光學和光子學 光學元件 復雜曲面光學元件幾何參數(shù)測試方法 征求意見稿

1光學和光子學光學元件復雜曲面光學元件幾何參數(shù)測試方法本標準規(guī)定了復雜曲面光學元件的幾何參數(shù)的測試原理、測試條件、測試儀器、測試步驟、測試本標準適用于各類光學玻璃材料、紅外晶體材料、碳化硅陶瓷材料、金屬材料等光學材料制備的頂點曲率半徑（vertexcurvature偏心量（off-centerdisplac2計算全息圖（computergeneratedhol典型情況下，面形檢測時復雜光學曲面與光軸和重力方36——被檢復雜曲面光學元件的偏心量（光學元件表面中心在垂直于紙面方向上偏離光軸的距離9——被檢復雜曲面光學元件的滾轉角（光學元件繞光軸旋轉的角度）；2所示。圖2a）中，干涉儀經(jīng)平面標準鏡出射平面波前，經(jīng)透射式零位補償器轉化為非球面波前后入射復雜曲面光學元件，攜帶反射面的面形信息后經(jīng)透射式零位補償器和平面標準鏡原路返回至干涉儀內(nèi)部，并與參考光發(fā)生干涉，經(jīng)干涉儀軟件解算得到被檢復雜曲面光學元件反中，干涉儀經(jīng)球面標準鏡出射的是球面波前，其余光路與圖246——被檢復雜曲面光學元件的偏心量（光學元件表面中心在垂直于紙面方向上偏離被檢復雜曲面光學元件光軸的距離8——被檢復雜曲面光學元件的離軸量（光學元件表面中心偏離被檢復雜曲面光學元件光9——被檢復雜曲面光學元件的滾轉角（光學元件繞被檢復雜曲面光學元件光軸旋轉的角度）；圖3所示。圖3a）中，干涉儀經(jīng)平面標準鏡出射平面波前，經(jīng)計算全息零位補償器后入射復雜曲面光學5參考光發(fā)生干涉，經(jīng)干涉儀軟件解算得到被檢復雜曲面光學元件反射面的面形誤差；圖3b）中，干涉c)氣壓：常壓，如果被檢復雜曲面光學元件有特殊氣壓測試要求，應按要求的a)使用三坐標測量機進行測量。將被檢復雜曲面光學元件平穩(wěn)地放置在三坐標測量機的檢測平b)利用三坐標測量機測量檢測標準平臺及被c)基于上一步驟構建完成的坐標系，利用三坐標測量機基于一定的軌跡，檢測復雜曲面光學元d)在三坐標測量機的軟件中進行幾何運算，得到被檢復雜曲面光學元件的輪廓測量結果；a)取一張不透明的紙張，從被檢鏡外邊緣開始向鏡面中心方向移動；6結合干涉檢測光路來進行測試，具體頂點曲率半徑的測試步驟如a)根據(jù)圖1所示的復雜光學曲面與光軸和重力方向的關系圖，結合復雜曲面光學元件的干涉檢）；2)調整被檢復雜曲面光學元件的六維姿態(tài)，使得被檢復雜光學曲面失調量引起的像差至最7)在激光跟蹤儀自帶FARO?CAM2?），中進行測量該兩點在光軸方向上的距離，即可得到透射式零位補償元件到被檢復雜曲面中進行建模和數(shù)據(jù)分析處理，得到一組透射式零位補償器到被檢復雜曲面光學元件的間7距離，即為計算全息零位補償元件到被檢復雜曲面光學元件的間中進行建模和數(shù)據(jù)分析處理，得到一組計算全息零位補償器到被檢復雜曲面光學元件的10)將步驟9)中的間隔測量結果帶入復4)將上一步驟的測試數(shù)據(jù)做算術平均處理，即得到離軸量的測試結果。結合鏡體側邊物理刻線的位置，利用游標卡尺直接測量二者之4)基于步驟3)中的相對偏差測量結果做算術平均處射鏡垂直于離軸量方向上兩個側面的垂線，并將中心點O到84)將上一步驟的測試數(shù)據(jù)做算數(shù)平均處理，通過公式：2)利用計算全息板投射到復雜曲面光學元件5的垂直于離軸量方向4)將上一步驟的測試數(shù)據(jù)做算術平均處理，通過公式：4)將上一步驟的測試數(shù)據(jù)做算數(shù)平均處理，通過公式：[(h1-h2)/D]...............其中，D為步驟2）中兩個垂足之間的距離，即得到滾轉角的測試結果。2)利用計算全息板投射到復雜曲面光學元件5的垂直于離軸量方向線10，結合鏡體側邊物理刻線的位置，利用游標卡尺4)將上一步驟的測試數(shù)據(jù)做算術平均處理，通過公式：