T-ZJCX 0043-2024 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備用石墨舟

ICS29.045CCSQ51團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)T/ZJCX0043—2024等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備用石墨舟Graphiteboatforplasmaenhancedchemicalvapordepositio浙江省企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新協(xié)會(huì)發(fā)布T/ZJCX0043—2024 I 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語和定義 14產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與分類 25技術(shù)要求 26試驗(yàn)方法 57檢驗(yàn)規(guī)則 68包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存 89其他 9IT/ZJCX0043—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利，本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由浙江省企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新協(xié)會(huì)提出并歸口。本文件主要起草單位：浙江華熔科技有限公司。本文件參與起草單位：合肥大恒智慧能源科技有限公司、賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司、潤(rùn)馬光能科技（金華）有限公司、平頂山東方碳素股份有限公司、河南五星新材科技股份有限公司、浙江華照半導(dǎo)體材料有限公司、山西博翔匯良新材料有限公司、平頂山市博翔碳素有限公司、蘇州兆恩精密儀器有限公司、宜興市希羽陶瓷有限公司、浙江億值旺新材料科技有限公司。本文件主要起草人：周志強(qiáng)、陸斌、王軍、李祥、鮑憲鈞、張力、何亮、蔡帥、李志恒、馬二克、胡平安、林龍玉、魏延召、趙世梁、姜昌星、翟民、趙俊通、樊少璞、任帥許、翟茜、宋曉珂、張陽、盧彬、殷靜。1T/ZJCX0043—2024等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備用石墨舟本文件規(guī)定了光伏領(lǐng)域管式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備用石墨舟（簡(jiǎn)稱石墨舟）的術(shù)語和定義、結(jié)構(gòu)和分類、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。本文件適用于等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）用石墨舟。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T1429炭素材料灰分含量的測(cè)定方法GB/T3074.4石墨電極熱膨脹系數(shù)（CTE）測(cè)定方法GB/T3520石墨細(xì)度試驗(yàn)方法GB/T13465.2石墨材料抗彎強(qiáng)度試驗(yàn)方法GB/T24525碳素電阻率測(cè)定方法GB/T24528炭素材料體積密度測(cè)定方法JB/T8133.4電炭制品物理化學(xué)性能試驗(yàn)方法第4部分肖氏硬度YB/T4379等靜壓石墨3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。石墨舟graphiteboat本文件所指石墨舟，是以等靜壓石墨為原料，經(jīng)切片、磨削、涂層、CNC雕刻等工藝制作而成的光伏用管式PECVD設(shè)備鍍膜用工裝載具。2T/ZJCX0043—20243.2表面粗糙度surfaceroughness本文件所指表面粗糙度，指加工后的零件表面上具有的較小間距和微小峰谷的不平度，通常以μm為單位。3.3抗折強(qiáng)度flexuralstrength本文件所指抗折強(qiáng)度，指石墨在彎曲過程中所能承受的最大彎曲應(yīng)力，通常以MPa為單位。3.4石墨粒度granularity本文件所指的石墨粒度，指石墨中心顆粒的粒徑大小，即中心顆粒的直徑，通常以μm為單位。4結(jié)構(gòu)與分類石墨舟整舟主要由舟片、舟腳、電極塊、石墨隔塊、舟片連接塊、石墨螺母等組成。