DB11-T 1544-2018 清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 集成電路制造業(yè)

ICS13.020.01

Z04

備案號(hào)：59500-2018

DB11

北京市地方標(biāo)準(zhǔn)

DB11/T1544—2018

清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系集成電路制造業(yè)

Assessmentindicatorsystemofcleanerproductionforintegrated

circuitsmanufacturingindustry

2018-06-15發(fā)布2018-10-01實(shí)施

北京市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

DB11/T1544—2018

清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系集成電路制造業(yè)

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅基集成電路芯片制造和集成電路封裝清潔生產(chǎn)的評(píng)價(jià)指標(biāo)體系、指標(biāo)計(jì)算與評(píng)價(jià)方

法、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)與采集。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅基集成電路芯片制造企業(yè)和集成電路封裝企業(yè)清潔生產(chǎn)審核、評(píng)估和績(jī)效評(píng)價(jià)工

作。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

GB/T2589—2008綜合能耗計(jì)算通則

GB/T7475水質(zhì)銅、鋅、鉛、鎘的測(cè)定原子吸收分光光度法

GB/T7484水質(zhì)氟化物的測(cè)定離子選擇電極法

GB/T7485水質(zhì)總砷的測(cè)定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法

GB/T7494水質(zhì)陰離子表面活性劑的測(cè)定亞甲藍(lán)分光光度法

GB/T11912水質(zhì)鎳的測(cè)定火焰原子吸收分光光度法

GB17167用能單位能源計(jì)量器具配備和管理通則

GB/T23331能源管理體系要求

GB/T24001環(huán)境管理體系規(guī)范及使用指南

GB/T26125電子電氣產(chǎn)品六種限用物質(zhì)的檢測(cè)方法

GB/T26572電子電氣產(chǎn)品中限用物質(zhì)的限量要求

GB/T26719企業(yè)用水統(tǒng)計(jì)通則

HJ/T38固定污染源排氣中非甲烷總烴的測(cè)定氣相色譜法

HJ/T43固定污染源排氣中氮氧化物的測(cè)定鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ/T195水質(zhì)氨氮的測(cè)定氣相分子吸收光譜法

HJ544固定污染源廢氣硫酸霧的測(cè)定離子色譜法

HJ688固定污染源廢氣氟化氫的測(cè)定離子色譜法（暫行）

HJ828水質(zhì)化學(xué)需氧量的測(cè)定重鉻酸鹽法

DB11/307水污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)

DB11/501大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)

3術(shù)語和定義

GB/T2589—2008界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。為了便于使用，以下重復(fù)列出了GB/T

2589-2008中的術(shù)語和定義。

3.1

集成電路制造業(yè)integratedcircuitsmanufacturingindustry

1

DB11/T1544—2018

硅基集成電路芯片制造業(yè)與集成電路封裝業(yè)的總稱。

3.2

資源能源消耗指標(biāo)indicatorsforresourcesandenergyconsumption

在生產(chǎn)過程中，生產(chǎn)單位產(chǎn)品所需的資源與能源量等反應(yīng)資源與能源利用效率的指標(biāo)。

3.3

綜合能耗comprehensiveenergyconsumption

用能單位在統(tǒng)計(jì)報(bào)告期內(nèi)實(shí)際消耗的各種能源實(shí)物量，按規(guī)定的計(jì)算方法和單位分別折算后的總

和。對(duì)企業(yè)，綜合能耗是指統(tǒng)計(jì)報(bào)告期內(nèi)，主要生產(chǎn)系統(tǒng)、輔助生產(chǎn)系統(tǒng)和附屬生產(chǎn)系統(tǒng)的綜合能耗總

和。企業(yè)中主要生產(chǎn)系統(tǒng)的能耗量應(yīng)以實(shí)測(cè)為準(zhǔn)。

[GB/T2589-2008，定義3.5]

