JJG（軍工）165-2019真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔

JJG(軍工)165—2019真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔 JJG(軍工)165—2019L前言 Ⅱ 2引用文件 3術(shù)語(yǔ)和定義 4概述 4.2構(gòu)造 4.3用途 25計(jì)量性能要求 25.1漏率示值誤差 25.2漏率重復(fù)性 26通用技術(shù)要求 26.1外觀及附件 26.2工作正常性 27計(jì)量器具控制 27.1檢定條件 27.2檢定項(xiàng)目 7.3檢定方法 37.4檢定結(jié)果的處理 77.5檢定周期 7附錄A定容法真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定記錄格式 8附錄B動(dòng)態(tài)比較法真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定記錄格式 9附錄C靜態(tài)累積法真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定記錄格式 附錄D真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定證書(shū)內(nèi)頁(yè)格式 附錄E真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定結(jié)果通知書(shū)內(nèi)頁(yè)格式 JJG(軍工)165—2019I本檢定規(guī)程的編制參考JJF(軍工)2—2012《國(guó)防軍工計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》及JJF(軍工)6—2014《國(guó)防軍工計(jì)量技術(shù)規(guī)范審查規(guī)范》。本檢定規(guī)程替代JJF(軍工)23—2015《(1×10-8～1×1014)Pam3/s真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)規(guī)范》。本檢定規(guī)程與JJF(軍工)23—2015比較，有下列變化：1.將適用的漏率范圍由(1×108～1×1014)Pam3/s修訂為(1×10-～5×10-13)Pam3/s;2.檢定方法在保留原有動(dòng)態(tài)比較法和靜態(tài)累積比較法的基礎(chǔ)上，擴(kuò)充了定容法。JJG(軍工)165—2019真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定規(guī)程1范圍本規(guī)程適用于漏率測(cè)量范圍為(5×10-13～1×10*)Pam3/s的真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。2引用文件本規(guī)程引用了下列文件：GB/T3163真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)GB/T4844純氨、高純氨和超純氨GB/T8979純氮、高純氮和超純氮凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)程；凡不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)程。3術(shù)語(yǔ)和定義JJF1001和GB/T3163界定的及以下術(shù)語(yǔ)和定義適用于本規(guī)程。3.1真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔VacuumStandardLeak在出口壓力低于1kPa,入口壓力大于出口壓力條件下，提供已知恒定漏率的一種標(biāo)準(zhǔn)漏孔。4概述4.1原理真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔根據(jù)漏氣元件漏氣原理不同，可以分為滲透型真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔和通道型真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔兩種。滲透型真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用某些物質(zhì)對(duì)某種氣體有較高的滲透性而制造的，從而對(duì)特定氣體產(chǎn)生恒定漏率的一種真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔。通道型真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用具有物理節(jié)流的通道，如金屬毛細(xì)管、玻璃-鉑金絲毛細(xì)管、金屬壓扁毛細(xì)管、粉末燒結(jié)和微孔板等而制造的，能讓所有氣體成分以微小流量通過(guò)，從而產(chǎn)生恒定漏率的一種真空標(biāo)準(zhǔn)漏真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔一般由漏孔元件、氣室、漏孔閥、充氣閥和連接件等組成，結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。2414535lJJG(軍工)165—201924.3用途真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔主要用于氣體泄漏檢測(cè)工作中產(chǎn)生己知恒定漏率的標(biāo)定。5計(jì)量性能要求5.1漏率示值誤差真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率示值誤差見(jiàn)表1。5.2漏率重復(fù)性真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率重復(fù)性要求見(jiàn)表1。漏率范圍檢定項(xiàng)目(5×10-13～1×10~?)Pam3/sPam3/s(5×10?~1×10+)Pam3/s誦率示值誤差漏率重復(fù)性注：漏率為1×10?Pam3/s時(shí)，漏率示值誤差為±60%,漏吊重復(fù)性為10%;漏率為5×10~Pam1/s時(shí)，洞率示值識(shí)差為±30%,漏率重復(fù)性為3%。6通用技術(shù)要求6.1外觀及附件a)被檢真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氣室、漏孔閥和連接件完好，無(wú)影響正常工作的機(jī)械損傷；b)被檢真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔的型號(hào)、名稱、出廠編號(hào)、標(biāo)稱值、制造廠等標(biāo)識(shí)齊全；c)被檢真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔附件齊全，包括使用說(shuō)明書(shū)和上個(gè)周期檢定證書(shū)。6.2工作正常性被檢真空標(biāo)準(zhǔn)混孔接入標(biāo)準(zhǔn)裝置，在真空狀態(tài)下，漏孔閥開(kāi)啟和關(guān)閉后，標(biāo)準(zhǔn)裝置給出的漏率信號(hào)具有明顯變化。7計(jì)量器具控制7.1檢定條件檢定設(shè)備應(yīng)經(jīng)過(guò)計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)檢定合格，并在有效期內(nèi)。