4.2分類依據(jù)硅片型號(hào)分類，石墨舟分為125×125mm、156×156mm、158.75×158.75mm、166×166mm、182×182mm、210×210mm和182×210mm等型號(hào)。不同規(guī)格下所含石墨舟片、硅片載片量等不同。石墨舟具體的規(guī)格尺寸可根據(jù)客戶要求定制。5技術(shù)要求5.1一般要求5.1.1石墨舟須按規(guī)定程序設(shè)定的圖樣和技術(shù)文件制造。5.1.2石墨舟所有的原材料和外購件應(yīng)有供應(yīng)商的合格證明文件。5.1.3等靜壓石墨材料應(yīng)符合YB/T4379的規(guī)定。5.1.4石墨舟所采用的氧化鋁陶瓷材料，其機(jī)械性能和物理性能指標(biāo)應(yīng)分別滿足表1和表2的要求。表1氧化鋁陶瓷材料機(jī)械性能要求序號(hào)指標(biāo)參考值1抗折強(qiáng)度（MPa）≥3003T/ZJCX0043—20242抗壓強(qiáng)度（MPa）≥35003維氏硬度（HVI）≥1228.84常溫耐磨性（g/cm2）≥0.755泊松比0.16~0.256楊氏模量（GPa）315~425表2氧化鋁陶瓷材料物理性能要求序號(hào)指標(biāo)參考值1吸水率（%）≤0.52密度（g/cm3）≥3.803氣孔率（%）05.2外觀質(zhì)量要求5.2.1石墨舟片外觀應(yīng)無肉眼可見的裂紋、凹陷、破損，表面無粉塵粒。5.2.2單個(gè)石墨舟片劃傷（Rt≦20，長(zhǎng)度≤20mm，深度≤0.03mm）應(yīng)不超過3條。5.2.3石墨螺母和螺桿在擰緊狀態(tài)下無松動(dòng)。5.2.4電極孔下部石墨舟片與連接塊應(yīng)平整連接，舟片不應(yīng)高出石墨隔塊，高度差應(yīng)小于0.2mm。5.2.5石墨舟片間隔整體誤差應(yīng)≤0.02mm。5.3尺寸要求5.3.1石墨舟的具體規(guī)格尺寸不盡相同，允許供需雙方合同另行約定。5.3.2尺寸偏差要求應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3尺寸偏差值單位：mm名稱控制公差舟片厚度±0.02降面深度±0.1舟片寬度-0.154T/ZJCX0043—2024舟片長(zhǎng)度-0.2內(nèi)框?qū)挾取?.1卡點(diǎn)孔徑+0.005/-0.015裝配孔徑±0.1孔間距±0.05整舟寬度±0.15整舟長(zhǎng)度±0.3整舟高度±0.3整舟舟腳內(nèi)寬±0.3陶瓷圈高度±0.0085.4表面粗糙度表面粗糙度應(yīng)為Ra1.6~Ra2.3。5.5粒度粒度應(yīng)不大于10μm。5.6密度密度應(yīng)不小于1.8g/cm3。5.7肖氏硬度肖氏硬度（HSD）應(yīng)為60~80。5.8灰分灰分應(yīng)不大于200ppm。電阻率在常溫條件下應(yīng)為12μΩ·m~15μΩ·m。5.10抗折強(qiáng)度抗折強(qiáng)度應(yīng)不小于50MPa。5.11熱膨脹系數(shù)熱膨脹系數(shù)應(yīng)不大于5.0×10-6/℃。5T/ZJCX0043—20246試驗(yàn)方法6.1檢驗(yàn)設(shè)備要求檢驗(yàn)儀器和量具應(yīng)經(jīng)計(jì)量檢定合格后方可使用，其中，精度的選擇應(yīng)與被檢驗(yàn)部件的技術(shù)要求相匹配，各類常用量具的測(cè)量誤差不應(yīng)大于表4中的規(guī)定值。表4計(jì)量器具精度要求量具名稱塞尺數(shù)顯千分尺數(shù)顯深度儀游標(biāo)卡尺允許誤差0.01mm0.001mm0.001mm0.01mm量具名稱止通棒表面粗糙度儀鋼卷尺扭力扳手允許誤差0.002mm0.001μm0.2mm/6.2外觀質(zhì)量6.2.1石墨舟片外觀通過目測(cè)等檢查。6.2.2石墨舟片劃傷通過目測(cè)檢驗(yàn)。6.2.3石墨螺母和螺桿的緊度通過扭力扳手檢驗(yàn)。6.2.4石墨舟片與連接塊的平整度通過卡尺檢驗(yàn)。6.2.5石墨舟片間隔通過塞尺檢驗(yàn)。6.3尺寸要求6.3.1舟片厚度、陶瓷圈高度采用數(shù)顯千分尺檢測(cè)。6.3.2降面深度采用數(shù)顯深度儀檢測(cè)。6.3.3舟片寬度、內(nèi)框?qū)挾取⒀b配孔徑、孔間距、整舟寬度、整舟高度和整舟舟腳內(nèi)寬采用游標(biāo)卡尺檢測(cè)。6.3.4卡點(diǎn)孔徑采用止通棒檢測(cè)。6.3.5整舟長(zhǎng)度、舟片長(zhǎng)度采用鋼卷尺檢測(cè)。6.4表面粗糙度表面粗糙度采用表面粗糙度儀檢測(cè)。6.5粒徑粒徑的檢測(cè)方法按GB/T3520的規(guī)定執(zhí)行。6.6密度6T/ZJCX0043—2024密度的檢測(cè)方法按GB/T24528的規(guī)定執(zhí)行。6.7肖氏硬度肖氏硬度的檢測(cè)方法按JB/T8133.4的規(guī)定執(zhí)行。6.8灰分灰分的檢測(cè)方按按GB/T1429的規(guī)定執(zhí)行。