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文檔簡介
建設項目環(huán)境影響報告表(污染影響類)項目名稱:意芯半導體有限公司存儲芯片封測項目建設單位(蓋章):意芯半導體有限公司編制單位(蓋章)編制日期:二零二二年二月中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部制 1 10 33 26 74 76目況無劃(2015-2020)》境影響報告書(2015-2020)》一、《麗水經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)化工新材料集中區(qū)產(chǎn)業(yè)轉型發(fā)展專項規(guī)劃環(huán)境影響報告書(2015-2020)》符合性分析⑴4-氨基聯(lián)苯;聯(lián)苯胺;4-氯-2甲基苯胺;2-萘氨;4-⑵以全氟辛酸銨(PFOA)為加工助劑的含氟聚合物、含滴滴涕的油漆、采用滴滴涕為原料非封閉生產(chǎn)三氯殺螨醇生產(chǎn)裝劑、鉛制劑、10%草甘膦水劑、甲基硫環(huán)磷、磷化鈣、磷化鋅、););););10、聚醋酸乙烯乳液類(含乙烯/醋酸乙烯酯共聚物乳液)13、以氯氟烴(CFCs)為發(fā)泡劑的聚氨酯泡沫塑料產(chǎn)品、(1)規(guī)劃區(qū)項目的引進,除了要符合國家、省市有關產(chǎn)業(yè)(2)規(guī)劃區(qū)項目的引進,要考慮區(qū)內(nèi)水資源、熱力資源和境中DMF仍存在超標現(xiàn)象,在區(qū)域DMF達標前,應嚴格控制(3)具體而言,化工新材料集中區(qū)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,要瞄準市(4)對早期引進的合成革、革基布、化工、電鍍等污染嚴全過程管理。對任意排放固體廢物和不遵守有關規(guī)定的違法行時,必須做好本規(guī)劃與《麗水市城市總體規(guī)劃(2013-2030)》風險防范等方面的協(xié)調(diào),加快推進區(qū)域集中供熱及污水集中處表1-1“三線一單”對照分析情況序號“三線一單”內(nèi)容本項目對照情況1生態(tài)保護紅線根據(jù)《麗水市生態(tài)保護紅線劃定方案》,項目所在地未觸及生態(tài)保護紅線。2環(huán)境質(zhì)量底線大氣根據(jù)《2020年度麗水市環(huán)境狀況公報》,麗水市環(huán)境空氣質(zhì)量達到國家二級標準,屬于達標區(qū)。經(jīng)本環(huán)評分析,本項目廢氣經(jīng)妥善收集處理后均能實現(xiàn)達標排放,對大氣環(huán)境影響較小,滿足環(huán)境質(zhì)量底線要求。水根據(jù)監(jiān)測資料,項目所在地地表水水質(zhì)均達到《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3838-2002)中的Ⅲ類標準。本項目廢水經(jīng)廠內(nèi)預處理達標后排入市政污水管網(wǎng),納入水閣污染處理廠,經(jīng)處理達到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》(GB18918-2002)一級A標準,影響較小。聲聲環(huán)境質(zhì)量均滿足環(huán)境質(zhì)量底線要求,采取相應措施后,項目噪聲對周圍環(huán)境影響不大。3資源利用上線本項目一期在現(xiàn)有廠房內(nèi)實施,不新增用地;項目所用水、電用量均較小,遠低于資源利用上線。4環(huán)境準入負面清單根據(jù)《建設項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》和《麗水市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》中的相關規(guī)定,本項目為二類工業(yè)項目。根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結構調(diào)整指導目錄(2019年本)》,本項目列入鼓勵類項目第二十八條:信息產(chǎn)業(yè)第19項:SIP封裝。因此,本項目不在該環(huán)境功能區(qū)的負面清單中。表1-2管控單元符合性一覽表類別管控要求符合性分析空間布局引導縣級及以下產(chǎn)業(yè)集聚類重點管控單元原則上不得新建或擴建三類工業(yè)項目(列入市級及以上重大項目除外);縣級以上產(chǎn)業(yè)集聚類重點管控單元應嚴格控制三類工業(yè)項目的發(fā)展,新建、改建、擴建三類工業(yè)項目,且須符合園區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃、用地控制性規(guī)劃及園區(qū)規(guī)劃環(huán)評。鼓勵對三類工業(yè)項目進行淘汰和提升改造。合理規(guī)劃居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū),在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設置防護綠地、生活綠地等隔離帶。對照工業(yè)項目分類表,項目屬于二類工業(yè)項目,且項目位于麗水經(jīng)濟開發(fā)區(qū)化工新材料集中區(qū),符合空間布局引導要求污染物排放管控嚴格實施污染物總量控制制度,根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標,削減污染物排放總量。新建二類、三類工業(yè)項目污染物排放水平要達到同行業(yè)國內(nèi)先進水平。加快落實污水處理廠建設及提升改造項目,推進工業(yè)園區(qū)(工業(yè)企業(yè))“污水零直排區(qū)”建設,所有企業(yè)實現(xiàn)雨污分流。加強土壤和地下水污染防治與修復。項目將嚴格落實總量控制制度,加強廠區(qū)的環(huán)境管理,符合污染物管控要求環(huán)境風險防控定期評估沿江河湖庫工業(yè)企業(yè)、工業(yè)集聚區(qū)環(huán)境和健康風險。強化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風險防范設施設備建設和正常運行監(jiān)管,加強重點環(huán)境風險管控企業(yè)應急預案制定,建立常態(tài)化的企業(yè)隱患排查整治監(jiān)管機制,加強風險防控體系建設。企業(yè)將加強廠區(qū)內(nèi)風險防控,符合環(huán)境風險管控要求資源開發(fā)效率要求推進工業(yè)集聚區(qū)生態(tài)化改造,強化企業(yè)清潔生產(chǎn)改造,推進節(jié)水型企業(yè)、節(jié)水型工業(yè)園區(qū)建設,落實煤炭消費減量替代要求,提高資源能源利用效率。企業(yè)將努力推進資源利用效率,符合資源開發(fā)利用要求—8—對照國家產(chǎn)業(yè)政策和國家發(fā)改委《產(chǎn)業(yè)結構調(diào)整指導目錄—10—建設內(nèi)容刷機、貼片機、回流焊、晶圓研磨機、芯片貼裝機等設施據(jù)查《建設項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》(2021年版),本項目屬于”表2-1《建設項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》(2021年版)摘錄環(huán)評類別項目類別報告書報告表登記表本欄目環(huán)境敏感區(qū)含義三十六、計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)39電子器件制造3987/顯示器件制造;集成電路制造;使用有機溶劑的;有酸洗的以上均不含僅分割、焊接、組裝的/經(jīng)分析,本項目屬于集成電路制造,且工藝過—11—2-2《固定污染源排污許可分類管理名錄》(2019年版)摘錄序號行業(yè)類別重點管理簡化管理登記管理三十四、計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)39電子器件制造397納入重點排污單位名錄的除重點管理以外的年使用10噸及以上溶劑其他),表2-3工程組成一覽表名稱工程組成內(nèi)容及規(guī)模主體工程3#廠房(已5F,建筑面積9172m2,1~3F為生產(chǎn)車間,4~5為二期發(fā)展用房輔助工程4#廠房(已4F,建筑面積8764.42m2,作為辦公、宿舍使用公用工程給水本工程給水以市政自來水為水源排水廠區(qū)排水采用雨污分流。廢水經(jīng)處理后納入市政污水管網(wǎng)進入水閣污水廠處理。供電采用市政電網(wǎng)供電環(huán)保工程廢水處理設施污水處理站一套,用于處理研磨廢水,采用“混凝+氣浮”處理工藝,設計日處理水量40t。