主要檢定設(shè)備包括：a)(5×10-13～5×10°)Pam3/s氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置；b)(4.9×10-10～5.1×10-?)Pam3/s氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置c)(5.1×10-?~10)Pam3/s氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置 3d)真空漏率標(biāo)準(zhǔn)裝置e)標(biāo)準(zhǔn)漏孔比較法標(biāo)準(zhǔn)裝置f)溫度計(jì)1)溫度范圍：15℃~30℃;2)分度值：0.1℃。g)檢定氣體1)檢定用氨氣應(yīng)滿足GB/T4844“合格品”的要求；2)檢定用氮?dú)鈶?yīng)滿足GB/T8979“合格品”的要求。7.1.2環(huán)境條件環(huán)境條件要求如下：a)環(huán)境溫度：23℃±3℃,檢定過(guò)程中溫度波動(dòng)不大于1℃/h;b)相對(duì)濕度：不大于80%;c)其他：周圍不得有影響測(cè)量結(jié)果的電、磁場(chǎng)、振動(dòng)等干擾。7.2檢定項(xiàng)目真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔的檢定項(xiàng)目見(jiàn)表2。序號(hào)檢定項(xiàng)目首次檢定后續(xù)檢定使用中檢查外觀及附件+++2工作正常性十++3漏率示值誤差+十+4溜率重復(fù)性+++7.3檢定方法7.3.1外觀及附件用目視方法檢查，外觀及附件應(yīng)符合6.1的要求。用手動(dòng)方法檢查，工作正常性應(yīng)符合6.2的要求。7.3.3漏率示值誤差JJG(軍工)165—20194定容法漏率示值誤差檢定按以下步驟進(jìn)行。5564782391—穩(wěn)壓室：2,4,6,8—悶門(mén)：3—標(biāo)準(zhǔn)容積；5—真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔；7—定容室：9—抽氣機(jī)組：10—真空計(jì)a)按圖2連接真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔；b)采用靜態(tài)膨脹法，將標(biāo)準(zhǔn)容積和穩(wěn)壓室內(nèi)的氣體膨脹到定容室，測(cè)量連接真空標(biāo)c)標(biāo)準(zhǔn)漏孔閥處于關(guān)閉狀態(tài)下，采用靜態(tài)升壓法，測(cè)量給定時(shí)間段內(nèi)真空計(jì)顯示的定容室壓力變化值，由公式(1)計(jì)算定容室的本底漏放氣速率值：d)真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔開(kāi)啟后，采用靜態(tài)升壓法，測(cè)量給定時(shí)間段內(nèi)真空計(jì)顯示的定容室壓力變化值，由公式(2)計(jì)算出單次測(cè)量獲得的真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率值：e)重復(fù)步驟c)～d)多次，測(cè)量次數(shù)n不小于6次；f)采用公式(3)計(jì)算多次測(cè)量獲得的被檢定真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率平均值：5σ被檢定真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率平均值，Pam3/s;g)采用公式(4)計(jì)算真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率示值誤差，其結(jié)果應(yīng)符合5.1的要求E——測(cè)量獲得的真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率示值誤差；Oc被檢定真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率標(biāo)稱值，Pam3/s。7.3.3.2動(dòng)態(tài)比較法動(dòng)態(tài)比較法漏率示值誤差檢定按以下步驟進(jìn)行。5213789a)按圖3連接真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔；b)采用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔和流量計(jì)米開(kāi)啟條件下的質(zhì)譜室本底離子流；c)開(kāi)啟真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔后，采用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量動(dòng)態(tài)條件下質(zhì)譜室穩(wěn)定離子流信號(hào)值；d)開(kāi)啟流量計(jì)后，采用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量動(dòng)態(tài)條件下質(zhì)譜室離子流信號(hào)值，應(yīng)確保此時(shí)獲得的質(zhì)譜室離子流信號(hào)值與步驟c)獲得的質(zhì)譜室離子流信號(hào)值在同一個(gè)數(shù)量級(jí)范圍；e)采用公式(5)計(jì)算單次測(cè)量獲得的真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率值：JJG(軍工)165—20196h——真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔開(kāi)啟后，質(zhì)譜計(jì)給出的質(zhì)譜室穩(wěn)定離子流信號(hào)值，A;o——真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔和流量計(jì)未開(kāi)啟時(shí)，質(zhì)譜計(jì)給出的質(zhì)譜室本底離子流信號(hào)值，A;f)重復(fù)步驟b)～e),采用公式(4)計(jì)算真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率示值誤差，其結(jié)果應(yīng)符7.3.3.3靜態(tài)累積比較法靜態(tài)累積比較法漏率示值誤差檢定檢定按以下步驟進(jìn)行：556347192a)按圖4連接真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔；b)關(guān)閉抽氣機(jī)組，啟動(dòng)選擇性抽氣泵；c)采用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量一定時(shí)間段內(nèi)，真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔和流量計(jì)未開(kāi)啟條件下，靜態(tài)累積獲得的質(zhì)譜室本底離子流上升率；d)真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔開(kāi)啟后，采用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量一定時(shí)間段內(nèi)，靜態(tài)累積獲得的質(zhì)譜室離e)流量計(jì)開(kāi)啟后，采用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量一定時(shí)間段內(nèi)，靜態(tài)累積獲得的質(zhì)譜室離子流上升率值，應(yīng)確保此時(shí)獲得的質(zhì)譜室離子流上升值與步驟d)獲得的質(zhì)譜室離子流上升值在同f)采用公式(6)計(jì)算單次測(cè)量獲得的真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率值： 7RtA/s;R?