DB31 374-2024 半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

ICS13.040.40CCSZ6031代替DB31/374—2006ThedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustryIDB31/374—2024 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語和定義 4水污染物排放控制要求 5大氣污染物排放控制要求 6污染物監(jiān)測要求 7達(dá)標(biāo)判定要求 8實(shí)施與監(jiān)督 附錄A（資料性）固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法.11 DB31/374—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替DB31/374—2006《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》，與DB31/374—2006相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)變化如下：——更改了水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)分級：將原第一類污染物兩個級別的排放標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為執(zhí)行同一級別的排放標(biāo)準(zhǔn)，將原第二類污染物三個級別的直接排放標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為同一個級別（見4.1，2006版的4.1.4）；——刪除了大氣污染物的排放速率控制方式（2006版的）；——更改了污染物控制項(xiàng)目：增加了水污染物控制項(xiàng)目石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑和總鋅（見表1）；取消了水污染物控制項(xiàng)目五日生化需氧量（2006版的4.1.4）；增加了大氣污染物控制項(xiàng)目氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物和氮氧化物（見5.1.1，2006版的）；——更改了部分污染物項(xiàng)目的排放限值：收嚴(yán)了懸浮物、化學(xué)需氧量、總有機(jī)碳、氨氮、總氰化物、總銅、總鉛、總鎘、總鎳等9項(xiàng)水污染物項(xiàng)目的排放限值（見4.1，2006版的4.1.4收嚴(yán)了硫酸霧、氯化氫、揮發(fā)性有機(jī)物等3項(xiàng)大氣污染物項(xiàng)目的排放限值（見5.1.1，2006版的）；——增加了邊界污染物監(jiān)控要求（見5.3）；——更改了部分污染物項(xiàng)目的測定分析方法（見6.2.2和6.3.4，2006版的5.4——增加了達(dá)標(biāo)判定要求（見8）。本文件由上海市生態(tài)環(huán)境局提出并組織實(shí)施。本文件由上海市生態(tài)環(huán)境保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口。本文件起草單位：上海市環(huán)境科學(xué)研究院、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會。本文件主要起草人：裴蓓、邵一平、艾麗麗、盧士強(qiáng)、劉揚(yáng)、陳昊、何姚軍、石建賓。本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為：——2006年首次發(fā)布為DB31/374—2006；——本次為第一次修訂。DB31/374—2024為貫徹《中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法》《中華人民共和國大氣污染防治法》《中華人民共和國水污染防治法》《上海市環(huán)境保護(hù)條例》《上海市大氣污染防治條例》，引導(dǎo)半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)的進(jìn)步和可持續(xù)發(fā)展，結(jié)合上海市的實(shí)際情況，對DB31/374—2006《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》進(jìn)行修訂。