坐標(biāo)靶法垂準(zhǔn)儀校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)規(guī)范

JJF（桂）××—202×坐標(biāo)靶法垂準(zhǔn)儀校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)規(guī)范坐標(biāo)靶法垂準(zhǔn)儀校準(zhǔn)裝置是用于校準(zhǔn)激光垂準(zhǔn)儀、自動(dòng)安平垂準(zhǔn)儀、激光自動(dòng)安平垂準(zhǔn)儀的專用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。坐標(biāo)靶法校準(zhǔn)裝置主要由二維坐標(biāo)接收靶、二維升降臺(tái)、平面反射鏡及相應(yīng)配套軟件組成，其結(jié)構(gòu)原理見示意圖1-1。其中圖1-1坐標(biāo)靶法校準(zhǔn)裝置1—平面反射鏡；2—垂準(zhǔn)儀；3—二維微傾臺(tái)；4—合作平面反射鏡；5—二維坐標(biāo)接收靶；6—水平方向光柵尺；7—豎直方向光柵尺；8—底座JJF（桂）××—202×2靶的校準(zhǔn)裝置，被校垂準(zhǔn)儀發(fā)出的激光光束經(jīng)反射鏡至二維坐標(biāo)靶的總光程不小于10m；使用分劃尺或網(wǎng)格板作為坐標(biāo)靶的校準(zhǔn)裝置，被校表1計(jì)量性能要求序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目技術(shù)指標(biāo)1二維坐標(biāo)靶示值誤差±0.03mm（光柵尺坐標(biāo)靶）±1/3分度值（其他坐標(biāo)靶）2二維坐標(biāo)靶垂直度3垂準(zhǔn)儀激光束總光程≥10m（光柵尺坐標(biāo)靶）≥35m（其他坐標(biāo)靶）4二維微傾臺(tái)傾斜范圍5二維微傾臺(tái)的示值誤差5.1.2測(cè)量時(shí)周圍無影響裝置正常工JJF（桂）××—202×3表2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號(hào)設(shè)備名稱技術(shù)要求1激光干涉儀MPE:±(1.0μm+1×10-6L)2可調(diào)平二維升降臺(tái)測(cè)量范圍：(―300～300)mm3全站儀4手持測(cè)距儀0級(jí)MPE:±（1.5mm+5×10-5D）5鋼直尺分度值：0.5mm；MPE:±0.1mm6數(shù)字傾角儀（數(shù)字水平儀）分度值0.001°7影像測(cè)量?jī)xMPE：±(1.6μm+L/300)注：以上設(shè)備可在滿足校準(zhǔn)要求的前提下選擇使用。內(nèi)應(yīng)運(yùn)行平穩(wěn)、正常，各接收靶之間應(yīng)無視場(chǎng)遮擋完成初始化的光電設(shè)置，將環(huán)境溫度、氣壓尺、激光干涉儀的長(zhǎng)度值，依次測(cè)量10mm、20mm、30mm、40mm、50mm各測(cè)量點(diǎn)，然后反(Xi-Xi-1)-（XSi-XSi-1）⑴Y方向：δj=(Yj-Yj-1)-j-YSj-1）⑵δi——X方向光柵尺第i個(gè)測(cè)量點(diǎn)Xi、Xi-1——第i個(gè)、第i-1個(gè)測(cè)量點(diǎn)上，X方向光柵尺測(cè)量讀數(shù)（mmJJF（桂）××—202×4XSi、XSi-1——第i個(gè)、第i-1個(gè)測(cè)量點(diǎn)上，激光干涉儀提供的標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度值（mmδj——Y方向光柵尺第j個(gè)測(cè)量點(diǎn)的示值誤差（mmYj、Yj-1——第j個(gè)、第j-1個(gè)測(cè)量點(diǎn)上，Y方向光柵尺測(cè)量讀數(shù)（mmYSj量?jī)x對(duì)網(wǎng)格板坐標(biāo)靶中心區(qū)域的橫向、縱向示值誤右邊緣坐標(biāo)值，以邊緣中心線來計(jì)算每一個(gè)分劃格的絕對(duì)值最大示值誤差作為該網(wǎng)格板坐標(biāo)靶的示值JJF（桂）××—202×5 上，調(diào)整激光束經(jīng)反射后應(yīng)能落到坐標(biāo)接收光束總光程的距離D。⑷⑷D——激光束總光程重復(fù)性測(cè)量的平均值（mDi——第i次測(cè)量手持測(cè)距儀激光發(fā)射起始將二維微傾臺(tái)調(diào)平，數(shù)字傾角儀先后兩次吸附在由于復(fù)校時(shí)間間隔的長(zhǎng)短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質(zhì)量等諸因素所JJF（桂）××—202×6表A.1-1水平光柵尺示值誤差0//12345表A.1-2垂直光柵尺示值誤差0//12345JJF（桂）××—202×表A.2二維光柵尺垂直度單位（mm）序號(hào)Y光柵尺讀數(shù)（移動(dòng)X光柵尺）偏離值△li=0.003D=50mm1-1609.952-0.00042-1609.952-0.00043-1609.9510.00064-1609.953-0.00145-1609.9500.0016平均值-1609.9516X與Y垂直度Δd1=p.