坐標靶法垂準儀校準裝置校準規(guī)范

JJF（桂）××—202×坐標靶法垂準儀校準裝置校準規(guī)范坐標靶法垂準儀校準裝置是用于校準激光垂準儀、自動安平垂準儀、激光自動安平垂準儀的專用標準設備。坐標靶法校準裝置主要由二維坐標接收靶、二維升降臺、平面反射鏡及相應配套軟件組成，其結構原理見示意圖1-1。其中圖1-1坐標靶法校準裝置1—平面反射鏡；2—垂準儀；3—二維微傾臺；4—合作平面反射鏡；5—二維坐標接收靶；6—水平方向光柵尺；7—豎直方向光柵尺；8—底座JJF（桂）××—202×2靶的校準裝置，被校垂準儀發(fā)出的激光光束經反射鏡至二維坐標靶的總光程不小于10m；使用分劃尺或網格板作為坐標靶的校準裝置，被校表1計量性能要求序號校準項目技術指標1二維坐標靶示值誤差±0.03mm（光柵尺坐標靶）±1/3分度值（其他坐標靶）2二維坐標靶垂直度3垂準儀激光束總光程≥10m（光柵尺坐標靶）≥35m（其他坐標靶）4二維微傾臺傾斜范圍5二維微傾臺的示值誤差5.1.2測量時周圍無影響裝置正常工JJF（桂）××—202×3表2測量標準及其他設備序號設備名稱技術要求1激光干涉儀MPE:±(1.0μm+1×10-6L)2可調平二維升降臺測量范圍：(―300～300)mm3全站儀4手持測距儀0級MPE:±（1.5mm+5×10-5D）5鋼直尺分度值：0.5mm；MPE:±0.1mm6數字傾角儀（數字水平儀）分度值0.001°7影像測量儀MPE：±(1.6μm+L/300)注：以上設備可在滿足校準要求的前提下選擇使用。內應運行平穩(wěn)、正常，各接收靶之間應無視場遮擋完成初始化的光電設置，將環(huán)境溫度、氣壓尺、激光干涉儀的長度值，依次測量10mm、20mm、30mm、40mm、50mm各測量點，然后反(Xi-Xi-1)-（XSi-XSi-1）⑴Y方向：δj=(Yj-Yj-1)-j-YSj-1）⑵δi——X方向光柵尺第i個測量點Xi、Xi-1——第i個、第i-1個測量點上，X方向光柵尺測量讀數（mmJJF（桂）××—202×4XSi、XSi-1——第i個、第i-1個測量點上，激光干涉儀提供的標準長度值（mmδj——Y方向光柵尺第j個測量點的示值誤差（mmYj、Yj-1——第j個、第j-1個測量點上，Y方向光柵尺測量讀數（mmYSj量儀對網格板坐標靶中心區(qū)域的橫向、縱向示值誤右邊緣坐標值，以邊緣中心線來計算每一個分劃格的絕對值最大示值誤差作為該網格板坐標靶的示值JJF（桂）××—202×5 上，調整激光束經反射后應能落到坐標接收光束總光程的距離D。⑷⑷D——激光束總光程重復性測量的平均值（mDi——第i次測量手持測距儀激光發(fā)射起始將二維微傾臺調平，數字傾角儀先后兩次吸附在由于復校時間間隔的長短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質量等諸因素所JJF（桂）××—202×6表A.1-1水平光柵尺示值誤差0//12345表A.1-2垂直光柵尺示值誤差0//12345JJF（桂）××—202×表A.2二維光柵尺垂直度單位（mm）序號Y光柵尺讀數（移動X光柵尺）偏離值△li=0.003D=50mm1-1609.952-0.00042-1609.952-0.00043-1609.9510.00064-1609.953-0.00145-1609.9500.0016平均值-1609.9516X與Y垂直度Δd1=p.