集成電路晶圓級先進封測生產(chǎn)線建設(shè)項目環(huán)評報告表

建設(shè)項目環(huán)境影響報告表（污染影響類）項目名稱：集成電路晶圓級先進封測生產(chǎn)線建設(shè)項目建設(shè)單位（蓋章）：華天科技（江蘇）有限公司編制日期：2023年3月中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部制 1 18 71 98 161 165 166、、稱改建擴建技術(shù)改造不予批準(zhǔn)后再次申報項目超五年重新審核項目重大變動重新報批項目（核準(zhǔn)/備浦行審備〔2022〕221號設(shè)是：依據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南（污染影響類試行）》表1專規(guī)劃名稱：《南京江北新區(qū)橋林新城總體規(guī)劃（規(guī)劃環(huán)評：《江蘇省浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021-2035）環(huán)境影響報告審查文件名稱及文號：《省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃中水回用：規(guī)劃遠期污水再生利用率達到40%。再生水用于城市雜用，主遠期至2035年，主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)為集成電路京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021本項目位置本項目位置本項目位置本項目位置③《南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021-2035）環(huán)境影響報告書》審類別準(zhǔn)入內(nèi)容相符性分析禁止引入類項目1.禁止引入與國家、地方現(xiàn)行產(chǎn)業(yè)政策相沖突的項2.禁止引入不符合《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南》《江蘇省長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單實施細則》《南本項目與國家及地方產(chǎn)業(yè)政策相符，本項目不使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠限制引入類項目空間布局約束污染物排放管控環(huán)境風(fēng)險京市建設(shè)項目環(huán)境準(zhǔn)入暫行規(guī)定的通知》等要求的項目。膠粘劑等項目。黏劑等本項目不屬于限制類項目，本項目廢氣經(jīng)治理后能滿足《揮發(fā)性有機物（VOCs）污蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制指南》等要求。本項目已進行鍍工序不能剝離論證。本項目未占用基本農(nóng)田根據(jù)監(jiān)測數(shù)據(jù)，石磧河水質(zhì)未達到Ⅲ類水標(biāo)準(zhǔn)。本項目污染物排放總量：大氣污染物排放/年、氮氧化物1.1119噸/年、顆粒物0.75噸/年、異丙醇0.228噸/年、VOCs3.06噸/年，水污染物排放量：化學(xué)需氧量46.3769噸/總磷0.4642噸/年、總銅0.15噸/年。滿足規(guī)劃近期及遠期總量控制要求。詳見表1-4。本項目周邊無環(huán)境敏感目標(biāo)，且具有完善的風(fēng)險防控措施，滿1.限制引入《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019年本）》《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制淘汰目錄和能耗限額》中的限制類項目。2.限制引入污染治理措施達不到《揮發(fā)性有機物（VOCs）污染防治技術(shù)政策》《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制南》等要求的項目。3.限制新（擴）建電鍍項目，確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項目，需組織專家進行技術(shù)論證。1.區(qū)內(nèi)永久基本農(nóng)田區(qū)域?qū)嵭袊?yán)格保護，確保其面積不減少、土壤環(huán)境質(zhì)量不下降，除法律規(guī)定的重點建設(shè)項目選址確實無法避讓外，其他任何項目不得占用。2．在瓊花湖河道兩岸設(shè)置一定寬度的綠化景觀帶：在蘭橋雅居居民安置小區(qū)西北向與工業(yè)區(qū)相鄰區(qū)域設(shè)置以道路、防護林為主要形式的空間防護帶，防護帶寬度原則上不小于50米，非生產(chǎn)型企業(yè)空間防護距離可以適當(dāng)縮小，但不應(yīng)小于30米。3.區(qū)內(nèi)規(guī)劃的水域和防護綠地，禁止一切與環(huán)境保護功能無關(guān)的建設(shè)活動。1.環(huán)境質(zhì)量：大氣環(huán)境質(zhì)量達到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)、《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》（HJ2.2-2018）附錄D其他污染物空氣質(zhì)量濃度參考限值；石磧河和高旺河水環(huán)境質(zhì)量達《地表水環(huán)境環(huán)境質(zhì)量》Ⅲ類水標(biāo)準(zhǔn)；土壤達到《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險管控標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB36600-2018）篩選值中的第一類、第二類用地標(biāo)準(zhǔn)。2.總量控制：大氣污染物排放量：近期2025年：二氧化硫137.24噸/年、氮氧化物352.44噸/年、顆粒物238.29噸/年、氨氣5.73噸/年、異丙醇9.33噸/噸/年、氮氧化物380.58噸/年、顆粒物250.65噸/噸/年。水污染物排放量：近期2025年：化學(xué)需氧量243.69噸/年、氨氮29.6噸/年、總磷2.44噸/年、氟化物5.81噸/年、總銅1.94噸/年。遠期2035年：化學(xué)需氧量245.06噸/年、氨氮27.89噸/年、總磷2.45噸/年、氟化物5.21噸/年、總銅1.74噸/年。3.其他要求：提高污水處理廠再生水回用率，浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠近期20%、遠期30%，浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)污水處理廠遠期30%。1.建立區(qū)域監(jiān)測預(yù)警系統(tǒng)，實行聯(lián)防聯(lián)控。生產(chǎn)、使用、儲存危險化學(xué)品或其他存在環(huán)境風(fēng)險的企業(yè)，應(yīng)當(dāng)采取風(fēng)險防范措施，并根據(jù)要求編制環(huán)境風(fēng)險應(yīng)急預(yù)案，防止發(fā)生環(huán)境污染事故。2.加強布局管控。開發(fā)區(qū)內(nèi)部的功能布局應(yīng)充分考慮風(fēng)險源對區(qū)內(nèi)及周邊環(huán)境的影響，儲罐區(qū)、危廢倉庫應(yīng)遠離村鎮(zhèn)集中區(qū)、區(qū)內(nèi)人群聚集的辦公樓、周邊村莊及河流，且應(yīng)在規(guī)劃區(qū)的下風(fēng)向布局，以減少對其項目的影響；區(qū)內(nèi)不同企業(yè)風(fēng)險源之間應(yīng)盡量遠離，防止其中某一風(fēng)險源發(fā)生風(fēng)險事故引起其他風(fēng)險源爆發(fā)帶來的連鎖反應(yīng)，降低風(fēng)險事故發(fā)生的范圍。足風(fēng)險防控要求。資源開發(fā)利用1.水資源利用總量為2333萬噸/年。2．土地資源可利用總面積上線1976.5公頃，建設(shè)用地總面積上線1937.27公頃，工業(yè)用地及倉儲用地總面積上線1376.17公頃。3．能源利用上線為單位GDP綜合能耗0.31噸標(biāo)煤/萬元。本項目新鮮水用量2415190噸/年，用地面積169367平方米，滿足資源開發(fā)利用要求污染物已批復(fù)總量規(guī)劃總量本項目總量是否滿足總量控制近期遠期大氣污染物二氧化硫92.76137.24156.29是氮氧化物231.54352.44380.58是顆粒物200.07238.29250.650.75是異丙醇7.6479.330.228是VOCs114.13162.263.06是生產(chǎn)廢水污染物化學(xué)需氧量185.43243.69245.0645.0169是氨氮29.627.892.2508是總磷2.442.450.4502是總銅0.15是生活污水污染物化學(xué)需氧量185.43243.69245.06是氨氮29.627.890.068是總磷2.442.450.014是因此，本項目與《江蘇省浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021-2035）環(huán)境—6—本項目不屬于《市場準(zhǔn)入負面清單（2022年版）》中禁止或許可準(zhǔn)入類項對照《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2012年本2013年修芯片規(guī)模封裝（CSP）、多芯片封裝（MCM）等先進封裝與測試”、“20、集成管控類別重點管控要求相符性分析長江流域空間布局約束加強生態(tài)空間保護，禁止在國家確定的生態(tài)保護紅線和永久基本農(nóng)田范圍內(nèi)，投資建設(shè)除國家重大戰(zhàn)略資源勘查項目、生態(tài)保護修復(fù)和地質(zhì)災(zāi)害治理項目、重大基礎(chǔ)設(shè)施項目、軍事國防項目以及農(nóng)民基本生產(chǎn)生活等必要的民生項目以外的項目。本項目不在國家確定的生態(tài)保護紅線和永久基本農(nóng)田范圍內(nèi)。