廢氣處理設施活性炭吸附設施一套,設計處理風量10000m3/h噪聲治理措施設備室內(nèi)安裝,加強設備的維護和保養(yǎng),加強工人操作場所的噪聲控制等固廢治理措施危廢倉庫一個,布置在生產(chǎn)車間內(nèi),占地面積20m2儲運工程1F,建筑面積24.55m2,用于存儲酒精、丙酮公司現(xiàn)一期計劃利用廠區(qū)內(nèi)已建的2幢廠房作為生產(chǎn)車間及辦公宿舍樓,并新建研磨機、芯片貼裝機等設施,主要采用封裝、測試的工藝流程,建成后形成一期—12—表2-4項目產(chǎn)品方案一覽表編號產(chǎn)品名稱年產(chǎn)量設計年生產(chǎn)時間1封裝芯片6000萬顆/年2400h表2-5項目設備清單一覽表序號設備名稱型號單位數(shù)量1一般防氧化烤箱AopeningAP8930A臺42印刷機EkraSerio400臺13印刷機ASMDEK臺24貼片機EasySiplace臺45SPI錫膏檢測機KohYoungKY-8080臺26回流焊Heller1913MK5臺37晶圓貼膜機ABG-8200臺18晶圓研磨機中電科WG-1251臺29晶圓切割機TSKAD3000T臺6UV解膠機AUV-R3000臺1一般防氧化水冷烤箱QMO-2DCP1臺3芯片貼裝機HitachiDB830Plus臺4芯片貼裝機ASMISLinDA臺3芯片貼裝機CM700H臺8芯片鍵合ASMAERO臺32等離子清洗機PR150L臺2塑封Mold機TOWAYPM1180臺1一般防氧化風冷烤箱QMO-2DSF臺3SSP植球機SSPBPS7200HD臺120水清洗臺121基板切割機TOWAFMS3040臺122激光打標HDZ-SIC200臺123X-ray機SAX-750臺124推拉力機MFM1200臺225超聲波掃描儀SonixECHOLS臺126鴻勁TesterHT3309臺227XYZ測量顯微鏡OlympusSTM7-LFA臺2—13—28水滴角測量儀BLD-D1臺129真空包裝機S60臺130防潮箱B15BE-1200H-4-QDN臺431純水機5t/h臺132氮氣柜BUBE-1490H-4-QDN臺4表2-6主要原輔材料、能耗一覽表序號類型名稱單位年耗量包裝規(guī)格1原料電阻,電感,晶振等)套7900萬/2輔料PCB基板/銅框架片900萬/3輔料錫膏噸0.25500g/瓶4輔料銀膠噸0.07236g/支5輔料焊線噸2/6輔料環(huán)氧樹脂顆粒噸/7輔料DAF膜片10.8萬/8輔料UV膠帶(100米/卷)卷360/9輔料氮氣NM3/年180.6萬/輔料丙酮噸/年0.01500ml/瓶輔料酒精噸/年0.048500ml/瓶輔料清洗劑(研磨液)噸/年50L/桶能源水噸18600/能源電萬度/年520.76/主要原輔材料及理化性質(zhì)說明:以保持元器件在印刷線路板(PCB)上的位置時,起到暫時固定元器件,確保元器件不會脫落、掉件,在過波峰焊接成功后,銀膠就完成了它所起到的作用。銀要成分為環(huán)氧樹脂,與錫膏不同的是其受熱后便固化),—14—表2-7銀膠理化性質(zhì)一覽表成分備注銀50%固體份乙氧基丙醇25%揮發(fā)份揮發(fā)份丙酮6%揮發(fā)份醋酸乙酯4%揮發(fā)份是指分子中含有兩個以上環(huán)氧基團的一類聚合物的總稱。它是環(huán)氧氯丙烷A或多元醇的縮聚產(chǎn)物。由于環(huán)氧基的化學活性,可用多種含有活潑氫的化合物脂不僅產(chǎn)量最大,品種最全,而且新的改性品種仍在不斷增加,質(zhì)量正在不斷提種無色透明液體,有特殊的辛辣氣味,易溶于水和甲醇、乙醇、乙醚、氯仿、吡););(5)酒精:乙醇水溶液。濃度為99.5%。熔點-114°C沸點78°C密度),),乙烷(4.1%)。聚乙烯醇是一種有機化合物,化學式為[C2H4O]n,外觀是白色片狀、絮狀或粉末狀固體,無味。溶于水(95℃以上),微溶于二甲基亞砜,不溶于汽油、煤油、植物油、苯、甲苯、二氯乙烷、四氯化碳、丙酮、醋酸乙酯、甲醇、乙二醇等。聚乙烯醇是重要的化工原料本項目一期預計勞動定員240人,班制—15—表2-7平面布局一覽表工程組成內(nèi)容及規(guī)模3#廠房(已建)5F,建筑面積9172m2,1~3F為生產(chǎn)車間,4~5為二期發(fā)展用房4#廠房(已建)4F,建筑面積8764.42m2,作為辦公、宿舍使用,內(nèi)設食堂甲類倉庫(新建)1F,建筑面積24.55m2,用于存儲酒精、丙酮新鮮水25800純水濃水回用池總排口市政污水管網(wǎng)純水濃水回用池總排口市政污水管網(wǎng)化糞池7200化糞池生活用水純水制備切割、研磨用水雨水排口廠區(qū)污水處理站純水制備系統(tǒng)反沖洗用水圖2.1水平衡圖(單位:t/a)—16—工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)外購基板錫膏印刷回流焊研磨外購晶圓切割貼膜 等離子清洗- 等離子清洗- 鍵合-外購基板錫膏印刷回流焊研磨外購晶圓切割貼膜 等離子清洗- 等離子清洗- 鍵合-SMT貼片芯片粘貼→檢查測試植球→檢查測試植球基板切割 成品入庫圖2.1工藝及產(chǎn)污環(huán)節(jié)流程圖),磨,需用純水機制純水,純水制備量為5t/h,過程需添加清洗劑,會產(chǎn)生研磨廢(4)錫膏印刷:將PCB基板置于印刷機固定位置上,利用印刷機的刮刀把(5)SMT貼片:SMT是一個系統(tǒng)的工藝,主要流程包含了點膠、貼裝、固—17—將PCB板上的錫膏融化,使表面組裝元器件與PCB板牢固粘接在一起?;亓骱笭t膛內(nèi)的焊接分為四個作用過程,貼裝好smt元件的線路板經(jīng)過回流焊爐導軌的運輸分別經(jīng)過回流焊爐的預熱區(qū)、保溫區(qū)、焊接區(qū)、冷卻區(qū),經(jīng)過回流焊爐這四原理為在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,以達到清洗目的,是一種新型(10)塑封:利用塑封機進行作業(yè),工藝過程是將產(chǎn)品置于塑封機腔體內(nèi),(14)功能測試:對封裝好的產(chǎn)品做電性能測試,次過程會產(chǎn)生廢次品,次—18—濃水、反沖洗水圖2.2濃水、反沖洗水圖2.2純水制備工藝濃水、反沖洗水濃水、反沖洗水濃水、反沖洗水濃水、反沖洗水濃水、反沖洗水表2-8項目污染物概況表污染物編號污染物名稱產(chǎn)生工序G1焊接廢氣(非甲烷總烴)回流焊G2塑封廢氣(非甲烷總烴)塑封G3擦拭廢氣(非甲烷總烴)檢測擦拭G4顆粒物研磨、切割、等離子清洗G5錫焊廢氣(顆粒物、錫及其化合物)錫焊G6銀膠固化廢氣(非甲烷總烴)W1生活廢水員工生活W2研磨、切割廢水研磨、切割W3反沖洗水純水制備W4RO濃水純水制備N機械噪聲生產(chǎn)過程廢次品測試廢活性炭活性炭更換污水處理污泥污水處理廢包裝容器(錫膏桶、清洗劑桶)原料使用危化品包裝容器酒精、丙酮及銀膠使用生活垃圾員工生活—19—與項目有關的原有環(huán)境污染問題委托浙江東天虹環(huán)保工程有限公司編制《浙江波力勝新),根據(jù)企業(yè)原環(huán)評資料,浙江波力勝新能源科技有限表2-9產(chǎn)品方案產(chǎn)品名稱生產(chǎn)能力光電轉換效率單晶硅太陽能電池20019.7%多晶硅太陽能電池18.3%表2-10200MW單晶原輔材料用量一覽表序號原輔材料名稱濃度年消耗量包裝規(guī)格運輸方式儲存方式1單晶硅片/5000萬片/汽車運輸盒裝2(無醇)制絨添加劑瓶裝3三氯氧磷/500ml/瓶4氫氧化鈉48t500g/瓶袋裝5鹽酸36%1000L/桶桶裝6氫氟酸49%1000L/桶7過氧化氫31%24t4L/桶8銀漿/5.98t2kg/桶9鋁漿/72t1kg/桶銀鋁漿/2.235t2kg/桶液氨/2.4t480kg氣瓶氣瓶裝四氟化碳/3.7t30kg氣瓶硅甲烷/3.5t110kg氣瓶液氮/2660t30m3儲罐槽車運輸儲罐液氧/10m3儲罐—20—表2-11200MW多晶原輔材料用量一覽表序號原輔材料名稱濃度年消耗量包裝規(guī)格運輸方式儲存方式1多晶硅片/5000萬片/汽車運輸盒裝2氫氧化鉀40%200L/桶桶裝3鹽酸36%1000L/桶4氫氟酸49%1000L/桶5硝酸65%1000L/桶6銀漿/5.98t2kg/桶7鋁漿/72t1kg/桶8銀鋁漿/2.235t2kg/桶9三氯氧磷/500mL/瓶瓶裝四氟化碳/3.7t30kg氣瓶氣瓶裝硅甲烷/3.5t110kg氣瓶液氨/2.4t480kg氣瓶液氧/10m3儲罐槽車運輸儲罐液氮/2660t30m3儲罐—21—圖2.2工藝流程圖存在不同程度的損傷;故制絨之前需利用堿液對其表面進行腐蝕對損傷層進行剝—22—的;之后將硅片送入漂洗槽內(nèi)進行漂洗,以除去表面夾帶的少量堿液及腐蝕產(chǎn)生用腐蝕液對單晶硅片表面腐蝕速度的不同,在單位面積(以cm2計)硅表面形成幾百萬個四面方錐即金字塔結構,從而導致硅片表面形成凹凸不平的狀態(tài),即所謂的絨面(可使光線在硅片表面發(fā)生多次反射,從而增加光線入射硅片的幾率,以便得到更多的能量)。為獲得較均勻的絨面,需加入添加劑作為絡合劑,以加),傷、漂洗之后的硅片直接進入其中一個槽腐蝕完畢后即可進入下一工序。