集成電路微專業(yè)教學(xué)實驗平臺建設(shè)需求

集成電路微專業(yè)教學(xué)實驗平臺建設(shè)需求1技術(shù)標準與要求序號品目名稱標的名稱單位數(shù)量1其他信息化設(shè)備集成電路VR實訓(xùn)平臺套1.002其他信息化設(shè)備芯片工藝制造實驗板卡套1.003其他信息化設(shè)備制造設(shè)備認知實驗板卡套1.004其他信息化設(shè)備一體化半導(dǎo)體測試平臺設(shè)備臺2.005其他信息化設(shè)備交換機臺1.006其他計算機軟件保護還原軟件節(jié)點61.007其他計算機軟件多媒體教學(xué)軟件節(jié)點61.008其他計算機軟件集成電路設(shè)計教學(xué)資源套1.009其他信息化設(shè)備集成電路設(shè)計測試驗證平臺套2.0010其他信息化設(shè)備模擬電路集成開發(fā)設(shè)備套36.002集成電路VR實訓(xùn)平臺序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、集成電路VR實訓(xùn)平臺需包含集成電路多功能實驗平臺、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、高性能運算模塊、VR操作設(shè)備、VR顯示屏等設(shè)備；22、集成電路多功能實驗平臺需支撐各類VR場景實驗的設(shè)計，同時也是所有實驗功能硬件板卡的基臺載體，可容納至少14個硬件板卡插槽，每通道接口需符合PCIeX16標準；33、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀需容納至少7個測試板卡插槽，支持源測量元SMU板卡和LCR測量元板卡類型，提供可觸控液晶屏，提供以下接口：1路電源接口、6路預(yù)留COM口、2路網(wǎng)口，還需包含VGA、HDMI等常用輸出端口，還包含電源線、數(shù)據(jù)線、視頻線、鍵盤和鼠標等配套設(shè)施；44、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀顯示區(qū)為可觸控液晶，內(nèi)部包含機箱溫度監(jiān)測模塊，可以實時監(jiān)測機箱溫度，并且根據(jù)機箱溫度動態(tài)調(diào)節(jié)散熱情況；55、提供VR顯示屏尺寸不少于90英寸，提供不少于1個HDMI、1個USB接口、支持wifi連接；66、平臺需提供高性能運算模塊，CPU主頻≥2.9Ghz，核心數(shù)≥6核，制作的工藝≤14nm，內(nèi)存不小于64GB，顯卡CUD核心數(shù)≥1408，顯存容量≥6GB，主板提供至少1個標準的DB15VGA顯示接口、1個標準的HDMI接口、7個標準的7PinSATA接口、4個千兆以太網(wǎng)接口，2個PCIeX16接口；77、平臺需提供VR頭戴式設(shè)備套裝，包括至少1個頭戴式設(shè)備、1副耳機、1個中轉(zhuǎn)器、1個數(shù)據(jù)線、1個視頻線、1個電源線、1個投影線和1個插線板以及6個不同度數(shù)的鏡片；頭戴式設(shè)備采用雙AMOLED屏幕，組合分辨率不低于2160×1200像素，單眼分辨率不低于1080×1200像素，刷新率不低于90Hz，視場角不小于110度；88、平臺包含至少2個操作控制器套裝，每個套裝包括至少1個手柄、1個充電頭、1根充電線、1個掛繩、24個感應(yīng)器、多功能觸摸板、雙階段觸發(fā)器以及高清觸覺反饋功能，內(nèi)置可充電電池；99、平臺包含至少2個VR定位器套裝，每個套裝包括至少1個定位器、1個電源線、1套固定支架和配件，采用激光定位方法定位，提供360度移動追蹤，最大支持不低于15英尺x15英尺的空間物理追蹤能力，具備無線同步功能；1010、平臺需配備必需的手寫筆、電源線，數(shù)據(jù)線，視頻線，鍵盤和鼠標等配套設(shè)施；3芯片工藝制造實驗板卡序