3.4

新鮮水freshwater

市政自來水、地表水及地下水。

3.5

新鮮水用量freshwaterconsumption

企業(yè)在生產(chǎn)過程中用于制造、加工、冷卻、空調(diào)、凈化、洗滌等方面的新鮮水量。

3.6

污染物產(chǎn)生指標(biāo)indicatorsforpollutantsgeneration

在生產(chǎn)過程中，單位產(chǎn)品產(chǎn)生污染物的量及單項(xiàng)污染物排放濃度等反映污染物影響程度的指標(biāo)。

3.7

資源綜合利用指標(biāo)indicatorsforresourcesandenergyconsumption

生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生廢物可回收利用特征及廢物回收利用情況的指標(biāo)。

3.8

重復(fù)利用水waterrecycle

在確定的用水單元或系統(tǒng)內(nèi)，使用的所有未經(jīng)處理和處理后重復(fù)使用的水，包括循環(huán)水和串聯(lián)水。

3.9

產(chǎn)品特征指標(biāo)indicatorsforproductcharacteristics

影響污染物種類和數(shù)量的產(chǎn)品性能、種類和包裝，以及反映產(chǎn)品貯存、運(yùn)輸、使用和廢棄后可能造

成的環(huán)境影響等的指標(biāo)。

3.10

清潔生產(chǎn)管理指標(biāo)indicatorsforcleanerproductionmanagement

對(duì)企業(yè)所制定和實(shí)施的各類清潔生產(chǎn)管理相關(guān)規(guī)章、制度和措施的要求，包括執(zhí)行環(huán)保法規(guī)情況、

企業(yè)生產(chǎn)過程管理、環(huán)境管理、清潔生產(chǎn)審核、相關(guān)環(huán)境管理等方面。

2

DB11/T1544—2018

3.11

限定性指標(biāo)restrictiveindicator

指標(biāo)體系中對(duì)清潔生產(chǎn)有重大影響的指標(biāo)，或者法律法規(guī)嚴(yán)格規(guī)定、相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)制執(zhí)行的指標(biāo)。

4評(píng)價(jià)指標(biāo)體系

4.1集成電路芯片制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系

集成電路芯片制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系見表1。

表1集成電路芯片制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系

指標(biāo)基準(zhǔn)值

分權(quán)

一級(jí)指標(biāo)序號(hào)二級(jí)指標(biāo)單位一級(jí)基準(zhǔn)值二級(jí)基準(zhǔn)值三級(jí)基準(zhǔn)值

重值

6寸及以下tce/片≤0.01≤0.02≤0.03

產(chǎn)品單位產(chǎn)量綜

（1）8寸tce/片6≤0.03≤0.05≤0.07

合能耗

12寸tce/片≤0.06≤0.12≤0.18

資源能源消耗指標(biāo)

6寸及以下m3/片≤1≤2≤3

產(chǎn)品單位產(chǎn)量新

（2）8寸m3/片4≤3≤4≤5

鮮水用量

12寸m3/片≤6≤8≤12

產(chǎn)品單位6寸及以下m3/片≤1≤2≤3

產(chǎn)量工業(yè)3

（3）8寸m/片6≤2≤3≤4

廢水排放

3

量12寸m/片≤5≤7≤10

（4）化學(xué)需氧量(COD)濃度mg/L4≤50≤100≤200

廢水

（5）氨氮濃度mg/L4≤5≤15≤25

（6）*氟化物濃度mg/L8≤2≤5≤8

污染物產(chǎn)生指標(biāo)

（7）*總銅濃度mg/L8≤0.2≤0.3≤0.5

（8）*總砷濃度mg/L8≤0.01≤0.02≤0.05

（9）*氟化物（以F計(jì)）濃度mg/m38≤0.5≤1≤2

廢氣

（10）*非甲烷總烴濃度mg/m38≤1≤5≤10

6寸及以下≤0.5≤1≤2

*產(chǎn)品單位產(chǎn)量危

（11）8寸kg/片10≤1≤3≤5

險(xiǎn)廢物產(chǎn)生量

12寸≤3≤6≤10

資源綜合利用指標(biāo)（12）生產(chǎn)用水重復(fù)利用率8≥70%≥50%≥30%

3

DB11/T1544—2018

表1集成電路芯片制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系（續(xù)）

指標(biāo)基準(zhǔn)值

分權(quán)

