黃光工藝實訓(xùn)室建設(shè)需求

黃光工藝實訓(xùn)室建設(shè)需求一、建設(shè)背景與目標(biāo)搶抓國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“窗口”機遇，積極建設(shè)特色半導(dǎo)體“萬畝千億”新產(chǎn)業(yè)平臺，舉全市之力發(fā)展特色半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)；“芯”從零起步，探索出了“Smart-IDM”模式；該模式是通過招引芯片設(shè)計、制造、封裝、測試等各個環(huán)節(jié)可以獨立運行的小而精企業(yè)，形成“緊密型上下游供應(yīng)鏈”，整體實現(xiàn)“設(shè)計一制造一封裝”一體化；全力建設(shè)以功率器件為特色的半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈，產(chǎn)業(yè)集聚效益進(jìn)一步凸顯，產(chǎn)業(yè)鏈“磁場效應(yīng)”進(jìn)一步迸發(fā)，核心競爭力進(jìn)一步增強，打造成為全國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心產(chǎn)區(qū)之一；隨著地區(qū)產(chǎn)業(yè)逐步完善，對人才的需求也逐步加大，尤其是生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)特殊工藝節(jié)點的工程師需求尤為明顯，為產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)相關(guān)人員是地方高校的主要任務(wù)，因此我校準(zhǔn)備啟動黃光實訓(xùn)室建設(shè)；該項目建設(shè)內(nèi)容包括采購設(shè)備：要求質(zhì)量可靠，性能穩(wěn)定，符合實訓(xùn)教學(xué)的基本要求；二、設(shè)備清單序號設(shè)備名稱數(shù)量單位1光刻機4套2勻膠機4套3烘膠機4套4顯影清洗機2套5金像顯微鏡2套6光學(xué)膜厚測量儀2套74寸晶圓硅片150片84寸成品晶圓硅片50片9光刻掩膜版18個10高純氮氣400升11無塵服300套12口罩3000只13手套6000雙14輔助工具8套15恒溫柜1套16冰箱1套17化學(xué)品存儲柜1套18無塵式通風(fēng)柜4個19不銹鋼桌2個20芯片制造演示儀1套21集成電路產(chǎn)業(yè)鏈智能制造教學(xué)演示沙盤1套22課程資源1套23文化展示1項24黃光無塵室萬級改造1項三、技術(shù)參數(shù)序號產(chǎn)品名稱主要技術(shù)參數(shù)1光刻機設(shè)備功能：通過光學(xué)系統(tǒng)將設(shè)計好電路的掩模板圖形投影到硅片上，并使用紫外線照射硅片表面，使其形成微小的結(jié)構(gòu)；1.適用基片尺寸≤102mm；2.適用掩模版尺寸≤127mm；3.套刻精度≤2um；4.工作臺行程：X、Y調(diào)節(jié)：≥5mmZ調(diào)節(jié)：≥5mm；5.分離視場顯微鏡：掃描范圍≥20*20mm；6.曝光光源6.1光源模式：UV：LED；6.2光源壽命：≥20,000H；6.3光強≥20mW/cm2；7.曝光面積≥100*100mm；8.曝光分辨率≤1um；9.曝光時間可調(diào)節(jié)；2勻膠機1.速度范圍：300-5000RPM；2.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%；3.膠的均勻性：≤±1%；4.參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)；5.基片尺寸：30-150mm；6.電源輸入：AC220V±10V，50HZ；3烘膠機1.烘膠溫度：室溫～300℃；2.控溫精度：±1℃；3.電源輸入：AC220V±10V/50HZ；4顯影清洗機1.轉(zhuǎn)速：1～3000rpm；2.