本文件由上海市人民政府2024年2月7日批準(zhǔn)。1DB31/374—2024半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)水污染物排放控制要求、大氣污染物排放控制要求、污染物監(jiān)測要求、達(dá)標(biāo)判定要求、實(shí)施與監(jiān)督等內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)現(xiàn)有企業(yè)水和大氣污染物排放管理，以及新建企業(yè)環(huán)境影響評價、環(huán)境保護(hù)設(shè)施設(shè)計、竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收、排污許可證核發(fā)及其投產(chǎn)后的水和大氣污染物排放管理。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T7466水質(zhì)總鉻的測定GB/T7467水質(zhì)六價鉻的測定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7470水質(zhì)鉛的測定雙硫腙分光光度法GB/T7471水質(zhì)鎘的測定雙硫腙分光光度法GB/T7475水質(zhì)銅、鋅、鉛、鎘的測定原子吸收分光光度法GB/T7484水質(zhì)氟化物的測定離子選擇電極法GB/T7485水質(zhì)總砷的測定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB/T7494水質(zhì)陰離子表面活性劑的測定亞甲藍(lán)分光光度法GB/T11893水質(zhì)總磷的測定鉬酸銨分光光度法GB/T11900水質(zhì)痕量砷的測定硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法GB/T11901水質(zhì)懸浮物的測定重量法GB/T11907水質(zhì)銀的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T11910水質(zhì)鎳的測定丁二酮肟分光光度法GB/T11912水質(zhì)鎳的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法GB37822揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)GB39731電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)HJ/T27固定污染源排氣中氯化氫的測定硫氰酸汞分光光度法HJ/T28固定污染源排氣中氰化氫的測定異煙酸-吡唑啉酮分光光度法HJ/T30固定污染源排氣中氯氣的測定甲基橙分光光度法HJ/T38固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定氣相色譜法HJ/T42固定污染源排氣中氮氧化物的測定紫外分光光度法HJ/T43固定污染源排氣中氮氧化物的測定鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ/T55大氣污染物無組織排放監(jiān)測技術(shù)導(dǎo)則HJ/T60水質(zhì)硫化物的測定碘量法HJ/T65大氣固定污染源錫的測定石墨爐原子吸收分光光度法HJ/75固定污染源煙氣（SO2、NOX、顆粒物）排放連續(xù)監(jiān)測技術(shù)規(guī)范HJ84水質(zhì)無機(jī)陰離子（F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、PO43-、SO32-、SO42-）的測定離子色譜法2DB31/374—2024HJ/T91.1污水監(jiān)測技術(shù)規(guī)范HJ/T195水質(zhì)氨氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T199水質(zhì)總氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T200水質(zhì)硫化物的測定氣相分子吸收光譜法HJ355水污染源在線監(jiān)測系統(tǒng)（CODCr、NH3-N等）運(yùn)行技術(shù)規(guī)范 