經(jīng)制絨制絨過程主要原理同去損傷層。制絨工序為整個生產(chǎn)線的控制性工序,其每批次每槽制絨硅片量約400片(每天進行45批次操作,合計處理硅片量為18000片/車間內(nèi)設置有專門的操作間,清洗、制絨工段均在負壓下進行操作,生產(chǎn)時由自控裝置依次按工序作業(yè),無需打開面板、封閉操作;配料和添加藥品工序在通風操作柜內(nèi)進行,操作柜保持負壓以減少無組織廢氣的產(chǎn)生量。廢氣經(jīng)抽吸后進入凈化裝置,最終由排氣筒高空排放。下述酸洗、去磷硅玻璃及輔助清洗等工序和輔助配料操作,均采用同樣方式處理。該工序產(chǎn)),之后送入漂洗槽漂洗以除去表面攜帶的酸液。該工序產(chǎn)生清洗廢水、廢槽液及酸—23—面攜帶的酸液,接著進行甩干處理(熱氮氣吹干,轉速約為1200m/min,時間為擴散爐即為制造太陽能電池PN結的專用設備。擴散爐主要由石英舟的上下載部分、廢氣室、爐體部分和氣柜部分等四大部分組成。擴散采用三氯氧磷液態(tài)源作為磷源。擴散爐為完全密閉設備,采用電加熱。具體工藝過程為:首先把硅片放通過三氯氧磷和氧氣(過量)反應得到的五氧化二磷和硅片進行反應,得到磷原子;再經(jīng)過一定時間,磷原子從硅片的表面層通過硅原子之間的空隙向內(nèi)部滲透4POCl3+3O2→2P2O5+6Cl2↑檢測(主要是對硅片電阻率的均勻性、少子壽命等進行檢測),經(jīng)抽測合格后的到PN結的背面,從而導致短路,故需對太陽能電池周邊的摻雜硅進行蝕刻,以反應氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下,產(chǎn)生電離并形成等離子體(由帶電的電子和離子組成),反應腔體中的氣體在電子的撞擊下,除轉變成—24—還能吸收能量并形成大量的活性基團?;钚苑磻鶊F由于擴散或者在電場作用下成物脫離被蝕刻物質(zhì)表面,被真空系統(tǒng)抽出腔體。首先,母體分子CF4在高能量反應生成物為高溫的CO和SiF4,高溫2CO+O2→2CO2),蝕刻完畢后對硅片進行抽樣檢測(主要是對硅片是否短路進行檢測),經(jīng)抽7、去磷硅玻璃、兩級逆流清洗、甩干。因擴散過程中三氯氧磷與O2反應生成的P2O5沉積在硅片表面,P2O5又與Si反形成了一層含有磷元素的SiO2,稱之為磷硅玻璃(PSG)。玻璃層的存在會在電極印刷過程中影響到金屬電極和硅片的接觸,降低電池的轉換效率,同時玻璃層還有多種金屬離子雜質(zhì),會降低少子壽命。為使電池表面顏色均勻一致,正反電極與電池形成良好的歐姆接觸,須除去PSG。其主將硅片放在氫氟酸溶液中浸泡,使其產(chǎn)生的化學反應生成可溶性的絡合物六氟化具體工藝過程為:將蝕刻完畢抽測合格的硅片重新裝入承片盒內(nèi),經(jīng)過磷擴散處理的表面,面向承片盒的背面放置,之后放入去磷硅玻璃槽進行酸洗以去除兩級逆流清洗、漂洗,接著進行甩干處理(熱氮氣吹干,轉速約為1200m/min,—25—備注:生產(chǎn)工藝中的用水(包括藥劑稀釋用水及漂洗用水)均為純水;使用的印刷漿料(包括銀鋁漿、銀漿、鋁漿)均不含鉛及其化合物;各工序加熱所需圖2.3工藝流程圖—26—多晶硅表面存在各種晶向,主要采用各向同性的酸腐蝕方法來制備絨面。利用硝酸、氫氟酸、去離子水來配制酸性腐蝕液。對多晶硅進行同性腐蝕,在多晶硅片從而增加光線入射硅片的幾率,以便得到更多的能量)。由于該工序需控制腐蝕車間內(nèi)設置有專門的操作間,清洗、制絨工段均在負壓下進行操作,生產(chǎn)時由自控裝置依次按工序作業(yè),無需打開面板、封閉操作;配料和添加藥品工序在通風操作柜內(nèi)進行,操作柜保持負壓以減少無組織廢氣的產(chǎn)生量。廢氣經(jīng)抽吸后進入凈化裝置,最終由排氣筒高空排放。下述酸洗、去磷硅玻璃及輔助清洗等工序和輔助配料操作,均采用同樣方式處理。該工序產(chǎn)制絨完成的硅片送入堿洗槽內(nèi)進行堿洗,對形成的多孔硅表面進行清洗;同留在硅片表面的堿液;HF去除硅片表面氧化層,形成疏水表攜帶的酸液,接著進行吹干處理,經(jīng)吹干后的硅片裝入承片盒一起送入密閉擴散擴散爐即為制造太陽能電池PN結的專用設備。擴散爐主要由石英舟的上下載部分、廢氣室、爐體部分和氣柜部分等四大部分組成。本項目擴散采用三氯氧磷液態(tài)源作為磷源。擴散爐為完全密閉設備,采用電加熱。具體工藝過程為:首先把—27—散爐進行升溫,待爐溫升至850~920℃并且恒定后,再將氧氣、三氯氧磷通入石英舟內(nèi),通過三氯氧磷和氧氣(過量)反應得到的五氧化二磷和硅片進行反應,得到磷原子;再經(jīng)過一定時間,磷原子從硅片的表面層通過硅原子之間的空隙向4POCl3+3O2→2P2O5+6Cl2↑檢測(主要是對硅片電阻率的均勻性、少子壽命等進行檢測),經(jīng)抽測合格后的到PN結的背面,從而導致短路,故需對太陽能電池周邊的摻雜硅進行蝕刻,以去除邊緣的PN結,本項目采用等離子蝕刻技術完成。具體工藝原理是:在低壓狀態(tài)下,反應氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下,產(chǎn)生電離并形成等離子體(由帶電的電子和離子組成),反應腔體中的氣體在電子的撞擊下,除轉變成離子外,還能吸收能量并形成大量的活性基團?;钚苑磻鶊F由于擴散或者在電的反應生成物脫離被蝕刻物質(zhì)表面,被真空系統(tǒng)抽出腔體。首先,母體分子CF4—28—反應生成物為高溫的CO和SiF4,高溫2CO+O2→2CO2),蝕刻完畢后對硅片進行抽樣檢測(主要是對硅片是否短路進行檢測),經(jīng)抽6、去磷硅玻璃、兩級逆流清洗、甩干。因擴散過程中三氯氧磷與O2反應生成的P2O5沉積在硅片表面,P2O5又與Si反形成了一層含有磷元素的SiO2,稱之為磷硅玻璃(PSG)。玻璃層的存在會在電極印刷過程中影響到金屬電極和硅片的接觸,降低電池的轉換效率,同時玻璃層還有多種金屬離子雜質(zhì),會降低少子壽命。為使電池表面顏色均勻一致,正反電極與電池形成良好的歐姆接觸,須除去PSG。其主將硅片放在氫氟酸溶液中浸泡,使其產(chǎn)生的化學反應生成可溶性的絡合物六氟化具體工藝過程為:將蝕刻完畢抽測合格的硅片重新裝入承片盒內(nèi),經(jīng)過磷擴散處理的表面,面向承片盒的背面放置,之后放入去磷硅玻璃槽進行酸洗以去除兩級逆流清洗、噴淋除去表面攜帶的酸液,接著進行甩干處理(熱氮氣吹干,轉會有很大一部分光從該面反射掉,大大減少了太陽能的利用率,故須在硅片表面接觸陽光的一側鍍上一層減反射膜(當薄膜的厚度是入射光在薄膜中波長的1/4時,薄膜的兩個面上反射的光,路程差恰好是0.5個波長,因而相互抵消,大大減少光的反射損失),增強吸收光的強度,提高電池效率。其主要原理是:采用等離子體增強型化學氣相沉積技術,即利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低—29—氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適時致密的氮化硅能阻擋鈉離子擴散,不透潮氣,具有極低的氧化速率,還可防止具體工藝過程為:將甩干的硅片依次放入PECVD沉積系統(tǒng)中,并且裝置采),減反射膜沉積完畢后對硅片進行抽樣檢測(主要是對硅片對入射光的反射損),產(chǎn)生的電流表面上制作正、負兩個電極。本項目采用超細高純度銀、鋁為主體金屬,然后配以定量的輔助劑制成膏狀,形成印刷漿料,采用絲網(wǎng)印刷工藝印刷太陽能電池的上下級,在適當溫度和氣氛下燒結,漿料中金屬粒子熔融而成立體交本項目絲網(wǎng)印刷三道、烘干兩道,印刷次序分別為銀鋁漿(Ag粉、Al粉、SiO2、B2O365%,環(huán)氧樹脂30%,松油醇5%)、銀漿(Ag粉、SiO2、B2O3及磷源65%,環(huán)氧樹脂30%,松油醇5%)、鋁漿(Al粉、SiO2、B2O365%,環(huán)氧樹脂30%,松油醇5%),每道印刷后進行一次烘干(采用紅外線加熱,加熱),動運行,只留硅片進料口;烘道的熱氣、煙氣和產(chǎn)生的有機廢氣采用風管抽出,將有機樹脂粘合劑、松香醇燃燒掉,剩下幾乎純粹的、由玻璃質(zhì)作用而密合在硅—30—2..片上的銀電極;當銀電極和晶體硅在溫度達到共晶溫度時,晶體硅原子以一定的比例融入到熔融的銀電極材料中去,從而形成上下電極的歐姆接觸,提高晶體硅太陽能電池的開路電壓和填充因子兩個關鍵參數(shù),使其具有電阻特性,以提高晶體硅太陽能電池的轉換效率。主要工藝過程是:將絲網(wǎng)印刷完畢的硅片由送料裝置自動送入燒結裝置內(nèi),在700℃左右燒結5s,使溶劑揮發(fā)、連結劑融化,銀和鋁金屬單質(zhì)析出,附著于硅片形成導電的膜層,便形成太陽電池鋁背場和正面銀2..),設備保持密閉,產(chǎn)生的有機廢氣采用風管抽出,經(jīng)處理后集中通過排氣筒高空排10、產(chǎn)品分檢、包裝入庫。