=0.2I序號(hào)X光柵尺讀數(shù)（移動(dòng)Y光柵尺）偏離值△lil2=0.004D=50mm1-3113.069-0.00102-3113.0680.00003-3113.070-0.00204-3113.0670.00105-3113.0660.0020平均值-3113.068Y與X垂直度Δd2=p.=0.3I該二維光柵尺垂直度為Δd=p.=206265x=0.3IJJF（桂）××—202×8表A.3垂準(zhǔn)儀激光總光程D1D1D2D2D3D3JJF（桂）××—202×表A.4-1二維微傾臺(tái)的縱向示值誤差″′002468表A.4-2二維微傾臺(tái)的橫向示值誤差″′02468JJF（桂）××—202×1.標(biāo)題：校準(zhǔn)證書；2.實(shí)驗(yàn)室名稱和地址；3.進(jìn)行校準(zhǔn)的地點(diǎn)；4.證書或報(bào)告編號(hào)、頁碼及總頁數(shù)；5.送檢單位的名稱和地址；6.被校準(zhǔn)儀器名稱；7.被校準(zhǔn)儀器的制造廠、型號(hào)規(guī)格及編號(hào)；8.校準(zhǔn)所使用的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)名稱及有效期；9.本規(guī)范的名稱、編號(hào)和對(duì)本規(guī)范的任何偏離、增加或減少的說明；10.校準(zhǔn)時(shí)環(huán)境溫度情況；11.校準(zhǔn)項(xiàng)目的校準(zhǔn)結(jié)果；12.儀器校準(zhǔn)結(jié)果的測(cè)量不確定度；13.校準(zhǔn)人簽名、核驗(yàn)人簽名、批準(zhǔn)人簽名；14.校準(zhǔn)證書簽發(fā)日期；15.復(fù)校時(shí)間間隔的建議；16.未經(jīng)校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn)，不得部分復(fù)制校準(zhǔn)證書。B.1校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式序號(hào)主要校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果1二維坐標(biāo)靶示值誤差2二維坐標(biāo)靶垂直度3垂準(zhǔn)儀激光束總光程4二維微傾臺(tái)的測(cè)量范圍5二維微傾臺(tái)的示值誤差JJF（桂）××—202×其主要標(biāo)準(zhǔn)器是提供標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度值的各種形式坐校準(zhǔn)裝置，其二維光柵尺的示值誤差即為垂準(zhǔn)光柵尺的測(cè)量范圍是0～50mm，由裝置的產(chǎn)品說明書得到其線位移精度的標(biāo)稱值為≤按步進(jìn)間隔10mm依次測(cè)量正行程、反行程的光柵尺各測(cè)量點(diǎn)示值，分別計(jì)算各測(cè)量點(diǎn)示值與激光干涉儀讀數(shù)值之差作為該測(cè)量點(diǎn)的示值δi=(Xi-Xi-1)-（XSi-XSi-1）⑴δXi——第i個(gè)測(cè)量點(diǎn)上，光柵尺X方向讀數(shù)（mmXi-1——第i-1個(gè)測(cè)量點(diǎn)上，光柵尺X方向的讀數(shù)（mmXSi——第i個(gè)測(cè)量點(diǎn)上，激光干涉儀的讀數(shù)（mm實(shí)驗(yàn)室環(huán)境保證了溫度變化小于0.2℃/h，在重復(fù)性測(cè)量條件里，激光膨脹系數(shù)與溫度變化對(duì)兩者長(zhǎng)度值測(cè)量的影響JJF（桂）××—202×2.u2(Xi)+2.u2(Xi-1)+2.u2(Xs)+2.u2(Xs)因?yàn)閄i、Xi-1、XSi、XSi-1是在短時(shí)間內(nèi)在同一環(huán)境下，由同一標(biāo)準(zhǔn)裝置針對(duì)不同測(cè)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集，可以看作是重復(fù)條件下的測(cè)量；故在重復(fù)條件下，每個(gè)觀測(cè)值的標(biāo)準(zhǔn)偏差相等，設(shè)為u(X)、u(XS)，即：2(Xi1)2(XS)2(X)2(XS)⑵C.3.1測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u(X)該分量由A類不確定度分析計(jì)算。激光干涉儀對(duì)光柵尺X方向上的-3141mm測(cè)量點(diǎn)表C.1測(cè)量重復(fù)性數(shù)據(jù)光柵尺測(cè)量值Xi（mm）激光干涉儀測(cè)量值XS（mm）1234567892=0.002mm。析可知，重復(fù)性測(cè)量結(jié)果大于分辨力，可認(rèn)C.3.2由標(biāo)準(zhǔn)器引入的不確定度分量u(XS)C.3.2.1阿貝誤差引入的測(cè)量不確定度分量u1(XS)激光干涉儀測(cè)量軸線與光柵尺的測(cè)量軸線應(yīng)盡及安裝裝夾等其他因素的原因，兩軸線存在一個(gè)平取阿貝誤差e為半寬，符合均勻分布，由阿貝誤差引入起的標(biāo)準(zhǔn)不確定分量為：C.3.2.2激光干涉儀測(cè)長(zhǎng)誤差引入的測(cè)量不確定度分量u2(XS)離L=50mm，則激光干涉儀測(cè)長(zhǎng)示值誤差半寬△=1.05μm,，符合均勻分布，由激光干涉儀因，故u1(XS)、u2(XS)兩個(gè)參量