禁止在沿江地區(qū)新建或擴建化學(xué)工業(yè)園區(qū)，禁止新建或擴建以大宗進口油氣資源為原料的石油加工、石油化工、基礎(chǔ)有機無機化工、煤化工項目；禁止在長江干流和主要支流岸線1公里范圍內(nèi)新建?；反a頭。本項目不屬于石油加工、石油化工、基礎(chǔ)有機無機化工、煤化工項目，不新建危化品碼頭。強化港口布局優(yōu)化，禁止建設(shè)不符合國家港口布局規(guī)劃和《江蘇省沿江沿海港口布局規(guī)劃（2015-2030年）》《江蘇省內(nèi)河港口布局規(guī)劃（2017-2035年）》的碼頭項目，禁止建設(shè)未納入《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過江干線通道項目。本項目不屬于碼頭項目和過江干線通道項目。禁止新建獨立焦化項目。本項目不屬于獨立焦化項目。污染物排放管控根據(jù)《江蘇省長江水污染防治條例》實施污染物總量控制制度。本項目實施污染物總量控制制度。全面加強和規(guī)范長江入河排污口管理，有效管控入河污染物排放，形成權(quán)責(zé)清晰、監(jiān)控到位、管理規(guī)范的長江大河排污口監(jiān)管體系，加快改善長江水環(huán)境質(zhì)量。本項目廢水接管污水處理廠，不直接排放。環(huán)境風(fēng)險防范沿江環(huán)境風(fēng)險。深化沿江石化、化工、醫(yī)藥紡織、印染、化纖、危化品和石油類倉儲、涉重金屬和危險廢物處置等重點企業(yè)環(huán)境風(fēng)險防控。本項目具有完善的風(fēng)險防控措施。（2）與《南京市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實施方案》相符性分析管控類別重點管控要求相符性分析江蘇省南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)空間布局約束（1）執(zhí)行規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評及其審查意見相關(guān)要求。（2）優(yōu)先引入：智能制造、集成電路、新能源汽車、新一代信息技術(shù)、智能交通、智能裝備制造、現(xiàn)代物流。（3）禁止引入：非環(huán)保類研發(fā)項目；不符合全國和省級港口布局規(guī)劃以及港口總體規(guī)劃的碼頭項目；不符合《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過江通道項目；露天和敞開式噴涂作業(yè)（除工藝有特殊要求外）。本項目從事集成電路的封裝與測試，屬于優(yōu)先引入項目，符合要污染物排放管控嚴(yán)格實施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)，采取有效措施減少主要污染物排放總量，確保區(qū)域環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善。園區(qū)污染物排放總量按照規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評及其審查意見的要求進行管控。本項目實施污染物總量控制制度。環(huán)境風(fēng)險（1）園區(qū)建立環(huán)境應(yīng)急體系，完善事故應(yīng)急救援體系，加強應(yīng)急物資裝備儲備，編制突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案，定期開展演練。（2）生產(chǎn)、使用、儲存危險化學(xué)品或其他存在環(huán)境風(fēng)險的企事業(yè)單位，應(yīng)當(dāng)制定風(fēng)險防范措施，編制完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案，防止發(fā)生環(huán)境污染事故。（3）加強環(huán)境影響跟蹤監(jiān)測，建立健全各環(huán)境要素監(jiān)控體系，完善并落實園區(qū)日常環(huán)境監(jiān)測與污染源監(jiān)控計劃。企業(yè)已制定風(fēng)險防范措施，建議企業(yè)編制完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案，防止發(fā)生環(huán)境污染事故。資源利用效率要求（1）引進項目的生產(chǎn)工藝、設(shè)備、能耗、污染物排放、資源利用等均須達到同行業(yè)先進水平。（2）按照國家和省能耗及水耗限額標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。（3）強化企業(yè)清潔生產(chǎn)改造，推進節(jié)水型企業(yè)、節(jié)水型園區(qū)建設(shè)，提高資源能源利用效率。本項目采用先進的生產(chǎn)工藝和設(shè)備，各資源利用效率較高。環(huán)境質(zhì)量底線環(huán)境質(zhì)量底線項目相符性分析生態(tài)保護紅線本項目選址位于南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，距離最近的國家級生態(tài)保護紅線范圍為東南6.8km處的橋林飲用水水源保護區(qū)（備用），距離最近的生態(tài)空間管控區(qū)域范圍為西北10km生態(tài)保護紅線生態(tài)管控區(qū)域和生態(tài)紅線保護范圍內(nèi)，對生態(tài)環(huán)境影響小?！赌暇┢挚诮?jīng)濟開發(fā)區(qū)環(huán)境影響評價區(qū)域評估報告》顯示，根據(jù)2019年10月17日～10月23日引用監(jiān)測數(shù)據(jù)，各監(jiān)測點，非甲烷總烴能夠滿足空《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》的標(biāo)準(zhǔn)限值?！赌暇┬履茉雌嚠a(chǎn)業(yè)創(chuàng)氣新中心項目環(huán)境影響報告表》現(xiàn)狀監(jiān)測報告顯示，根據(jù)2021年3月24日~環(huán)3月26日引用監(jiān)測數(shù)據(jù)，錫及其化合物滿足質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)要求。本項目硫酸霧境廢氣經(jīng)堿液噴淋吸收塔后通過P1-1排氣筒達標(biāo)排放、異丙醇、非甲烷總烴、錫及其化合物經(jīng)沸石+RTO后經(jīng)P1-2排氣筒達標(biāo)排放、顆粒物經(jīng)濾筒除塵處理后達標(biāo)排放，對大氣環(huán)境影響較小地表水《南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)環(huán)境影響評價區(qū)域評估報告》顯示，開發(fā)區(qū)區(qū)域內(nèi)石磧河W2、W3斷面SS超標(biāo)，W2、W3、W4斷面BOD5超標(biāo)，W3、W4斷面COD超標(biāo)，W4斷面高錳酸鹽指數(shù)超標(biāo)，其他內(nèi)河水質(zhì)均達到《地表水環(huán)境質(zhì)量》（GB地表水地下水三個地下水監(jiān)測點位中，D1、D2監(jiān)測點地下水中錳優(yōu)于《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-2017）地下水聲項目區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量較好。土項目所在地土壤各監(jiān)測指標(biāo)均能滿足《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)壤險管控標(biāo)準(zhǔn)》（GB36600-2018）第二類用地的篩選值。資源利用上線本項目用水來自自來水管網(wǎng)，用電由市政電網(wǎng)所供給，項目用地用途為工業(yè)用地，符合當(dāng)?shù)赝恋匾?guī)劃要求，不會達到資源利用上限。負面清單本項目屬于《中共南京市委南京市人民政府關(guān)于優(yōu)化全市區(qū)域功能定位和產(chǎn)業(yè)布局的意見》（寧委發(fā)〔2016〕23號）中優(yōu)先開發(fā)區(qū)域，符合《關(guān)于印發(fā)長江保護修復(fù)攻堅戰(zhàn)行動計劃的通知》（環(huán)水體〔2018〕181號）的要求，不屬于《市政府關(guān)于印發(fā)南京市建設(shè)項目環(huán)境準(zhǔn)入暫行規(guī)定的通知》（寧政發(fā)〔2015〕251）、《南京市制造業(yè)新增項目禁止和限制目錄（2018）版》（寧委辦發(fā)〔2018〕57號）中限制類項目；不屬于《市場準(zhǔn)入負面清單（2022年版）》中禁止準(zhǔn)入類項目，同時也不在許可準(zhǔn)入清單以內(nèi)的行業(yè)，對照清單，對市場準(zhǔn)入負面清單以外的行業(yè)、領(lǐng)域、業(yè)務(wù)等，各類市場主體皆可依法平等進入，符合地區(qū)準(zhǔn)入要求和其他相關(guān)要求。根據(jù)橋林新城規(guī)劃發(fā)展的重點產(chǎn)業(yè)優(yōu)先、限制、禁止發(fā)展項目清單，本項目屬于優(yōu)先發(fā)展的“集成電路的芯片制造、封裝測試、衛(wèi)星導(dǎo)航、大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)”，不在限制發(fā)展的項目類別內(nèi)，不在禁止發(fā)展的“制革、化工、印染、釀造生產(chǎn)項目；使用非水性料、膠黏劑的項目；純電鍍項目；含重金屬、持久性有機物等有毒有害廢水達不到零排放的項目；禁止生產(chǎn)方式落后、高耗能、嚴(yán)重浪費資源和污染環(huán)境大的項目”。（1）與《南京市建設(shè)項目環(huán)境準(zhǔn)入暫行規(guī)定》（寧政發(fā)〔2015〕251號）序號文件要求相符性分析1新（擴）建工業(yè)生產(chǎn)項目必須進入經(jīng)各級政府認定的開發(fā)園區(qū)或工業(yè)集中區(qū)（為研發(fā)配套的組裝加工項目除外）。項目選址位于浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)內(nèi)符合2江南繞城公路內(nèi)不得新（擴、改）建工業(yè)生產(chǎn)項目（節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患以及為研發(fā)配套的組裝加工項目除外）。