利用太陽能電池測試系統(tǒng)對產(chǎn)品進行分類并按晶體硅太陽能電池的電流和功率大小進行分類、分級,將分選好的晶體硅太備注:生產(chǎn)工藝中的用水(包括藥劑稀釋用水及漂洗用水)均為純水;使用的印刷漿料(包括銀鋁漿、銀漿、鋁漿)均不含鉛及其化合物;各工序加熱所需熱量表2-12浙江波力勝新能源科技有限公司污染源強匯總(單位:t/a)污染源類型污染因子產(chǎn)生量(t/a)排放量(t/a)排放方式廢水廢水量184666.4184666.4廠內(nèi)預處理后納管排放,納入水閣工業(yè)區(qū)污水處理廠處理排入大溪CODCr88.819.229總氮11.4562.769氟化物215.347TP0.92312.660氨氮3.590.923動植物油0.1900.185廢氣HCl0.005有組織0.0002有組織由抽風裝置收集分質(zhì)處理后由排氣筒高空排放,無組織由車間排放無組織0.0001氮氧化物33.2有組織6.507無組織0.664HF有組織0.049無組織0.02POCl30.168有組織0.008ClCl有組織有組織0052—31—CF40.370有組織0.019SiF43.938有組織0.197SiH40.350有組織0.004NH30.177有組織0.009松油醇有組織0.157無組織0.032非甲烷總烴9.626有組織0.943無組織0.193VOCs/油煙0.020有組織0.008經(jīng)油煙凈化處理后由屋頂排放危險廢物含廢銀漿、鋁漿、銀鋁漿的擦拭布、廢HF試劑桶0由專用容器收集加蓋貯存后,委托給有資質(zhì)的單位處置廢活性炭42.90般固廢含氟污泥0外運制磚次品0.9600原料供應廠家回收利用其他生活垃圾34.000統(tǒng)一清運根據(jù)現(xiàn)場踏勘,項目所用車間為閑置車間,根據(jù)現(xiàn)),根據(jù)《意芯半導體有限公司項目地塊土壤污染現(xiàn)狀調(diào)查報告》場地環(huán)境調(diào)查結果,場地調(diào)查范圍內(nèi)的土壤環(huán)境質(zhì)量滿足《土壤環(huán)境質(zhì)量建設用地土壤污染風險管控標準(試行)》(GB36600-2018)中第二類建設用地的篩選值和標準限值,土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀較好;地塊調(diào)查范圍內(nèi)的地下水除氨氮、嗅和味、肉眼可見物,其余各因子監(jiān)測值可達到《地下水質(zhì)量標準》(GB/T14848-2017)管控與修復方案編制、風險管控要修復效果工作的補充規(guī)范》中附件5地下水污染風險管控篩選值補充指標,根據(jù)分析,超標因子對人體造成健康危害的風險可—32—根據(jù)《建設用地土壤污染狀況調(diào)查技術導則》(HJ25.1-2019)中以及清潔對照點濃度(有土壤環(huán)境背景的無機物),并且經(jīng)過不確定分析確認不相關土壤監(jiān)測項目檢測值均未超過本地塊的土壤環(huán)境風險評估篩選值,地下水超—33—區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀表3.1-1環(huán)境空氣中質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測結果縣區(qū))PM2.5(μg/mPM10(μg/mNO2(μg/m3)SO2(μg/m3)CO(mg/mO3(μg/m綜合級別綜合指數(shù)濃度超標率(%)濃度超標率(%)濃度超標率(%)濃度超標率(%)第百分位數(shù)超標率(%)第90百分位數(shù)超標率(%)麗水市區(qū)210400200500.9042.75PM10、NO2、SO2、CO、O3濃為了解和掌握評價區(qū)域內(nèi)特征因子丙酮的質(zhì)量現(xiàn)狀,本環(huán)評監(jiān)測數(shù)據(jù)引用浙—34—表3.1-2環(huán)境空氣現(xiàn)狀監(jiān)測點位置監(jiān)測點位距離監(jiān)測項目監(jiān)測時間及頻次數(shù)據(jù)來源龍慶路與麗沙路交界處880m丙酮連續(xù)監(jiān)測7天,每天4次(02、08、14、20時每次時間不小于1小時區(qū)域現(xiàn)狀監(jiān)測表3.1-3丙酮環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀(監(jiān)測結果)表(濃度單位:mg/m3)檢測點位檢測日期采樣時間丙酮(mg/m3)龍慶路與麗沙路交界處2021年12月29日2:00~3:00<0.018:00~9:00<0.0114:00~15:00<0.0120:00~21:00<0.012021年12月30日2:00~3:00<0.018:00~9:00<0.0114:00~15:00<0.0120:00~21:00<0.012021年12月31日2:00~3:00<0.018:00~9:00<0.0114:00~15:00<0.0120:00~21:00<0.012:00~3:00<0.018:00~9:00<0.0114:00~15:00<0.01—35—20:00~21:00<0.012022年1月2日2:00~3:00<0.018:00~9:00<0.0114:00~15:00<0.0120:00~21:00<0.012:00~3:00<0.018:00~9:00<0.0114:00~15:00<0.0120:00~21:00<0.012022年1月4日2:00~3:00<0.018:00~9:00<0.0114:00~15:00<0.0120:00~21:00<0.01表3.1-4污染物環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀(監(jiān)測結果)表(濃度單位:mg/m3)監(jiān)測點監(jiān)測點坐標污染物平均時間評價標準監(jiān)測濃度范圍超標率達標情況龍慶路與麗沙路交界處28.396456丙酮小時平均0.8<0.010達標年的水質(zhì)監(jiān)測資料,對建設項目評價區(qū)域石牛斷面、碧湖渡口斷面河段水質(zhì)狀況—36—表3.1-5水質(zhì)監(jiān)測與評價結果單位:PH無量綱,其它mg/L監(jiān)測斷面pHCODMnBOD5DONH3-NTP現(xiàn)狀類別2020年碧湖渡口7.182.438.370.043Ⅱ標準指數(shù)0.090.680.43石牛7.162.528.680.160.05Ⅱ標準指數(shù)0.080.630.710.220.320.5Ⅱ水質(zhì)標準值6~9≤4≤3≥6≤0.5≤0.1/Ⅲ水質(zhì)標準值6~9≤6≤4≥5≤1.0≤0.2/根據(jù)《浙江省水功能區(qū)水環(huán)境功能區(qū)劃分方案(2015)》(浙政函〔2015〕評價標準執(zhí)行(GB3838-2002)《地表水環(huán)境質(zhì)表3.1-6水環(huán)境功能區(qū)劃表河流序號水功能區(qū)水環(huán)境功能區(qū)功能區(qū)范圍編碼名稱編碼名稱大溪甌江G0301100503023大溪麗水農(nóng)用水區(qū)331102GA050201000450娛樂用水區(qū)上沙溪村下~麗水青田交界處根據(jù)《環(huán)境影響評價技術導則-地表水環(huán)境》(HJ2.3-2018)推薦的指數(shù)比值單項水質(zhì)評價因子i在第j取樣點的標準指數(shù):ij=Cij/Csi式中:Cij——水質(zhì)評價因子i在第j取樣點的濃度,mg/L;—37—fjS=DOfjS=DO,jDOfDO,jDOf-DOSDOj≥DOsS=10-9DOjDO,jDOSDOj<DOsDOf——某水溫、氣壓條件下的飽和溶解氧濃度,);S=7.0-pHjpH,j7.0-pHsdpH≤7.0S=pHj-7.0pH,jpHsd-7.0pH>7.0pHsd——評價標準規(guī)定下限值;pHsu——評價標準規(guī)定上限值。標準參數(shù)>1,表明該因子超過了水質(zhì)評價標準由表3.1-5監(jiān)測結果可知,根據(jù)監(jiān)測資料,2020年石牛斷面、碧湖渡口斷面水質(zhì)均達到《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3838-2002)中的Ⅱ類標準,水質(zhì)現(xiàn)狀項目廠界南、西側進行現(xiàn)狀監(jiān)測(東、北側緊挨其他廠界,無法監(jiān)測),監(jiān)測布—38—表3.1-7聲環(huán)境現(xiàn)狀監(jiān)測結果(單位:dB(A))監(jiān)測點晝間監(jiān)測值夜間監(jiān)測值晝間標準值夜間標準值評價結果廠界南側(1#)58.351.06555達標西側(2#)58.852.86555達標3類標準,南側臨岑山路、西側臨龍慶路執(zhí)行4a類標準。