射頻阻抗材料分析儀校準(zhǔn)規(guī)范

射頻阻抗/材料分析儀校準(zhǔn)規(guī)范此方法源于高頻電流-電壓法，流經(jīng)被測(cè)件的電流通過(guò)不平衡-平衡變換器轉(zhuǎn)換成電25計(jì)量特性5.1.2頻率準(zhǔn)確度：優(yōu)于1.0×10-?5.2.2直流電壓最大允許誤差：讀值的0.1%+4mV5.3.2相位測(cè)量范圍：-180℃~+180℃5.3.3阻抗、導(dǎo)納最大允許誤差：1%～10%5.3.4相位最大允許誤差：(0.01～0.1)r相對(duì)濕度：≤70%RH周圍應(yīng)保持整潔，無(wú)影響正常工作的機(jī)械振動(dòng)及電磁干擾。6.2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器具和其他設(shè)備6.2.2數(shù)字多用表參考頻率范圍：應(yīng)能覆蓋被校儀器的頻率范圍。帶內(nèi)導(dǎo)體開路器：0.63(1±5%)pF(1MHz) 3最大允許誤差：±(0.3～1.0)%(1MHz~3.0GHz)參考阻抗值：00開路無(wú)支撐空氣線：7.3(1±5%)pF(1MHz)參考阻抗值：60～22kΩ短路無(wú)支撐空氣線：18.0(1±5%)nH(1MHz)7.1工作正常性檢查被校儀器應(yīng)結(jié)構(gòu)完整并無(wú)影響正常工作的機(jī)械損傷，通電檢查儀器能正常工作，測(cè)試臺(tái)應(yīng)能正常接插校準(zhǔn)件。被校儀器有明晰的型號(hào)、生產(chǎn)編號(hào)，送校時(shí)應(yīng)附有使用說(shuō)明7.2頻率示值的校準(zhǔn)7.2.1頻率準(zhǔn)確度的校準(zhǔn)是用頻率計(jì)測(cè)量激勵(lì)信號(hào)為頻率校準(zhǔn)點(diǎn)時(shí)的實(shí)際頻率。該校7.2.2如圖2連接測(cè)試儀器。將頻率計(jì)讀值與分析儀設(shè)置值的差值記入表A1中。7.3信號(hào)電平準(zhǔn)確度的校準(zhǔn)7.3.1如圖3-1、3-2連接測(cè)試儀器。測(cè)試頻率點(diǎn)和信號(hào)電平的選取按儀器技術(shù)說(shuō)明 4呂呂0呂呂0APCAPC-7轉(zhuǎn)接頭呂口頻率計(jì)8001圖2頻率準(zhǔn)確度校準(zhǔn)連接圖射頻阻抗/材料分析儀射頻阻抗/材料分析儀功率計(jì)APC-7轉(zhuǎn)接頭呂nAPC-7轉(zhuǎn)接頭注：對(duì)有些阻抗分析儀來(lái)說(shuō)，信號(hào)電平(OSCLevel)準(zhǔn)確度校準(zhǔn)必須在常溫和高溫的高、低阻抗測(cè)試頭上都進(jìn)行。高溫高、低阻抗測(cè)試頭信號(hào)電平(OSCLevel)準(zhǔn)確度的校準(zhǔn)可根據(jù)用戶的要求選做。將功率計(jì)的讀值與阻抗分析儀設(shè)置值的差值記入表A2中。7.4.1如圖4-1、4-2連接測(cè)試儀器。直流偏置電壓的選取按技術(shù)說(shuō)明書中的規(guī)定。注：包含高、低阻抗測(cè)試頭的射頻阻抗分析儀，直流偏置電壓準(zhǔn)確度的校準(zhǔn)可在常溫和高溫的高、低阻抗測(cè)試頭之一種上進(jìn)行。