顯影液量控制：10～400mL；3.顯影時間控制：1～999s；4.清洗時間控制：1～999s；5.甩干時間控制：1～999s；6.適配硅片/芯片：4,5,6英寸；7.電源輸入：AC220V±10V/50HZ；5金像顯微鏡1.目鏡：PL10X；2.物鏡：長工作距平場消色差金相物鏡5X/10X/20X/50X/（標(biāo)配），10x目鏡下實現(xiàn)放大倍數(shù):(50X、100X、200X、500X)；3.搭配硬件和軟件齊全的成像系統(tǒng)；6光學(xué)膜厚測量儀1.波長范圍:200-1000nm；2.厚度范圍:2um-70um；3.膜厚精度：≤15nm；4.膜厚模式重復(fù)性：≤0.5nm；5.膜厚模式準(zhǔn)確性：≤2nm；6.配備教學(xué)測膜厚用硅片樣品50套；74寸晶圓硅片1.（具備暴光對齊標(biāo)志，方便二次對齊）100片；2.（有膠版要求厚度不同、適用于膜厚測量教學(xué)實驗）50片；84寸成品晶圓硅片2套，每套25片（要求具備不同的電路結(jié)構(gòu)適用于金像顯微鏡觀測教學(xué)實驗）；9光刻掩膜版1.基本電路元件光罩（包含電阻、電容、電感等基本電路元件的光罩）6個；2.復(fù)雜電路模塊光罩（包含運算放大器、邏輯門電路等復(fù)雜模塊的光罩）6個；3.集成電路芯片光罩（設(shè)計模擬或數(shù)字集成電路芯片的光罩）6個；10高純氮氣高純氮氣400L；11無塵服300套品牌無塵服；12口罩1.數(shù)量：3000只；2.產(chǎn)品材質(zhì)：活性炭+熔噴布+無紡布；3.產(chǎn)品尺寸：約17.5cm*9.5cm；13手套1.數(shù)量6000雙；2.產(chǎn)品材質(zhì)：丁腈橡膠；3.表面：麻面工藝；14輔助工具鑷子、吸片等8套（用于實驗中輔助取片等相關(guān)操作）；15恒溫柜1.容量≥300L；2.濕度范圍20%-60%RH，中濕度；16冰箱1.容量≥90L；2.額定電壓220V，額定頻率50Hz；3.溫度≤10℃；4.能效等級：1級；5.數(shù)顯電子控溫；17化學(xué)品存儲柜1.存儲容量≥100L；2.柜體耐酸堿腐蝕；3.環(huán)保靜電粉末噴涂；4.設(shè)有雙人雙鎖；18無塵式通風(fēng)柜1.外殼:外殼采用冷軋鋼板，要求附著力高，表面硬度，腐蝕性強；2.電源:采用實驗室電源插座；3.配電箱:符合220v及380v供電要求，有漏電及點擊保護裝置；4.導(dǎo)流板:導(dǎo)流板將處于不同高度空間的有害氣體分別從不同的段區(qū)排出，通風(fēng)柜以0.5m/s的速度將通風(fēng)柜中的空氣排出，確保無任何殘留氣體存在，通風(fēng)效率好且噪音小；5.集氣罩：采用錐形縮口集氣風(fēng)罩；6.配備8張實驗室用工作椅：高42-57cm,直徑30-33cm,底直徑38－42CM；19不銹鋼桌1.材質(zhì)：304不銹鋼，外部尺寸（mm）：2000*600*800；2.承重：≥300公斤；3.配備4張實驗室用工作椅：高42-57cm,直徑30-33cm,底直徑38－42CM；20芯片制造演示儀1.包含有拉單晶、硅錠切割、勻膠、光刻、刻蝕、摻雜、晶圓切片、搭橋、焊線、封裝十個環(huán)節(jié)和芯片展示模塊；2.互動滑軌電視系統(tǒng)由防塵軌道和27寸一體機加驅(qū)動系統(tǒng)組成，預(yù)裝了交互控制程序，可以響應(yīng)每個展示模塊底端面板上的呼叫按鈕的操作，程序控制自主滑行到呼叫模塊的位置，并啟動該模塊的視頻演示程序，與該模塊的機電演示同步；21集成電路產(chǎn)業(yè)鏈智能制造教學(xué)演示沙盤1.場景布置與當(dāng)前集成電路工業(yè)界主流場景布置基本相同，沙盤需將完整的工廠區(qū)域布局展現(xiàn)出來；2.支持與沙盤聯(lián)動，沙盤主要由“晶圓制造車間、晶圓測試車間、芯片封裝車間、芯片測試車間”四大區(qū)域及“黃光區(qū)、風(fēng)淋室、休息室、更衣室、去靜電、緩沖區(qū)”等關(guān)鍵區(qū)域組成；在控制系統(tǒng)上點擊對應(yīng)關(guān)鍵區(qū)域，沙盤實物模型對應(yīng)區(qū)域會高亮顯示并在顯示屏上播放相關(guān)視頻資源或者出現(xiàn)對應(yīng)介紹內(nèi)容；3.