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CalibrationSpecificationofGlowDischargeOpticalEmi2024-05-16發(fā)布北京市市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布輝光放電光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationDischargeOpticalEmissionSpec主要起草單位：鋼研納克檢測(cè)技術(shù)股份有限公司北京市計(jì)量檢測(cè)科學(xué)研究院首鋼集團(tuán)有限公司技術(shù)研究院參加起草單位：國(guó)標(biāo)（北京）檢驗(yàn)認(rèn)證有限公司本規(guī)范委托北京市計(jì)量檢測(cè)科學(xué)研究院負(fù)責(zé)解釋（北京市計(jì)量檢測(cè)科學(xué)研究院）（首鋼集團(tuán)有限公司技術(shù)研究院）參加起草人：（北京市計(jì)量檢測(cè)科學(xué)研究院）I (Ⅱ) （1） （1） （1） （1） （2） （2） （3） （4） （5） （6） （8） （9）—2021《表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜使用介紹1輝光放電光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范輝光放電光譜儀即輝光放電原子發(fā)射光譜儀（GD-OES）（以下簡(jiǎn)稱光譜儀），其原理是將表面平整的樣品作為陰極，當(dāng)直流或射頻輝光生陰極濺射，被濺射的原子擴(kuò)散到等離子體中，其強(qiáng)度的大小或通過計(jì)算強(qiáng)度與時(shí)間的函數(shù)，從而實(shí)（或深度剖析）。其中，實(shí)現(xiàn)元素定量分析時(shí)，通過已知元≤0.01%≤0.003%≤0.01%≤0.002%25.1.1環(huán)境溫度20～25）℃;相對(duì)濕度：20%~80%；5.1.3儀器周圍無影響正常工作的機(jī)械振動(dòng)和電磁干擾，無按儀器說明書要求開機(jī)預(yù)熱，調(diào)整至正常工（1）3 （2）RSD—測(cè)量重復(fù)性； 4RSDy—厚度測(cè)量重復(fù)性，%；yi—厚度單次測(cè)量值,μm； ）；540～906s1s2s3s4s5789D.1.4環(huán)境溫度：室溫21℃,相對(duì)濕度51%。y=0.4730x+0.0069DL—儀器檢出限，%(DL)=cu(s)2+cu(b)2（D.2）12345xi xi-x yyiyi-y繪制工作曲線所用的系列標(biāo)準(zhǔn)物
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