本項目不涉及符合3城市清潔空氣廊道保護區(qū)（都市區(qū)生態(tài)廊道和城市通風(fēng)走廊）內(nèi)，嚴(yán)控各類開發(fā)區(qū)擴園和新增成片新區(qū)建設(shè)，嚴(yán)控大型構(gòu)筑物和排放廢氣的項目建設(shè)。本項目不涉及符合本項目不涉及符合本項目不涉及符合4地區(qū)和長江二橋至三橋沿岸）不得新（擴）建工業(yè)項目（節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患和油品升級改造項目除外）及貨運碼頭。5除南京化工園區(qū)外，其他區(qū)域不得新（擴、改）建化工生產(chǎn)項目（節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患、油品升級改造和為區(qū)域配套的危險廢物集中處置、氣體分裝、無化學(xué)反應(yīng)的工業(yè)氣體制造項目除外）。南京化工園禁止新（擴）建農(nóng)藥和染料中間體、光氣以及排放惡臭氣體且不能有效治理的化工項目，禁止新增限制類項目產(chǎn)能以及落后工藝和落后產(chǎn)品。玉帶片區(qū)從嚴(yán)控制化工生產(chǎn)項目。本項目從事集成電路的封裝和測試，不屬于化工生產(chǎn)項目。符合6建電鍍項目。確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項目，需由環(huán)保部門會同經(jīng)濟主管部門組織專家技術(shù)論證，通過專家論證同意后方可審批建設(shè)。本項目從事集成電路的封裝和測試，涉及電鍍工序不可剝離，已經(jīng)組織專家進行技術(shù)論證，論證材料見附件。符合7石油焦等高污染燃料的設(shè)施和裝置。本項目不涉及符合8秦淮河、滁河以及固城湖、石臼湖流域禁止新（建釀造、制革等水污染重的項目，禁止新（擴）建工業(yè)生產(chǎn)廢水排水量大于1000噸/日的項目，禁止新（擴）建排放含汞、砷、鎘、鉻、鉛等重金屬以及持久性有機污染物的工業(yè)項目（六合紅山表面處理中心除外）。本項目選址位于浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，不在上述范圍內(nèi)。符合9太湖流域禁止建設(shè)氮、磷為特征因子的工業(yè)項目。本項目選址位于浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，不在太湖流域范圍。符合序號文件要求相符性分析1第十五條排放揮發(fā)性有機物的生產(chǎn)經(jīng)營者應(yīng)當(dāng)履行防治揮發(fā)性有機物污染的義務(wù)，根據(jù)國家和省相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以及防治技術(shù)指南，采用揮發(fā)性有機物污染控制技術(shù)，規(guī)范操作規(guī)程，組織生產(chǎn)經(jīng)營管理，確保揮發(fā)性有機物的排放符合相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)。本項目產(chǎn)生的有機廢氣采用沸石+RTO工藝進行處理，滿足排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。符合2第二十一條產(chǎn)生揮發(fā)性有機物廢氣的生產(chǎn)經(jīng)營活動應(yīng)當(dāng)在密閉空間或者密閉設(shè)備中進行。生產(chǎn)場所、生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)當(dāng)按照環(huán)境保護和安全生產(chǎn)等要求設(shè)計、安裝和有效運行揮發(fā)性有機物回收或者凈化設(shè)施；固體廢物、廢水、廢氣處理系統(tǒng)產(chǎn)生的廢氣應(yīng)當(dāng)收集和處理；含有揮發(fā)性有機物的物料應(yīng)當(dāng)密閉儲存、運輸、裝卸，禁止敞口和露天放置。無法在密閉空間進行的生產(chǎn)經(jīng)營活動應(yīng)當(dāng)采取有效措施，減少揮發(fā)性有機物排放量。本項目車間有機廢氣產(chǎn)生點均設(shè)置收集系統(tǒng)，收集后的廢氣再經(jīng)沸石+RTO處理達標(biāo)后有組織排放；危廢庫產(chǎn)生的有機廢氣收集與車間有機廢氣一起處理后排放。符合②與《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制指南》（蘇環(huán)辦〔2劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等環(huán)保材料，減少VOCs污染物的產(chǎn)生量。2、對式處理?！闭埮c核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》（HJ1031-2019）推薦的吸附濃縮），達95%以上。因此本項目符合《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制指南》③與《關(guān)于進一步加強涉VOCs建設(shè)項目環(huán)評文件審批有關(guān)要求的通知》序號文件要求相符性分析1嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)審查環(huán)評審批部門按照審批權(quán)限，嚴(yán)格排放標(biāo)準(zhǔn)審查。有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)格執(zhí)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，無行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)執(zhí)行國家、江蘇省相關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)，鼓勵參照天津市《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（DB12/524-2020）等標(biāo)準(zhǔn)中最嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)。VOCs無組織排放執(zhí)行《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》本項目污染物的排放執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB32/4041-2021）。符合234(GB37822-2019)，并執(zhí)行廠區(qū)內(nèi)VOCs特別排放限值。符合符合符合嚴(yán)格總量審查市生態(tài)環(huán)境局、各派出局總量管理部門嚴(yán)格排放總量審查（含各行政審批局負責(zé)審批的建設(shè)項目）。VOCs排放量優(yōu)先采用國家大氣源清單統(tǒng)計數(shù)據(jù)。涉新增VOCs排放（含有組織、無組織排放）的建設(shè)項目，在環(huán)評文件審批前應(yīng)取得排放總量指標(biāo)，并實施2倍削減替代。對未完成VOCs總量減排任務(wù)的區(qū)（園區(qū)），暫緩其涉新增VOCs，排放的建設(shè)項目審批。本次環(huán)評在審批前已經(jīng)完成VOCs的平衡總量指標(biāo)。全面加強源頭替代審查環(huán)評文件應(yīng)對主要原輔料的理化性質(zhì)、特性等進行詳細分析，明確涉VOCs的主要原輔材料的類型、組分、含量等。使用涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等材料的，VOCs含量應(yīng)滿足國家及省VOCs含量限值要求（附表），優(yōu)先使用水性、粉末、高固體分、無溶劑、輻射固化等低VOCs含量、低反應(yīng)活性材料，源頭控制VOCs產(chǎn)生。禁止審批生產(chǎn)和使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等建設(shè)項目。由于晶圓對清洗工藝要求高，目前半導(dǎo)體行業(yè)清洗劑基本以溶劑型為主，暫時未研發(fā)出可替代的水性清洗劑。企業(yè)在生產(chǎn)過程采用先進工藝和設(shè)備，實現(xiàn)設(shè)備、從源頭減少VOCs泄漏環(huán)節(jié)，可減少物料損耗，認真落實各項污染防治措施，減少污染物排放?！肚逑磩]發(fā)性有機化合物含量限值》（GB38508-2020）中明確：“本標(biāo)準(zhǔn)不適用于航空航天，核工業(yè)、軍工、半導(dǎo)體（含集成電路）制造用清洗集成電路）制造，故本項目使用的有機清洗劑不執(zhí)行該標(biāo)準(zhǔn)。全面加強無組織排放控制審查涉VOCs無組織排放的建設(shè)項目，環(huán)評文件應(yīng)嚴(yán)格按照《揮發(fā)性有機物無組織排放標(biāo)準(zhǔn)》等有關(guān)要求，重點加強對含VOCs物料儲存、轉(zhuǎn)移和輸送、設(shè)備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝過程等5類排放源的VOCs管控評價，詳細描述采取的VOCs廢氣無組織控制措施，充分論證其可行性和可靠性，不得采用密閉收集、密閉儲存等簡單、籠統(tǒng)性文字進行描述。生產(chǎn)流程中涉及VOCs的生產(chǎn)環(huán)節(jié)和服務(wù)活動，在符合安全要求前提下，應(yīng)按要求在密閉空間或者設(shè)備中進行。無法密閉的，應(yīng)采取措施有效減少廢氣排放，并科學(xué)設(shè)計廢氣收集系統(tǒng)。采用全密閉集氣罩或密閉空間的，除行業(yè)有特殊要求外，應(yīng)保持微負壓狀態(tài)，并根據(jù)規(guī)范合理設(shè)置通風(fēng)量。采用局部集氣罩的，距集氣罩開口面最遠處的VOCs本項目涉及VOCs無組織排放，主要是工藝廢氣的未能收集部分及危廢庫內(nèi)危險廢物的揮發(fā)。本次工藝廢氣產(chǎn)生點均采用微負壓方式收集，收集效率可達90以上%。