設(shè)備模型包含PVD機臺、涂膠機、EUV光刻機、等離子體刻蝕機、離子注入機、退火機臺、立式擴散爐、去膠機、擦片機、清洗機、PCVD機臺、圓片剪薄機、砂輪劃片機、固晶機、引線鍵合機、塑封機、電鍍機、切筋成型機等；不少于20種實體設(shè)備對應(yīng)模型（提交對應(yīng)20種實體設(shè)備模型效果圖）；4.顯示屏：屏幕尺寸100英寸、4K分辨率；22課程資源1.提供黃光工藝課程教學(xué)資源：包括芯片制造流程、黃光工藝（涂布、光刻、烘烤、顯影四大設(shè)備介紹）、手動光刻使用說明與實際操作、進(jìn)入無塵室的要求需知規(guī)范與實際操作、黃光設(shè)備操作方式流程介紹與實際操作（清洗,勻膠,烘拷,光刻,顯影,清洗）、黃光工藝參數(shù)的影響與計算操作、硅片光刻工藝動手實驗、無塵室安全注意事項規(guī)范、硅片曝光實踐、掩膜板與晶圓對準(zhǔn)實作教學(xué)、膜厚量測儀檢測介紹與勻膠與烘烤實際驗證、金相顯微鏡檢測介紹與顯影后實際驗證等；2.半導(dǎo)體廠務(wù)課程資源，采用虛擬仿真技術(shù)實現(xiàn)，內(nèi)容包括：（1）仿真真實工廠的中控界面（包含大宗氣體、特殊氣體、純水系統(tǒng)、廢水系統(tǒng)）以及常見中控報警故障的處理選擇；（2）超純水虛擬仿真實驗，廢水虛擬仿真實驗；介紹主要設(shè)備（如EDI裝置、RO裝置、TOC裝置、PH調(diào)整絮凝反應(yīng)槽）的功能，以流程動畫形式顯示化學(xué)處理過程；（3）大宗氣體及管道輸送虛擬仿真實驗，特殊氣體及管道輸送虛擬仿真實驗；介紹半導(dǎo)體廠房常用氣體的分類，各類氣體的制備、存儲和安全操作，氣體的包裝方式和管道材料的選擇等；3.課程資源建設(shè)：項目驗收前完成《黃光工藝課程》、《半導(dǎo)體廠務(wù)課程》的課程資源建設(shè)，每門課程約48個課時，投標(biāo)時提交課程資源建設(shè)目錄；項目驗收前提交建成的課程資源；課程包含內(nèi)容見技術(shù)參數(shù)的課程資源表述；《半導(dǎo)體廠務(wù)課程》推薦使用虛擬仿真技術(shù)實現(xiàn)，要求具備：（1）能夠?qū)崿F(xiàn)教學(xué)、實訓(xùn)、考核一體化；（2）半導(dǎo)體廠房整體模型全套資料完整，基本能實現(xiàn)與現(xiàn)場環(huán)境1:1還原；（3）支持場景漫游，點擊廠房部門可進(jìn)入內(nèi)部進(jìn)行查看，顯示當(dāng)前廠房內(nèi)部的設(shè)備和結(jié)構(gòu)；（4）理論知識點教學(xué)完成后以選擇形式進(jìn)行考核，操作步驟教學(xué)完成后可以選擇形式或打亂次序選擇正確排列形式進(jìn)行考核；（5）軟件操作方便，交互簡單，學(xué)生能夠快速上手進(jìn)行操作；《黃光工藝課程》推薦由演示視頻、知識講解、考核及案例構(gòu)成：（1）操作演示視頻（共6個）：涂布設(shè)備操作演示視頻，展示涂布設(shè)備的正確使用方法和注意事項；光刻設(shè)備操作演示視頻，詳細(xì)介紹光刻設(shè)備的操作流程，包括掩膜板的選擇、曝光參數(shù)的設(shè)定等；烘烤設(shè)備操作演示視頻，展示烘烤設(shè)備的操作步驟和烘烤溫度的設(shè)定方法；顯影設(shè)備操作演示視頻，介紹顯影設(shè)備的正確使用方法，包括顯影液的濃度、顯影時間等參數(shù)的設(shè)定；硅片曝光實踐演示視頻，展示硅片曝光的過程，包括掩膜板與晶圓的對準(zhǔn)操作；無塵室安全注意事項視頻：介紹無塵室的安全規(guī)范、操作規(guī)程和應(yīng)急處理措施；說明：視頻需為高清、專業(yè)制作，確保內(nèi)容的準(zhǔn)確性和易理解性；演示過程中需包含詳細(xì)的解說和操作步驟，便于學(xué)生自主學(xué)習(xí)和實踐；視頻中需包含必要的字幕和動畫效果，以增強視覺效