——真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔開(kāi)啟后，質(zhì)譜計(jì)給出的質(zhì)譜室離子流上升率值，A/s;Rs——流量計(jì)開(kāi)啟后，質(zhì)譜計(jì)給出的質(zhì)譜室離子流上升率值，A/s。g)重復(fù)步驟b)～f),采用公式(4)計(jì)算真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率示值誤差，其結(jié)果應(yīng)符7.3.4漏率重復(fù)性采用公式(7)計(jì)算被檢定真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率重復(fù)性。7.4檢定結(jié)果的處理檢定合格的真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔出具檢定證書(shū)；檢定不合格的真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔出具檢定結(jié)果通知書(shū)，并注明不合格項(xiàng)。7.5檢定周期真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定周期一般不超過(guò)12個(gè)月。JJG(軍工)165—20198定容法真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定記錄格式檢定證書(shū)編號(hào)接收日期檢定日期檢定地點(diǎn)環(huán)境溫度相對(duì)濕度檢定氣體真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔制造商型號(hào)/規(guī)格出廠編號(hào)檢定規(guī)程操作規(guī)程檢定裝置上個(gè)周期檢定漏率主標(biāo)準(zhǔn)器主標(biāo)準(zhǔn)器名稱控制單元型號(hào)/編號(hào)傳感器型號(hào)/編號(hào)證書(shū)號(hào)真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率測(cè)量測(cè)量次數(shù)累積時(shí)間/s累積開(kāi)始時(shí)定容室壓力值(Pa)累積結(jié)束時(shí)定容室壓力值(Pa)氣室壓力值(Pa)單次漏率測(cè)量值(Pam3/s)漏率示值誤養(yǎng)123456真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率標(biāo)稱值/Pam3/s真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率示值誤差/%真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔涌率平均值/Pam3/s真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率重復(fù)性/%檢定項(xiàng)目外觀及附件工作正常性漏率示值誤差泥率重復(fù)性檢定結(jié)論檢定人易核驗(yàn)人員備注JJG(軍工)165—20199動(dòng)態(tài)比較法真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定記錄格式檢定證書(shū)編號(hào)接收日期檢定日期檢定地點(diǎn)環(huán)境溫度相對(duì)濕度檢定氣體真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔制造商型號(hào)/規(guī)格出廠編號(hào)檢定規(guī)程換作規(guī)程檢定裝置上個(gè)周期檢定漏率主標(biāo)準(zhǔn)器主標(biāo)準(zhǔn)器名稱控制單元型號(hào)/編號(hào)傳感器型號(hào)/編號(hào)證書(shū)號(hào)真空標(biāo)準(zhǔn)瀝孔漏率測(cè)量測(cè)量次數(shù)本底離子真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔引入離子流(A)流量計(jì)引入離子流(A)流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)流量(Pam3/s)氣室壓力值(Pa)單次漏率測(cè)量值(Pam3/s)漏率示值誤差(%)123456真空標(biāo)準(zhǔn)瀝孔漏率標(biāo)稱值/Pam3/s真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率示值誤差/%真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔渦率平均值/Pam3/s真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率重復(fù)性/%檢定項(xiàng)目外觀及附件工作正常性漏率示值誤差漏率重復(fù)性檢定結(jié)論檢定人員核驗(yàn)人員備注 靜態(tài)累積比較法真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定記錄格式檢定證書(shū)編號(hào)接收日期檢定日期檢定地點(diǎn)環(huán)境溫度相對(duì)濕度檢定氣體真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔制造商型號(hào)/規(guī)格出廠編號(hào)檢定規(guī)程操作規(guī)程檢定裝置上個(gè)周期檢定漏率主標(biāo)準(zhǔn)器主標(biāo)準(zhǔn)器名稱控制單元型號(hào)/編號(hào)傳感器型號(hào)/編號(hào)證書(shū)號(hào)真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔滑率測(cè)量測(cè)量次數(shù)本底離子流上升率(A/s)真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔引入離子流上升率(A/s)流量計(jì)引入離子流上升率量(Pam3/s)氣室壓力值(Pa)單次漏率測(cè)量值漏率示俏誤差(%)123456真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔泥率標(biāo)稱值/Pam3s真空標(biāo)準(zhǔn)溫孔漏率示值誤差/%真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率平均值/Pam3/s真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率重復(fù)性/%檢定項(xiàng)日外觀及附件工作正常性漏率示值誤差漏率重復(fù)性檢定結(jié)論檢定人員核驗(yàn)