56無組織排放位置，控制風(fēng)速應(yīng)不低于0.3米/秒。VOCs廢氣應(yīng)遵循“應(yīng)收盡收、分質(zhì)收集”原則，收集效率應(yīng)原則上不低于90%，由于技術(shù)可行性等因素確實達不到的應(yīng)在環(huán)評文件中充分論述并確定收集效率要求。加強載有氣態(tài)、液態(tài)VOCs物料的設(shè)備與管線組件的管理，動靜密封點數(shù)量大于等于2000個的建設(shè)項目，環(huán)評文件中應(yīng)明確要求按期開展“泄漏檢測與修復(fù)”（LDAR）工作，嚴(yán)格控制跑冒滴漏和無組織泄漏排放。符合符合全面加強末端治理水平審查涉VOCs有組織排放的建設(shè)項目，環(huán)評文件應(yīng)強化含VOCs廢氣的處理效果評價，有行業(yè)要求的按相關(guān)規(guī)定執(zhí)行。項目應(yīng)按照規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)適宜、合理、高效的VOCs治理設(shè)施。單個排口VOCs（以非甲烷總烴計）初始排放速率大于1kg/h的，處理效率原則上應(yīng)不低于90%，由于技術(shù)可行性等因素確實達不到的，應(yīng)在環(huán)評文件中充分論述并確定處理效率要求。非水溶性的VOCs廢氣禁止采用單一的水或水溶液噴淋吸收處理。除惡臭異味治理外，不得采用低溫等離子、光催化、光氧化、生物法等低效處理技術(shù)。環(huán)評文件中應(yīng)明確，VOCs治理設(shè)施不設(shè)置廢氣旁路，確因安全生產(chǎn)需要設(shè)置的，采取鉛封、在線監(jiān)控等措施進行有效監(jiān)管，并納入市生態(tài)環(huán)境局VOCs治理設(shè)施旁路清單。不鼓勵使用單一活性炭吸附處理工藝。采用活性炭吸附等吸附技術(shù)的項目，環(huán)評文件應(yīng)明確要求制定吸附劑定期更換管理制度，明確安裝量（以千克計）以及更換周期，并做好臺賬記錄。吸附后產(chǎn)生的危險廢物，應(yīng)按要求密閉存放，并委托有資質(zhì)單位處置。鼓勵實施集中處置。各區(qū)（園區(qū)）應(yīng)加強統(tǒng)籌規(guī)劃，對同類項目相對較為集中的區(qū)域（同一個街道或者毗鄰街道同類企業(yè)超過10家的鼓勵建設(shè)集中噴涂、溶劑集中回收、活性炭集中再生等VOCs廢氣集中處置中心，實現(xiàn)集中生產(chǎn)、集中管理、集中治污。本次環(huán)評已在措施章節(jié)分析了措施可行性論述。根據(jù)工程分析，本項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機廢氣采用沸石轉(zhuǎn)輪+RTO工藝對有機廢氣進行處理，有機廢氣凈化效率可達90%。本項目危廢庫有機廢氣收集后與生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機廢氣一起處理后排放，有機廢氣凈化效率≥95%。全面加強臺賬管理制度審查涉VOCs排放的建設(shè)項目，環(huán)評文件中應(yīng)明確要求規(guī)范建立管理臺賬，記錄主要產(chǎn)品產(chǎn)量等基本生產(chǎn)信息；含VOCs原輔材料名稱及其VOCs含量（使用說明書、物質(zhì)安全說明書MSDS等采購量、使用量、庫存量及廢棄量，回收方式及回收量等；VOCs治理設(shè)施的設(shè)計方案、合同、操作手冊、運維記錄及其二次污染物的處置記錄，生產(chǎn)和治污設(shè)施運行的關(guān)鍵參數(shù)，廢氣處理相關(guān)耗材環(huán)評報告中已明確要求企業(yè)做好VOCs管理臺賬，臺賬保存期限不少于三年。（吸收劑、吸附劑、催化劑、蓄熱體等）購買處置記錄；VOCs廢氣監(jiān)測報告或在線監(jiān)測數(shù)據(jù)記錄等，臺賬保存期限不少于三年。7嚴(yán)格項目建設(shè)期間污染防治措施審查在項目建設(shè)過程中涉及使用涂料、油漆、膠黏劑、油墨、清洗劑等含VOCs產(chǎn)品的，環(huán)評文件中應(yīng)明確要求企業(yè)優(yōu)先使用符合國家、省和本市要求的低（無）VOCs含量產(chǎn)品。同時，鼓勵企業(yè)積極響應(yīng)政府污染預(yù)測預(yù)警，執(zhí)行夏季臭氧污染錯時作業(yè)等要求。由于行業(yè)特殊性，半導(dǎo)體行業(yè)使用的溶劑型清洗劑暫時不可替代，企業(yè)將提高過程控制與末端治理力度，將污染影響降至最低程度。符合項目的建設(shè)與《關(guān)于進一步加強涉VOCs建設(shè)項目環(huán)評文件審批有關(guān)要求的通④《市政府辦公廳關(guān)于印發(fā)南京市“兩減六治三提升”13個專項行動實施方①與《關(guān)于進一步加強重金屬污染防控的意見》（環(huán)固體〔2022〕17號）），評和行業(yè)環(huán)境準(zhǔn)入管控要求。因此，本項目的建設(shè)符合環(huán)固體〔2022〕17號要②《關(guān)于進一步加強涉及重金屬污染建設(shè)項目環(huán)評審批的通知》（蘇環(huán)辦華天科技是我國集成電路封測行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模位列國內(nèi)第二戶要求及行業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，為客戶提供專業(yè)的集成電路封裝測試服務(wù)。類、基板類、晶圓級等從低端到高端300億只/年的集成電路封測能力。公施等，建設(shè)具有國際領(lǐng)先水平的Bumping、WLCSP），根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境保護法》（2015.1.1）《中華人民共和國環(huán)以及其他相關(guān)建設(shè)項目環(huán)境保護管理的規(guī)定，要求本項目進行環(huán)境影響評價。根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄（2021年版）》（生態(tài)環(huán)術(shù)人員進行現(xiàn)場踏勘，同時根據(jù)項目的工程特征和項目建設(shè)區(qū)域的環(huán)境狀序號生產(chǎn)車間工程名稱產(chǎn)品名稱及規(guī)格設(shè)計能力年運行時數(shù)1生產(chǎn)廠房1Bumping生產(chǎn)線Bumping84萬片7920hWLCSP生產(chǎn)線WLCSP24萬片Bumping：當(dāng)半導(dǎo)體集成電路芯片制程發(fā)展到40nm及以下時，傳統(tǒng)的WireBonding和FlipChip技術(shù)難以實現(xiàn)芯片與外部的連接，而Copper品主要應(yīng)用領(lǐng)域為智能手機、筆記本、計算機、汽車電子、生物醫(yī)療、5G（6）封裝良品率：≥98.5%寸。WLCSP平臺最初用于大量的PMIC器件，但如今它的應(yīng)用已經(jīng)延伸至更多應(yīng)用，如開關(guān)、天線調(diào)諧器、射頻收發(fā)器、濾波器、無線充電IC、部分CIS器件和NFC控制器等。產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域為模擬混合信號、無線傳器芯片、陀螺儀傳感芯片、單元控制器等。產(chǎn)品技（5）封裝良品率≥99%產(chǎn)品鍍種電鍍錫銀Bumping面積1406m2922m21100m2754m2厚度50μm3μm25μm9μm建筑編號名稱層數(shù)占地面積建筑面積計容面積備注1生產(chǎn)廠房1319552.1069790.3989251.59本期2甲類倉庫1720720720本期3乙類倉庫35485本期4動力中心8100.6732479.632564.7本期5大宗氣體000本期6110kV變電站22227.653496.94本期7食堂4262413387.2113387.21本期9倒班樓161321.977959.947959.94本期倒班樓52/141829.2820263.3120263.31本期地下室-17592.00本期1本期1本期架空連廊4278本期架空連廊5278本期總計35643.02154771.1168150.69注：110kV變電站另行辦理環(huán)評，本環(huán)評不包含該內(nèi)容。表2-4本項目主體工程及公輔工程一覽表建設(shè)名稱設(shè)計能力備注主體工程生產(chǎn)廠房119693.52m2，3F一層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈Bumping生產(chǎn)車間；二、三層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈WLCSP生產(chǎn)車間；生產(chǎn)支持區(qū)主要包含空調(diào)機房、變配電站、空壓站等。生產(chǎn)測試樓丁類二級廠房，占地面積2400m2（100m×24m），8F，建筑高度為31.95m用于辦公、測試甲類倉庫占地面積720m2，1F位于廠區(qū)西側(cè)，本期項目部分原輔料位于甲類倉庫乙類倉庫位于廠區(qū)西側(cè)，本期項目部分原輔料位于乙類倉庫危廢倉庫危廢倉庫240m2位于甲類倉庫；用于存放危廢公用給水系統(tǒng)2812208m3/a自來水由市政自來水管網(wǎng)供給排水系統(tǒng)生產(chǎn)廢水：1500563m3/a生活污水：45302m3/a廠區(qū)實施雨污分流、污污分流。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理后，部分回用，剩余接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處理；食堂污水經(jīng)隔油后，與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理后接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。供電系統(tǒng)12441.60萬度/年電源引自浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)橋林園區(qū)變電站及廠內(nèi)110kV變電站。