將數(shù)字多用表的讀值與阻抗分析儀設(shè)置值的差值記入表A3中。5呂品呂品呂品呂品琵n7.5阻抗測(cè)量示值的校準(zhǔn)7.5.1使用前的自校準(zhǔn)依次將儀器本身所配備的02、0S、500、低耗電容器連接到APC-7測(cè)試頭，對(duì)阻抗分析儀進(jìn)行使用前的校準(zhǔn)，建立正常工作狀態(tài)。7.5.2“帶內(nèi)導(dǎo)體開路器”進(jìn)行阻抗測(cè)量示值的校準(zhǔn)按圖5將“帶內(nèi)導(dǎo)體開路器”連接到阻抗分析儀的APC-7測(cè)試頭上。阻抗分析儀測(cè)量參數(shù)設(shè)置為|Y|,信號(hào)電平(OSCLevel)和頻率點(diǎn)的選取按照技術(shù)說(shuō)明書中的要求設(shè)置。測(cè)量后將阻抗分析儀1YI的顯示值與“帶內(nèi)導(dǎo)體開路器”校準(zhǔn)值之差記入表A47.5.3“短路器”進(jìn)行阻抗測(cè)量示值的校準(zhǔn)按圖6將“短路器”連接到阻抗分析儀的APC-7測(cè)試頭上。阻抗分析儀測(cè)量參數(shù)設(shè)置為1Zl,信號(hào)電平(OSCLevel)和頻率點(diǎn)的選取按照技術(shù)說(shuō)明書中的要求設(shè)置。測(cè) 6量后將阻抗分析儀IZ|的顯示值與“短路器”校準(zhǔn)值之差記入表A5中。7.5.4“50Ω負(fù)載”進(jìn)行阻抗測(cè)量示值的校準(zhǔn)按圖7將“50Ω負(fù)載”連接到阻抗分析儀的APC-7測(cè)試頭上。阻抗分析儀測(cè)量參數(shù)設(shè)置為|Zl-θ,信號(hào)電平(OSCLevel)和頻率點(diǎn)的選取按照技術(shù)說(shuō)明書中的要求設(shè)置。測(cè)量后將阻抗分析儀IZl-θ的顯示值與“50Ω負(fù)載”校準(zhǔn)值之差記入表A6中。7.5.5“開路無(wú)支撐空氣線”進(jìn)行阻抗測(cè)量示值的校準(zhǔn)按圖8將“開路無(wú)支撐空氣線”連接到阻抗分析儀的APC-7測(cè)試頭上。阻抗分析儀測(cè)量參數(shù)設(shè)置為|Zl-θ,信號(hào)電平(OSCLevel)和頻率點(diǎn)的選取按照技術(shù)說(shuō)明書中的要求設(shè)置。測(cè)量后將阻抗分析儀|Zl-θ的顯示值與“開路無(wú)支撐空氣線”校準(zhǔn)值之差記入表A7中。7.5.6“短路無(wú)支撐空氣線”進(jìn)行阻抗測(cè)量示值的校準(zhǔn)7 0儀測(cè)量參數(shù)設(shè)置為|Zl-θ,信號(hào)電平(OSCLevel)和頻率點(diǎn)的選取按照技術(shù)說(shuō)明書中差記入表A8中?？诙搪菲?校準(zhǔn)結(jié)果用校準(zhǔn)證書或校準(zhǔn)報(bào)告表達(dá)，證書或報(bào)告中至少應(yīng)有所校項(xiàng)目的校準(zhǔn)不確復(fù)校時(shí)間用戶可根據(jù)使用情況決定，建議復(fù)校時(shí)間間隔為1年。9注：誤差限應(yīng)按說(shuō)明書要求區(qū)分出高阻抗頭和低阻抗頭及針對(duì)不同信號(hào)電平列出。注：誤差限應(yīng)按說(shuō)明書要求區(qū)分出高阻抗頭和低阻抗頭及針對(duì)不同信號(hào)電平列出。 θ