用場合受到很大限制。1.電阻溫度傳感器電阻溫度傳感器是利用金屬或半導(dǎo)體材料的電阻對溫度敏感的特性制成的溫度傳感器，常用于-200℃~500℃范圍溫度的測量。在低溫區(qū)域，熱電偶產(chǎn)生的熱電勢小，冷端溫度補(bǔ)償誤差大，熱電偶測量精度較低；采用電阻溫度傳感器可以獲得很高的測量精度，而且不存在冷端補(bǔ)償問題，因而在工業(yè)中被廣泛應(yīng)用。南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第二節(jié)3.鉑熱電阻鉑金屬工藝性好，易于提純，可以制成極細(xì)的鉑絲或極薄的鉑箔，且高溫下物理、化學(xué)性能都很穩(wěn)定，適合于-200℃~650℃范圍使用，是目前制作熱電阻的最好材料；但鉑是一種貴重金屬，價(jià)格高，一般用于制作標(biāo)準(zhǔn)測溫器件。鉑電阻的阻值與溫度之間關(guān)系接近于線性，溫度越高電阻越大。在0℃~650℃范圍，電阻溫度特性可用下式表示南京理工大學(xué)紫金學(xué)院在-200℃~0℃范圍，電阻溫度特性可用下式表示

第二節(jié)鉑絲的純度通常用

電阻比W(100)表示，即為南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第二節(jié)4.銅熱電阻相對于鉑金屬，銅是一種價(jià)格便宜、純度可以獲得很高的熱電阻材料，在-50℃~150℃范圍不但靈敏度高，而且線性關(guān)系好，因而在此溫度范圍內(nèi)采用銅熱電阻比采用鉑熱電阻好。其缺點(diǎn)是在較高的溫度下銅易氧化，因而只能用于低溫及無侵蝕性的介質(zhì)中；銅的電阻率比較小，熱電阻體積較大。銅熱電阻的阻值與溫度之間的函數(shù)關(guān)系為南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第二節(jié)目前我國工業(yè)上使用的標(biāo)準(zhǔn)化銅熱電阻R0有50Ω和100Ω兩種，其分度號分別為Cu50和Cu100，銅絲純度的

電阻比W(100)≥1.425。鉑和銅在超低溫下電阻溫度特性不夠穩(wěn)定，不宜作超低溫測量，此時(shí)可考慮選用錮、錳等金屬熱電阻：錮熱電阻在-269℃~258℃溫度范圍，錳熱電阻在-271℃~210℃溫度范圍，都具有較穩(wěn)定的電阻溫度特性，且具有較高的靈敏度。南京理工大學(xué)紫金學(xué)院5.測溫電路熱電阻測溫電路最常用的是電橋電路，在橋路中接入熱電阻的方法有三線法和四線法兩種。圖2.76所示為三線法原理圖，圖中G為檢流計(jì)，R1，R2，R3為固定電阻，Ra為調(diào)零電位器，熱電阻RT通過電阻為r1，r2和re的3根導(dǎo)線與電橋連接。溫度變化時(shí)，只要r1和r2阻值穩(wěn)定，就不影響電橋的工作狀態(tài)。第二節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院電橋調(diào)零時(shí)，依靠橋臂電阻R4=(Ra+RT)調(diào)節(jié)，電橋調(diào)零時(shí)參考溫度應(yīng)為0℃。三線法的主要缺點(diǎn)是調(diào)零電阻Ra直接與滑點(diǎn)的接觸電阻串聯(lián)，測溫時(shí)會導(dǎo)致電橋零點(diǎn)不穩(wěn)定。圖2.77所示為四線法原理圖，圖中調(diào)零電位器Ra的滑動觸點(diǎn)與檢流計(jì)相連，此時(shí)電位器滑動觸點(diǎn)的接觸電阻僅與檢流計(jì)串聯(lián)，接觸電阻的不穩(wěn)定不會破壞電橋的平衡及正常工作狀態(tài)。這種接法亦可以消除熱電阻與測量儀之間連線電阻的影響，同時(shí)可以消除測量線路中寄生參數(shù)引起的測量誤差。圖2.76熱電阻測溫電橋三線連接法