根據(jù)監(jiān)測結果可知,本項目南側、西側現(xiàn)狀噪聲監(jiān)測值低于《聲環(huán)境質(zhì)量標本項目在已建成的生產(chǎn)廠房內(nèi)實施,不新增用地,且周邊無生態(tài)環(huán)境保護目經(jīng)分析,本項目不屬于廣播電臺、差轉臺、電視塔臺、衛(wèi)星地球上行站、雷本環(huán)評土壤、地下水調(diào)查結果引用《意芯半導體有限公司項目地塊土壤污染表3.1-8土壤監(jiān)測點位布局情況一覽表序號點位編號樣品編號實際取樣土層采樣依據(jù)經(jīng)度緯度位置描述檢測采樣時間1S1TJ215456-21120-0.5m表層。。綜合樓HM(重金屬VOC(揮發(fā)性有機物27項)、2021.12.232TJ215456-21121.5-2.0mAs快篩數(shù)據(jù)較高—39—3TJ215456-21123.5-4.0m水位線附近SVOC(半揮發(fā)性有機物+pH+石油烴+氟化物4TJ215456-21125.5-6.0m底層5S2TJ215456-2112232#-10-0.5m表層。。原危廢間區(qū)域HM(重金屬VOC(揮發(fā)性有機物27項)、SVOC(半揮發(fā)性有機物+pH+石油烴+氟化物2021.12.236TJ215456-2112232#-21.5-2.0mAs快篩數(shù)據(jù)較高7TJ215456-2112232#-33.5-4.0m水位線附近8TJ215456-2112232#-45.5-6.0m底層2021.12.239S3TJ215456-2112233#-10-0.5m表層。。原廢水處理區(qū)HM(重金屬VOC(揮發(fā)性有機物27項)、SVOC(半揮發(fā)性有機物2021.12.2310TJ215456-2112233#-21.5-2.0mAs快篩數(shù)據(jù)較高11TJ215456-2112233#-33.5-4.0m水位線附近—40—12TJ215456-2112233#-45.5-6.0m底層+pH+石油烴+氟化物13S4TJ215456-2112234#-10-0.5m表層。。擬建廢水處理站區(qū)域HM(重金屬VOC(揮發(fā)性有機物27項)、SVOC(半揮發(fā)性有機物+pH+石油烴+氟化物2021.12.2314TJ215456-2112234#-21.5-2.0mAs快篩數(shù)據(jù)較高15TJ215456-2112234#-33.4-3.9m水位線附近16TJ215456-2112234#-45.5-6.0m底層17S5TJ215456-2112235#-10-0.5m表層。。原污泥堆放區(qū)HM(重金屬VOC(揮發(fā)性有機物27項)、SVOC(半揮發(fā)性有機物+pH+石油烴+氟化物2021.12.2318TJ215456-2112235#-2mAs快篩數(shù)據(jù)較高19TJ215456-2112235#-33.3-3.8m水位線附近20TJ215456-2112235#-45.5-6.0m底層—41—21S6TJ215456-2112236#-10-0.5m表層。??盏刂醒際M(重金屬VOC(揮發(fā)性有機物27項)、SVOC(半揮發(fā)性有機物+pH+石油烴+氟化物2021.12.2322TJ215456-2112236#-2mAs快篩數(shù)據(jù)較高23TJ215456-2112236#-33.3-3.8m水位線附近24TJ215456-2112236#-45.5-6.0m底層25S7TJ215456-2112237#-10-0.5m表層。。地塊東南角HM(重金屬VOC(揮發(fā)性有機物27項)、SVOC(半揮發(fā)性有機物+pH+石油烴+氟化物2021.12.2326TJ215456-2112237#-2mAs快篩數(shù)據(jù)較高27TJ215456-2112237#-3m水位線附近28TJ215456-2112237#-45.5-6.0m底層表3.1-9地下水監(jiān)測點位布局情況一覽表序號編號位置地下水位深度經(jīng)度緯度檢測項目采樣時間—42—1W1綜合樓可見物、pH、總硬度、溶解性總固體、面活性劑、耗氧量、氨氮、硫化物、鈉、三氯甲烷、四氯化碳、苯、甲苯、鎳;特征因子:石油烴+苯乙烯2021.12.252W2原危廢間3W3原污水處理站區(qū)域土壤監(jiān)測點地下水監(jiān)測點圖3.1地塊內(nèi)監(jiān)測點位圖根據(jù)《意芯半導體有限公司項目地塊土壤污染現(xiàn)狀調(diào)查報告》中結論,本次場地調(diào)查范圍內(nèi)的土壤環(huán)境質(zhì)量滿足《土壤環(huán)境質(zhì)量建設用地土壤污染風險管控標準(試行)》(GB36600-2018)中值,土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀較好;地塊調(diào)查范圍內(nèi)的地下水除氨氮、嗅和味、肉眼可—43—準限值,石油烴可達到《上海市建設用地土壤污染狀況調(diào)查、風險評估、管控與修復方案編制、風險管控要修復效果工作的補充規(guī)范》中附件5地下水污染風險環(huán)境保護目標本項目選址位于麗水經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)龍慶路356號,根據(jù)現(xiàn)場調(diào)查,廠界周表3.2-1項目周邊情況一覽表廠界方位概況東側浙江伸美亞克力有限公司南側岑山路,隔路為麗水錦福板材有限公司西側龍慶路,隔路為荒地北側德億汽車部件有限公司距離本項目最近的環(huán)境敏感點為項目西北側的石牛村根據(jù)《建設項目環(huán)境影響報告表編制技術指南(污染影響類)》(試行)中表3.2-2環(huán)境保護目標名稱坐標/m保護對象保護內(nèi)容環(huán)境功能區(qū)相對廠址方位相對距離/mXY大氣環(huán)境項目周邊500m范圍內(nèi)不涉及大氣環(huán)境保護目標聲環(huán)境項目周邊50m范圍內(nèi)不涉及聲環(huán)境敏感點地下水項目建設場地500m范圍內(nèi)不涉及生活供水水源地準保護區(qū)、生活供水水源地準保護區(qū)以外的補給徑流區(qū)及地下水環(huán)境相關的其他保護區(qū)等敏感區(qū)土壤項目周邊200m范圍內(nèi)不涉及土壤環(huán)境保護目標污染物排放控制標本項目產(chǎn)生的廢水經(jīng)預處理達到《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)中三級標準(其中氨氮排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》—44——45—準理;水閣污水處理廠出水水質(zhì)執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》表3.3-1項目廢水排放標準單位:mg/l(PH除外)項目PHCODBOD5氨氮石油類GB8978-1996三級標準6~9≤500≤300≤400≤35≤20GB18918-2002一級A標準6~9≤50≤10≤10≤5(8)*≤1*注:括號外數(shù)值為水溫>12℃時的控制指標中相應污染物特別排放限值,回流焊及溶劑擦拭非甲烷總烴排放標準執(zhí)行《大氣度的二級標準值限值,由于本項目塑封廢氣、銀膠固化廢氣、回流焊及溶劑擦拭非甲烷總烴均通過同一根排氣筒排放,因此非甲烷總烴應按照從嚴執(zhí)行《合成樹表3.3-2《合成樹脂工業(yè)污染物排放標準》(GB31572-2015)污染物名稱最大允許排放濃度mg/m3最高允許排放速率kg/h排氣筒高度企業(yè)邊界濃度限值濃度mg/m3非甲烷總烴60/4.0酚類/0.048/0.8丙酮/4.8*3.2注*:①計算公式:Q=Cm.R.Kc;式中Q——排氣筒允許排放率,kg.h-1;Cm——居住區(qū)標準一次濃度限值,mg/m3;R——排放系數(shù),二類區(qū)15m高排氣筒取值6;Kc——地區(qū)性經(jīng)濟技術系數(shù),取值1。無組織監(jiān)控濃度取其居住區(qū)中最大一次濃度的4倍。