循環(huán)冷卻系統(tǒng)4000m3/h×2、2800m3/h×2總循環(huán)水量13600m3/h，補水為自來水。工藝循環(huán)冷卻水：每棟廠房設(shè)置獨立的工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，總循環(huán)量1000m3/h，系統(tǒng)形式采用密閉式系統(tǒng)，板式換熱器換熱。常溫循環(huán)冷卻水：12600m3/h，該系統(tǒng)為冷凍機和空壓機提供32-38℃的常溫循環(huán)冷卻水系配套1000m3的循環(huán)水池。動力中心，丁類二級廠房，建筑高地下一層為生產(chǎn)和消防水泵房、廢水站、消防水池、生產(chǎn)水池；地上一層為純水站，二、三層為動力站，包含變配電室、冷機、氣體動力等，動力站屋面放置為工業(yè)型冷卻塔。壓縮空氣5臺，總設(shè)計能力為430Nm3/min采用水冷離心式空壓機，提供無油壓縮空氣?？諝饨?jīng)預(yù)過濾器過濾，由空壓機壓縮后進入壓縮熱吸附式干燥器干燥后，再進過濾器過濾，經(jīng)壓縮空氣緩沖罐供給各生產(chǎn)廠房。冷水機組在動力站二、三樓設(shè)置低溫冷水機（7℃)、中溫冷水機（14℃)及中溫?zé)峄厥諜C，供應(yīng)各建筑空調(diào)及工藝使用。純水站設(shè)計制水能力200m3/h純水設(shè)備主要包括砂濾器、活性炭過濾器、一級RO反滲透機組、二級RO反滲透機組、度為23.3mEDI系統(tǒng)等。純水管路采用主管循環(huán)供回水系統(tǒng)。2臺100t/h純水機，純水制備得率0.75。本項目純水用量1569685t/a（198t/h）。真空系統(tǒng)24000m3/h工藝真空系統(tǒng)真空站設(shè)置在動力站三層。工藝真空真空度660mmHg。廠房真空站采用噴油螺桿式真空泵，采用n+1配置方式。供熱系統(tǒng)4.2MW×2臺，熱水鍋爐主要作為生產(chǎn)廠房初期回收熱源不足時補充熱源使用，當(dāng)產(chǎn)能達50%回收熱源充足時，熱水鍋爐即停止僅當(dāng)作緊急備援使用。大宗氣站制氮站3000Nm3/h×1臺采用空分制氮。提供氮氣，氮氣純度99.999%，制氮站配套液氮緩沖罐和液氮儲存罐。天然氣職工食堂采用天然氣，用量來自市政天然氣管道倒班樓1占地面積1321.97m2，6F建筑的二層～六層為主要的倒班樓層，并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。倒班樓5占地面積1829.28m2，2/14F建筑的二層～十四層為主要的倒班樓層，并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。食堂占地面積2624m2，6F/共設(shè)置2個門衛(wèi)室，占地面積分別為15m2、180m2，1F/初期雨水池設(shè)置三座初期雨水池及配套收集管網(wǎng)，共計2339m31#初期雨水池位于食堂南側(cè)，容積574m3；2#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè)，容積227m3；3#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè)，容積1538m3環(huán)保廢氣處理①Bumping生產(chǎn)線電鍍銅、電鍍鎳、電鍍錫銀、電鍍金、銅刻蝕等工序產(chǎn)生的酸性廢氣通過酸堿廢氣處理系統(tǒng)（堿液噴淋，堿性洗滌塔2臺并聯(lián)）處理后通過30m高P1-1#排氣筒（位于生產(chǎn)廠房1樓頂）排放，共2臺風(fēng)機，風(fēng)機風(fēng)量共140000m3/h；含氰廢氣經(jīng)堿液噴淋處理后通過30m高P1-2#排氣筒（位于生產(chǎn)廠房1樓頂）有組織排放，風(fēng)機風(fēng)量為50000m3/h。②WLCSP生產(chǎn)線酸洗工序，Bumping生產(chǎn)線涂布、曝光、軟烤、硬烤、等離子去膠、光刻膠去除、焊料成球等工序產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂，利用有機廢氣處理系統(tǒng)（3套沸石并聯(lián)+1套RTO）處理后通過30m高P1-3#排氣筒（位于生產(chǎn)廠房1樓頂）排放，風(fēng)機風(fēng)量為60000m3/h×3；③WLCSP生產(chǎn)線回流焊工序產(chǎn)生錫及其化合物，Bumping生產(chǎn)線回流焊工序產(chǎn)生錫及其化合物和非甲烷總烴，與有機廢氣一起收集處理后排放（P1-3#排氣筒）④WLSCP生產(chǎn)線激光打印工序產(chǎn)生的含塵廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂，經(jīng)1套濾筒除塵處理后通過30m高P1-4#排氣筒（位于生產(chǎn)廠房1樓頂）排放，風(fēng)機風(fēng)量為20000m3/h；⑤鍋爐天然氣燃燒廢氣，天然氣屬于清潔能源，2臺鍋爐的天然氣燃燒廢氣通過1根27m高排氣筒排放（排氣筒編號為P1-5#煙氣量為5200m3/h；⑥RTO天然氣燃燒廢氣，通過P1-3#排氣筒排放；⑦污水處理站廢氣通過動力車間樓頂P1-6#排氣筒排放，高30m，風(fēng)機風(fēng)量150000m3/h；⑧食堂油煙經(jīng)油煙凈化設(shè)備處理后排放，煙道排口高8m（編號為P1-7#），風(fēng)量為22000m3/h；廢水處理①切割廢水進入切割廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為6000t/d）處理后部分回用于純水制備，其余的進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為3600t/d）處理達標(biāo)后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠；②研磨廢水進入研磨廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為840t/d）處理后部分回用于純水制備，其余的進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為3600t/d）處理達標(biāo)后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠；③一般、酸堿、有機廢水先進入一般、酸堿、有機廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為2222t/d）處理后進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為3600t/d）處理達標(biāo)后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠；④純水站反沖洗水、廢氣洗滌塔水進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為3600t/d）處理后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠；⑤含鎳廢水先進入含鎳廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為480t/d）處理后車間達標(biāo)排放接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠，含錫銀廢水進入含銀廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為480t/d）處理后車間達標(biāo)排放接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠，含氰廢水進入含氰廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計處理能力為240t/d）后與其他含重金屬廢水（含銅、鈦）進入其他重金屬廢水處理系統(tǒng)，這兩股廢水處理達標(biāo)后進入一般、酸堿、有機廢水處理系統(tǒng)，再進入綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)，最后接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠。⑤循環(huán)冷卻系統(tǒng)排水、純水制備棄水、鍋爐排水直接接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠；⑥食堂廢水經(jīng)隔油池預(yù)處理后與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理，一并接入市政污水管網(wǎng)，接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。