一級(jí)指標(biāo)序號(hào)二級(jí)指標(biāo)單位一級(jí)基準(zhǔn)值二級(jí)基準(zhǔn)值三級(jí)基準(zhǔn)值

重值

產(chǎn)品中鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻、多溴聯(lián)苯和多溴二

產(chǎn)品特征指標(biāo)（13）*產(chǎn)品中限用物質(zhì)限量8

苯醚含量應(yīng)符合GB/T26572的要求。

建立清潔生產(chǎn)組織機(jī)構(gòu)，并配備建立清潔生產(chǎn)

（14）清潔生產(chǎn)組織機(jī)構(gòu)及人員配備情況3

專職人員負(fù)責(zé)具體工作。組織機(jī)構(gòu)。

建立清潔生產(chǎn)管理制度，并按照制度組織實(shí)施清

（15）清潔生產(chǎn)管理制度3

潔生產(chǎn)。

擁有健全的環(huán)境管理體系和完建立環(huán)境管理

清潔生產(chǎn)管理備的管理文件，按照GB/T24001體系和完備的

（16）環(huán)境管理體系及認(rèn)證制度2

指標(biāo)建立運(yùn)行環(huán)境管理體系并通過管理文件，并

認(rèn)證。組織實(shí)施。

擁有健全的能源管理體系和完建立能源管理

備的管理文件，并按照GB/T體系和完備的

（17）能源管理體系及認(rèn)證制度2

23331建立并運(yùn)行環(huán)境管理體管理文件，并

系并通過認(rèn)證。組織實(shí)施。

注：標(biāo)注*的二級(jí)指標(biāo)為限定性指標(biāo)。

4.2集成電路封裝業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系

集成電路封裝業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系見表2。

表2集成電路封裝業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系

指標(biāo)基準(zhǔn)值

一級(jí)指標(biāo)序號(hào)二級(jí)指標(biāo)單位分權(quán)重值一級(jí)基準(zhǔn)值二級(jí)基準(zhǔn)值三級(jí)基準(zhǔn)值

產(chǎn)品單位產(chǎn)量綜合能

(1)tce/萬塊6≤0.02≤0.15≤0.3

資源能源消耗指耗

標(biāo)產(chǎn)品單位產(chǎn)量新鮮水

(2)m3/萬塊4≤2≤4≤8

用量

產(chǎn)品單位產(chǎn)量工

(3)m3/萬塊6≤1≤3≤6

業(yè)廢水排放量

化學(xué)需氧量

(4)mg/L4≤50≤100≤300

(COD)濃度

污染物產(chǎn)生指標(biāo)(5)廢水氨氮濃度mg/L4≤5≤15≤25

陰離子表面活性

(6)mg/L4≤2≤4≤6

劑(LAS)濃度

(7)*總銅濃度mg/L8≤0.2≤0.3≤0.5

(8)*總鎳濃度mg/L8≤0.1≤0.2≤0.3

4

DB11/T1544—2018

表2集成電路封裝業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系（續(xù)）

指標(biāo)基準(zhǔn)值

一級(jí)指標(biāo)序號(hào)二級(jí)指標(biāo)單位分權(quán)重值一級(jí)基準(zhǔn)值二級(jí)基準(zhǔn)值三級(jí)基準(zhǔn)值

（9）*硫酸霧濃度mg/m310≤1≤2≤4

廢

氣3

（10）*氮氧化物濃度mg/m10≤10≤20≤40

*產(chǎn)品單位產(chǎn)量危險(xiǎn)

（11）kg/萬塊10≤1≤5≤10

廢物產(chǎn)生量

資源綜合利用

(12)生產(chǎn)用水重復(fù)利用率8≥35%≥25%≥20%

指標(biāo)