6.9電阻率電阻率的檢測(cè)方法按GB/T24525的規(guī)定執(zhí)行。6.10抗折彎強(qiáng)度抗折彎強(qiáng)度的檢測(cè)方法按GB/T13465.2的規(guī)定執(zhí)行。6.11熱膨脹系數(shù)熱膨脹系數(shù)的檢測(cè)方法按GB/T3074.4的規(guī)定執(zhí)行。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢驗(yàn)分類石墨舟的檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。7.2組批同一圖紙結(jié)構(gòu)尺寸、同一批材料生產(chǎn)的產(chǎn)品為一批。7.3出廠檢驗(yàn)7.3.1抽樣方案見表5。表5出廠檢驗(yàn)抽樣方案批數(shù)量116~2526~90抽樣數(shù)量12356批數(shù)量151~280281~500501~12001200~3200抽樣數(shù)量797.3.2檢驗(yàn)項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目見表6。7.4型式檢驗(yàn)7.4.1有下列情況之一時(shí)應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：7T/ZJCX0043—2024a）新產(chǎn)品或產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型時(shí)；b）正式生產(chǎn)后，產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)、材料、工藝等有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；c）長(zhǎng)期停產(chǎn)1年以上，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；d）正常生產(chǎn)，每一年進(jìn)行一次；e）出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異時(shí)；f）國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出進(jìn)行型式檢驗(yàn)要求時(shí)；g）用戶提出進(jìn)行型式檢驗(yàn)要求時(shí)。7.4.2抽樣方案同一批次中，從出廠檢驗(yàn)合格產(chǎn)品中隨機(jī)抽取數(shù)量不少于2臺(tái)進(jìn)行檢驗(yàn)。7.4.3檢驗(yàn)項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目見表6。表6檢驗(yàn)項(xiàng)目1√√2 √ √—√ √ √—√ √√√√√√√√√√8T/ZJCX0043—2024√√3—√4 √5 √6—√7 √8 √9—√ √7.5判定規(guī)則7.5.1所有檢驗(yàn)項(xiàng)目的檢驗(yàn)結(jié)果均符合本文件要求，則判該批產(chǎn)品為合格。7.5.2產(chǎn)品出廠檢驗(yàn)有一項(xiàng)不符合本文件規(guī)定，應(yīng)加倍抽樣復(fù)檢，如仍有不合格項(xiàng)，則判定該產(chǎn)品不合格。型式檢驗(yàn)有1項(xiàng)不合格，則判定整批產(chǎn)品不合格，不得復(fù)檢。8包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存8.1包裝、標(biāo)志8.1.1包裝應(yīng)符合GB/T191規(guī)定。8.1.2應(yīng)使用專用包裝箱包裝，并在包裝箱內(nèi)可靠固定，確保產(chǎn)品在包裝箱內(nèi)不可移動(dòng)。8.1.3應(yīng)在包裝外表面明顯部位標(biāo)明生產(chǎn)廠廠名、產(chǎn)品牌號(hào)、型號(hào)、規(guī)格、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)、品級(jí)、數(shù)量、毛重、凈重等。8.1.4每件產(chǎn)品應(yīng)附有合格證或合格標(biāo)志。8.2運(yùn)輸、貯存8.2.1應(yīng)使用蓋或帶有布的車（船）運(yùn)輸，裝車（船）前應(yīng)將車（船）底及接觸部位清掃干凈。8.2.2產(chǎn)品散裝運(yùn)輸時(shí)應(yīng)輕起輕放，碼放整齊。運(yùn)輸工具底部應(yīng)鋪軟料并使用氣泡膜丶珍珠棉等軟料填充固定，防止滑動(dòng)造成產(chǎn)品撞擊、碰損。8.2.3需要多層堆垛運(yùn)輸時(shí)，硬質(zhì)包裝應(yīng)以塑料繞膜包裹，可將紙箱與托盤用塑料打包帶一體扎加固。9T/