HJ/T373固定污染源監(jiān)測質(zhì)量保證與質(zhì)量控制技術(shù)規(guī)范（試行）HJ/T397固定源廢氣監(jiān)測技術(shù)規(guī)范HJ/T399水質(zhì)化學(xué)需氧量的測定快速消解分光光度法HJ484水質(zhì)氰化物的測定容量法和分光光度法HJ485水質(zhì)銅的測定二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法HJ486水質(zhì)銅的測定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ487水質(zhì)氟化物的測定茜素磺酸鋯目視比色法HJ488水質(zhì)氟化物的測定氟試劑分光光度法HJ489水質(zhì)銀的測定3,5-Br2-PADAP分光光度HJ490水質(zhì)銀的測定鎘試劑2B分光光度法HJ493水質(zhì)采樣樣品的保存和管理技術(shù)規(guī)定HJ494水質(zhì)采樣技術(shù)指導(dǎo)HJ495水質(zhì)采樣方案設(shè)計技術(shù)指導(dǎo)HJ501水質(zhì)總有機(jī)碳的測定燃燒氧化-非分散紅外吸收法HJ533環(huán)境空氣和廢氣氨的測定納氏試劑分光光度法HJ535水質(zhì)氨氮的測定納氏試劑分光光度法HJ536水質(zhì)氨氮的測定水楊酸分光光度法HJ537水質(zhì)氨氮的測定蒸餾-中和滴定法HJ544固定污染源廢氣硫酸霧的測定離子色譜法HJ548固定污染源廢氣氯化氫的測定硝酸銀容量法HJ549環(huán)境空氣和廢氣氯化氫的測定離子色譜法HJ604環(huán)境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定直接進(jìn)樣-氣相色譜法HJ636水質(zhì)總氮的測定堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法HJ637水質(zhì)石油類和動植物油的測定紅外分光光度法HJ657空氣和廢氣顆粒物中鉛等金屬元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ659水質(zhì)氰化物等的測定真空檢測管-電子比色法HJ665水質(zhì)氨氮的測定連續(xù)流動-水楊酸分光光度法HJ666水質(zhì)氨氮的測定流動注射-水楊酸分光光度法HJ667水質(zhì)總氮的測定連續(xù)流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ668水質(zhì)總氮的測定流動注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ670水質(zhì)磷酸鹽和總磷的測定連續(xù)流動-鉬酸銨分光光度法HJ671水質(zhì)總磷的測定流動注射-鉬酸銨分光光度法HJ688固定污染源廢氣氟化氫的測定離子色譜法HJ692固定污染源廢氣氮氧化物的測定非分散紅外吸收法HJ693固定污染源廢氣氮氧化物的測定定電位電解法HJ694水質(zhì)汞、砷、硒、鉍和銻的測定原子熒光法HJ700水質(zhì)65種元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ732固定污染源廢氣揮發(fā)性有機(jī)物的采樣氣袋法3DB31/374—2024HJ734固定污染源VOCs的測定固相吸附-熱脫附-氣相色譜-質(zhì)譜法HJ776水質(zhì)32種元素的測定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ777空氣和廢氣顆粒物中金屬元素的測定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ819排污單位自行監(jiān)測技術(shù)指南總則HJ823水質(zhì)氰化物的測定流動注射-分光光度法HJ826水質(zhì)陰離子表面活性劑的測定流動注射-亞甲基藍(lán)分光光度法HJ828水質(zhì)化學(xué)需氧量的測定重鉻酸鹽法HJ836固定污染源廢氣低濃度顆粒物的測定重量法HJ908水質(zhì)六價鉻的測定流動注射-二苯碳酰二肼光度法HJ944排污單位環(huán)境管理臺賬及排污許可證執(zhí)行報告技術(shù)規(guī)范總則（試行）HJ1069水質(zhì)急性毒性的測定斑馬魚卵法HJ1132固定污染源廢氣氮氧化物的測定便攜式紫外吸收法HJ1147水質(zhì)pH值的測定電極法HJ1226水質(zhì)硫化物的測定亞甲基