固廢處置生活垃圾垃圾桶若干，環(huán)衛(wèi)清運固體廢物零排放一般工業(yè)480m2，位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫危險廢物240m2，位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫事故應(yīng)急消防水池室外消防水箱一座，846m3，位于生產(chǎn)測試樓滿足應(yīng)急需求應(yīng)急事故池設(shè)置兩座應(yīng)急池及配套收集管網(wǎng)，共計1500m3；位于動力站房負一層建設(shè)內(nèi)容根據(jù)建設(shè)單位提供數(shù)據(jù)資料，本項目的主要原輔材料和能源消耗見表類別名稱規(guī)格組分年耗量單位全廠最大倉儲量包裝儲存方式包裝方式儲存地點來源及運輸原輔料WLCSP生產(chǎn)線24萬片1/室內(nèi)/盒裝原料倉庫國內(nèi)運輸5L/桶3%-6%醋酸0.32t0.045L/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸錫球/鐵、鋅、錫、銀、銅等2400瓶30061.11g/瓶室內(nèi)/瓶裝原料倉庫國內(nèi)運輸助焊劑/松香/樹脂60%-70%、芐醇30%-40%7.2kg0.9150g/支室內(nèi)/瓶裝學(xué)品庫國內(nèi)運輸助焊劑清洗液/95%乙二醇醚、5%水0.76t0.0919kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸研磨貼布230mm*100mmPVC，PET，PO，丙烯酸樹脂等400卷50230mm*50m/卷室內(nèi)/卷原料倉庫國內(nèi)運輸背面貼布230mm*50m330mm*50mPET，PO，丙烯酸樹脂200卷25230mm*50m/卷330mm*50m/卷室內(nèi)/卷原料倉庫國內(nèi)運輸UV膜/藍膜300mm*100m400mm*100mPVC，PET，PO，丙烯酸樹脂233卷29300mm*100m/卷400mm*100m/卷室內(nèi)/卷原料倉庫國內(nèi)運輸二氧化碳/液態(tài)二氧化碳t0.0615kg/瓶瓶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸切割液KetecaDiamaflow388LB94%水，1.9%聚乙二醇、4.1%甲基環(huán)氧乙烯，與環(huán)氧乙烯的聚合物，單（辛基苯）醚等4000桶5001加侖/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸載帶依據(jù)芯片尺寸而定聚碳酸酯320萬米40AO=1.0BO=1.0室內(nèi)/紙箱裝原料倉庫國內(nèi)運輸Bumping萬1/室內(nèi)/盒原料倉國內(nèi)運生產(chǎn)線片裝庫輸異丙醇≥99.7%40t2000L20L/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品倉國內(nèi)運輸光刻膠HD41001-甲基-2-吡咯烷酮50-60%、芳香肟（1-10%）8t1kg/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸負膠顯影液KS5400環(huán)戊酮≥98%30t210kg/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品庫國內(nèi)運輸負膠漂洗液KS7200丙二醇甲醚醋酸酯＞98%550t210kg/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品庫國內(nèi)運輸鈦靶材Ti99.999%Ti99.999%28（0.95t）個1/室內(nèi)/盒裝原料倉庫國內(nèi)運輸銅靶材Cu99.999%Cu99.999%50（0.252t)個1/室內(nèi)/盒裝原料倉庫國內(nèi)運輸金靶材Cu99.999%Cu99.999%（0.05t）個1/室內(nèi)/盒裝原料倉庫國內(nèi)運輸光刻膠JSR151丙烯酸樹脂30%～45%、多官能丙烯酸酯15%～25%、光敏劑5%~15%、丙二醇甲醚醋酸酯30%~40%6t0.241加侖/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸邊膠清洗液GCTOK73異甲基醚丙二醇70%，乙酸丙二醇異甲基醚酯30%50t24kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸顯影液TMAH2.38%四甲基氫氧化銨2.38%、剩余量為水930t21加侖/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍銅陽極英寸（2cmCu99.999%、P0.001%610（7.936t)個/室內(nèi)/盒裝原料倉庫國內(nèi)運輸電鍍鎳陽極鎳陽極板，Ni99.999%（0.221t)個/室內(nèi)/盒裝原料倉庫國內(nèi)運輸電鍍錫陽極Sn陽極板，Sn99.999%,56（0.297t)個3/室內(nèi)/盒裝原料倉庫國內(nèi)運輸電鍍銅藥液MICROFABSC40MU硫酸銅20%—30%；硫酸10%—20%；聚二硫二丙烷磺酸鈉＜1%；脂肪胺聚氧乙烯醚＜1%15720kg20kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍銅添加劑MicrofabSCR1硫酸1-10%、水90-99%990kg404kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍銅添加劑MicrofabSCR22甲氧基1丙醇0.00001-0.0001%、水99%kg204kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍銅補充液MicrofabSCcoppersulfate硫酸銅20-30%、硫酸0-1%、水69%-80%15720kg50020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍銅補充液濃硫酸濃硫酸（95％-98%)510kg400.5kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍鎳藥液MICROFABNi100氨基磺酸鎳20%—30%；硫酸鎳1%；硼酸5%—10%；十二烷基磺酸鈉＜1%；鹽酸＜1%；其余為水10200kg72020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍錫銀IshiharaUTBTS-140base甲基磺酸錫10%、甲基磺酸銀0.05%、甲基磺酸10%、有機化合物6%、水79%7100kg40020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍錫銀：錫離子添加劑IshiharaUTBTS-TIN15水50%12600kg15kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍錫銀：銀離子添加劑IshiharaUTBTS-Ag-S面活性劑25%、水72%kg5020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍錫銀：銀離子穩(wěn)定劑IshiharaUTBTS-SLG表面活性劑35%、水65%kg20kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸基磺酸添加劑IshiharaUTBTS-Acid甲基磺酸70%、水30%2090kg10kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍錫銀：平整機添加劑IshiharaUTBTS-140AD甲醇10％、表面活性劑10%、有機化合物5%、水75%650kg2010kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍錫銀：除泡劑IshiharaUTBAntifoamer甲醇（70g/l）、剩余量為水kg11kg/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品庫國內(nèi)運輸銅蝕刻液KS_6205剩余量為水76t0.910kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸鈦蝕刻液組成液KS_6506-A氫氧化鉀1%-10%、剩余量為水t0.34511.5kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸鈦蝕刻液組成液KS_6506-B雙氧水28%-34%、剩余量為水90t0.2528.4kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸去膠液CZ825酮類99%，1%四甲基氫氧化銨t20kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸99%t0.41加侖/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍金補充液Pur-A-Gold402MakeUp無機酸1-10%；二氰金酸鉀800L20L/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍金補充液Pur-A-Gold402MakeUp二氰金酸鉀60-70%；氰化鉀800L20L/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍金藥液Pur-A-GoldAcidAdjustingsalt有機酸80-100%kg5005kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸電鍍金藥液Pur-A-GoldBaseAdjustingsalt80-100%：有機鹽kg5005kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸金蝕刻液UE-350碘4%～10%；碘化鉀10%～25%；水63%～85%t0.510kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類化學(xué)品庫國內(nèi)運輸/氮氣/氮氣2.59*107NM340L/瓶室內(nèi)/瓶裝大宗氣站國內(nèi)運輸/氬氣/氬氣4.75*104NM340L/瓶室內(nèi)/瓶裝庫國內(nèi)運輸注：本項目各原輔料使用量為企業(yè)根據(jù)華天其他廠區(qū)同類產(chǎn)品長期實際生產(chǎn)情況計算得出，可滿足本項目產(chǎn)能需求。表2-6主要原輔材料理化性質(zhì)及毒理物料名稱分子式CAS號危規(guī)號理化性質(zhì)燃燒爆炸性毒理性質(zhì)C2H4O281601無色透明液體，有刺激性酸臭；分子量60.05；熔點16.7℃;沸點118.1℃;相對密度(水=1)1.05；相對蒸氣密度(空氣=1)2.07；飽和蒸汽壓爆炸極限4.0-17.0；溶于水、醚、甘油，不溶于二硫化碳。易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與鉻酸、過氧化鈉、硝酸或其他氧化劑接觸，有爆炸危險。LD50：3530mg/kg（大鼠經(jīng)LC50：13791mg/m3，1小時（小鼠吸入）錫7440-31-5/灰綠色粉末。分子量118.69；熔點231.9℃;相對密度(水=1)7.31；不溶于水，溶于稀鹽酸、硫酸、硝酸。//松香//淡黃色透明及不透明顆粒或塊狀，有特殊樹脂的氣味。遇火種、高溫、氧化劑都有引起燃燒的危險。燃燒時放出有毒煙霧和蒸汽。