顆粒物、錫及其化合物排放標準執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》表3.3-3《大氣污染物綜合排放標準》二級標準限值污染物無組織排放監(jiān)控濃度限值監(jiān)控點濃度(mg/Nm3)顆粒物周界外濃度最高點錫及其化合物0.24—46—表3.3-4廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值(單位:mg/m3)污染物項目特別排放限值限值含義無組織排放監(jiān)控位置NMHC6監(jiān)控點處1h平均濃度值在廠房外設置監(jiān)控點20監(jiān)控點處任意一次濃度值營運期邊界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲表3.3-5《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12348-2008)單位:dB(A)類別晝間夜間65554類7055固體廢物執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》危險廢物執(zhí)行《危險廢物貯存污染控制標準》—47—總量控制指標本項目納入排放總量控制的污染物為COD、NH3-N、煙粉塵、SO2、NOX,放的水主要污染物僅源自廠區(qū)內(nèi)獨立生活區(qū)域所排放生活污水的,其新增的化學號)和《浙江省工業(yè)污染防治“十三五”規(guī)劃》(浙環(huán)發(fā)[2016]46號),麗水屬于3-N表3.4-1項目總量控制平衡分析(單位:t/a)廢氣廢水VOCsCOD氨氮否是是—48—施工期環(huán)境保護措施(1)施工人員如廁可借用附近廁所,生活污水經(jīng)化糞池處理達標后納入污),(3)施工期經(jīng)常對施工設備進行維修保養(yǎng),避免因設備性能減退而使噪聲(1)生活垃圾集中、分類收集后送至附近垃圾收集點,由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清(2)對于施工產(chǎn)生的建筑垃圾應進行分揀,對廢木材、金屬、玻璃、塑料—49—運營期環(huán)境影響和保護措施—50—運營期環(huán)境影響和保護措施表4-1廢氣產(chǎn)排情況一覽表主要生產(chǎn)單元產(chǎn)污設施名稱對應產(chǎn)污環(huán)節(jié)污染物種類排放形式產(chǎn)生情況污染防治設施排放情況產(chǎn)生量產(chǎn)生速率(kg/h)產(chǎn)生濃度(mg/m3)污染治理設施名稱及編號污染治理設施工藝處理能力(m3/h)收集效率去除效率是否為可行技術排放量排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)生產(chǎn)單元回流焊機回流焊非甲烷總烴有組織0.0250.01TA001活性炭吸附裝置1000090%是0.00250.001無組織////////////塑封機塑封非甲烷總烴有組織0.020.00830.83TA001活性炭吸附裝置1000080%90%是0.0020.0008無組織0.0050.002///////0.0050.002/—51—擦拭臺溶劑擦拭非甲烷總烴有組織0.04640.0193TA001活性炭吸附裝置1000080%90%是0.00460.0019無組織0.01160.0048///////0.01160.0048/烤箱銀膠固化非甲烷總烴有組織0.02880.012TA001活性炭吸附裝置1000090%是0.0030.0012無組織0.00720.003///////0.00720.003/—52—運營期環(huán)境影響和保護措施至電路板上,然后采用回流焊機將表面組裝后冷卻到120℃取出原件。抽真空時,錫膏里面的助焊劑全部揮發(fā),充入氮氣后的整個焊接過程設備處于密閉狀態(tài),錫煙不會逸出,冷卻到120℃時,揮發(fā)的錫全部附著到設備及工件上了(設備需定期保養(yǎng)清理,工件后續(xù)會),氧樹脂的裂解溫度,且環(huán)氧樹脂為固體顆粒,因此塑封過程僅少量單體揮發(fā)產(chǎn)生非甲烷總烴,塑封的工藝原理與注塑基本一致,因此源強核算方法參照注塑工藝根據(jù)《排放源統(tǒng)計調(diào)查產(chǎn)排污核算方法和系數(shù)手冊——塑料制品行業(yè)系數(shù)手冊》中2921塑料薄膜制造行業(yè)系數(shù)表,工藝非甲烷總烴產(chǎn)污系數(shù)為2.5kg/t—原),本項目銀膠含有揮發(fā)份,由于點膠過程在常溫進行且時間短暫,因此本環(huán)評—53—分析,揮發(fā)份占比為50%,其中丙酮占比6%,揮發(fā)份以非甲烷總烴計,則非甲本項目鍵合、植球工藝采用錫焊,過程會產(chǎn)生煙塵、錫及其化合物,由于鍵合、植球采用點焊為主,加工過程短暫,污染物產(chǎn)生量極少,因此錫焊產(chǎn)生的煙本項目切割、研磨采用濕法作業(yè),顆粒物產(chǎn)生量極少;等離子清洗在真空腔①回流焊廢氣:企業(yè)在回流焊機出氣口設置全封閉式引風系統(tǒng),將廢氣直接②塑封廢氣:企業(yè)在塑封機爐口處設置頂部引風系統(tǒng),將廢氣直接引入活性④銀膠固化廢氣:烤箱開門處設置引風機,采用側吸風,直接將廢氣直接引—54— 回流焊廢氣集氣收集15m以上排氣筒 活性炭吸附裝置15m以上排氣筒 活性炭吸附裝置溶劑擦拭廢氣集氣收集銀膠固化廢氣集氣收集圖4.1廢氣收集處理圖表4-2有機廢氣產(chǎn)排情況一覽表污染物指標產(chǎn)生量(t/a)有組織排放無組織排放排放量排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)排放量排放速率(kg/h)非甲烷總烴)0.0150.0240.01丙酮0.01430.00050.050.0030.0013電子器件制造排污單位廢氣產(chǎn)污環(huán)節(jié)、污染物項其他,本項目采用活性炭吸附裝置,此外,根據(jù)工藝分析,本項目廢氣溫度穩(wěn)定表4-3廢氣排放口基本情況一覽表序號排放號排放口名稱污染物種類排放口地理坐標排氣筒高排氣筒出排氣溫度(℃)排放口類型經(jīng)度緯度1DA001有機廢氣排氣筒非甲烷總烴119.83076928.3951180.550般排放口丙酮表4-4項目有組織廢氣達標排放情況一覽表排氣筒污染物項目預計排放情況標準值達標情況執(zhí)行標準DA001非甲烷總烴濃度1.5mg/m3120mg/m3達標《合成樹脂工業(yè)污染物排放標準》(GB31572-2015)中相應污染物特別排放限值丙酮排放速率0.0005kg/h4.8kg/h達標Q=Cm.R.Kc經(jīng)前文分析,本項目各污染物可實現(xiàn)達標排放,項根據(jù)《排污單位自行監(jiān)測技術指南總則》(HJ819-2017)等要求,本項目全表4-5廢氣監(jiān)測要求一覽表序號監(jiān)測點位監(jiān)測點位名稱污染物名稱監(jiān)測頻次執(zhí)行標準1DA001有機廢氣排氣筒非甲烷總烴、丙酮《合成樹脂工業(yè)污染物排放標準》(GB31572-2015)中相應污染物特別排—55——56—放限值限值2廠界/顆粒物、丙酮、錫及其化合物、非甲烷總烴大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)中無組織排放監(jiān)控3廠區(qū)內(nèi)/非甲烷總烴《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》(GB3782-2019)經(jīng)工藝流程分析,本項目廢水源強主要為生活污水、研磨、切割廢水、反沖表4-6廢水污染源強核算結果及相關參數(shù)一覽表產(chǎn)排污環(huán)節(jié)類別污染物種類產(chǎn)生情況污染防治設施排放情況(排環(huán)境量)產(chǎn)生 量產(chǎn)生濃度(mg/L)治理設施名稱及編號治理工藝處理能力(m3/ d)去除效率是否為可行技術排放去向排放 量排放濃度(mg/L)生活生活污水廢水量5760/生活污水處理系統(tǒng)TW001厭氧生化/是進入水閣污水廠處最終排入大溪廢水量:5760/COD2.016350/COD:0.28850NH3-N0.20235/0.0295研反沖洗研切割廢反沖洗廢水廢水量5400/廠區(qū)污水處理站TW002氣浮40/是廢水量:5400/COD0.54/COD502.750090%0.054—57—生活用水量為7200m3/a。生活污水產(chǎn)污系數(shù)取0.8,則生活污水產(chǎn)生量約為離子水制備在產(chǎn)生的濃廢水、設備反沖洗和再生過程有酸、堿廢水,廢水排放量),及其他含污染物極少的清凈下水的排放量,濃縮水不能認定為污水或生產(chǎn)廢水。匯總:綜上所述,本項目排放生活污水、研磨及切割廢水、純水制備廢水、備廢水產(chǎn)生量11160t/a。生活污水經(jīng)化糞池預處理、研磨及切割廢水和純水系統(tǒng)制備廢水經(jīng)廠區(qū)污水站處理達到《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)中三級標準(其中氨氮排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》—58—項目最終排入環(huán)境的排放量為:廢水量11160m3/a、COD0.558t/a(50mg/L)、NH3-N0.056t/a(5mg/L)。2.2廢水類別、污染物及污染治理設施信息(詳見表4-7)表4-7廢水類別、污染物及污染治理設施信息表序號廢水類別污染物種類排放去向排放規(guī)律排放口編號排放口設置是否符合要求排放口類型1生活污水NH3-N進入水閣污水廠處理,最終排入大溪間流量不穩(wěn)定且沖擊型排放DW001?企業(yè)總排□雨水排放□溫排水排放□車間或車間處理設施排放口2研磨、切割廢水NH3-N3反沖洗廢水4濃縮水無機鹽進入市政雨水管網(wǎng)間流量不穩(wěn)定且沖擊型排放YS001□企業(yè)總排?