危險化學(xué)品工業(yè)氣體產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)申請生產(chǎn)許可證的基本條件和資料

危險化學(xué)品工業(yè)氣體產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)申請生產(chǎn)許可證的基本條件和資料第六條企業(yè)申請危險化學(xué)品工業(yè)氣體產(chǎn)品生產(chǎn)許可證，除按通則要求提交的材料外，涉及國家產(chǎn)業(yè)政策的產(chǎn)品，由企業(yè)提交符合產(chǎn)業(yè)政策自我承諾書，企業(yè)應(yīng)申明無淘汰的落后生產(chǎn)工藝裝置，不存在國家明令限制新增生產(chǎn)裝置的情況。涉及投資項目需要核準的產(chǎn)品，企業(yè)需提交相關(guān)項目的核準文件。企業(yè)因改制、重組、兼并、收購或生產(chǎn)地址遷移而申請限制類產(chǎn)品時，需提交具有審批權(quán)限的部門出具的項目備案文件，企業(yè)改制、重組、兼并、收購法律文書，被改制、重組、兼并、收購企業(yè)生產(chǎn)許可證注銷說明。根據(jù)《國務(wù)院關(guān)于發(fā)布政府核準的投資項目目錄（2016年本）的通知》（國發(fā)〔2016〕72號）的規(guī)定，新建乙烯項目由省級政府按照國務(wù)院批準的石化產(chǎn)業(yè)規(guī)劃布局方案核準。新建乙烯項目由省級政府按照國家批準的石化產(chǎn)業(yè)規(guī)劃布局方案核準。未列入國家批準的相關(guān)規(guī)劃的新建乙烯禁止建設(shè)。根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）》（中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會令第9號）、《國家發(fā)展改革委關(guān)于修改<產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）>有關(guān)條款的決定》（中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會令第21號）的規(guī)定，危險化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品涉及國家產(chǎn)業(yè)政策如下：限制類：新建80萬噸/年以下石腦油裂解制乙烯。第七條凡生產(chǎn)危險化學(xué)品工業(yè)氣體產(chǎn)品的企業(yè)應(yīng)具備本條款規(guī)定的基本生產(chǎn)條件，包括：生產(chǎn)設(shè)施、生產(chǎn)設(shè)備、檢驗設(shè)備、重要原材料、關(guān)鍵控制點等。具體要求見表3-1至表3-5。表3-1企業(yè)生產(chǎn)危險化學(xué)品工業(yè)氣體產(chǎn)品應(yīng)具備的生產(chǎn)設(shè)施及設(shè)施要求序號產(chǎn)品單元設(shè)施名稱設(shè)施要求1氫氣1.生產(chǎn)、輸送/交付場所；2.生產(chǎn)、檢驗廠房；3.滿足生產(chǎn)、檢驗要求的輔助設(shè)施。工作場所和設(shè)施符合《GB50177-2005氫氣站設(shè)計規(guī)范》要求。2二氧化碳1.生產(chǎn)、存儲、交付場所；2.動力廠房；3.檢驗室或在線監(jiān)控的輔助設(shè)施。工作場所和設(shè)施符合設(shè)計并滿足生產(chǎn)要求。3六氟化硫1.生產(chǎn)、存儲、交付場所；2.生產(chǎn)、動力廠房；3.檢驗室或在線監(jiān)控的輔助設(shè)施。工作場所和設(shè)施符合設(shè)計并滿足生產(chǎn)要求。4溶解乙炔1.生產(chǎn)、倉儲、交付及檢驗場所；2.生產(chǎn)、倉儲、動力廠房；3.滿足生產(chǎn)、檢驗要求的輔助設(shè)施。工作場所和設(shè)施符合《溶解乙炔站設(shè)計規(guī)范》（GB50031）要求。5石油化工氣1.生產(chǎn)、倉儲、交付場所；2.生產(chǎn)、倉儲、交付控制室；3.檢驗室及在線監(jiān)控的輔助設(shè)施。工作場所和設(shè)施符合設(shè)計并滿足生產(chǎn)要求。6電子工業(yè)用氣1.生產(chǎn)、倉儲/輸送車間；2.檢驗室或在線監(jiān)控的輔助設(shè)施。工作場所和設(shè)施符合設(shè)計并滿足生產(chǎn)要求。表3-2企業(yè)生產(chǎn)危險化學(xué)品工業(yè)氣體產(chǎn)品應(yīng)具備的生產(chǎn)設(shè)備及設(shè)備要求序號產(chǎn)品單元設(shè)備名稱設(shè)備要求1氫氣1.電解制氫或裂解制氫、回收氫氣裝置；2.氫氣提純凈化設(shè)備；3.產(chǎn)品儲存/輸運/充裝設(shè)備(氣瓶充裝適用)。1.制備及回收設(shè)備符合GB/T19774-2005水電解制氫系統(tǒng)技術(shù)要求或GB/T19773-2005變壓吸附提純氫系統(tǒng)技術(shù)要求；2.提純凈化設(shè)備滿足產(chǎn)品指標；3.儲運設(shè)備符合《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSG21-2016）及《壓力管道安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGD0001-2009）；4.氣瓶充裝符合GB14194-2017《壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定》、《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGR0006-2014）。2二氧化碳1.二氧化碳捕集回收裝置2.