/乙二醇醚C4H10O3110-80-5/無色液體，幾乎無氣味；分子量90.12；熔點-70℃;沸點135.1℃;相對密度(水=1)0.94；閃點43℃LD50：3460mg/kg（大鼠經(jīng)氫氧化鈉NaOH1310-73-282001熔點(℃)：318.4，沸點(℃)：1390，飽和可致人體灼傷。LD50：無資料LC50：無資料溶解性：易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙酮。異丙醇C3H8O67-63-032064性狀：無色透明液體，有似乙醇和丙酮混合物的氣味。分子量：60.10。熔點(℃)：-88.5，沸點(℃)：80.3，飽和蒸汽壓：4.40(20℃)，相對密度（水=10.79，相對密度（空氣=12.07，溶解性：溶于水、醇、醚、苯、氯仿等多數(shù)有機溶劑。易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸猛烈反應(yīng)。在火場中，受熱的容器有爆炸危險。閃點(℃)：12引燃溫度(℃)：399爆炸極限：2.0-12.7%LD50：5045mg/kg（大鼠經(jīng)醇C4H10O2——無色透明液體，密度：0.922g/mL；相對蒸汽密-97；沸點(oC，常壓118；折射率（20oC1.4034；黏度（mPa·s,25oC）：1.75；閃點(oC，開口）：39；蒸發(fā)熱（KJ/mol）：40.6；比熱容（KJ/(kg·K),25oC，定壓）：2.56；蒸氣壓1.4017——對皮膚刺激不明顯，但中毒劑量可通過皮膚吸收。動物中毒后主要表現(xiàn)為抑制和不完全麻醉。大鼠暴露于40.18g/m3的蒸氣濃度中5~6小時，有半數(shù)死亡。丙二醇單甲醚醋酸酯C6H12O3108-65-6——性狀：無色吸濕液體，有特殊氣味；分子量：132.16熔點(℃)：-87沸點(℃)：146相對密度（水=1）：0.96溶解性：溶于水閃點(℃)：42爆炸極限：在空氣中，20°C時1.5%～7.0%（體積）——氫氧化鉀KOH1310-58-382002性狀：白色晶體，易潮解。分子量：56.11熔點(℃)：360.4沸點(℃)：1320飽和蒸汽壓：0.13(719℃)相對密度（水=1）：2.04溶解性：溶于水、乙醇，微溶于醚?？芍氯梭w灼傷。環(huán)氧樹脂——32197外觀與形狀：從無臭、無味、黃色透明液體到固體。熔點145～155℃,溶于丙酮、乙二醇、易燃，引燃溫度49℃（粉云）。遇明火、高熱能燃燒。受高熱分解放出有毒的氣體。粉體與空氣可形成爆炸性混合物，當(dāng)達到一定濃度時遇火星會發(fā)生爆炸。LD50：11400mg/kg（大鼠經(jīng)醇C5H12O2——無色透明體液體。熔點：-85℃,沸點：161℃,相對密度：0.971（20/20℃),溶于大部分有機溶劑，不溶于水?！獰o水碳酸鈉Na2CO3——性狀：白色粉末或細顆粒（無水純品），味澀。分子量：105.99熔點(℃)：851相對密度（水=1）：2.53溶解性：易溶于水，不溶于乙醇、乙醚等——LD50：4090mg/kg（大鼠經(jīng)），LC50：2300mg/m3，2小時（大鼠吸入）鈦Ti7440-32-641504鈦為銀白色，粉末為深灰色或黑色并發(fā)亮，或溶于氫氟酸、硝酸、濃硫酸。金屬鈦粉塵具有爆炸性，遇熱、明火或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)會燃燒爆炸。其粉體化學(xué)活性很高，在空氣中能自也能在二氧化碳或氮氣中燃燒。高溫時易與鹵素、氧、硫、氮化合?！~Cu——熔點1083℃;相對密度(水=1)8.92其粉體遇高溫、明火能燃燒——硫酸銅CuSO4·5H2O61519藍色三斜晶系結(jié)晶。熔點：200℃(無水物)，相對密度(水=1)：2.28。溶于水，溶于稀乙醇，不溶于無水乙醇、液氨。未有特殊的燃燒爆炸特性。受高熱分解產(chǎn)生有毒的硫化物煙氣。鼠經(jīng)口33mg/kg（小鼠腹腔）硫酸H2SO481007純品為無色透明油狀液體，無臭。分子量98.08，0.13kPa(145.8℃)，相對密度(水=1)1.83。與水混纖維素等）接觸會發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。能與一些活性金屬粉末發(fā)生反應(yīng)，放出氫氣。遇水大量放熱，可發(fā)生沸濺。具有強腐蝕中等毒性。LD5080mg/kg（大鼠經(jīng)口LC50510mg/m3，22小時（小鼠吸入）過硫酸鈉Na2S2O851504性狀：白色晶狀粉末，無臭。分子量：238.13相對密度（水=1）：2.4溶解性：溶于水。嗅閾值惡臭物質(zhì)）與有機物、還原劑、易燃物如硫、磷等接觸或混合時有引起燃燒爆炸的危險。急劇加熱時可發(fā)生爆硫酸鈀PdSO4·2H2O——紅棕色結(jié)晶粉末，溶于冷水中，在熱水中分解；沸點330℃.常溫常壓下穩(wěn)定——氯化鈉NaCl——性狀：無色無味固體分子量：58.44熔點(℃)：801沸點(℃)：1461相對密度（水=1）：2.17相對密度（空氣=1）溶解性：溶于水如果是強氧化性物質(zhì)、爆炸性物質(zhì)需注明。LD50（鼠經(jīng)口3000mg/kg次亞磷酸鈉NaH2PO2·H2O——無色單斜晶系結(jié)晶或有珍珠光澤的晶體或白色結(jié)晶性粉末。相對密度1.388，無臭，味咸。易溶于水、乙醇、甘油；微溶于氨、氨水；不溶于乙醚。遇強熱時會爆炸，與氯酸鉀或其他氧化劑相混合會爆炸。在常壓下，加熱蒸發(fā)次磷酸鈉溶液會發(fā)生爆炸，故蒸發(fā)應(yīng)在減壓下進行?！蛩徭嘚iSO4.6H2O性狀：無色無味固體分子量：58.44熔點(℃)：801沸點(℃)：840飽和蒸汽壓：0.13kPa(145.8℃)相對密度（水=1）：2.07相對密度（空氣=1）：3.4————檸檬酸鉀C6H5K3O7.H2O——性狀：白色無味固體分子量：324.42熔點(℃)：230（分解）相對密度（水=1）：1.98——LD50相對密度（空氣=1）嗅閾值惡臭物質(zhì)）銀Ag——灰白色金屬，屬立方晶系，富延展性；沸點：1950℃;熔點：960.5℃;相對密度：10.5；不溶于水、鹽酸和堿溶液。溶于硝酸、熱硫酸、氰化鉀、熔融的氫氧化鈉；————雙氧水H2O251001無色透明液體，有微弱氣味，熔點-2℃,沸點爆炸性強氧化劑。過氧化氫本身不燃，但能與可燃物反應(yīng)放出大量熱量和氧氣而引起著火爆炸。過氧化氫在pH值為3.5～4.5時最穩(wěn)定，在堿性溶液中極易分解，在遇強光，特別是短波射線照射時也能發(fā)生分解。當(dāng)加熱到100℃以上時，開始急劇分解?！募谆鶜溲趸@C4H13NO——性狀：白色針狀結(jié)晶分子量：91.15沸點(℃)：110°C飽和蒸汽壓：17.5mmHg相對密度（水=1）：0.866——硅——密度：2328.3kg/m3;熔點：1687K（1414℃);沸點：3173K（2900℃);————烷酮C5H9NO——透明液體，類似苯胺氣味；沸點(℃)：202；熔點(℃)：-24；自燃溫度(℃)：346；閃點 (℃)：95；爆炸極限：1.3-9.5%；密度：1.03；能與水、醇、醚、酯、酮、鹵代烴、芳烴互溶?！狶D50：5130mg/kg（小鼠經(jīng)口）；8mg/kg（兔經(jīng)皮）；3914mg/kg（小鼠經(jīng)口）CH4O32058外觀與性狀：無色澄清液體，有刺激性氣味。熔點(℃)：-97.8；沸點(℃)：64.8，相對密度(水=1)：0.79；相對蒸氣密度(空氣=1)：1.11；飽和易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸發(fā)生化學(xué)反應(yīng)LD50：5628mg/kg（大鼠經(jīng)LC50：83776mg/m3，4小時蒸汽壓(kPa)：13.33(21.2℃)；燃燒熱(kJ/mol)：727.0；閃點(℃)：11；引燃溫度(℃)：385；爆炸上限%(V/V)：44.0；爆炸下限%(V/V)：5.5；溶于水，可混溶于醇、醚等多數(shù)有機溶劑?；蛞鹑紵?。在火場中，受熱的容器有爆炸危險。其蒸氣比空氣重，能在較低處擴散到相當(dāng)遠的地方，遇火源會著火回燃。（大鼠吸入）環(huán)戊酮C5H8O33590外觀與性狀：水白色液體，有醚樣的氣味。熔點(℃)：-58.2；沸點(℃)：130.6相對密度(水=1)：0.95；相對蒸氣密度(空氣=1)：2.3；閃點(℃)：26易燃，遇明火、高熱或與氧化劑接觸，有引起燃燒爆炸的危險。LD50：1950mg/kg（小鼠靜丙二醇單甲醚乙酸酯C6H12O3——無色透明液體；熔點(℃)：-87；沸點(℃)：爆炸極限：1.3-13.1——大鼠經(jīng)口LD50：8532mg/kg；小鼠經(jīng)腹腔LD50：750mg/kg；兔子經(jīng)皮膚接觸LD50：5mg/kg丙烯酸樹脂————無色或有色流體，有特殊芳香味；熔點(℃):-47.9；沸點(℃)：139；相對密度(水=1)：0.86；相對蒸氣密度(空氣=1)：3.66；可與丙烯酸漆稀釋劑等混溶。爆炸極限：1.1-7.0%LD50：5000mg/kg（大鼠經(jīng)丙二醇單甲醚乙酸酯C6H12O3——無色透明液體；熔點(℃)：-87；沸點(℃)：爆炸極限：1.3-13.1——大鼠經(jīng)口LD50：8532mg/kg；小鼠經(jīng)腹腔LD50兔子經(jīng)皮膚接觸LD50：>5mg/kg鎳Ni42004銀白色堅硬金屬；熔點(℃)：1453；沸點(℃)：2732，相對密度(水=1)：8.9；飽和蒸汽壓(kPa)： 0.13(1810℃)；不溶于濃硝酸，溶于稀硝酸。其粉體化學(xué)活性較高，暴露在空氣中會發(fā)生氧化反應(yīng)，甚至自燃。遇強酸反應(yīng)，放出氫氣。粉塵可燃，能與空氣形成爆炸性混合物?！被撬徭嘚i(NH2SO3)2——綠色結(jié)晶粉末；沸點(℃)：≥100；相對密度(水=1)：1.4-1.6；易溶于水，液氨，乙醇，微溶于丙酮不燃，無特殊燃爆特性LD50：3160mg/kg（大鼠經(jīng)硼酸H3BO3——熔點(℃)：185；沸點(℃)：300；相對密度：1.44；溶于水，乙醇、乙醚等?！被撬酘3NO3S81506性狀：白色結(jié)晶體，無臭無味。分子量：97.09熔點(℃)：205沸點(℃)：209相對密度（水=1）：2.13相對密度（空氣=1）：3.3溶解性：溶于水、液氨，不溶于乙醇、乙醚，微溶于甲醇。本品不燃，具腐蝕性、強刺激性，可致人體灼傷。LD50：3160mg/kg（大鼠經(jīng)二甲基乙酰胺C4H9NO——性狀無色透明液體。分子量：87.12熔點(℃)：-20沸點(℃)：164閃點(℃)：66相對密度：0.937溶解性：能與水、醇、醚、酯、苯、三氯甲烷和芳香化合物等有機溶劑任意混合。