圖2.77熱電阻測溫電橋四線連接法第三節(jié)三、半導(dǎo)體熱敏電阻南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院用半導(dǎo)體材料做成的溫度敏感器件稱為半導(dǎo)體熱敏電阻(Thermistor)，半導(dǎo)體熱敏電阻包括正溫度系數(shù)(PTC)、負(fù)溫度系數(shù)(NTC)和臨界溫度系數(shù)(CTR)三類。PTC(PositiveTemperatureCoefficient)熱敏電阻主要采用欽酸鋇(BaTiO3)系列材料，當(dāng)溫度超過某一數(shù)值時(shí)，其阻值朝正的方向快速變化；PTC熱敏電阻主要用于電器設(shè)備的過熱保護(hù)，發(fā)熱源的定溫控制，或作限流元件使用。CTR(CriticalTemperatureResistor)熱敏電阻采用氧化釩(VO2)系列材料，在某個(gè)溫度值上電阻值急劇變化，因而CTR主要用作溫控開關(guān)。人們常說的熱敏電阻一般是指NTC(NegativeTemperatureCoefficient)熱敏電阻，它是由氧化銅、氧化鋁、氧化鎳等金屬氧化物按一定比例混合研磨、成型、鍛燒而成的，改變這些混合物的配比成分，就可以改變NTC的溫度范圍、溫度系數(shù)及阻值。NTC熱敏電阻具有很高的負(fù)電阻溫度系數(shù)，特別適用于-100℃~300℃溫度范圍使用，既可作溫度測量，亦可作電子控制系統(tǒng)中溫控器件。下面介紹NTC熱敏電阻的工作特性。第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院1.溫度特性NTC熱敏電阻的導(dǎo)電性能取決于其內(nèi)部載流子(電子和空穴)密度和遷移率，當(dāng)溫度升高時(shí)，外層電子在熱激發(fā)下大量成為載流子，使載流子的密度增加，活動能力大大加強(qiáng)，從而導(dǎo)致其阻值急劇下降。NTC熱敏電阻的阻值與溫度之間近似指數(shù)關(guān)系，可由下式表示

第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院為了使用方便，生產(chǎn)廠商一般取T0=25℃，T=100℃，即T0=298K，T=373K作為熱敏電阻材料常數(shù)B的取值，則有式中，R100和R25分別為T=100℃和T0=25℃時(shí)的電阻值。熱敏電阻在其本身溫度變化1℃時(shí)電阻值的相對變化量，稱之為熱敏電阻的溫度系數(shù)，可由下式表示第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

圖2.78NTC熱敏電阻伏安特性第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院3.熱敏電阻主要參數(shù)1)標(biāo)稱電阻值R25(Ω)標(biāo)稱電阻是25℃時(shí)的熱敏電阻值，其大小由熱敏電阻的材料和幾何尺寸決定。2)電阻溫度系數(shù)a(%/℃)即熱敏電阻的溫度變化1℃時(shí)，其電阻值的變化率。3)耗散系數(shù)H(W/℃)即熱敏電阻的溫度變化1℃時(shí)，熱敏電阻所耗散的功率，其大小與熱敏電阻材料性能、結(jié)構(gòu)及周圍介質(zhì)有關(guān)。4)熱容量C(J/℃)即熱敏電阻的溫度變化1℃時(shí)所吸收或釋放的熱量。第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

熱敏電阻的優(yōu)點(diǎn)是電阻溫度系數(shù)大，因而靈敏度高；熱容量小，因而響應(yīng)速度快。6)最高工作溫度Tm(K)熱敏電阻在規(guī)定的技術(shù)條件下，長期連續(xù)工作所允許的最高溫度。7)額定功率PH(W)熱敏電阻在規(guī)定的技術(shù)條件下，長期連續(xù)工作所允許的耗散功率。在此條件下熱敏電阻自身的溫度不應(yīng)超過最高工作溫度。第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院4.熱敏電阻的應(yīng)用利用熱敏電阻的阻值對溫度變化靈敏度高的特性，可廣泛應(yīng)用于溫度測量及溫度控制電路。圖2.79所示為熱敏電阻溫度測量的原理電路。測溫時(shí)，通過熱敏電阻的電流要小，以減小電流對熱敏電阻產(chǎn)生的附加影響；同時(shí)考慮到熱敏電阻的阻值與溫度之間的非線性特性，采取與熱敏電阻并聯(lián)補(bǔ)償電阻的方法進(jìn)行線性化處理。圖2.79中并聯(lián)補(bǔ)償電阻只要選得合適

，可使溫度在一定的范圍內(nèi)與并聯(lián)等效電阻

成線性關(guān)系，如圖2.80所示。利用熱敏電阻對溫度變化的高靈敏度特性，可制成半導(dǎo)體點(diǎn)溫計(jì)，以測量微小物體或物體某一局部的溫度。圖2.79熱敏電阻測溫電路

