低溫泵說(shuō)明及操作

EAST0701EAST現(xiàn)有低溫泵分布：EAST11461臺(tái)。壓縮機(jī)型號(hào)均為HC-10，膨脹機(jī)型號(hào)均為MARATHON16。主抽管道：編號(hào)為P1.1、P1.2、P1.3、P1.4；上下偏濾器42臺(tái)。分別位置為：上AB窗口的P1.0EFP1.5IJP1.6MNP1.9ABP1.7MN窗口的P1.8；低雜波冷泵：編號(hào)為P1A，位于低雜波天線箱體上方。運(yùn)行條件〔水電氣〕冷卻水低溫泵單獨(dú)使用冷卻循環(huán)水，供、回水閥門均接于裝置下方供水環(huán)管。從下環(huán)管進(jìn)水，回水到上環(huán)管。保證水溫低于或者保持為25供電從抽氣掌握柜將低溫泵的壓縮機(jī)的電源合上，并保證低溫泵再生電源也合上。供氣低溫泵與裝置連通閥門與再生角閥的供氣為一一配對(duì)供氣，氣壓要求為4.6公斤〔上3.5－4.9公斤。運(yùn)行裝置在不同階段對(duì)低溫泵的運(yùn)行任何狀況下，翻開(kāi)低溫泵閥門時(shí)，要盡量保證兩面氣壓相差不大。在粗抽真空階段，可以翻開(kāi)低溫泵的閥門，但低溫泵不運(yùn)行。在進(jìn)入烘烤期間，主要依靠低溫泵去除水汽。在輝光、氦射頻清洗期間，應(yīng)當(dāng)關(guān)閉閥門。在等離子體放電期間，應(yīng)當(dāng)翻開(kāi)閥門。在試驗(yàn)完畢后，應(yīng)當(dāng)關(guān)閉閥門，并對(duì)其進(jìn)展再生后停頓運(yùn)行，向泵腔內(nèi)放清潔氮?dú)?。啟?dòng)膨脹機(jī)空腔氣壓到達(dá)或者低于5.0E-2torr(6.6Pa)可以啟動(dòng)開(kāi)冷卻水，確認(rèn)對(duì)應(yīng)閥門處于關(guān)態(tài)，供電；壓縮機(jī)〔HC-10〕上He211-215psig(14.6－14.8bar)；巡檢：將壓縮機(jī)兩個(gè)掌握電源開(kāi)關(guān)合上按Display對(duì)低溫泵預(yù)備狀態(tài)進(jìn)展巡檢，一切正常的話都應(yīng)當(dāng)顯示為OK。如有消滅ERR的狀況，請(qǐng)依據(jù)面板上的提示(“水溫高理。按下壓縮機(jī)面板上的“ON。假設(shè)泵長(zhǎng)時(shí)間沒(méi)運(yùn)行，可能開(kāi)頭的時(shí)候搖擺幅度范圍比較小，但節(jié)奏應(yīng)當(dāng)都為每秒2次左右，此時(shí)在膨脹機(jī)四周可明確的聽(tīng)到氣流閥切換的節(jié)奏聲。在遠(yuǎn)控時(shí)，應(yīng)當(dāng)保證現(xiàn)場(chǎng)能正常啟動(dòng)后切換至遠(yuǎn)控。16K13K，就可以翻開(kāi)對(duì)應(yīng)的閥門抽氣。監(jiān)測(cè)信息采集到掌握室，可以很明白的觀看到低溫泵冷頭溫度的變化；每臺(tái)泵上均裝有DL-7規(guī)管，必要時(shí)關(guān)閉低溫泵閥門，對(duì)泵的真空極限進(jìn)展測(cè)量。安全保護(hù)5E-2Pa冷頭溫度高于連鎖保護(hù)設(shè)定值時(shí)關(guān)閉閥門；對(duì)內(nèi)真空充氦氣前，或輝光前需要關(guān)閉低溫泵閥門；假設(shè)在泵運(yùn)行期間消滅突然停電或斷水，而影響泵的正常運(yùn)行時(shí)，應(yīng)隨即關(guān)閉對(duì)應(yīng)的閥門，以防由于溫度的上升而向真空室里釋放氣體。再關(guān)閉對(duì)應(yīng)的掌握開(kāi)關(guān)。停泵在預(yù)備停泵時(shí)，先關(guān)閉對(duì)應(yīng)的閥門，再按下壓縮機(jī)面板上的關(guān)閉按鈕或遠(yuǎn)控停頓壓縮機(jī)。