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《雙主軸晶圓劃片機(jī)用多絲母組件技術(shù)要求》編制說(shuō)明根據(jù)《中國(guó)中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》有關(guān)規(guī)定,標(biāo)準(zhǔn)符合立項(xiàng)條件,現(xiàn)批準(zhǔn)立項(xiàng)。的精度。所以提高多絲母組件的精度技術(shù)對(duì)提高芯片尺寸制造精度,件技術(shù)要求》晶圓劃片機(jī)加工相關(guān)情況進(jìn)行查證工作,確定了《雙主軸晶圓劃片機(jī)用多絲標(biāo)準(zhǔn)起草等角度廣泛征求多方意見(jiàn),從理論完善和實(shí)踐應(yīng)用多方面提升標(biāo)準(zhǔn)的適用性和實(shí)用性。經(jīng)過(guò)理論研究和方法驗(yàn)證,起草組形成了國(guó)標(biāo)準(zhǔn)編寫(xiě)模板TCS2020版進(jìn)行6.1.6裝配后的多絲母組件應(yīng)進(jìn)行6.2.1多絲母組件的行程偏差和變無(wú)
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