PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程

PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程1安全警告設(shè)備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危險(xiǎn)嚴(yán)禁無(wú)關(guān)人員和小孩進(jìn)入機(jī)器黃色區(qū)域機(jī)器運(yùn)行時(shí)，嚴(yán)禁拔出微波銅天線，嚴(yán)禁拆設(shè)備任何部件。否則可能帶來(lái)微波輻射和高壓電擊等危險(xiǎn)未經(jīng)培訓(xùn)和許可嚴(yán)禁操作設(shè)備，不正確操作設(shè)備可能損壞設(shè)備，嚴(yán)禁亂操作計(jì)算機(jī)4/1/202421安全警告設(shè)備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危2安全與標(biāo)識(shí)威脅人身傷亡或健康微波輻射危險(xiǎn)微波泄露限制：根據(jù)最新科學(xué)研究和世界許多國(guó)家執(zhí)行規(guī)定，距易接近設(shè)備部件5cm處微波泄漏小于5mw/cm2熱的表面4/1/202432安全與標(biāo)識(shí)威脅人身傷亡或健康3/31/20243

觸電危險(xiǎn)戴防護(hù)眼鏡戴防護(hù)手套4/1/20244觸電危險(xiǎn)3/31/202443開機(jī)開總電源啟動(dòng)計(jì)算機(jī)檢查冷卻水檢查氣源啟動(dòng)“system”程序4/1/202453開機(jī)開總電源3/31/202453.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復(fù)位，如末復(fù)位拉出復(fù)位4/1/202463.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復(fù)位，如末復(fù)位拉出

向右轉(zhuǎn)動(dòng)主電源斷路器手柄復(fù)位，然后向左轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，主電源合閘機(jī)器上指示燈、溫控儀表點(diǎn)亮可確認(rèn)總電源已開啟4/1/20247向右轉(zhuǎn)動(dòng)主電源斷路器手柄復(fù)位，然后向左轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，主電源合閘3.2啟動(dòng)計(jì)算機(jī)輕壓一下工控機(jī)主機(jī)上“POWER”按鈕，計(jì)算機(jī)啟動(dòng)WIN-NT4/1/202483.2啟動(dòng)計(jì)算機(jī)輕壓一下工控機(jī)主機(jī)上“POWER”按鈕，計(jì)3.3檢查冷卻水冷卻水壓力應(yīng)在4kg/cm2--6kg/cm2范圍內(nèi)先打開冷卻水出水閥，然后打開進(jìn)水閥4/1/202493.3檢查冷卻水冷卻水壓力應(yīng)在4kg/cm2--6kg/c

