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金相分析基礎(chǔ)掃描電子顯微鏡——掃描電鏡樣品制備一、掃描電鏡樣品要求不導(dǎo)電試樣：導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性。大試樣易污染?！?5mm樣品尺寸樣品盡量小＜10mm注意：多孔樣品應(yīng)在烘箱中低溫加熱一段時間可避免抽真空時間過長。一、掃描電鏡樣品要求導(dǎo)電性：導(dǎo)電性差造成電子束不穩(wěn)定，圖像模糊、放電等。（二）特性要求導(dǎo)熱性：導(dǎo)熱性差造成試樣低熔點組份揮發(fā)，影響定量分析。（三）平整度要求（EDS）：

樣品表面不平整會降低

射線測量強度。X二、掃描電鏡樣品制備無塵布手套導(dǎo)電膠帶導(dǎo)電液高壓除塵氣罐洗耳球鑷子剪刀二、掃描電鏡樣品制備研磨拋光機高真空離子噴鍍儀樣品鑲嵌機二、掃描電鏡樣品制備紅外烤燈超聲波清洗機干燥箱二、掃描電鏡樣品制備保證樣品清潔使用手套和鑷子二、掃描電鏡樣品制備01.

塊狀或塊體鑲嵌樣品導(dǎo)電膠樣品臺樣品導(dǎo)電膠樣品臺樣品導(dǎo)電樣品不導(dǎo)電樣品或鑲嵌樣品二、掃描電鏡樣品制備02.

粉末樣品噴鍍膜導(dǎo)電膠樣品臺導(dǎo)電膠樣品臺導(dǎo)電粉末樣品不導(dǎo)電粉末樣品二、掃描電鏡樣品制備導(dǎo)電膠03.

斷口或截面樣品截面臺樣品細(xì)致認(rèn)真截面臺截面臺導(dǎo)電截面樣品截面臺截面臺樣品不導(dǎo)電截面樣品三、小結(jié)尺寸要求：盡量小特性要求：導(dǎo)電導(dǎo)熱性好樣品要求平整度要求：盡可能平整常用工具：手套、無塵布、導(dǎo)電膠帶、導(dǎo)電液、剪刀、鑷子、洗耳球等掃描電鏡常用設(shè)備：真空離子噴鍍儀、樣品鑲嵌機、研磨拋光機、超聲波清洗機、干燥箱等。導(dǎo)電：導(dǎo)電膠粘在樣品臺，樣品再粘在導(dǎo)電膠上。塊狀不導(dǎo)電：樣品的底面、側(cè)面和上面都要導(dǎo)電膠。樣品制備導(dǎo)電：導(dǎo)電膠粘在樣品臺上，樣牙簽取少量樣品置于導(dǎo)電膠上，吹掉浮粉。不導(dǎo)電：比導(dǎo)電粉末增加一個表面鍍膜噴金處理。粉末制備方法導(dǎo)電：導(dǎo)電膠粘在截面臺，樣品粘在導(dǎo)電膠上，再用導(dǎo)電膠固定樣品。不導(dǎo)電：在導(dǎo)電樣品的基礎(chǔ)上增加2步，用細(xì)導(dǎo)電膠粘住斷口和截面臺，再在斷口表面鍍膜噴金處理。斷口或截面T

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G蒸鍍膜試樣導(dǎo)電膠樣品臺×√不導(dǎo)電不規(guī)則塊體樣品T

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G顆粒導(dǎo)電膠樣品臺×√導(dǎo)電粉末樣品謝

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