爆炸下限（%,V/V,160oC2.0；爆炸上限（%,V/V,160oC）：11.5大鼠經(jīng)口LD50為5680mg/kg。大鼠吸入LC50為2475ppm-1h甲基磺酸CH4O3S81626性狀：無色液體或固體。分子量：96.1熔點(℃)：20沸點(℃)：167飽和蒸汽壓：0.13相對密度（水=1）：1.48相對密度（空氣=1）：3.3閃點(℃)：>110——磷酸H3PO481501性狀：純磷酸為無色結(jié)晶，無臭，具有酸味。分子量：98.00熔點(℃)：42.4沸點(℃)：260飽和蒸汽壓：0.67相對密度（水=1）：1.87——LD50：1530mg/kg（大鼠經(jīng)口）；2740mg/kg（兔經(jīng)皮）相對密度（空氣=1）：3.38芐醇（苯甲醇）C7H8O——外觀與性狀：無色液體，有芳香味。熔點(℃)：-15.3相對密度（水=1）：1.04(25℃)沸點(℃)：205.7相對蒸氣密度（空氣=1）：3.72相對密度（水=1）：1.0419分子量：108.13飽和蒸汽壓（kPa）：0.13(58℃)溶解性：微溶于水，易溶于醇、醚、芳烴。閃點(℃)：100引燃溫度(℃)：436LD50：1230mg/kg（大鼠經(jīng)）；甲基吡咯烷酮C5H9NO——透明液體有胺樣氣味；分子量：99.15熔點(℃)：-24沸點(℃)：202飽和蒸汽壓：68°F（20℃)相對密度（水=1）：1.03相對密度（空氣=1）：3.4爆炸極限：1.3-9.5%LD50：3914mg/kg（大鼠經(jīng)）；LD50：5130mg/kg（小鼠經(jīng)）；目標(biāo)，必須移除表面的污染物并避免在制程前讓污染物重新殘余在晶圓表），揮發(fā)性有機化合物含量限值》（GB38508-2020）規(guī)定的水基、半水基清洗類型名稱規(guī)模型號設(shè)備數(shù)量（臺/套）備注生產(chǎn)WLCSP生產(chǎn)線自動貼BG膜機Lintec35103/AOI（檢驗儀）中科飛測1/研磨機Disco3/全自動硅厚測量AOM中科飛測1/自動撕膜機Lintec30102/AOI（檢驗儀）/1/背膠前清洗機/1/自動貼背膠膜機Lintec36002/AOI（檢驗儀）中科飛測1/背膠膜自動烤箱/3/Sorter（導(dǎo)片機）導(dǎo)片1/打標(biāo)機EO1/打標(biāo)后AOI中科飛測1/自動貼Dicing膜機Lintec25102/AOI（檢驗儀）中科飛測1/全自動隧道烤箱/1/激光切割機7161disco/激光開槽后檢驗ATM中科飛測1/切割機6362切割機67/AOI（檢驗儀）中科飛測3/UV機/2/全自動編帶機ASM/MIE5/Bumping生產(chǎn)線晶圓清洗機芯源6/導(dǎo)片機新創(chuàng)達5/烤箱真萍3/濺射機北方華創(chuàng)9/2D檢驗機中科飛測2/涂布機芯源/2D檢驗機中科飛測3/檢測機/儀中科飛測1/曝光機SMEE/顯影機芯源/全功能或CD檢驗機中科飛測4/2D檢驗機中科飛測4/烤箱真萍7/全功能或CD檢驗機中科飛測4/導(dǎo)片機新創(chuàng)達6/等離子清洗機北方華創(chuàng)/2D檢驗機中科飛測3/LAM/檢測機/儀中科飛測1/去膠機新陽硅密5/全功能或CD檢驗機中科飛測4/2D檢驗機中科飛測2/蝕刻機（刻銅）芯源6/蝕刻機（刻鈦）芯源/全功能或CD檢驗機中科飛測4/2D檢驗機中科飛測3/植球機上海微松5/補球機上海微松2/回流焊sikama2/晶圓清洗機芯源晶圓清洗機芯源2/測試機+探針臺opus5/QT71005/檢測機/儀中科飛測1/回流焊semigear3/全自動金屬測厚儀新創(chuàng)達1/X射線儀Dage3/晶圓清洗機芯源2/推拉力機XYZ3/檢測機/儀camtek/導(dǎo)片機新創(chuàng)達3/注：根據(jù)《中華人民共和國放射性污染防治法》《放射環(huán)境管理辦法》等文件要求，如涉及放射性設(shè)備需委托有資質(zhì)的單位進行放射性污染環(huán)境影響評價，論證其環(huán)境可行性和污染防治對策。名稱條數(shù)設(shè)備名稱規(guī)模型號單條生產(chǎn)線數(shù)量（個）鍍銅、鎳、錫銀生產(chǎn)線3預(yù)濕槽400mm×600mm×100mm1電鍍銅槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2電鍍鎳槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2電鍍錫銀槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2鍍金生產(chǎn)線1預(yù)濕槽400mm×600mm×100mm1電鍍金槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2（2）項目位于浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)橋林園區(qū)東至丁香路、南至紫桐路、西的物料進行平衡分析。經(jīng)篩選，本次評價擬對銅、鎳、錫、銀、CN-及非甲入方序號物料名稱用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水（液）1銅靶材50個（0.252t）0.999990.2525.267/0.155.1862銅板610（7.936t）0.999997.9363補充劑9.4320.2562.415合計10.60310.603入方序號物料名稱用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水1硫酸鎳0.1020.22140.0230.204/0.03230.54872氨基磺酸鎳3.060.17680.5413鎳陽極（0.221t）0.99990.221合計0.7850.785表2-11錫物料平衡（單位：t/a）入方序物料名用量元素含量純量廢氣元素含量純量廢氣廢水產(chǎn)品1錫球0.1470.99990.14720.710.3830.27220.710.3830.2720.3850.0240.00560.3014酸錫56個（0.297t56個（0.297t）0.99990.297合計0.7160.716入方序號物料名稱用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水12電鍍錫銀（甲基磺酸銀）0.003550.5320.001890.01517/0.000040.00136銀離子添加劑（甲基磺酸銀）0.02760.5320.01468合計0.016570.01657入方序號物料名稱用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水固廢（液）1二氰金酸鉀2.8770.683//0.3672二氰金酸鉀0.04110.6830.028合計本項目CN源于電鍍金補充液（二氰金酸鉀、氰化鉀），去向主要包入方序號物料名稱用量元素比例純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水分解1二氰金酸鉀2.9180.18060.527/0.0230.00290.0681.10712氰化鉀0.4000.674合計去向主要包括廢氣及廢液；有機廢氣經(jīng)RTO處理后有組織排放，廢液作為入方序號物料名稱用量元素比例純量有組織排放無組織排放1冰乙酸0.320.40.01283.1060.32829.779631.96482助焊劑0.00720.420.0033助焊劑清洗液0.760.950.7224切割液0.060.965異丙醇400.99739.886光刻膠80.655.27顯影液300.9829.48漂洗液5500.98539邊框清9洗液9洗液合計665.1778665.1778本項目勞動定員880人，配套員工倒班樓（含淋?。┘笆程?，年運行），），），本項目循環(huán)冷卻系統(tǒng)總循環(huán)水量為13600m3/h（10771.2），），純水制備棄水直接接管市政污水管網(wǎng)進入南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)垃圾和噪聲污染，其他污染物（如工人生活共同用作填土材料。填土施工時，將軟弱土層挖至天夯實是利用起重機械吊起特制的重錘來沖擊基土表面，使地基受到壓切、接長、彎曲等物理過程，然后進行鋼筋的綁扎，攪拌機料斗中依次加入砂、水泥、石子和水，裝料量為攪拌機幾何容積的1/2～1/3。拌制完后，根據(jù)澆注量、運輸距離選用運輸工具球狀的焊錫（錫球）焊至需要連接的地方，使用無鉛焊錫，焊接溫度約為觀檢查時只需要觸碰繃膜環(huán)便可，防止工作人員直接觸碰晶圓造成材料污將背面貼膜后的晶圓采用烤箱進行烘烤，烘烤溫度為150℃,熱源為電。此過程會產(chǎn)生烘烤廢氣G1-4。利用激光的高能量，將產(chǎn)品型號及客戶要求印字內(nèi)容打印在塑封體表將貼膜后的晶圓采用烤箱進行烘烤，烘烤溫度為150℃,熱源為電。此過程會產(chǎn)生烘烤廢氣G1-6。表2-16WLCSP生產(chǎn)線主要污染工序及污染物一覽表類別污染物編號產(chǎn)生工序性質(zhì)污染物廢水W1-1酸洗后水洗水洗廢水pH、COD、SSW1-2清洗后水洗水洗廢水COD、SSW1-3晶圓研磨研磨廢水COD、SSW1-4激光切割切割廢水COD、SSW1-5刀片切割切割廢水COD、SS廢氣G1-1酸洗有機廢氣揮發(fā)性有機物G1-2植球、回流焊焊接煙塵錫及其化合物G1-3焊接有機廢氣非甲烷總烴G1-4烘烤烘烤廢氣熱排氣G1-5激光打印打印粉塵顆粒物G1-6烘烤烘烤廢氣熱排氣噪聲N設(shè)備運行機械噪聲噪聲固廢S1-1酸洗酸洗廢液含廢酸（冰乙酸）S1-2植球、回流焊廢助焊劑樹脂S1-3清洗清洗廢液含助焊劑清洗液S1-4正面貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-5正面揭膜廢貼膜廢棄研磨貼布S1-6背面貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-7貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-8編帶廢載蓋帶廢載蓋帶S1-9外觀檢查不合格品不合格品本項目Bumping生產(chǎn)工藝主要是在晶圓的焊盤上形成凸點。其主要工藝為晶圓表面鈍化、濺鍍鈦/銅、電鍍銅、鎳以及錫銀、濺鍍鈦鎢/金、電鍍表2-17晶圓清洗產(chǎn)污環(huán)節(jié)及污染類別污染物編號產(chǎn)生工序性質(zhì)污染物廢水W2-1-1水洗水洗廢水COD、SS廢氣烘烤烘烤廢氣熱排氣），高防護材料在后續(xù)過程