圖2.80電阻溫度關(guān)系曲線第三節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院圖2.81所示為用熱敏電阻實(shí)現(xiàn)溫度自動控制的電加熱器電路。測溫時(shí)，由于溫度變化引起熱敏電阻RT阻值的變化，從而導(dǎo)致差分電路中晶體管V1集電極電位改變，二極管D2分流大小改變，電容C充電電流大小發(fā)生變化，當(dāng)電容C上電壓充電達(dá)到單結(jié)晶體管V3的峰點(diǎn)時(shí)，電壓所需的時(shí)間發(fā)生了改變，

其輸出脈沖產(chǎn)生相移，致使晶閘管V4導(dǎo)通角改變，從而控制加熱絲的電流，達(dá)到溫度自動控制的目的。圖2.81熱敏電阻溫度自動控制電路第四節(jié)四、集成溫度傳感器南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第四節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院集成溫度傳感器是將作為感溫器件的晶體管及其外圍電路集成在同一單片上的集成電路測溫裝置。與晶體管分立元件溫度傳感器相比，集成溫度傳感器具有體積小、成本低、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，因而成為半導(dǎo)體溫度傳感器發(fā)展的主要方向。目前，商品化的集成溫度傳感器已廣泛用于溫度監(jiān)測、控制及補(bǔ)償?shù)葓龊稀?.溫敏二極管及其應(yīng)用半導(dǎo)體溫敏器件可分為電阻型和PN結(jié)型兩大類，上節(jié)介紹的半導(dǎo)體熱敏電阻屬于電阻型溫敏器件，其工作原理是依賴于半導(dǎo)體的體電阻隨溫度發(fā)生變化。這里要介紹的是PN結(jié)型溫敏器件，它是根據(jù)半導(dǎo)體PN結(jié)的正向電壓與溫度之間具有良好的線性關(guān)系，實(shí)現(xiàn)溫度檢測的。第四節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院（1）工作原理由PN結(jié)理論，可求得PN結(jié)電壓、電流及溫度的函數(shù)關(guān)系為

第四節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院由上式可知，當(dāng)正向電流I一定時(shí)，PN結(jié)正向電壓U與被測溫度T之間成一定的線性關(guān)系；且隨著溫度的升高，正向電壓將下降，表現(xiàn)出負(fù)的溫度系數(shù)，這就是溫敏二極管測溫的基本原理。對于不同正向工作電流下的溫敏二極管，其U-T關(guān)系不同。圖2.82所示為國產(chǎn)2DWM1型硅溫敏二極管在I=100μA的U-T特性曲線。由圖可知，在-50℃~+150℃測溫范圍，U-T間具有良好的線性關(guān)系。第四節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第四節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院溫敏二極管工作時(shí)存在著自熱特性，即流過溫敏二極管上的正向電流I導(dǎo)致溫敏二極管PN結(jié)溫度升高。當(dāng)自熱結(jié)溫超過環(huán)境被測溫度時(shí)，將引起溫控誤差甚至失控，因而對溫敏二極管的正向電流必須加以限制。在低溫測控時(shí)，一般正向電流不應(yīng)超過50μA。對于硅和砷化鎵溫敏二極管，雖然其禁帶寬度較大，材料熱激發(fā)載流子濃度低，但正向電流也不應(yīng)超過300μA，否則自熱效應(yīng)也將引起測量誤差。第五節(jié)五、溫敏晶體管及其應(yīng)用南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第五節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院二極管作為溫敏器件是利用PN結(jié)在恒定的正向電流下，其正向電壓與溫度之間的近似線性關(guān)系。實(shí)際上溫敏二極管電壓一溫度特性的線性度是很差的，原因是正向電流中除了PN結(jié)的擴(kuò)散電流之外，還應(yīng)包括漂移電流及空間電荷區(qū)的復(fù)合電流，而在上述分析中只考慮擴(kuò)散電流。由于晶體管發(fā)射結(jié)正向偏置條件下，雖然發(fā)射極電流也包括上述3種成分，但只有擴(kuò)散電流到達(dá)集電極形成集電極電流，而另兩個(gè)電流成分則作為基極電流漏掉，對集電極電流無影響，使得發(fā)射結(jié)偏壓與集電極電流之間有較好的線性關(guān)系，并因此能表現(xiàn)出更好的電壓一溫度特性。第五節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第五節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院2.典型應(yīng)用溫敏晶體管具有成本低、性能好、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，因而比溫敏二極管應(yīng)用范圍廣，可用于測某一點(diǎn)的溫度、測兩點(diǎn)的溫差，或用于過程監(jiān)視或控制場合。圖2.84所示為晶體管數(shù)字溫度計(jì)原理框圖。圖2.84晶體管數(shù)字溫度計(jì)原理框圖第五節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第六節(jié)六、集成溫度傳感器南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