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、芯片工藝制造實驗板卡需提供制備線實景操作VR軟件載體和必要的數(shù)據(jù)輸入輸出交互硬件平臺，接口需滿足PCIeX16設(shè)計標準；22、板卡提供不低于1路VGA15Pin接口，該接口需要能與源測量單元（SMU）板卡的PACtrl的端口相連通，用于VR軟件的數(shù)據(jù)交互；33、板卡需內(nèi)嵌制備線實景操作VR軟件，通過VR還原真實集成電路制備場景和操作方法；內(nèi)部場景布置需與當(dāng)前工業(yè)界工藝廠（Foundry）主流場景布置類似（非高校超凈間布置方式），內(nèi)部包含至少以下20種虛擬設(shè)備：EUV光刻機、氧化爐、退火爐、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備、介質(zhì)刻蝕機、硅刻蝕機、化合物刻蝕機、金屬刻蝕機、光刻膠刻蝕機、DUV光刻機、物理氣相淀積設(shè)備、晶圓存儲Stocker、原子層沉積設(shè)備、外延設(shè)備、離子注入機、擴散爐、金屬氧化物氣相沉積設(shè)備、槽式清洗機、單片清洗機、激光退火設(shè)備，每個設(shè)備需提供可供用戶交互設(shè)備交互方法，總計交互步驟不少于100步；44、制備線需包含天車系統(tǒng)及自適應(yīng)的天車算法，并且需要與Foundry主流天車系統(tǒng)和算法類似；系統(tǒng)需要能夠完成至少十種器件，且必須包含二極管、集成電路電阻、MOSFET、變?nèi)莨?、SOI、FinFET、三極管、LDMOS、JFET、GaAs的完整設(shè)備參數(shù)設(shè)置的流程和生產(chǎn)實習(xí)流程，總計設(shè)置步驟不少于200步，設(shè)置完成后，需要以天車系統(tǒng)為核心的運轉(zhuǎn)方式完成晶圓的全部制備過程，用戶可以在這一過程中觀察任意設(shè)備情況并且能夠查看器件在每一步的制造數(shù)值結(jié)果和二維微觀結(jié)構(gòu)圖；55、需提供與芯片工藝制造生產(chǎn)實習(xí)相關(guān)的實訓(xùn)課程內(nèi)容，時間不少于1周，需提供電阻、二極管、雙極型晶體管、MOSFET、JFET、MSSFET器件等不低于6種工藝制造實驗內(nèi)容；4制造設(shè)備認知實驗板卡序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、制造設(shè)備認知實驗板卡提供半導(dǎo)體設(shè)備認知的實景操作VR軟件，板卡接口需滿足PCIeX16設(shè)計標準；22、板卡輸出接口不低于1路VGA15Pin接口，該接口需要能與源測量單元（SMU）板卡的PACtrl的端口相連通，用于VR軟件的數(shù)據(jù)交互；33、內(nèi)嵌半導(dǎo)體設(shè)備實景操作VR軟件，通過VR還原真實集成電路生產(chǎn)設(shè)備的原理、基本操作和動態(tài)效果；系統(tǒng)需包含至少10種(包含但不局限于EUV光刻機、氧化爐、退火爐、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備、介質(zhì)刻蝕機、硅刻蝕機、化合物刻蝕機、金屬刻蝕機、光刻膠刻蝕機、DUV光刻機)等虛擬設(shè)備，每個設(shè)備均需為當(dāng)前產(chǎn)線使用的常見設(shè)備（非高校超凈間設(shè)備），需提供設(shè)備原理介紹、設(shè)備結(jié)構(gòu)、設(shè)備內(nèi)部運轉(zhuǎn)過程、設(shè)備面板操作、設(shè)備動態(tài)效果動畫等針對認識實習(xí)所必不可少的環(huán)節(jié)流程，并且可以與用戶互動，總計互動步驟不少于200步；44、需提供提供與芯片制造設(shè)備認識實習(xí)相關(guān)的實訓(xùn)課程內(nèi)容，時