產(chǎn)品中鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻、多溴聯(lián)苯和多溴二苯

產(chǎn)品特征指標(biāo)(13)*產(chǎn)品中限用物質(zhì)限量8

醚含量應(yīng)符合GB/T26572的要求。

清潔生產(chǎn)組織機(jī)構(gòu)及人員配備建立清潔生產(chǎn)組織機(jī)構(gòu)，并配備專建立清潔生產(chǎn)組

（14）3

情況職人員負(fù)責(zé)具體工作?？棛C(jī)構(gòu)。

建立清潔生產(chǎn)管理制度，并按照制度組織實(shí)施清潔

（15）清潔生產(chǎn)管理制度3

生產(chǎn)。

建立環(huán)境管理體

清潔生產(chǎn)管理擁有健全的環(huán)境管理體系和完備

系和完備的管理

指標(biāo)（16）環(huán)境管理體系及認(rèn)證制度2的管理文件，按照GB/T24001建

文件，并組織實(shí)

立運(yùn)行環(huán)境管理體系并通過認(rèn)證。

施。

擁有健全的能源管理體系和完備建立能源管理體

的管理文件，并按照GB/T23331系和完備的管理

（17）能源管理體系及認(rèn)證制度2

建立并運(yùn)行環(huán)境管理體系并通過文件，并組織實(shí)

