EBL基本組成及工作原理-課件

EBL基本結(jié)構(gòu)與工作原理EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/261EBL基本結(jié)構(gòu)與工作原理EBL基本組成及工作原理ppt課件EBL=ElectronBeamLithography=電子束光刻EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/262EBL=ElectronBeamLithography=EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/263EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/263一、電子束曝光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/264一、電子束曝光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)EBL基本組成及工作原理ppt課件2EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/265EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/265columnEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/266columnEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3電子源的分類

直熱式W，2700K熱發(fā)射電子源旁熱式LaB6，1800K電子源

熱場發(fā)射ZrO/W，1800K場發(fā)射電子源

冷場發(fā)射EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/267電子源的分類四種電子源對比電子源三個關(guān)鍵參數(shù)：有效源尺寸，亮度，電子能量分布熱發(fā)射源能量分布大，聚焦斑束大，產(chǎn)生嚴(yán)重相差。冷場致發(fā)射穩(wěn)定性差，對真空要求高。故EBL系統(tǒng)選用熱場致發(fā)射源。EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/268四種電子源對比電子源三個關(guān)鍵參數(shù)：有效源尺寸，亮度，電子能量旁熱式&熱場致電子源結(jié)構(gòu)示意圖陽地超高電場陰陰陽EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/269旁熱式&熱場致電子源結(jié)構(gòu)示意圖陽地超高電場陰陰陽EBL基本組EBL中電子源結(jié)構(gòu)示意圖EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2610EBL中電子源結(jié)構(gòu)示意圖EBL基本組成及工作原理ppt課件幾個牌子的EBL性能參數(shù)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2611幾個牌子的EBL性能參數(shù)EBL基本組成及工作原理ppt課件二次電子探測器DetectorEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2612二次電子探測器DetectorEBL基本組成及工作原理ppIllustrationswithdifferentsignalsourcesEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2613IllustrationswithdifferentsEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2614EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2614ImagingbymeansofSE2detector:>5mmWDImagingbymeansofInlensdetector:<=10mmWD(dependingonhighvoltagesetting)ImagingbymeansofBSEdetector:8-10mm(OptimumoftheBSelectrondetection)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2615ImagingbymeansofSE2detectInfluenceofAccelerationVoltageEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2616InfluenceofAccelerationVoltInfluenceofBeamCurrentEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2617InfluenceofBeamCurrentEBL基本InfluenceofWorkingDistanceEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2618InfluenceofWorkingDistanceE二、坐標(biāo)系的對準(zhǔn)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2619二、坐標(biāo)系的對準(zhǔn)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021建立坐標(biāo)系EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2620建立坐標(biāo)系EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/寫場對準(zhǔn)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2621寫場對準(zhǔn)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2三、曝光EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2622三、曝光EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2掃描模式EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2623掃描模式EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2ExposureparameterEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2624ExposureparameterEBL基本組成及工作原理AreadoseEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2625AreadoseEBL基本組成及工作原理ppt課件202LinedoseEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2626LinedoseEBL基本組成及工作原理ppt課件202DotdoesEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2627DotdoesEBL基本組成及工作原理ppt課件2021AreamodeEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2628AreamodeEBL基本組成及工作原理ppt課件202EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2629EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2629LinemodeEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2630LinemodeEBL基本組成及工作原理ppt課件202CirclemodeEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2631CirclemodeEBL基本組成及工作原理ppt課件2ExposurestrategiesUsedbyRaithEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2632ExposurestrategiesUsedbyRa四、臨近效應(yīng)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2633四、臨近效應(yīng)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3VisualizationofEnergyDepositionGrid(EDG)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2634VisualizationofEnergyDeposi高能電子打斷PMMA內(nèi)高分子鏈?zhǔn)疽鈭DEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2635高能電子打斷PMMA內(nèi)高分子鏈?zhǔn)疽鈭DEBL基本組成及工作原理前散射和背散射隨PMMA厚度的變化關(guān)系EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2636前散射和背散射隨PMMA厚度的變化關(guān)系EBL基本組成及工作原MonteCarloSimulationsEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2637MonteCarloSimulationsEBL基本組成EnergydepositionEBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2638EnergydepositionEBL基本組成及工作原理ProximityfunctiontrajectoriesenergydepositionenergydistributiondoubleGaussianProximityfunctionproximityfunctionhasthesame

shapeasenergydistribution

withrespecttolateraldistancesbut:nodirectrelationbetween

energyandPE!(it’sjustamodel)EBL基本組成及工作原理ppt課件2021/3/2639ProximityfunctiontrajectorieInfluenceofbeamen