間不少于1周；5一體化半導(dǎo)體測試平臺設(shè)備序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、平臺需包含混合信號示波器、信號發(fā)生器、數(shù)字萬用表、直流電源、源測量單元SMU儀器、LCR測試儀器、數(shù)字I/O等各類半導(dǎo)體測試測量儀器硬件于一體，支撐微電子和集成電路專業(yè)的《半導(dǎo)體物理實驗》、《半導(dǎo)體器件物理實驗》、《半導(dǎo)體工藝檢測實驗》；22、內(nèi)置高性能處理器，預(yù)裝計算機操作系統(tǒng)，提供不小于13.3英寸觸控屏幕；33、混合信號示波器：不低于2通道，最高采樣率不低于1GS/s，雙通道共用時單通道采樣率不高于500MS/s/通道，帶寬不低于100MHZ，分辨率不低于8bits；44、源測量單元(SMU)：不低于2通道，電壓范圍:10V，電壓輸出最小分辨率不高于170uV，電壓輸出精度不高于333uV，電壓測量分辨率:10uV，電壓測量精度:50uV，電流測量分辨率:0.1nA，電流測量精度:1nA；55、信號發(fā)生器：需提供正弦、方波、斜坡/三角坡、直流、任意波形類型，更新率不低于125MS/S，分辨率不低于14bit，不低于1通道，帶寬：不低于20MHz，輸出阻抗不低于:50Ω；66、直流電源輸出:輸出：0V~+6V/0A~1A；OV~+25V/0mA~500mA(隔離)；0V~-25V/0mA~500mA(隔離)；77、數(shù)字萬用表精度不低于5位半，采樣率不低于2S/s，最大直流電壓/交流電壓:300V/±400V，最大直流電流/交流電流：10A±10.5A，支持DC電壓電流、AC電壓電流、電阻、二極管、連通性測量；88、LCR測量儀器最大精度不低于0.02%，頻率范圍：1kHz-2000kHz，電阻測量范圍:0.12-1MΩ，電容測量范圍:0.1pF-1mF，電感測量范圍:10nH-100H；99、數(shù)字IO不低于8通道，輸入最大5V，輸出支持0V/3.3VTTL輸出，驅(qū)動能力不低于4mA；1010、提供P-N結(jié)的直流特性測試與分析和肖特基勢壘特性及其雜質(zhì)的測量等《半導(dǎo)體物理實驗》內(nèi)容并提供實驗指導(dǎo)書/實驗程序相關(guān)證明截圖材料；1111、提供BJT直流參數(shù)的測量、MOSFET直流交流參數(shù)的測量、BJT特征頻率的測量、MOSFET動態(tài)開關(guān)特性測試等《半導(dǎo)體器件物理實驗》內(nèi)容并提供實驗指導(dǎo)書/實驗程序相關(guān)證明截圖材料；1212、提供MOSFET的低頻CV特性測量、數(shù)字集成電路單元的工藝流程設(shè)計等《半導(dǎo)體工藝檢測實驗》；1313、平臺支持互聯(lián)及智能化功能，能夠?qū)崿F(xiàn)實驗過程記錄，實驗軟件可自動記錄學(xué)生實驗操作步驟，支持在網(wǎng)站上結(jié)合一體化半導(dǎo)體測試平臺設(shè)備儀器記錄數(shù)據(jù)對學(xué)生能力進行評價分析；6交換機序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、支持不少于48個10/100/1000BASE-T電口，支持不少于4個1000BASE-XSFP端口，支持AC，交換容量不低于：336Gbps/3.36Tbps、包轉(zhuǎn)發(fā)率不低于：108/126Mpps；7保護還原軟件序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、支持B/S管理架構(gòu)，可通過網(wǎng)頁方式對機房進行遠程管理，包括時間同步、消息廣播、系統(tǒng)切換等操作；22、須支持對EXT文件系統(tǒng)或其他文件系統(tǒng)進行有效數(shù)據(jù)分析；33、支持網(wǎng)絡(luò)限制策略，能夠設(shè)定禁用外網(wǎng