雨水排放□溫排水排放□車間或車間處理設施排放口2.3廢水間接排放口基本情況(詳見表4-表4-8廢水間接排放口基本情況表序號排放口編號排放口地理坐標排放去向排放規(guī)律間歇排放受納污水處理廠信息經(jīng)度緯度名稱污染物種類國家或地方污染物排放標準濃度限值/(mg/L)1DW001119.83083728.395552進入水閣污水處理排放,排放期間流量不穩(wěn)定且6:00~22:00水閣污水處理廠COD50NH3-N5(8)BOD5石油類1—59—廠無規(guī)律,但不屬于沖擊型排放2.4廢水污染物排放執(zhí)行標準(詳見表4-表4-9廢水污染物排放執(zhí)行標準表序號排放口編號污染物種類國家或地方污染物排放標準及其他按規(guī)定商定的排放協(xié)議名稱濃度限值/(mg/L)1DW001COD《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)中三級標準(其中氨氮排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》(DB33/887-2013)中標準限值500NH3-N35400石油類20pH6~9(無量綱)2.5廢水達標排放情況分析生活污水:生活污水可生化性較好,經(jīng)化糞池處理后出水水質(zhì)可滿足《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)中三級標準(其中氨氮排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢研磨、切割廢水、純水制備廢水:企業(yè)擬自建污水站用于處理研磨、切割廢),水質(zhì)可滿足《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)中三級標準(其中氨氮排放經(jīng)分析,生活污水經(jīng)化糞池預處理、研磨、切割廢水、純水制備廢水經(jīng)廠區(qū)廢水屬于間接排放。廠區(qū)污水站設計處理能力能滿足項目需要,所采用的處理工經(jīng)查閱相關資料,本項目所在地在水閣污水處理廠的截污范圍內(nèi),市政污水—60—擴建后達10萬噸/天,污水處理采用“細格柵及沉砂池+調(diào)節(jié)池+初沉池+三級AO復合生物膜生物池(一二級AO復合生物膜生物池+三級AO生物池)+二沉池+加砂高速沉淀池+D型濾池+次氯酸鈉消毒”處理工藝,廢水經(jīng)處理達標后排入大表4-10污水處理廠監(jiān)測數(shù)據(jù)污水處理廠名稱監(jiān)測日期執(zhí)行標準名稱工況負荷%監(jiān)測項目實測濃度(mg/L)標準限值(mg/L)排放單位是否達標麗水市供排水有限責任公司(麗水市水閣污水處理廠)2021/4/19污水處理廠污染物排一級A標準91.9PH值7.36-9無量綱是生化需氧量7.6mg/L是總磷0.0040.5mg/L是化學需氧量3450mg/L是色度830倍是總汞0.000050.001mg/L是總鎘0.00010.01mg/L是總鉻0.0070.1mg/L是六價鉻0.0040.05mg/L是總砷0.00030.1mg/L是總鉛0.0020.1mg/L是懸浮物4mg/L是陰離子表面活性劑(LAS)0.080.5mg/L是氨氮0.2045mg/L是總氮6.45mg/L是石油類0.241mg/L是動植物油0.191mg/L是綜上所述,項目生活污水經(jīng)化糞池處理、研磨、切割廢水、純水制備廢水經(jīng)廠區(qū)污水站處理達標后納管,再經(jīng)過水閣污水處理廠處理后,項目廢水污染物得根據(jù)《排污單位自行監(jiān)測技術指南總則》(HJ819-2017)、《排污許可證申表4-10環(huán)境監(jiān)測計劃及記錄信息表序號排放口編號污染物名稱監(jiān)測設施測設施安裝位置設施的安裝、運行、維護等相關管理要求監(jiān)測是否聯(lián)網(wǎng)監(jiān)測儀器名稱手工監(jiān)測采樣方法及個數(shù)手工監(jiān)測頻次1DW001(總排COD手工//否/混合采樣至少4個混合樣NH3-N手工//否/混合采樣至少4個混合樣pH手工//否/混合采樣至少4個混合樣手工//否/混合采樣至少4個混合樣總磷手工//否/混合采樣至少4個混合樣經(jīng)分析,本項目噪聲主要為生產(chǎn)設備運行時產(chǎn)生的噪聲,根據(jù)《污染源源強表4-11項目主要設備噪聲級匯總一覽表序號名稱數(shù)量空間位置發(fā)聲持續(xù)時間產(chǎn)生聲級(dB)監(jiān)測位置所在廠房結構降噪措施排放強度(dB)室內(nèi)或室外所在車間相對地面高度1一般防氧化烤箱4室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)70~75測量點距設備磚混結構采用低噪聲設備,合理車間布局,采取減60~652印刷機3室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)70~7560~65—61——62—3貼片機4室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)70~75振措施,加強設備維護和管理等60~654回流焊3室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)70~7560~655晶圓貼膜機1室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)60~6550~556晶圓研磨機2室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)70~7560~657晶圓切割機6室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)70~7560~658芯片貼裝機室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)60~6550~559芯片鍵合32室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)60~6550~55等離子清洗機2室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)60~6550~55塑封Mold機1室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)60~6550~55SSP植球機1室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)60~6550~55水清洗1室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)60~6550~55基板切割機1室內(nèi)3#廠房0m連續(xù)70~7560~653.2廠界噪聲達標情況分析為了減輕噪聲對項目周圍環(huán)境的污染影響,必須采用低噪聲設備,并對設備預測模式采用HJ2.4-2009推薦的室外點聲LA(r)=LA(r0)-AdivLA(r0)—聲源處的A聲級,dB(A);Adiv—幾何發(fā)散衰減,dB(按照Adiv=20lg(r/r0)計算—63—室內(nèi),室內(nèi)聲源可采用等效室外聲源聲功率級法進行圖4-1室內(nèi)聲源等效為室外聲源圖例LP2=LP1-(TL+6)中心頻率為63~16000Hz倍頻帶的A計權網(wǎng)絡修正值見下表。表4-12A計權網(wǎng)絡修正值倍頻帶中心頻率/Hz6325050020004000800016000ΔLi/dB-26.2-8.6-3.20-6.6—64—LAi——i聲源在預測點產(chǎn)生的A聲級,dB(A);i——i聲源在T時段內(nèi)的運行b)預測點的預測等效聲級(Leq)計算公式如下:=10g0u0)Leqb——預測點的背景值,dB(A)。表4-12項目噪聲預測結果單位:dB(A)預測點東廠界南廠界西廠界北廠界晝間晝間噪聲本底值/58.358.8/貢獻值48.6疊加值////噪聲達標值65707065從預測結果可知,通過采取本環(huán)評報告提出的相關噪聲防治措施,項目生產(chǎn)車間噪聲對廠區(qū)邊界南、西側的噪聲貢獻值達到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標),為進一步減小項目噪聲對周圍環(huán)境的影響,項目投入使用后應加強設備日常檢修和維護,以保證各設備正常運轉,以免由于設備故障原因產(chǎn)生較大噪聲。對減少人為因素造成的噪聲,合理安排生產(chǎn)時間。