藍(lán)分光光度法HJ1240固定污染源廢氣氣態(tài)污染物（SO2、NO、NO2、CO、CO2）的測定便攜式傅立葉變換紅外光譜法HJ1253排污單位自行監(jiān)測技術(shù)指南電子工業(yè)HJ1261固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進(jìn)樣-氣相色譜法HJ1286固定污染源廢氣非甲烷總烴連續(xù)監(jiān)測技術(shù)規(guī)范DB31/T310014固定污染源廢氣氯氣的測定離子色譜法3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1半導(dǎo)體行業(yè)semiconductorindustry利用半導(dǎo)體材料制造半導(dǎo)體器件的行業(yè)。3.2現(xiàn)有企業(yè)existingfacility本文件實(shí)施之日前通過環(huán)境影響評價審批或已經(jīng)投產(chǎn)運(yùn)行的半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)、生產(chǎn)設(shè)施或研制線。3.3新建企業(yè)newfacility本文件實(shí)施之日起通過環(huán)境影響評價審批的半導(dǎo)體行業(yè)新建、改（擴(kuò)）建建設(shè)項(xiàng)目。3.4標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)standardcondition溫度為273.15K、壓力為101325Pa時的狀態(tài)。注：本文件規(guī)定的大氣污染物排放濃度限值均以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的干氣體為基準(zhǔn)。[來源：DB31/933—2015,3.14,有修改]3.5直接排放directdischarge排污單位直接向環(huán)境水體排放水污染物的行為。[來源：GB39731—2020,3.11]4DB31/374—20243.6間接排放indirectdischarge排污單位向污水集中處理設(shè)施排放水污染物的行為。[來源：GB39731—2020,3.12]3.7揮發(fā)性有機(jī)物volatileorganiccompounds（VOCs）參與大氣光化學(xué)反應(yīng)的有機(jī)化合物，或者根據(jù)有關(guān)規(guī)定確定的有機(jī)化合物。注：在表征VOCs總體排放情況時，采用總揮發(fā)性有機(jī)物（以TVOC表示）、非甲烷總烴（以NMHC表示）作為污染[來源：GB37822—2019,3.1,有修改]3.8總揮發(fā)性有機(jī)物totalvolatileorganiccompounds（TVOC）采用規(guī)定的監(jiān)測方法，對廢氣中的單項(xiàng)VOCs物質(zhì)進(jìn)行測量，加和得到VOCs物質(zhì)的總量，以單項(xiàng)VOCs物質(zhì)的質(zhì)量濃度之和計。注：實(shí)際工作中，按預(yù)期分析結(jié)果，對占總量90%以上的單項(xiàng)VOCs物質(zhì)進(jìn)行測量，加和得出。[來源：GB37822—2019,3.2,有修改]3.9非甲烷總烴NON-methanehydrocarbon（NMHC）采用規(guī)定的監(jiān)測方法，氫火焰離子化檢測器有響應(yīng)的除甲烷外的氣態(tài)有機(jī)化合物的總和，以碳的質(zhì)量濃度計。[來源：GB37822—2019,3.3]4水污染物排放控制要求4.1半導(dǎo)體行業(yè)水污染物排放應(yīng)符合表1規(guī)定的要求。表1污染源水污染物排放限值單位為毫克每升（pH除外）16～96～92334化學(xué)需氧量（COD）5678891115DB31/374—2024表1污染源水污染物排放限值（續(xù)）單位為毫克每升（pH除外）11理，且在企業(yè)出口端和半導(dǎo)體行業(yè)污水集中處理設(shè)施入口端均對水質(zhì)和水量進(jìn)行監(jiān)測，則第15～21項(xiàng)指標(biāo)可協(xié)單元出口執(zhí)行本表規(guī)定的排放限值。當(dāng)企業(yè)廢水排向其他污水集中處理設(shè)施時，第1～8項(xiàng)指標(biāo)可協(xié)商確定間接排放限值，未協(xié)商的指標(biāo)以及第9～21項(xiàng)指標(biāo)執(zhí)行本表規(guī)定的間接排放限值。4.2企業(yè)單位產(chǎn)品生產(chǎn)時的實(shí)際排水量高于GB39731規(guī)定的單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量時，按GB39731的要求進(jìn)行水污染物排放濃度折算。注：單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量指用于核定水污染物排放濃度而規(guī)定的生產(chǎn)單位產(chǎn)品的排水量上限值。4.3半導(dǎo)體行業(yè)污水集中處理設(shè)施運(yùn)營單位廢水綜合毒性的控制應(yīng)符合GB39731的要求。5大氣污染物排放控制要求5.1有組織排放控制要求5.1.1半導(dǎo)體行業(yè)大氣污染物排放應(yīng)符合表2規(guī)定的要求。表2污染源大氣污染物排放限值1523436DB31/374—2024表2污染源大氣污染物排放限值（續(xù)）5617氨8苯1985.1.2惡臭污染物有組織排放應(yīng)符合DB31/1025的要求。5.1.3廢氣收集處理系統(tǒng)應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備同步運(yùn)行。廢氣收集處理系統(tǒng)停止運(yùn)行時，對應(yīng)的生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)停止運(yùn)行，待檢修完畢后同步投入使用；生產(chǎn)工藝設(shè)備不能停止運(yùn)行或不能及時停止運(yùn)行的，應(yīng)設(shè)置廢氣應(yīng)急處理設(shè)施或采取其他替代措施。5.1.4排放氯氣、氰化氫的排氣筒高度不低于25m，其他排氣筒高度不低于15m（因安全考慮或由特殊工藝要求的除外）；確因安全考慮或其他特殊工藝要求，排氣筒低于15m時，排放要求需要加嚴(yán)的，根據(jù)環(huán)境影響評價文件確定。5.1.5當(dāng)執(zhí)行不同排放控制要求的廢氣合并排氣筒排放時，應(yīng)在廢氣混合前進(jìn)行監(jiān)測，并執(zhí)行相應(yīng)的排放控制要求；若可選擇的監(jiān)控位置只能對混合后的廢氣進(jìn)行監(jiān)測，則應(yīng)按各排放控制要求中最嚴(yán)格的規(guī)定執(zhí)行。5.2無組織排放控制要求5.2.1VOCs無組織排放應(yīng)符合GB37822的要求。5.2.2惡臭污染物無組織排放應(yīng)符合DB31/1025的要求。5.3邊界污染物監(jiān)控要求企業(yè)邊界任何1h大氣污染物監(jiān)控濃度應(yīng)符合表3規(guī)定的要求。表3污染源大氣污染物排放限值序號污染物濃度限值1氰化氫0.0242氯氣0.13氯化氫0.157DB31/374—2024表3污染源大氣污染物排放限值（續(xù)）序號污染物濃度限值4非甲烷總烴4.05.4臺賬與記錄要求企業(yè)應(yīng)按照HJ944、HJ1031要求建立臺帳，記錄保存期限不少于五年。6污染物監(jiān)測要求6.1一般要求6.1.1企業(yè)應(yīng)按照HJ819、HJ1253等規(guī)定，建立企業(yè)自行監(jiān)測制度，制定自行監(jiān)測方案，對污染物排放狀況及其對周邊環(huán)境質(zhì)量的影響開展自行監(jiān)測，保存原始監(jiān)測記錄，并按規(guī)定公開污染物自行監(jiān)測信息。6.1.2企業(yè)應(yīng)按照HJ75、HJ355、HJ1286等規(guī)定，安裝和使用廢水和廢氣自動監(jiān)控設(shè)備。6.1.3企業(yè)應(yīng)在污染物處理設(shè)施的出口按照環(huán)境監(jiān)測管理規(guī)定和技術(shù)規(guī)范的要求，設(shè)計、建設(shè)、維護(hù)永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標(biāo)志。6.1.4實(shí)施執(zhí)法監(jiān)測期間，企業(yè)應(yīng)提供工況數(shù)據(jù)的證明材料。6.1.5對企業(yè)排放廢水和廢氣的采樣，應(yīng)根據(jù)監(jiān)測污染物的種類，在規(guī)定的污染物排放監(jiān)控位置進(jìn)行，有廢水、廢氣處理設(shè)施的，應(yīng)在處理設(shè)施后監(jiān)控。