半導(dǎo)體式氣敏傳感器工作機(jī)理_第1頁
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《傳感器與檢測技術(shù)》

項目二電阻式傳感器主講人:牛亞莉陜西交通職業(yè)技術(shù)學(xué)院半導(dǎo)體式氣敏傳感器工作機(jī)理一、什么是氣敏傳感器什么是氣敏傳感器?氣敏傳感器是用來檢測氣體類別、濃度和成分的傳感器。由于氣體種類繁多,性質(zhì)各不相同,不可能用一種傳感器檢測所有類別的氣體,因此,能實(shí)現(xiàn)氣-電轉(zhuǎn)換的傳感器種類很多,按構(gòu)成氣敏傳感器材料可分為半導(dǎo)體和非半導(dǎo)體兩大類。目前實(shí)際使用最多的是半導(dǎo)體氣敏傳感器。煙霧報警器酒精傳感器二氧化碳傳感器二、半導(dǎo)體式氣敏傳感器1、半導(dǎo)體式氣敏傳感器:利用半導(dǎo)體氣敏元件同氣體接觸,造成半導(dǎo)體的電導(dǎo)率等物理性質(zhì)發(fā)生變化的原理來檢測特定氣體的成分或者濃度2、材料:氣敏電阻的材料是金屬氧化物半導(dǎo)體;其中

P型:如氧化鈷、氧化鉛、氧化銅、氧化鎳等。N型:如氧化錫、氧化鐵、氧化鋅、氧化鎢等。合成材料有時還滲入了催化劑,如鈀(Pd)、鉑(Pt)、銀(Ag)等。半導(dǎo)體式氣敏傳感器工作機(jī)理二、半導(dǎo)體式氣敏傳感器是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化還原反應(yīng)導(dǎo)致敏感元件阻值變化而制成的。半導(dǎo)體氣敏材料吸附氣體的能力很強(qiáng)。當(dāng)半導(dǎo)體器件被加熱到穩(wěn)定狀態(tài),在氣體接觸半導(dǎo)體表面而被吸附時,被吸附的分子首先在表面物性自由擴(kuò)散,失去運(yùn)動能量,一部分分子被蒸發(fā)掉,另一部分殘留分子產(chǎn)生熱分解而固定在吸附處(化學(xué)吸附)。當(dāng)氧化型氣體吸附到N型半導(dǎo)體(SnO2,ZnO)上,還原型氣體吸附到P型半導(dǎo)體(CrO3)上時,將使半導(dǎo)體載流子減少,而使電阻值增大。當(dāng)還原型氣體吸附到N型半導(dǎo)體上,氧化型氣體吸附到P型半導(dǎo)體上時,則我流子增多,使半導(dǎo)體電阻值下降。半導(dǎo)體式氣敏傳感器工作機(jī)理輸出電壓與溫度的關(guān)系三、氣敏電阻的特性半導(dǎo)體式氣敏傳感器工作機(jī)理四、氣敏電阻式傳感器的工作

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