《高純銅鑄錠》送審稿

1YS/T919—××××高純銅鑄錠本文件規(guī)定了高純銅鑄錠的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于制造半導(dǎo)體、顯示等濺射靶材所需的高純銅鑄錠。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T5121.4銅及銅合金化學(xué)分析方法—第4部分：碳、硫含量的測定GB/T5121.8銅及銅合金化學(xué)分析方法—第8部分：氧、氮、氫含量的測定YS/T585銅及銅合金板材超聲波探傷方法YS/T922高純銅化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4產(chǎn)品分類高純銅鑄錠按化學(xué)成分分為四個(gè)牌號：Cu-7N、Cu-6N5、Cu-6N、Cu-5N。5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分高純銅鑄錠的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。需方對化學(xué)成分有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商，并在訂貨單中注明。表1高純銅鑄錠的化學(xué)成分2———B——————— 2—————————K———————————Na—Nb———NiP————U—V——————C111N1115O1115H1S1 15.2外形尺寸高純銅鑄錠形狀一般為圓柱型，直徑（D）大于150mm，長度（L）大于400mm。其外形尺寸及允許偏差由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。5.3外觀質(zhì)量3YS/T919—××××鑄錠表面應(yīng)潔凈，無裂紋、毛刺、夾雜、孔洞和其他沾污。5.4內(nèi)部質(zhì)量高純銅鑄錠內(nèi)部應(yīng)連續(xù)一致，無氣孔、疏松、縮孔和夾雜等缺陷。6試驗(yàn)方法6.1化學(xué)成分6.1.1高純銅鑄錠中金屬雜質(zhì)元素、硼、氯、磷的分析方法按照YS/T922的規(guī)定執(zhí)行。6.1.2高純銅鑄錠中氣體雜質(zhì)元素碳、硫的分析方法按照GB/T5121.4的規(guī)定執(zhí)行。6.1.3高純銅鑄錠中氣體雜質(zhì)元素氮、氧、氫的分析方法按照GB/T5121.8的規(guī)定執(zhí)行。6.2外形尺寸高純銅鑄錠的形狀和尺寸由相應(yīng)精度的量具檢測。6.3外觀質(zhì)量外觀質(zhì)量用目視檢測，如發(fā)現(xiàn)與本文件5.3規(guī)定不符，在10倍放大鏡下目視檢查。6.4內(nèi)部質(zhì)量高純銅鑄錠內(nèi)部缺陷檢查按照YS/T585的規(guī)定進(jìn)行。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。質(zhì)量異議應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起30天內(nèi)向供方提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方在需方共同取樣或協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批產(chǎn)品應(yīng)由同一系統(tǒng)、同一生產(chǎn)周期生產(chǎn)的同一牌號的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目高純銅鑄錠產(chǎn)品應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、外形尺寸、外觀質(zhì)量、內(nèi)部質(zhì)量的檢測。7.4取樣規(guī)則產(chǎn)品檢驗(yàn)項(xiàng)目的取樣應(yīng)符合表3規(guī)定。表3檢驗(yàn)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量47.5檢驗(yàn)結(jié)果判定7.5.1檢驗(yàn)結(jié)果的數(shù)值按GB/T8170的規(guī)定進(jìn)行修約，修約數(shù)位應(yīng)與本文件規(guī)定或供需雙方商定的極限數(shù)位一致，數(shù)值判定采用修約值比較法。7.5.2化學(xué)成分、外形尺寸、外觀質(zhì)量、內(nèi)部缺陷檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判定該錠不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯運(yùn)和隨行文件8.1標(biāo)志應(yīng)在檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品上至少標(biāo)記下列內(nèi)容：a)產(chǎn)品名稱；b)牌號；c)規(guī)格尺寸；d)凈重；e)批次；f)生產(chǎn)日期；g)企業(yè)名稱；h)生產(chǎn)廠家地址及電話。8.2包裝、運(yùn)輸和貯存8.2.1高純銅鑄錠獨(dú)立包裝，采用緩沖材料進(jìn)行表面包覆。外包裝采用木箱包裝，包裝箱內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。需方有特殊要求時(shí)，由供需雙方商定。8.2.2高純銅鑄錠在運(yùn)輸過程中應(yīng)防止碰撞、高處墜落、雨淋、接觸各種試劑，保證包裝完整。8.2.3高純銅鑄錠應(yīng)貯存于干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的倉庫中。8.3隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a)產(chǎn)品質(zhì)量保證書：l產(chǎn)品特點(diǎn)（包括制造工藝及原材料的特點(diǎn)）；l對產(chǎn)品質(zhì)量所負(fù)的責(zé)任；l產(chǎn)品獲得的質(zhì)量認(rèn)證及帶供方技術(shù)監(jiān)督部門檢印的各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果。b)產(chǎn)品合格證l檢驗(yàn)項(xiàng)目及其結(jié)果或檢驗(yàn)結(jié)論；l批量或批號；l檢驗(yàn)日期；l檢驗(yàn)員簽名或蓋章。5YS/T919—××××c)產(chǎn)品質(zhì)量控制過程中的檢驗(yàn)報(bào)告及成品檢驗(yàn)報(bào)告。d)產(chǎn)品使用說明：正確搬運(yùn)、使用、貯存方法等。e)