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深圳市福英達(dá)工業(yè)技術(shù)有限公司/一站式錫膏解決方案供應(yīng)商原子層沉積（ALD）工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺據(jù)麥姆斯咨詢報道，近期，德國弗勞恩霍夫硅技術(shù)研究所（FraunhoferInstituteforSiliconTechnology，ISIT）宣布將PICOSUNP-300BALD系統(tǒng)用于其PowderMEMS技術(shù)平臺PICOSUNP-300BALD系統(tǒng)及技術(shù)特點(diǎn)FraunhoferISIT的PowderMEMS是一項(xiàng)新研發(fā)的創(chuàng)新技術(shù)，用于在晶圓級上從多種材料中創(chuàng)建三維微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)基于通過原子層沉積（ALD）工藝在空腔中將微米級粉末顆粒粘合在一起。與其它制造技術(shù)相比，PowderMEMS具有許多優(yōu)勢，因?yàn)樗试S使用比傳統(tǒng)燒結(jié)工藝低得多的工藝溫度。粘合的多孔結(jié)構(gòu)具有耐熱性和耐化學(xué)性，因此可以在潔凈室中進(jìn)行廣泛的后處理。PowderMEMS技術(shù)特點(diǎn)“PowderMEMS可用于多種領(lǐng)域，包括MEMS傳感器、MEMS執(zhí)行器、MEMS能量收集器、微流控、微電子等。例如，它能夠在晶圓級集成多孔和磁性3D微結(jié)構(gòu)?！盕raunhoferISIT小組負(fù)責(zé)人Bj?rnGojdka博士表示。集成微磁體的MEMS能量收集器磁性PowderMEMS微結(jié)構(gòu)集成軟磁芯的微線圈“我們正在尋找一種解決方案，用于在溝槽中對粉末進(jìn)行保形高表面積涂層。Picosun的ALD解決方案非常適合我們的需求，同時也在研究擴(kuò)大該技術(shù)的生產(chǎn)規(guī)模。我們對該ALD系統(tǒng)的熱壁反應(yīng)器、多用途的前驅(qū)體源、易于維護(hù)等感到特別滿意。”FraunhoferISIT首席科學(xué)家ThomasLisec博士說道。Picosun歐洲公司總經(jīng)理ChristophHossbach博士表示：“我們對這項(xiàng)新技術(shù)的誕生及其帶來的所有機(jī)會感到興奮。我對FraunhoferISIT的PowderMEMS技術(shù)的潛在應(yīng)用印象特

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