在此基礎上,本項目產(chǎn)生的噪聲—65—表4-13噪聲監(jiān)測要求一覽表序號監(jiān)測點位監(jiān)測因子監(jiān)測頻次排放標準1廠界南、西側等效連續(xù)A聲級《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12348-2008)中4類區(qū)標準2廠界東、北側《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12348-2008)中3類區(qū)標準經(jīng)工藝流程分析,本項目固廢主要有廢次品、廢活性炭、污水處理污泥、生(HJ884-018)等相關規(guī)定,本項目表4-14固體廢物污染源強核算結果及相關參數(shù)一覽表產(chǎn)生環(huán)節(jié)廢物名稱固廢屬性主要有毒有害物質(zhì)物理性狀環(huán)境危險特征貯存方式產(chǎn)生情況利用處置措施最終去向核算方法產(chǎn)生 量/工藝處置 量/檢驗廢次品危險廢物900-045-49/固體/袋裝產(chǎn)污系數(shù)法0.3委托處置0.3有資質(zhì)的公司活性炭更換廢活性炭危險廢物900-039-49/固體/袋裝產(chǎn)污系數(shù)法4.67委托處置4.67有資質(zhì)的公司污水處理污泥一般固廢/固體/袋裝產(chǎn)污系數(shù)法54委托處置54浙江青山環(huán)保有限公司原料使用廢包裝容器一般固廢/固體/瓶裝產(chǎn)污系數(shù)法0.5委托處置0.5生產(chǎn)廠家原料使用?;b容器//固體/瓶裝產(chǎn)污系數(shù)法0.072委托處置0.072生產(chǎn)廠家員工生活生活垃圾//固體/袋裝產(chǎn)污系數(shù)法6換T環(huán)衛(wèi)部門清運6衛(wèi)生填埋—66—件,單件重量約為10g,則產(chǎn)生量為0.3t/a,根據(jù)《國家危險廢物名錄》(2021),項目利用活性炭處理有機廢氣,活性炭吸附飽和和需更換,活性炭吸附廢氣則廢活性炭產(chǎn)生量為4.67t/a,屬于),項目廢水成分主要為少量硅粉,污泥產(chǎn)生量約為廢水量的1%,項目生產(chǎn)廢年產(chǎn)生廢包裝容器144個,單個重量約為0.5kg,則?;钒b容器產(chǎn)生量為本項目勞動員工約240人,垃圾產(chǎn)生系數(shù)按0.5kg/人·d計4.2危險廢物情況匯總—67—表4-15項目危險廢物分析情況匯總表序號固體廢物名稱廢物類別行業(yè)來源廢物代碼危險廢物危險特性1廢次品危險廢物非特定行業(yè)900-045-49廢電路板(包括已拆除或未拆除元器件的廢棄電路板及廢電路板拆解過程產(chǎn)生的廢棄CPU、顯卡、聲卡、內(nèi)存、含電解液的電容器、含金等貴金屬的連接件T(毒性)2廢活性炭非特定行業(yè)900-039-49煙氣、VOCs治理過程(不包括餐飲行業(yè)油煙治理過程)產(chǎn)生的廢活性炭,化學原料和化學制品脫色(不包括有機合成食品添加劑脫色)、除雜、凈化過程產(chǎn)生的廢活性炭T(毒性)3?;钒b容器非特定行業(yè)900-041-49含有或沾染毒性、感染性危險廢物的廢棄包裝物、容器、過濾吸附介質(zhì)T(毒(感染性)據(jù)《建設項目危險廢物環(huán)境影響評價指南》(公告2017年第43號)要求,針對本項目危險廢物收集、貯存、運輸、利用、處置環(huán)節(jié)采取的污染防治措施,具表4-16危廢收集、貯存、運輸、處置環(huán)節(jié)污染防治措施匯總表序號危廢名稱危廢代碼污染防治措施收集貯存運輸處置1廢次品900-045-49制定收集計劃,做好臺賬記錄和安全防護等依托已建危廢倉庫,分類貯存,做好防滲、防火、防雨、防曬等措施委托相關有資質(zhì)的單位回收處置2廢活性炭900-039-493危化品包裝容器900-041-49注:項目危廢收集、暫存應滿足《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》和《危險廢物收集貯存運輸技術規(guī)范》(HJ2025-2012)中相關要求。表4-17項目危險廢物暫存庫基本情況表序號貯存場所(設施)名稱危險廢物名稱位置(m2)貯存方式貯存能力貯存周期1危廢倉庫廢次品生產(chǎn)車間20袋裝0.2噸廢活性炭袋裝0.5噸危化品包裝容器桶裝—68—根據(jù)《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》,企業(yè)應當建立健全工業(yè)建立工業(yè)固體廢物管理臺賬,如實記錄產(chǎn)生工業(yè)固體廢物的種類、數(shù)量、流向、貯存、利用、處置等信息,實現(xiàn)工業(yè)固體廢物可追溯、可查詢,并采取防治工業(yè)企業(yè)應加強一般固廢管理,設置一般固廢貯存場,堆場選址及固廢管理應符求,臺賬管理應根據(jù)《一般工業(yè)固體廢物管理臺賬制定指南》要求記錄錄固體廢物的產(chǎn)生、貯存、利用、處置數(shù)量和利用、處置方式等信息。一般工業(yè)固廢雖然①分類存放。對生產(chǎn)過程產(chǎn)生的玻璃塊盡可能加以利用,對暫時不利用的其③減少產(chǎn)生。合理選擇和利用原材料、能源和其他資源,采用先進的生產(chǎn)工④無害處理。對其產(chǎn)生的不能利用的一般工業(yè)固體廢物,要按照環(huán)境保護的⑤申報登記。需執(zhí)行一般工業(yè)固體廢物申報登記制度,按年度如實向生態(tài)環(huán)危險廢物產(chǎn)生后不得隨意堆放,加強危險廢物收集,要求設置危廢倉庫,該行設計,采取基礎防滲、防火、防雨、防曬、防揚散、通風,配備照明設施等防治環(huán)境污染措施。貯存場所處粘貼危險廢物標簽,并作好相應的記錄。危險廢物由危廢處置單位定期清運處理,包裝容器為密封容器,容器上粘貼標簽,注明種類、成分、危險類別、產(chǎn)地、禁忌與安全措施等,并采用專用密閉車輛,保證運—69—處置單位負責運輸。原則上危廢運輸不采取水數(shù)量相符,兼顧安全可靠性和經(jīng)濟合理性,確的轉移應遵從《危險廢物轉移聯(lián)單管理辦法》及其他有關規(guī)定的要求,并禁止在本項目涉及的危險廢物收集后應定期委托有相應的資質(zhì)的危廢處置單位進行根據(jù)《建設項目環(huán)境風險評價技術導則》(HJ169-2018),本項目全廠風險物質(zhì)主要為酒精、丙酮、危險廢物等,根據(jù)調(diào)查,本項表4-18項目物料存儲情況表序號物質(zhì)名稱風險物質(zhì)單元實際最大存儲量(t)臨界量(t)q/Q1酒精酒精0.00825000.00082丙酮丙酮0.001560.53危險廢物危險廢物650合計0.7008經(jīng)分析,本項目風險源分布主要為原料倉庫、瓶裝丙烷、甲醇堆放區(qū)、危廢表4-19風險源分布一覽表序號風險源潛在環(huán)境風險風險物質(zhì)1原料倉庫泄漏酒精、丙酮2危廢倉庫泄漏酒精、丙酮3廢氣治理設施設施故障,非正常排放非甲烷總烴4/惡劣天氣、火災等廠內(nèi)所有風險物質(zhì)—70—本項目生產(chǎn)過程的環(huán)境風險主要為大氣污染和水污染事故,本項目廢氣治理設施故障,造成廢氣污染物排放量增加,嚴重污染周圍大氣環(huán)境。生產(chǎn)事故泄漏以及火災爆炸事故的消防應急處置過程中,如不當操作有引發(fā)二次水污染的可能最危險的伴生/次生污染事故為火災和爆炸事故對臨近的設施造成連鎖爆炸為使環(huán)境風險減小到最低限度,必須加強安全管理,制定完善、有效的風險廠內(nèi)備用電系統(tǒng),為了防止因停電而造成事故性排放的發(fā)生,廠內(nèi)必須配套完善程、安全生產(chǎn)檢查制度、禁火管理制度、事故管理制度等,必須切實加強安全管理,提高事故防范能力,員工實行持證上崗。易燃、易爆生產(chǎn)裝置區(qū)、管道等危關安全衛(wèi)生的政策、法規(guī)教育,增強法制觀念,不斷強化職工安全意識,不斷提高職工安全素質(zhì),增強職工處理突發(fā)安全事故的能力。在各生產(chǎn)裝置內(nèi)應按編制—71—救援,盡快控制事態(tài)的發(fā)展,降低事故造成的危害,減少事故造成的損失,建議5.5突發(fā)環(huán)境事件應急預案風險事故應急預案的基本要求包括:科學性、應急救援預案必須進行科學分析和論證;應急預案應實用、簡單、易掌握等特性,便于實施;對事故處置過程中職責、權限、任務、工作標準、獎勵與處罰等做出明確規(guī)定,使之成為企提出完善的意見和建議。項目在實施過程中可能會發(fā)表4-20應急預案主要內(nèi)容序號項目內(nèi)容及要求1應急計劃區(qū)危險目標:倉庫區(qū)、生產(chǎn)車間2應急組織機構、人員企業(yè)管理層,企業(yè)在附近住宿員工3預案分級響應條件預案的級別及分級響應程序:火災:一級響應,先撥打119,再組織撲救,同時做好人群疏散。化學品外泄:二級響應,視外泄量和外泄地點,按照化學品理化性質(zhì)進行處理。污水站設備故障:二級響應,即時停產(chǎn),檢修,把調(diào)節(jié)池作為應急事故池貯存污水。其他事故:三級響應,按照廠區(qū)安全管理程序及處理方法處置。4應急救援保障應急設施,設備與器材等:消防器材,應急貯存器皿,應急人員安排。5報警、通訊聯(lián)絡方式火
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