再生：需要進(jìn)展再生的狀況：當(dāng)在正常狀況下〔排解烘烤對(duì)其的影響，低溫泵在運(yùn)行期間的冷頭溫度超過(guò)20且呈上升趨勢(shì)。而且關(guān)閉對(duì)應(yīng)的閥門后，溫度并沒(méi)回到16K以下；的時(shí)候；泵在運(yùn)行一段時(shí)間后，通過(guò)開(kāi)關(guān)相應(yīng)閥門觀看總、分壓推斷出整體抽速很小狀況下；為了防止意外狀況發(fā)生，在低溫泵運(yùn)行超過(guò)10天后就應(yīng)當(dāng)對(duì)其再生；再生操作流程：目前低溫泵再生的干泵共有兩臺(tái)，主抽管道上P1.1、P1.2、P1.3、P1.4VarianP10C，其余低溫泵共用一臺(tái)LBP10A；關(guān)閉相應(yīng)閥門，將需再生的低溫泵與真空室隔離。270K即可。翻開(kāi)再生閥，用干泵通過(guò)泵的再生口的閥門對(duì)泵腔進(jìn)展抽氣。利用冷泵自帶加熱帶烘烤泵體，通過(guò)加熱帶上的旋鈕調(diào)整功率，溫度不大于80度，3小時(shí)。2—3泵抽至肯定的真空〔泵腔內(nèi)真空度參考值50mtorr約6.6P小閥門，關(guān)閉干泵。啟動(dòng)低溫泵，正常狀況下約2.5小時(shí)左右，冷頭溫度就應(yīng)當(dāng)降到工作溫度〔13K左右或更低。*留意：在低溫泵運(yùn)行期間肯定要將再生閥關(guān)閉，以防倒吸氣；用LB303位置；分散水；起再生；7.低溫泵維護(hù)當(dāng)壓縮機(jī)上He壓力表的讀數(shù)不在正常工作范圍內(nèi)〔211-215psig，即14.6-14.8bar〕時(shí)，就應(yīng)當(dāng)對(duì)其進(jìn)展補(bǔ)氣或放氣，以使其在正常工作的范圍內(nèi)。附錄一：低溫泵對(duì)氦氣的吸附作用影響漏率標(biāo)定〔2023412號(hào)觀看的現(xiàn)象〕411日狀況上午10點(diǎn)多標(biāo)定內(nèi)真空漏率系數(shù)，三臺(tái)低溫泵閥門為開(kāi)啟狀態(tài)，國(guó)產(chǎn)北京科儀檢漏儀，高靈敏度檔，在關(guān)閉漏孔后消滅本底三小時(shí)未回到開(kāi)漏孔前的狀態(tài)。412日在低溫泵閥門翻開(kāi)和關(guān)閉條件下標(biāo)定內(nèi)真空漏率系數(shù)。關(guān)閉三臺(tái)低溫泵閥門狀況下：16：10關(guān)內(nèi)真空三臺(tái)低溫泵閥門，國(guó)產(chǎn)北京科儀檢漏儀，高靈敏度檔，測(cè)內(nèi)真空本底為1.8E-8Pam3/s。16：252.0E-6Pam3/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，過(guò)檔，約三分鐘后開(kāi)頭回落。16：451.0E-7Pam3/s，關(guān)閉標(biāo)準(zhǔn)漏孔。16：552.6E-7Pam3/s。16：582.0E-7Pam3/s。開(kāi)三臺(tái)低溫泵閥門狀況下：17：05開(kāi)內(nèi)真空三臺(tái)低溫泵，檢漏儀同樣條件測(cè)內(nèi)真空本底為0.8E-8Pam3/s。17：12102.4E-7Pam3/s。17：165.0E-8Pam3/s，關(guān)標(biāo)準(zhǔn)漏孔。2.0E-8Pam3/s，半小時(shí)內(nèi)未見(jiàn)由下降，便關(guān)閉檢漏口閥門。附錄二：低溫泵對(duì)氦氣的吸附作用導(dǎo)致對(duì)裝置持續(xù)放氦氣〔2023416號(hào)觀看的現(xiàn)象〕為了推斷GDCE-2分以氦氣為主。當(dāng)時(shí)東冷泵和低雜波冷泵閥門均未關(guān)。此后觀看到內(nèi)真空有氦源持續(xù)向真空室放氣。先關(guān)閉全部冷泵閥門，再逐臺(tái)開(kāi)啟和關(guān)閉三臺(tái)低溫泵閥門。從質(zhì)譜推斷：顯變化；翻開(kāi)閥