圖2.85對管差分電路第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院由于兩管結(jié)構(gòu)相同，因而其集電極面積相等，即可得兩管集電極電流之比等于兩管集電極電流密度之比，于是上式可改寫為

第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

圖2.86四端電壓輸出結(jié)構(gòu)圖第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院圖2.87所示為日本松下公司的AN6701S型集成溫度傳感器的兩種應(yīng)用電路，圖2.87a)所示為體溫計(jì)，圖2.87b)所示為溫度控制器。圖2.87a)攝氏體溫計(jì)b)溫度控制器第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院電流輸出型集成溫度傳感器是繼電壓輸出型之后的新型傳感器，與電壓輸出型相比，電流輸出型抗外部干擾能力強(qiáng)，具有更高的靈敏度和更小的非線性誤差。美國AD公司的AD590是典型的電流輸出型集成溫度傳感器，其標(biāo)定溫度系數(shù)為1μA/℃。測溫范圍為-55℃~+155℃，電源工作電壓為5~30V。AD590具有恒流特性，它與一個(gè)恒值電阻串聯(lián)就可實(shí)現(xiàn)溫度的檢測，如圖2.89所示。圖2.88LM135基本測溫電路

圖2.89AD590基本測溫電路第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院

第六節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院思考與練習(xí)題1.簡述熱電效應(yīng)及熱電偶測溫原理。2.簡述熱電偶測溫工作的基本定律。3.簡述熱電偶冷端溫度補(bǔ)償方法。4.在選用熱電偶測溫時(shí)，一般應(yīng)考慮哪幾個(gè)方面？第七節(jié)七、壓電傳感器南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第七節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院壓電傳感器(PiezoelectricSensor)是一種典型的有源傳感器，它以某些電介質(zhì)的壓電效應(yīng)為基礎(chǔ)，在外力作用下，電介質(zhì)表面產(chǎn)生電荷，從而實(shí)現(xiàn)外力與電荷量間的轉(zhuǎn)換，達(dá)到非電量的電測目的。1.壓電傳感器原理及壓電效應(yīng)某些電介質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí)，在介質(zhì)內(nèi)部將產(chǎn)生極化現(xiàn)象，而在介質(zhì)的兩個(gè)表面會產(chǎn)生數(shù)量相等、符號相反的電荷，形成電場；當(dāng)外力去掉后，又重新回到不帶電狀態(tài)；當(dāng)外力方向改變時(shí)，電場的極性也隨著改變，這種現(xiàn)象被稱為壓電效應(yīng)。相反，在電介質(zhì)極化方向施加電場時(shí)，這些電介質(zhì)會產(chǎn)生變形，這種現(xiàn)象被稱為逆壓電效應(yīng)，或電致伸縮效應(yīng)。具有壓電效應(yīng)的電介質(zhì)很多，但大多數(shù)因壓電效應(yīng)微弱而沒有實(shí)用價(jià)值；目前具有良好壓電效應(yīng)的電介質(zhì)有石英晶體和壓電陶瓷。第八節(jié)八、石英晶體的壓電效應(yīng)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院第八節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院1.石英晶體切片石英晶體(QuartzCrystal)即二氧化硅(SiO2)，天然的石英晶體理想外形是一個(gè)正六面棱體，如圖2.90a)所示。a）b）c）圖2.90石英晶體切片在晶體學(xué)中，為了分析方便，用3根互相垂直的x，y，z軸來描述石英晶體的正六面棱體結(jié)構(gòu)。其中縱向軸z稱為光軸，它貫穿正六面棱體的兩個(gè)棱頂；x軸稱為電軸，它經(jīng)過正六面棱柱的棱線且與光軸正交；y軸稱為機(jī)械軸，它同時(shí)垂直于x軸和z軸。第八節(jié)南京理工大學(xué)紫金學(xué)院石英晶體作壓電元件時(shí)，應(yīng)對其正六面棱體作切片處理。石英晶體在xyz直角坐標(biāo)中，沿不同方位進(jìn)行切片，可得到不同的幾何切型；不同切型的晶片，其壓電常數(shù)、彈性系數(shù)、介電常數(shù)、溫度特性等都不一樣。石英晶體沿