根據(jù)企業(yè)使用的原料、生產(chǎn)工藝過程、生產(chǎn)的產(chǎn)品、副產(chǎn)品等，確定需要監(jiān)測的污染物項(xiàng)目。6.1.6本文件發(fā)布實(shí)施后國家發(fā)布污染物監(jiān)測方法標(biāo)準(zhǔn)，若適用性滿足要求，同樣適用于本文件相應(yīng)污染物的測定。6.2水污染物監(jiān)測與分析6.2.1水污染物的監(jiān)測采樣，按HJ/T91.1、HJ493、HJ494、HJ495的規(guī)定執(zhí)行。6.2.2水污染物的分析測定，應(yīng)采用表4所列的方法標(biāo)準(zhǔn)。表4水污染物分析方法標(biāo)準(zhǔn)1234化學(xué)需氧量(COD)568DB31/374—2024表4水污染物分析方法標(biāo)準(zhǔn)（續(xù)）78水質(zhì)磷酸鹽和總磷的測定連續(xù)流動9水質(zhì)陰離子表面活性劑的測定流動注水質(zhì)銅的測定2,9-二甲基-1,9DB31/374—2024表4水污染物分析方法標(biāo)準(zhǔn)（續(xù)）6.3大氣污染物監(jiān)測與分析6.3.1排氣筒中大氣污染物的監(jiān)測采樣按GB/T16157、HJ75、HJ/T373、HJ/T397、HJ732、HJ1286等規(guī)定執(zhí)行。對于排放強(qiáng)度周期性波動的污染源，其污染物排放監(jiān)測時段應(yīng)涵蓋其排放峰值時段。6.3.2排氣筒中大氣污染物濃度可以任何連續(xù)1h采樣獲得平均值，或者在任何1h內(nèi)以等時間間隔采集3個～4個樣品，計算平均值；對于間歇式排放且排放時間小于1h，則應(yīng)在排放階段實(shí)現(xiàn)連續(xù)監(jiān)測，或者在排放時段內(nèi)以等時間間隔采集2個～4個樣品，計算平均值。6.3.3企業(yè)邊界大氣污染物的監(jiān)測采樣，按HJ/T55的規(guī)定執(zhí)行。一般以連續(xù)1h采樣獲取平均值；若分析方法靈敏高，僅需用短時間采集時，應(yīng)在1h內(nèi)以等時間間隔采集3個～4個樣品，計算平均值。6.3.4大氣污染物的分析測定執(zhí)行表5所列的方法標(biāo)準(zhǔn)。表5污染源大氣污染物排放限值123456空氣和廢氣顆粒物中鉛等金屬元素的測空氣和廢氣顆粒物中金屬元素的測定7氨8苯9DB31/374—2024表5污染源大氣污染物排放限值（續(xù)）環(huán)境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定7達(dá)標(biāo)判定要求7.1采用手工監(jiān)測時，按照監(jiān)測規(guī)范要求獲得的監(jiān)測數(shù)據(jù)等于或者小于排放限值時為達(dá)標(biāo)排放。7.2采用自動監(jiān)測時，按照監(jiān)測規(guī)范要求獲得的水污染物有效日均值等于或者小于排放限值時為達(dá)標(biāo)排放，大氣污染物有效小時均值等于或者小于排放限值時為達(dá)標(biāo)排放。7.3企業(yè)未遵守本文件規(guī)定的措施性控制要求，構(gòu)成違法行為的，依照法律法規(guī)等有關(guān)規(guī)定予以處理。8實(shí)施與監(jiān)督8.1本文件由生態(tài)環(huán)境主管部門負(fù)責(zé)監(jiān)督實(shí)施。8.2新建企業(yè)自本文件實(shí)施之日起，現(xiàn)有企業(yè)自2024年10月1日起執(zhí)行本文件要求。8.3企業(yè)是實(shí)施排放標(biāo)準(zhǔn)的責(zé)任主體，應(yīng)采取必要措施，達(dá)到本文件規(guī)定的污染物排放控制要求。因安全因素或特殊工藝要求不能滿足本文件規(guī)定的VOCs無組織排放控制要求，應(yīng)采取符合規(guī)定的其他等效污染控制措施或依據(jù)排污許可證相關(guān)要求執(zhí)行。DB31/374—2024（資料性）固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法A.1檢出限當(dāng)進(jìn)樣體積為1.0mL時，苯系物的檢出限分別為：——苯0.2mg/m3；——甲苯0.3mg/m3；——乙苯0.3mg/m3；——二甲苯（對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯）0.3mg/m3；——苯乙烯0.3mg/m3；——三甲苯（1,3,5-三甲苯、1,2,4-三甲苯、1,2,3-三甲苯）0.3mg/m3。