)或禁用全部網(wǎng)絡(luò)，并支持設(shè)置例外，例外類型包括IP地址、網(wǎng)址、端口，并設(shè)置生效時間區(qū)間，能夠精確到秒，支持按天執(zhí)行、按周執(zhí)行、按月執(zhí)；44、針對日常教學(xué)使用的各種教學(xué)軟件，支持對不少于1個客戶端進行軟件統(tǒng)一注冊激活，快速部署軟件，滿足不同專業(yè)的教學(xué)需求；55、終端在斷網(wǎng)情況下（非生成快照的模式，無須后端服務(wù)器），可離線對終端的Linux系統(tǒng)（如ubuntu）立即還原，在ubuntu上的所有操作會在下一次開機后還原；66、支持電腦本地硬盤操作系統(tǒng)（xp/win7/win8/win10或以上/linux）的立即還原和還原點瞬間創(chuàng)建；77、支持MBR分區(qū)系統(tǒng)和GPT分區(qū)系統(tǒng)混合安裝，可支持60個及以上的不同操作系統(tǒng)；88、支持對客戶端內(nèi)不少于8塊硬盤進行分區(qū)、系統(tǒng)裝載、還原、還原方式設(shè)置，滿足多硬盤系統(tǒng)還原和管理；99、支持從WINDOWS界面對1000臺及以上的電腦進行數(shù)據(jù)差異拷貝，非增量拷貝、變量拷貝、進度同步等上一代部署方式；根據(jù)網(wǎng)絡(luò)狀況可選擇廣播、組播、單播等方式；1010、支持操作系統(tǒng)分權(quán)管理，可分配不同的管理員管理不同的操作系統(tǒng)；1111、支持學(xué)期課表的編輯，可設(shè)置學(xué)期開始和結(jié)束時間、課程的節(jié)數(shù)，課程時間范圍可精細化到秒，支持將操作系統(tǒng)的鏡像以拖拽的方式拖到學(xué)期課表（例如將鏡像拖到周二第3、4節(jié)）；1212、支持程序控制策略，支持黑名單、白名單兩種模式，能夠根據(jù)手動添加、應(yīng)用進程、系統(tǒng)自帶進程進行設(shè)置，并能夠通過客戶端實時識別操作系統(tǒng)進程進行控制，并設(shè)置生效時間區(qū)間，能夠精確到秒，支持按天執(zhí)行、按周執(zhí)行、按月執(zhí)行；1313、管理員可給教師單獨分配用戶名和密碼，教師可憑此用戶名和密碼在教學(xué)的電腦上瞬間創(chuàng)建自己獨立的備課系統(tǒng)，其他人員不可見，也不影響正常的教學(xué)系統(tǒng)；1414、支持將當(dāng)前的教學(xué)系統(tǒng)，無需新增分區(qū)的情況下瞬間復(fù)制一個不保護的系統(tǒng)，用于學(xué)生自主實驗或計算機等級考試；1515、支持文件夾穿透，可在當(dāng)前保護的分區(qū)下設(shè)定一個開放的文件夾，保存更新設(shè)置，重啟分區(qū)還原其它數(shù)據(jù)還原，此文件夾中的數(shù)據(jù)不還原；1616、底層服務(wù)器虛擬化軟件需通過《信息技術(shù)虛擬機管理通用要求》《信息技術(shù)彈性計算應(yīng)用接口》測評；1717、須同時支持UEFI主板的UEFI系統(tǒng)、傳統(tǒng)系統(tǒng)兼容并存，投標時提供產(chǎn)品彩頁或產(chǎn)品說明書或網(wǎng)頁截圖或知識產(chǎn)權(quán)等證明資料掃描件；8多媒體教學(xué)軟件序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、支持IPV4、IPV6網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下安裝和正常使用，支持windows732位/64位，windows1064位、windows1164位操作系統(tǒng)；22、教師自帶筆記本可通過mac綁定和IP綁定兩種方式快速連接服務(wù)器和學(xué)生端，實現(xiàn)多媒體互動教學(xué)；33、支持班級管理，可將頻道和班級進行綁定，用于不同的