認(rèn)證。施。

注：標(biāo)注*的二級(jí)指標(biāo)為限定性指標(biāo)。

5指標(biāo)計(jì)算與評(píng)價(jià)方法

5.1指標(biāo)計(jì)算

5.1.1產(chǎn)品單位產(chǎn)量綜合能耗

產(chǎn)品單位產(chǎn)量綜合能耗按式（1）計(jì)算：

E

e=…………………（1）

p

式中：

E——綜合能耗，單位為tce；

e——產(chǎn)品單位產(chǎn)量綜合能耗，集成電路芯片制造，單位為tce/片；集成電路封裝，單位為tce/

萬塊；

p——合格產(chǎn)品產(chǎn)量，集成電路芯片制造，單位為片；集成電路封裝，單位為萬塊。

5.1.2產(chǎn)品單位產(chǎn)量新鮮水用量

產(chǎn)品單位產(chǎn)量新鮮水用量按式（2）計(jì)算：

5

DB11/T1544—2018

W

w=n………………（2）

np

式中：

33

wn——產(chǎn)品單位產(chǎn)量新鮮水用量，集成電路芯片制造，單位為m/片；集成電路封裝，單位為m/

萬塊；

3

Wn——新鮮水總用量，單位為m。

5.1.3產(chǎn)品單位產(chǎn)量工業(yè)廢水排放量

產(chǎn)品單位產(chǎn)量工業(yè)廢水排放量按式（3）計(jì)算：

W

w=f………………（3）

fp

式中：

3

wf——產(chǎn)品單位產(chǎn)量工業(yè)廢水排放量，集成電路芯片制造，單位為m/片；集成電路封裝，單位為

m3/萬塊；

3

Wf——工業(yè)廢水排放量，以企業(yè)總排放口的數(shù)據(jù)為準(zhǔn)，單位為m。

5.1.4產(chǎn)品單位產(chǎn)量危險(xiǎn)廢物產(chǎn)生量

產(chǎn)品單位產(chǎn)量危險(xiǎn)廢物產(chǎn)生量按式（4）計(jì)算：

W

w=h………………（4）

hp

式中：

wh——產(chǎn)品單位產(chǎn)量危險(xiǎn)廢物產(chǎn)生量，集成電路芯片制造，單位為kg/片；集成電路封裝，單位為

kg/萬塊；

Wh——危險(xiǎn)廢物產(chǎn)生量，回用處理的危險(xiǎn)廢物不計(jì)入統(tǒng)計(jì)，單位為kg。

5.1.5生產(chǎn)用水重復(fù)利用率

生產(chǎn)用水重復(fù)利用率按式（5）計(jì)算：

W

η=?r100%………（5）

WWrn+

式中：

η——生產(chǎn)用水重復(fù)利用率；

6

DB11/T1544—2018

3

Wr——生產(chǎn)過程中使用重復(fù)利用水的量，單位為m。

5.2指標(biāo)無量綱化

5.2.1資源能源消耗指標(biāo)、污染物產(chǎn)生指標(biāo)無量綱化

I

當(dāng)XXij≤ij時(shí)，

Sij=100…………………（6）

式中：

Xij——第i個(gè)一級(jí)指標(biāo)下第j項(xiàng)定量評(píng)價(jià)二級(jí)指標(biāo)的實(shí)際值；

I

Xij——Xij的一級(jí)基準(zhǔn)值；

Sij——Xij的無量綱化值。

III

當(dāng)Xij≤≤XXijij時(shí)，

IIIII

Sij=80+20(Xij??Xij)/()XXijij………………（7）

式中：

II

Xij——Xij的二級(jí)基準(zhǔn)值。

IIIII

當(dāng)Xij≤≤XXijij時(shí)，

IIIIIIII

Sij=60+20(Xij??Xij)/()XXijij……………（8）

式中：

III

Xij——Xij的三級(jí)基準(zhǔn)值。

III

當(dāng)XXij3ij時(shí)，

Sij=0……………………（9）

5.2.2資源綜合利用指標(biāo)無量綱化

I

當(dāng)XXij3ij時(shí)，

Sij=100……………………（10）

III

當(dāng)Xij33XXijij時(shí)，

7

DB11/T1544—2018

IIIII

Sij=80+20(Xij??Xij)/()XXijij………………（11）

IIIII

當(dāng)Xij33XXijij時(shí)，

IIIIIIII

Sij=60+20(Xij??Xij)/()XXijij………………（12）

III

當(dāng)XXij≤ij時(shí)，

Sij=0……………………（13）

5.2.3產(chǎn)品特征指標(biāo)、清潔生產(chǎn)管理指標(biāo)無量綱化

當(dāng)指標(biāo)項(xiàng)達(dá)到一級(jí)基準(zhǔn)值時(shí)，無量綱化值為100；當(dāng)指標(biāo)項(xiàng)達(dá)到二級(jí)基準(zhǔn)值時(shí)，無量綱化值為80；

當(dāng)指標(biāo)項(xiàng)達(dá)到三級(jí)基準(zhǔn)值時(shí)，無量綱化值為60；當(dāng)指標(biāo)項(xiàng)不能達(dá)到三級(jí)基準(zhǔn)值或缺項(xiàng)時(shí)，無量綱化值為

0。

5.3綜合評(píng)價(jià)指數(shù)計(jì)算方法

綜合評(píng)價(jià)指數(shù)按式（14）計(jì)算：

n

…………（14）

PP=?i

i=1

式中：

P——綜合評(píng)價(jià)指數(shù)；

n——參與評(píng)價(jià)的一級(jí)指標(biāo)數(shù)；

Pi——第i個(gè)一級(jí)指標(biāo)的評(píng)價(jià)指數(shù)，按式（15）計(jì)算：

mm

………………（15）

Pi=??Pij=?SKijij/100

jj==11

式中：

n——第i個(gè)一級(jí)指標(biāo)下參與評(píng)價(jià)的二級(jí)指標(biāo)總數(shù)；

Pij——第i個(gè)一級(jí)指標(biāo)下第j項(xiàng)二級(jí)指標(biāo)的加權(quán)得分；

Kij——第i個(gè)一級(jí)指標(biāo)下第j項(xiàng)二級(jí)指標(biāo)的權(quán)重值，所有評(píng)價(jià)二級(jí)指標(biāo)的權(quán)重值之和為100，即

nm

。

??Kij=100

ij==11

5.4清潔生產(chǎn)等級(jí)的確定

5.4.1清潔生產(chǎn)國(guó)際領(lǐng)先水平應(yīng)同時(shí)滿足以下條件：

——P390；

8

DB11/T1544—2018

——限定性指標(biāo)全部滿足一級(jí)基準(zhǔn)值要求。

5.4.2清潔生產(chǎn)國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平應(yīng)同時(shí)滿足以下條件：

——P380；

——限定性指標(biāo)全部滿足二級(jí)基準(zhǔn)值要求。

5.4.3清潔生產(chǎn)國(guó)內(nèi)一般水平應(yīng)同時(shí)滿足以下條件：

——P370；

——限定性指標(biāo)全部滿足三級(jí)基準(zhǔn)值要求。