果和吸引力；（2）PPT知識講解（共3個）：黃光工藝基礎(chǔ)知識PPT：介紹黃光工藝的基本概念、原理及其在芯片制造中的重要性；設(shè)備介紹PPT：詳細(xì)講解涂布、光刻、烘烤、顯影四大設(shè)備的結(jié)構(gòu)、工作原理和使用注意事項；工藝參數(shù)影響與計算PPT：分析黃光工藝參數(shù)（如曝光時間、顯影時間等）對芯片制造質(zhì)量的影響，并介紹相關(guān)計算方法；（3）實驗動手資源（共3個）：硅片光刻工藝動手實驗指南：1份文檔，包含詳細(xì)的實驗步驟、所需材料和設(shè)備、實驗注意事項等；膜厚量測儀檢測介紹：1份文檔，介紹膜厚量測儀的工作原理、操作方法和數(shù)據(jù)解讀；金相顯微鏡檢測介紹：1份文檔，提供金相顯微鏡的使用說明和檢測技巧；（4）考核與評估資源（共4個）：在線測試：包含2套在線測試（每套測試約40道題目）；實驗報告模板：1份文檔，包括實驗?zāi)康?、步驟、結(jié)果、分析和結(jié)論等部分；技能考核實操項目：設(shè)計5個實操項目，如模擬設(shè)備操作、工藝參數(shù)調(diào)整等，每個項目包含詳細(xì)的操作步驟和評分標(biāo)準(zhǔn)；案例分析與討論：提供3個黃光工藝相關(guān)的案例，每個案例包含問題描述、分析要點和討論問題；23文化展示1.功能用于給新生、外來參觀者展示；2.設(shè)計方案、效果圖根據(jù)采購人需求定制；3.內(nèi)容包含集成電路的歷史、區(qū)域產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀/規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)鏈、崗位、教學(xué)理念、安全生產(chǎn)規(guī)范與管理等；4.效果：支撐專業(yè)與產(chǎn)業(yè)的緊密鏈接；24黃光無塵室萬級改造1.無塵室建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)以國家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)；2.車間：溫度22℃±2℃、濕度55%±5%、照度（500lux）、無塵室潔凈等級測量：靜態(tài)情況下滿足千級標(biāo)準(zhǔn)，動態(tài)情況下滿足萬級標(biāo)準(zhǔn)；3.參觀走道：不控溫濕、照度；4.溫度控制：室內(nèi)溫度控制，以確保光刻工藝的穩(wěn)定性；5.濕度控制：相對濕度控制，以防止靜電和污染物附著；6.壓力控制：無塵室內(nèi)需保持正壓，以防止外部污染物進(jìn)入；7.地膠：厚度≥3mm，地板要超強耐磨.防滑.防火阻燃.防水防潮.吸音防噪.抗菌性能等；8.水電改造：墻面、頂部布線開槽預(yù)埋；四、服務(wù)要求1.工期要求：必須在合同簽訂后100個日歷天內(nèi)完成環(huán)境改造、設(shè)備安裝、調(diào)試、交付正常使用；2.供貨（安裝）地點要求：采購人指定地點；3.投標(biāo)時提交的其它材料3.1黃光實訓(xùn)室材料：實訓(xùn)室的設(shè)計方案、效果圖、主要材料的規(guī)格、施工方案、設(shè)計圖紙；簽訂合同后在設(shè)計方案、施工細(xì)節(jié)等方面與采購人進(jìn)一步協(xié)商完善；4.產(chǎn)品安裝調(diào)試要求：4.1產(chǎn)品外觀：提供1-6項所投產(chǎn)品的高清完整照片；4.2安裝調(diào)試成功后，提供完整的測試用耗材，由專業(yè)工程師在采購人現(xiàn)場見證下全流程做一遍實訓(xùn)實驗，確保實訓(xùn)成功，符合實訓(xùn)室建設(shè)要求；5.環(huán)境評估、安全評估要求：由完成環(huán)境評估、安全評估，采購單位全力配合完成評估工作；6.培訓(xùn)要求：設(shè)備調(diào)試成功后，針對設(shè)備系統(tǒng)、安裝、檢驗、調(diào)試、使用和維護等方面對采購單位技術(shù)人員、使用人員制訂專