檢查、調(diào)節(jié)水流量計(jì)，ww1--4為10L/min,ww5--6為6L/min，ww7--12為2.5L/min(設(shè)備人員調(diào)節(jié))4/1/202410檢查、調(diào)節(jié)水流量計(jì)，ww1--4為10L/min,3.4檢查氣源打開壓縮空氣閥，壓縮空氣為5kg/cm2--7kg/cm2打開氮?dú)忾y，氮?dú)鈮毫π∮?kg/cm24/1/2024113.4檢查氣源打開壓縮空氣閥，壓縮空氣為5kg/cm2-3.5啟動(dòng)“system”程序用鼠標(biāo)左鍵雙擊Win-nt桌面“system”圖標(biāo)啟動(dòng)后登入自己使用權(quán)限帳號(hào)4/1/2024123.5啟動(dòng)“system”程序用鼠標(biāo)左鍵雙擊Win-nt4選擇工藝單、生產(chǎn)開真空泵，預(yù)加熱啟動(dòng)指定工藝檢查工藝運(yùn)行情況放置空石墨框進(jìn)行傳動(dòng)狀態(tài)測(cè)試工藝調(diào)試，生產(chǎn)4/1/2024134選擇工藝單、生產(chǎn)開真空泵，預(yù)加熱3/31/2024134.1開真空泵，預(yù)加熱檢查機(jī)器無(wú)故障顯示后，開真空泵加熱腔和反應(yīng)腔預(yù)加熱當(dāng)反應(yīng)腔真空壓力小于1.0e-2mbar,溫度達(dá)到預(yù)設(shè)定的值，方可啟動(dòng)工藝4/1/2024144.1開真空泵，預(yù)加熱檢查機(jī)器無(wú)故障顯示后，開真空泵3/34.2啟動(dòng)指定工藝打開墻壁氣箱中特氣閥點(diǎn)擊“control”控制按鈕，“technology”框中選擇規(guī)定的工藝單后，加載“l(fā)oad”,啟動(dòng)工藝“start”，在“transp-ortation”框啟動(dòng)傳動(dòng)4/1/2024154.2啟動(dòng)指定工藝打開墻壁氣箱中特氣閥3/31/202414.3檢查工藝運(yùn)行情況過(guò)程狀態(tài)畫面框顯示過(guò)程執(zhí)行“processrunning”壓力控制微波開啟特氣開啟以上條件滿足方可啟動(dòng)工藝4/1/2024164.3檢查工藝運(yùn)行情況過(guò)程狀態(tài)畫面框顯示過(guò)程執(zhí)行“proc4.4傳動(dòng)狀態(tài)測(cè)試在機(jī)器裝載口平穩(wěn)放置空石墨框進(jìn)行傳動(dòng)狀態(tài)測(cè)試4/1/2024174.4傳動(dòng)狀態(tài)測(cè)試在機(jī)器裝載口平穩(wěn)放置空石墨框進(jìn)行傳動(dòng)狀態(tài)4.5進(jìn)行工藝調(diào)試，生產(chǎn)放入裝有需加工硅片的石墨框進(jìn)行工藝調(diào)試，生產(chǎn)在機(jī)器口放置、檢查好石墨框后按壓黑色準(zhǔn)備好按鈕，機(jī)器傳動(dòng)才執(zhí)行帶上高溫手套，及時(shí)從機(jī)器出口平穩(wěn)拿出石墨框4/1/2024184.5進(jìn)行工藝調(diào)試，生產(chǎn)放入裝有需加工硅片的石墨框進(jìn)行工5停機(jī)停止工藝運(yùn)行關(guān)墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃關(guān)掉真空泵,向機(jī)器腔體沖入凈化N2退出控制程序“system”,關(guān)主電源關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)?、冷卻水4/1/2024195停機(jī)停止工藝運(yùn)行3/31/2024195.1停止工藝運(yùn)行鼠標(biāo)點(diǎn)擊“control”按鈕，彈出下拉菜單點(diǎn)擊工藝“stop”按鈕點(diǎn)擊傳動(dòng)“stop”按鈕4/1/2024205.1停止工藝運(yùn)行鼠標(biāo)點(diǎn)擊“control”按鈕，彈出下拉5.2關(guān)墻壁氣箱中特氣閥，特氣管路吹掃關(guān)上位于墻壁氣箱中特氣閥通知經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的設(shè)備人員進(jìn)行特氣管路吹掃4/1/2024215.2關(guān)墻壁氣箱中特氣閥，特氣管路吹掃關(guān)上位于墻壁氣箱中特5.3關(guān)掉真空泵，向腔體沖入N2進(jìn)入“system”狀態(tài)畫面，點(diǎn)擊“pumps”控制按鈕，彈出下拉菜單等待真空泵凈化N2氣閥關(guān)閉點(diǎn)擊三個(gè)真空泵“pumpoff”控制按鈕關(guān)掉真空泵點(diǎn)擊反應(yīng)腔“vent”控制按鈕,向機(jī)器腔體沖入凈化N2，等待沖好指示燈點(diǎn)亮4/1/2024225.3關(guān)掉真空泵，向腔體沖入N2進(jìn)入“system”狀態(tài)畫5.4退出控制程序，關(guān)主電源進(jìn)入“service”狀態(tài)畫面，點(diǎn)擊系統(tǒng)中“switchoff”控制按鈕，計(jì)算機(jī)顯示回到win-nt畫面進(jìn)行正常關(guān)計(jì)算機(jī)操作用手按壓一下紅色急停按鈕，關(guān)閉主電源，拉出紅色急停按鈕復(fù)位4/1/2024235.4退出控制程序，關(guān)主電源進(jìn)入“service”狀態(tài)畫面5.5關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)狻⒗鋮s水關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)忾y等十五分鐘后可關(guān)閉冷卻水，先關(guān)進(jìn)水閥，然后關(guān)回水閥4/1/2024245.5關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)?、冷卻水關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)忾y3/3

4/1/202425

3/31/2024254/1/2024263/31/202426

Figure10:Processchamber4/1/202427

3/31/202427Figure12:Gassystem4/1/202428Figure12:Gassystem3/31/20244/1/2024293/31/2024294/1/2024303/31/2024304/1/2024313/31/2024314/1/2024323/31/202432