提純凈化設(shè)備；3.壓縮、制冷等生產(chǎn)設(shè)備及儲存、充灌設(shè)備；4.帶計量裝置氣瓶充（灌）裝設(shè)備(氣瓶充裝適用)。1.提純設(shè)備達到質(zhì)量要求；2.生產(chǎn)及存儲設(shè)備與裝置產(chǎn)能相匹配；3.壓力設(shè)備符合《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSG21-2016）及《壓力管道安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGD0001-2009）；4.氣瓶充裝符合GB14193-2009《液化氣體氣瓶充裝規(guī)定》、《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGR0006-2014）。3六氟化硫1.氟氣電解制取設(shè)備；2.六氟化硫合成裝置；3.提純設(shè)備；4.存儲、充（灌）裝設(shè)備；5.氣瓶充（灌）裝設(shè)備(氣瓶充裝適用)。1.提純設(shè)備達到質(zhì)量要求；2.生產(chǎn)及存儲設(shè)備與裝置產(chǎn)能相匹配；3.壓力設(shè)備符合《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSG21-2016）及《壓力管道安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGD0001-2016）；4.氣瓶符合GB14193-2009《液化氣體氣瓶充裝規(guī)定》、《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGR0006-2014）。4乙炔1.發(fā)生器；2.氣柜（對低壓系統(tǒng)）；3.凈化裝置；4.低壓干燥器；5.壓縮機；6.高壓干燥器；7.充裝排；8.丙酮補加裝置。1.生產(chǎn)及凈化設(shè)備符合《溶解乙炔設(shè)備》（JB/T8856－2018）要求；2.壓力設(shè)備符合《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSG21-2016）要求；3.氣瓶充裝符合《溶解乙炔氣瓶充裝規(guī)定》（GB13591-2009）、《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGR0006-2014）。5石油化工氣1.氣體裂解制備及分餾精制裝置；2.存儲設(shè)備；3.帶計量裝置的充（灌）裝設(shè)備。1．生產(chǎn)裝置達到質(zhì)量要求；2．存儲符合《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSG21-2016）要求。6電子工業(yè)用氣1.氣體發(fā)生裝置（粗產(chǎn)品外購時此項可不作要求）；2.凈化提純設(shè)備；3.包裝物處理裝置；4.氣瓶充（灌）裝設(shè)備(氣瓶充裝適用)；5.尾氣處理裝置（有毒氣體適用）。1.提純設(shè)備及包裝物處理裝置達到并滿足質(zhì)量要求；2.壓力設(shè)備符合《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSG21-2016）及《壓力管道安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGD0001-2016）要求；3.氣瓶充裝符合《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》（TSGR0006-2014）、GB14194-2017《壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定》或GB14193-2009《液化氣體氣瓶充裝規(guī)定》；4.尾氣處理裝置達到排放標準。注：1.本表為企業(yè)應(yīng)具備的基本生產(chǎn)設(shè)備，企業(yè)實際設(shè)備可與上述設(shè)備名稱不同，但應(yīng)滿足上述設(shè)備的功能、性能、精度等要求；2.以上為典型工藝應(yīng)具備的生產(chǎn)設(shè)備，對于采用非典型生產(chǎn)工藝的企業(yè)，核查時可按企業(yè)工藝設(shè)計文件規(guī)定的生產(chǎn)設(shè)備進行。表3-3企業(yè)生產(chǎn)危險化學(xué)品工業(yè)氣體產(chǎn)品必備的檢驗設(shè)備及設(shè)備要求單元序號產(chǎn)品單元品種序號產(chǎn)品品種檢驗項目依據(jù)標準檢驗設(shè)備及精度1氫氣1工業(yè)氫氧、氮、氬GB/T3634.1-2006氫氣第1部分工業(yè)氫1.氣相色譜儀；2.檢測限≤10×10-6V/V。水分含量GB/T5832.2-2016氣體分析微量水分的測定第2部分：露點法1.氣體水含量測定儀；2.檢測限≤-60℃。2純氫氧、氮、氬GB/T3634.2-2011氫氣第2部分:純氫、高純氫和超純氫1.氣相色譜儀；2.檢測限≤10×10-6V/V。水分含量1.氣體水含量測定儀；2.檢測限≤-75℃。一氧化碳、二氧化碳、甲烷1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。3高純氫氧、氮、氬GB/T3634.2-2011氫氣第2部分:純氫、高純氫和超純氫1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。水分含量1.氣體水含量測定儀；2.檢測限≤-80℃。一氧化碳、二氧化碳、甲烷1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V。4超純氫氧、氮、氬GB/T3634.2-2011氫氣第2部分:純氫、高純氫和超純氫1.氣相色譜儀；2檢測限≤0.05×10-6V/V。水分含量1.氣體水含量測定儀；2.檢測限≤-100℃。