=0.2I序號X光柵尺讀數（移動Y光柵尺）偏離值△lil2=0.004D=50mm1-3113.069-0.00102-3113.0680.00003-3113.070-0.00204-3113.0670.00105-3113.0660.0020平均值-3113.068Y與X垂直度Δd2=p.=0.3I該二維光柵尺垂直度為Δd=p.=206265x=0.3IJJF（桂）××—202×8表A.3垂準儀激光總光程D1D1D2D2D3D3JJF（桂）××—202×表A.4-1二維微傾臺的縱向示值誤差″′002468表A.4-2二維微傾臺的橫向示值誤差″′02468JJF（桂）××—202×1.標題：校準證書；2.實驗室名稱和地址；3.進行校準的地點；4.證書或報告編號、頁碼及總頁數；5.送檢單位的名稱和地址；6.被校準儀器名稱；7.被校準儀器的制造廠、型號規(guī)格及編號；8.校準所使用的計量標準名稱及有效期；9.本規(guī)范的名稱、編號和對本規(guī)范的任何偏離、增加或減少的說明；10.校準時環(huán)境溫度情況；11.校準項目的校準結果；12.儀器校準結果的測量不確定度；13.校準人簽名、核驗人簽名、批準人簽名；14.校準證書簽發(fā)日期；15.復校時間間隔的建議；16.未經校準實驗室書面批準，不得部分復制校準證書。B.1校準證書內頁格式序號主要校準項目校準結果1二維坐標靶示值誤差2二維坐標靶垂直度3垂準儀激光束總光程4二維微傾臺的測量范圍5二維微傾臺的示值誤差JJF（桂）××—202×其主要標準器是提供標準長度值的各種形式坐校準裝置，其二維光柵尺的示值誤差即為垂準光柵尺的測量范圍是0～50mm，由裝置的產品說明書得到其線位移精度的標稱值為≤按步進間隔10mm依次測量正行程、反行程的光柵尺各測量點示值，分別計算各測量點示值與激光干涉儀讀數值之差作為該測量點的示值δi=(Xi-Xi-1)-（XSi-XSi-1）⑴δXi——第i個測量點上，光柵尺X方向讀數（mmXi-1——第i-1個測量點上，光柵尺X方向的讀數（mmXSi——第i個測量點上，激光干涉儀的讀數（mm實驗室環(huán)境保證了溫度變化小于0.2℃/h，在重復性測量條件里，激光膨脹系數與溫度變化對兩者長度值測量的影響JJF（桂）××—202×2.u2(Xi)+2.u2(Xi-1)+2.u2(Xs)+2.u2(Xs)因為Xi、Xi-1、XSi、XSi-1是在短時間內在同一環(huán)境下，由同一標準裝置針對不同測量點的數據采集，可以看作是重復條件下的測量；故在重復條件下，每個觀測值的標準偏差相等，設為u(X)、u(XS)，即：2(Xi1)2(XS)2(X)2(XS)⑵C.3.1測量重復性引入的不確定度分量u(X)該分量由A類不確定度分析計算。激光干涉儀對光柵尺X方向上的-3141mm測量點表C.1測量重復性數據光柵尺測量值Xi（mm）激光干涉儀測量值XS（mm）1234567892=0.002mm。析可知，重復性測量結果大于分辨力，可認C.3.2由標準器引入的不確定度分量u(XS)C.3.2.1阿貝誤差引入的測量不確定度分量u1(XS)激光干涉儀測量軸線與光柵尺的測量軸線應盡及安裝裝夾等其他因素的原因，兩軸線存在一個平取阿貝誤差e為半寬，符合均勻分布，由阿貝誤差引入起的標準不確定分量為：C.3.2.2激光干涉儀測長誤差引入的測量不確定度分量u2(XS)離L=50mm，則激光干涉儀測長示值誤差半寬△=1.05μm,，符合均勻分布，由激光干涉儀因，故u1(XS)、u2(XS)兩個參量