教室登錄不同的頻道進行上課；44、支持對學(xué)生視圖自定義命令和排序，便于學(xué)生未點名時，通過座位信息快速找到學(xué)生；55、支持屏幕廣播功能，能夠?qū)崿F(xiàn)兩種接收模式，包括學(xué)生全屏/窗口模式接收教師機廣播的畫面，全屏狀態(tài)鎖定學(xué)生鼠標和鍵盤；66、屏幕廣播支持區(qū)域廣播方式，教師端可選取一塊區(qū)域廣播給學(xué)生機（如只廣播教學(xué)軟件界面）；77、屏幕廣播狀態(tài)下，教師可開啟實時語音，學(xué)生端可以通過耳機接聽教師語音，同時支持屏幕筆功能，教師可通過屏幕筆將屏幕當(dāng)做畫板進行繪制，便于教學(xué)互動；88、支持影音廣播，即使在終端未進入桌面的狀態(tài)，也能夠?qū)崿F(xiàn)全體學(xué)生的影音廣播，影音廣播下支持視頻的切換、暫停，并支持點擊進度條任意地方以改變視頻播放進度；99、在屏幕廣播之后連接上來的終端可直接接收屏幕廣播內(nèi)容，用戶終端關(guān)閉虛擬桌面仍可同步廣播教師機屏幕和視頻，不會中斷教學(xué)；1010、教師可選定一個學(xué)生操作本機或操作教師機進行教學(xué)演示，并將該學(xué)生演示的畫面廣播給每一個學(xué)生；被廣播的學(xué)生將全屏/窗口接收演示學(xué)生的畫面，全屏狀態(tài)鍵盤和鼠標被鎖定；1111、支持遙控轉(zhuǎn)播，教師端可對單個學(xué)生機進行遙控并轉(zhuǎn)播到其它學(xué)生機桌面；1212、支持遙控監(jiān)看，教師可實時監(jiān)看學(xué)生端的學(xué)生桌面，并可遠程遙控學(xué)生端桌面，支持單屏控制和全體控制，控制時可鎖定學(xué)生機；1313、教師機可以連續(xù)監(jiān)看所選學(xué)生機屏幕，每屏可監(jiān)視多個學(xué)生,可設(shè)置每屏學(xué)生機的數(shù)量以及學(xué)生機屏幕輪循的時間間隔；1414、具備游戲互動教學(xué)功能，支持擊鼓傳花、電子搶答等互動方式；1515、教師可對學(xué)生進行電子點名，可以自定義院系、專業(yè)、班級等單位類別，可導(dǎo)入導(dǎo)出學(xué)生信息，可設(shè)置遲到時間，可顯示簽到人數(shù)；1616、支持作業(yè)下發(fā)，教師機可將自己機器上的文件傳輸?shù)綄W(xué)生機，支持一對多傳輸，當(dāng)選中多臺學(xué)生機執(zhí)行下發(fā)文件時，教師端需選擇其中一臺學(xué)生機作為樣本機，并選擇存放路徑，支持發(fā)送文件或文件夾；1717、支持收取作業(yè)，教師可發(fā)起作業(yè)提交，學(xué)生提交作業(yè)后自動收取，默認將收取上來的作業(yè)存放在桌面，該路徑可自定義更換；作業(yè)命名方式支持學(xué)生自定義和教師自定義，教師自定義命名支持加入學(xué)生姓名、學(xué)號、學(xué)生機器名或?qū)W生機IP地址中的一種方式；1818、支持一鍵收取指定路徑的學(xué)生作業(yè)，彌補學(xué)生忘交作業(yè)和不會提交作業(yè)的缺點，提升老師收取作業(yè)的時效性；1919、支持遠程命令（包括一鍵關(guān)閉應(yīng)用程序，一鍵關(guān)閉學(xué)生打開的Windows類窗口）、遠程開機、遠程關(guān)機等功能；2020、支持屏幕錄制與回放，教師機可以將本機的操作過程、講解錄制為一個文件，內(nèi)容可回放，并可通過屏幕廣播給學(xué)生；2121、支持電子白板功能，能夠在屏幕廣播時實現(xiàn)注解講解、注釋，輔助教學(xué)；2222、支持黑屏肅靜，教師可對學(xué)生執(zhí)行黑屏肅靜操作，能夠自定義黑屏肅靜的提示信息，支持手動解鎖、按時解鎖、按時長解鎖；在某學(xué)生已經(jīng)鎖定情況下，也可以手動追加對其他學(xué)生進行黑屏肅靜；2323、提供行為管控模塊，支持程序黑白名單限制，支持禁用外網(wǎng)，禁用USB設(shè)備，教師端主界面可展示USB設(shè)備、程序、網(wǎng)絡(luò)禁用狀態(tài)；2424、支持考試功能，包括試題編輯、下發(fā)試卷、考試監(jiān)控、成績統(tǒng)計；可添加單選題、多選題、判斷題、填空題、問答題；可設(shè)置考試時長，倒計時結(jié)束后自動結(jié)束考試；閱卷時，單選題、多選題、判斷題支持自動評分和統(tǒng)計正確率；2525、屏幕廣播支持區(qū)域廣播方式，教師端可選取一塊區(qū)域廣播給學(xué)生機；2626、支持學(xué)生面板功能，學(xué)生端通過學(xué)生面板可使用電子舉手，提交作業(yè)，查看消息等常用功能；2727、教師端和學(xué)生端支持添加本地應(yīng)用程序快捷功能按鈕，便于一鍵打開需要使用的應(yīng)用程序；2828、支持學(xué)生端訪問因特網(wǎng)，學(xué)生可直接訪問教師端提前設(shè)置的學(xué)習(xí)網(wǎng)址，簡化上網(wǎng)應(yīng)用；9集成電路設(shè)計教學(xué)資源序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、提供集成電路設(shè)計教學(xué)資源包，包含但不僅限于模擬集成電路設(shè)計軟件、數(shù)字集成電路設(shè)計軟件、集成電路版圖設(shè)計軟件等軟件資源；22、提供《模擬集成電路設(shè)計》課程資源包，包含但不僅限于熟悉模擬集成電路設(shè)計流程和軟件基礎(chǔ)操作、熟悉常用電路性能的仿真方法、運算放大器、基準電流源設(shè)計、帶隙電壓基準設(shè)計、多級CMOS運算放大器綜合設(shè)計、超低溫漂帶隙電壓基準綜合設(shè)計7個實驗；33、提供《數(shù)字集成電路設(shè)計》課程資源包，包含但不僅限于熟悉數(shù)字集成電路設(shè)計流程和軟件操作、編寫功能模塊的硬件描述語言實驗、編穹Testbench與功能驗證實驗、邏輯綜合實驗、靜態(tài)時序分析與形式驗證實驗、乘法器設(shè)計實驗、乘法器設(shè)計實驗、log函數(shù)設(shè)計實驗、存儲器實驗、FIFO數(shù)據(jù)緩沖器實驗、CORDIC算法實驗、總線控制器設(shè)計實驗、鍵盤掃描和編碼器設(shè)計實驗13個實驗；44、提供《集成電路版圖設(shè)計》課程資源包，包含但不僅限于認識版圖、版圖繪制數(shù)字和軟件基礎(chǔ)操作、電容和二極管、雙極型晶體管版圖、MOSFET與MOS變?nèi)萜靼鎴D、熟悉模擬后端集成電路設(shè)計流程和軟件基礎(chǔ)操作、熟悉數(shù)字后端集成電路設(shè)計流程和軟件基礎(chǔ)操作、模擬集成電路后端設(shè)計綜合實驗、數(shù)字集成電路后端設(shè)計綜合實驗8個實驗；10集成電路設(shè)計測試驗證平臺序號具體技術(shù)(參數(shù))要求11、包含邏輯分析儀功能，不少于16路數(shù)字通道，支持SPI/并行信號分析；22、包含示波器功能，不低于2通道，不低于100MHz帶寬，不低于1GS/s采樣率；33、支持任意波形發(fā)生器功能，頻率不低于20MHz；44、支持數(shù)字萬用表功能，分辨率不低于5?，最大電壓不少于300V；55、支持編程直流電源功能，電壓范圍6V/±25V，最大電流不低于1A；66、支持不少于8通道雙向數(shù)字通道功能，TTL邏輯電平；77、至少包括兩個通用PCIDUT接口，并開放PCI接口定義，1個開放面包板，提供不少于4塊芯片測試板卡，被測參數(shù)包括INL、DNL、LSB、OffsetError、SNR、THD、SINAD等；88、支持USB連接，設(shè)備支持LabVIEW、C和Python多工具鏈編程開發(fā)；99、包含《集成電路測試基礎(chǔ)》實驗指導(dǎo)書，實驗內(nèi)容包含LabVIEW基礎(chǔ)使用、測試平臺應(yīng)用基