A.2方法原理苯系物（氣體）用氣袋采樣，注入氣相色譜儀，經(jīng)毛細(xì)管色譜柱分離，用氫火焰離子化檢測器測定，以保留時間定性，峰高（或峰面積）外標(biāo)法定量。A.3干擾和消除在優(yōu)化后的色譜條件下未見有明顯的干擾物質(zhì)，如對定性結(jié)果有疑問，可采用氣相色譜-質(zhì)譜儀（GC/MS）定性。A.4試劑和材料A.4.1苯系物標(biāo)準(zhǔn)氣體含苯、甲苯、乙苯、二甲苯（對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯）、苯乙烯、三甲苯（1,3,5-三甲苯、1,2,4-三甲苯、1,2,3-三甲苯）的標(biāo)準(zhǔn)氣體。A.4.2采樣氣袋表面光滑程度和化學(xué)惰性相當(dāng)于或優(yōu)于PVF聚氟乙烯（Tedlar）材質(zhì)的薄膜氣袋，有可接上采樣外管的聚四氟乙烯樹脂（Teflon）材質(zhì)的接頭，該接頭同時也是一個可開啟和關(guān)閉，使氣袋內(nèi)與外界空氣連通和隔絕的閥門裝置。采樣氣袋的容積至少1L，根據(jù)分析方法所需的最少樣品體積來確定采樣氣袋的容積規(guī)格。A.4.3高純氣體高純氣體濃度應(yīng)符合以下要求：——高純空氣：純度99.999%；——高純氮?dú)猓杭兌?9.999%；——高純氫氣：純度99.999%。A.5儀器和設(shè)備A.5.1除非另有說明，分析時均使用符合國家標(biāo)準(zhǔn)的A級玻璃量器。A.5.2氣相色譜儀應(yīng)具有分流不分流進(jìn)樣口，可程序升溫，配有氫火焰離子化檢測器（FID）。色譜數(shù)據(jù)處理工作站或與儀器相匹配的積分儀。DB31/374—2024A.5.3準(zhǔn)備1mL、5mL、10mL、50mL、100mL注射器。A.5.4毛細(xì)管色譜柱應(yīng)為30m（長）×0.53mm（內(nèi)徑）×1.0μm（膜厚）、固定液為聚乙二醇或其他等效毛細(xì)管色譜柱。A.5.5氣袋采樣系統(tǒng)技術(shù)要求應(yīng)符合HJ732中相關(guān)要求的氣袋采樣設(shè)備。A.6樣品采集和保存有組織排放樣品的采集按照HJ732的規(guī)定執(zhí)行。將采集好的氣袋樣品在室溫條件下，避光保存，24h內(nèi)分析完畢。A.7分析步驟A.7.1氣相色譜參考條件A.7.1.1氣象色譜參考條件應(yīng)符合下列要求：——柱溫：初始溫度50℃,保持7.5min，以每分鐘25℃的速率升至140℃,保持10min；——進(jìn)樣口：不分流進(jìn)樣，溫度220℃;——?dú)怏w流量：高純氮?dú)猓?mL/min；——檢測器：溫度250℃。A.7.1.2待儀器的各項(xiàng)參數(shù)達(dá)到方法規(guī)定的值，并確定FID基線走平后進(jìn)行樣品分析。A.7.2工作曲線的繪制分別從苯、甲苯、乙苯、二甲苯、苯乙烯和三甲苯的標(biāo)準(zhǔn)氣體中，按表B.1配制苯系物標(biāo)準(zhǔn)氣體。表A.1苯系物標(biāo)準(zhǔn)氣體苯123456將配置好的標(biāo)準(zhǔn)氣體通過氣袋進(jìn)樣儀進(jìn)樣，按照儀器參考條件（A.7.1），從低濃度到高濃度依次測定。取1mL進(jìn)樣，以峰面積（峰高）為縱坐標(biāo)，苯、甲苯、乙苯、二甲苯、苯乙烯、三甲苯的濃度為橫坐標(biāo)，繪制工作曲線。苯系物標(biāo)準(zhǔn)譜圖見圖A.1。DB31/374—2024圖A.1苯、甲苯、乙苯、對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯、1,3,5-三甲苯、苯乙烯、1,2,4-三甲苯和1,2,3-三甲苯色譜圖A.7.3樣品測定按工作曲線（A.7.2）相同條件，準(zhǔn)確取1mL樣品氣體注入氣袋進(jìn)樣儀，按繪制工作曲線相同的條件進(jìn)行樣品分析。A.7.4空白試驗(yàn)按工作曲線（A.7.2）相同條件，取氮?dú)膺M(jìn)行空白試驗(yàn)。A.8結(jié)果計算與表示A.8.1結(jié)果計算A.8.1.1外標(biāo)法根據(jù)測得固定污染源廢氣中目標(biāo)化合物的峰面積（峰高從校準(zhǔn)曲線直接計算目標(biāo)化合物的濃度。固定污染源廢氣中目標(biāo)化合物的濃度按下式計算：式中：ρ——目標(biāo)化合物濃度，單位為毫克每立方米（mg/m3H——測得目標(biāo)化合物的峰面積（峰高單位為平方米（m2E——