一氧化碳、二氧化碳、甲烷1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.02×10-6V/V。2二氧化碳5工業(yè)液體二氧化碳純度GB/T6052-2011工業(yè)液體二氧化碳1.二氧化碳純度測定儀；2.分度值為0.05mL。一氧化碳、硫化氫、磷化氫及有機還原物流量計（20-100ml/min）；2.比色管。水分露點1.氣體水含量測定儀；2.檢測限≤-65℃。油分濾紙氣味感官6高純二氧化碳水分含量GB/T23938-2009高純二氧化碳1.氣體水含量測定儀；2.檢測限≤-80℃。氧1.氧含量測定儀分析儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V3.氣相色譜儀；4．檢測限≤10×10-6V/V。氫、氮、一氧化碳1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V?？偀N1.總烴測定儀；2.檢測限≤1.0×10-6V/V。3六氟化硫7工業(yè)六氟化硫空氣、四氟化碳GB/T12022-2014工業(yè)六氟化硫1.氣相色譜儀；2.檢測限≤10×10-6V/V。六氟乙烷、八氟丙烷1.氣相色譜儀；2.檢測限≤5×10-6V/V。水含量1.氣體水含量測定儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。酸度1.多孔氣體吸收器；2微量滴定管，分度值0.02ml；3.濕式氣體流量計?？伤夥?.分光光度計（帶比色池）；2.取樣裝置（按標準圖示）。礦物油1.紅外光譜儀；2.吸收瓶；3.濕式氣體流量計(使用流量170ml／min)。毒性試驗裝置4乙炔8溶解乙炔乙炔純度GB6819-2004溶解乙炔1.乙炔純度吸收管；2.容量50mL，分刻度0.1。磷化氫、硫化氫試驗硫化氫、磷化氫檢測用硝酸銀及試紙5石油化工氣9工業(yè)用乙烯乙烯、甲烷、乙烷、C3和C3以上、乙炔GB/T3391-2002工業(yè)用乙烯中烴類雜質(zhì)的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤2×10-6V/V。一氧化碳、二氧化碳GB/T3394-2009工業(yè)用乙烯、丙烯中微量一氧化碳、二氧化碳和乙炔的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2檢測限≤1×10-6V/V。氫GB/T3393-2009工業(yè)用乙烯、丙烯中微量氫的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。氧GB/T3396-2002工業(yè)用乙烯、丙烯中微量氧的測定電化學(xué)法1.氧分儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。水含量GB/T3727-2003工業(yè)用乙烯、丙烯中微量水的測定1.卡爾.費休水分測定儀；2.檢測限≤10ug。甲醇、二甲醚GB/T12701-2014工業(yè)用乙烯、丙烯中微量含氧化合物的測定氣相色譜法氣相色譜儀；檢測限≤1×10-6V/V。總硫GB/T11141-2014工業(yè)用輕質(zhì)烯烴中微量硫的測定1.紫外熒光定硫儀或氧化微庫侖定硫儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。10聚合級丙烯丙烯、烷烴、乙烯、乙炔、甲基乙炔、丙二烯、丁烯、丁二烯GB/T3392-2003工業(yè)用丙烯中烴類雜質(zhì)的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。一氧化碳、二氧化碳GB/T3394-2009工業(yè)用乙烯、丙烯中微量一氧化碳、二氧化碳和乙炔的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。氧GB/T3396-2002工業(yè)用乙烯、丙烯中微量氧的測定電化學(xué)法1.氧分儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。水含量GB/T3727-2003工業(yè)用乙烯、丙烯中微量水的測定1.卡爾.費休水分測定儀；2.檢測限≤10ug。甲醇、二甲醚GB/T12701-2014工業(yè)用乙烯、丙烯中微量甲醇氧化物的測定1.氣相色譜儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。總硫GB/T11141-2014工業(yè)用輕質(zhì)烯烴中微量硫的測定1.紫外熒光定硫儀或氧化微庫侖定硫儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。11工業(yè)用丁二烯外觀GB/T13291-2008工業(yè)用丁二烯目測裝置符合標準1,3-丁二烯、總?cè)病⒁蚁┗胰睪B/T6017-2008工業(yè)用丁二烯純度及烴類雜質(zhì)的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤50×10-6V/V。水GB/T6023-2008工業(yè)用丁二烯微量水的測定卡爾-費休法1.卡爾.費休水分測定儀；2.檢測限≤10ug。阻聚劑含量GB/T6020-2008工業(yè)用丁二烯中特丁基鄰苯二酚的測定1.分光光度計或液相色譜儀；2.檢測限≤10mg。二聚物GB/T6015-1999工業(yè)用丁二烯微量二聚物的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤50mg/kg。羰基化合物SH/T1494-2009碳四烴類中羰基化合物含量的測定容量法1.微量滴定管；2.檢測限≤1mg/kg。過氧化物GB/T17828-1999工業(yè)用丁二烯中過氧化物含量的測定滴定法1.微量滴定管；2.檢測限≤1mg/kg。氧GB/T6022-2008工業(yè)用丁二烯液上氣相中氧的測定1.氣相色譜儀或電化學(xué)氧分儀；2.檢測限≤100×10-6V/V。12工業(yè)用異丁烯外觀SH/T1726-2004工業(yè)用異丁烯目測裝置符合標準異丁烯、丙烷、丙烯、丁烷、2-丁烯、1-丁烯、丁二烯SH/T1482-2004工業(yè)用異丁烯純度及烴類雜質(zhì)的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤10×10-6V/V。甲醇、二甲醚、叔丁醇、甲基叔丁基醚SH/T1483-2004工業(yè)用異丁烯中含氧化物的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。水GB/T6023-19991.卡爾.費休水分測定儀；2.檢測限≤10ug。二聚物SH/T1484-20041.氣相色譜儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。13工業(yè)用1-丁烯1-丁烯，正、異丁烷，異丁烯+2-丁烯SH/T1492-2004工業(yè)用1-丁烯純度極其烴類雜質(zhì)的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤50×10-6V/V。1，3-丁二丁烯+丙二烯SH/T1492-2004工業(yè)用1-丁烯純度極其烴類雜質(zhì)的測定氣相色譜法和SH/T1548-2004工業(yè)用1-丁烯中微量丙二烯和甲基乙炔的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤10×10-6V/V。丙炔SH/T1548-2004工業(yè)用1-丁烯中微量丙二烯和甲基乙炔的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤2×10-6V/V。水GB/T6023-2008工業(yè)用丁二烯微量水的測定卡爾-費休法1.卡爾.費休水分測定儀；2.檢測限≤10ug。硫GB/T11141-2014工業(yè)用輕質(zhì)烯烴中微量硫的測定1.紫外熒光定硫儀或氧化微庫侖定硫儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。甲醇、甲基叔丁基醚SH/T1547-2004工業(yè)用1-丁烯中微量甲醇和甲基叔丁基醚的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤2×10-6V/V。一氧化碳、二氧化碳GB/T3394-2009工業(yè)用乙烯、丙烯中微量一氧化碳、二氧化碳和乙炔的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤1×10-6V/V。14工業(yè)用異丁烷異丁烷、總不飽和烴GB/T19465-2004工業(yè)用異丁烷(HC-600a)1.氣相色譜儀；2.檢測限≤100×10-6V/V。水的質(zhì)量分數(shù)GB/T19465-2004工業(yè)用異丁烷(HC-600a)或GB/T7376-2008工業(yè)用氟代烷烴中微量水分的測定1.卡爾.費休測定儀或電解法；2.檢測限≤10-6V/V。酸度GB/T7373-2006工業(yè)用二氟一氯甲烷（HCFC-22）1.多孔氣體吸收器；2.微量滴定管；3.電子天平，精度0.1mg；4.5ml滴定管，分度值0.01ml。蒸發(fā)殘留物1.電子天平；2.精度0.1mg。硫GB/T11141-2014工業(yè)用輕質(zhì)烯烴中微量硫的測定1.紫外熒光定硫儀或氧化微庫侖定硫儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。不凝氣體GB/T19465-2004工業(yè)用異丁烷(HC-600a)1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.1×10-2V/V。高沸點殘留物SY/T7509-1996液化石油氣殘留物測定法1.李森科瓶；2.最小分度值0.1ml。蒸氣壓GB/T6602-1989液化石油氣蒸氣壓測定法(LPG法)1.蒸汽壓測定儀；2.壓力表精度0.4級。15焊接切割用燃氣丙烷丙烷SH/T0230-1992液化石油氣組成測定法(色譜法)1.氣相色譜儀；2.檢測限≤100×10-6V/V?？偭騍H/T0222-1992液化石油氣總硫含量測定法(電量法)1.庫侖硫分析儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。鋼片腐蝕SH/T0232-1992（2004）液化石油氣銅片腐蝕試驗法16焊接切割用燃氣丙烯丙烯SH/T0230-1992液化石油氣組成測定法(色譜法)1.氣相色譜儀；2.檢測限≤100×10-6V/V?？偭騁B/T11141-2014工業(yè)用輕質(zhì)烯烴中微量硫的測定1.紫外熒光定硫儀或氧化微庫侖定硫儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。鋼片腐蝕SH/T0232-1992（2004）液化石油氣銅片腐蝕試驗法5電子工業(yè)用氣17電子工業(yè)用氣氧化亞氮氨GB/T14600-2009電子工業(yè)用氣體氧化亞氮1.氨檢測管；2.測量范圍（0-30）×10-6V/V；檢測限≤0.5×10-6V/V。一氧化碳、二氧化碳GB/T8984-2008氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。C1—C5烴GB/T8984-2008氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法氮和氧GB/T14600-2009電子工業(yè)用氣體氧化亞氮一氧化氮1.化學(xué)發(fā)光氮氧化物測定儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V。二氧化氮1.檢測管；2.測量范圍：（0-6）×10-6V/V；檢測限≤0.1×10-6V/V。水含量1.氣體水分測定儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V。18電子工業(yè)用氣六氟化硫氧+氬、氮、四氟化碳一氧化碳、甲烷、二氧化碳GB/T18867-2014電子工業(yè)用氣體六氟化硫1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。水分含量GB/T5832.3-2011氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T5832.1-2016氣體分析微量水分的測定第1部分：電解法1.氣體水分測定儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。酸度GB/T12022-2014工業(yè)六氟化硫1.多孔氣體吸收器；2.微量滴定管；3.電子天平，精度0.1mg；4.5ml滴定管，分度值0.01ml?？伤夥?.分光光度計（帶比色池）；2.取樣裝置。19電子工業(yè)用氣三氯化硼氧（氬）、氮GB/T17874-2010電子工業(yè)用氣體三氯化硼1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。一氧化碳、二氧化碳、甲烷GB/T8984-2008氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V。20電子工業(yè)用氣氯化氫氧（氬）、氮、一氧化碳、二氧化碳、烴類GB/T28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V水含量GB/T5832.3-2011氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法1.氣體水分測定儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。21電子工業(yè)用氣氫氮、一氧化碳、二氧化碳GB/T16942-2009電子工業(yè)用氣體氫1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.01×10-6V/V。氧GB/T6285-2016工業(yè)液體二氧化碳1.氧分析儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V?？偀NGB/T8984-2008氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.02×10-6V/V。水分含量GB/T16942-2009電子工業(yè)用氣體氫1.氣體水分測定儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。22電子工業(yè)用氣硅烷氫GB/T15909-2017電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4)1.氣相色譜儀；2.檢測限≤20×10-6V/V。氧+氬1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。氮1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。甲烷1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。烴（C2—C4）1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V。一氧化碳1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。二氧化碳1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。氯硅烷（二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅）1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V。乙硅烷1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.3×10-6V/V。水含量GB/T5832.1-2016氣體分析微量水分的測定第1部分：電解法1.氣體水分測定儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。重金屬及其他元素GB/T15909-2017電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4)電感耦合等離子質(zhì)譜儀23電子工業(yè)用氣氨氫、氧（氬）、氮、一氧化碳、二氧化碳、烴（C1~C3）GB/T14601-2009電子工業(yè)用氣體氨1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.01×10-6V/V。水分含量1.氣體水分測定儀；2.檢測限≤0.02×10-6V/V。24電子工業(yè)用氣三氟化硼氧（氬）、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷GB/T14603-2009電子工業(yè)用氣體三氟化硼1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.5×10-6V/V。四氟化硅、硫酸鹽1.分光光度計(帶比色池)；2.取樣裝置。25電子工業(yè)用氣磷化氫砷化氫、氮、氧（氬）GB/T14851-2009電子工業(yè)用氣體磷化氫1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.05×10-6V/V。一氧化碳、二氧化碳、總烴GB/T8984-2008氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法1.氣相色譜儀；2.檢測限≤0.1×10-6V/V。水