浙江里陽半導體有限公司年產瞬態(tài)抑制二極管TVS 5寸晶圓180萬片項目環(huán)境影響報告表

建設項目環(huán)境影響報告表（污染影響類）項目名稱:年產180萬片瞬態(tài)抑制二極管TVS5寸晶圓生產線技改項目中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部制建設項目名稱年產180萬片瞬態(tài)抑制二極管TVS5寸晶圓生產線技改項目項目代碼2103-331083-07-02-274360建設單位聯(lián)系人聯(lián)系方式建設地點玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門工業(yè)區(qū)老鷹窩98號地理坐標121度16分23.960秒，28度10分57.950秒國民經濟行業(yè)類別C3972半導體分立器件制造建設項目行業(yè)類別36_080電子器件制造建設性質新建（遷建）改建擴建技術改造建設項目申報情形首次申報項目不予批準后再次申報項目超五年重新審核項目重大變動重新報批項目項目審批（核準/玉環(huán)市經濟和信息化局項目審批（核準/備案）文號（選填）2103-331083-07-02-274360總投資（萬元）6000環(huán)保投資（萬元）環(huán)保投資占比（%）施工工期3個月是否開工建設否是用地（用海）面積（m2）/專項評價設置情況專項評價名稱：大氣專項評價；設置理由：本項目排放廢氣含有氯氣排放且廠界外500m范圍內有環(huán)境空氣保護目標。專項評價名稱：風險專項評價；設置理由：本項目有毒有害和易燃易爆危險物質存儲量超過臨界量，Q=6.16＞1。規(guī)劃情況無規(guī)劃環(huán)境影響評價情況無規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價符合性分析無其他符合性分析“三線一單”符合性分析(1)生態(tài)保護紅線企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門工業(yè)區(qū)老鷹窩98號，租用浙江環(huán)力煙機有限公司廠房，用地性質為工業(yè)用地，本次擴建項目在原有生產車間內實施。項目不其他符合性分析在當?shù)仫嬘盟础L景區(qū)、自然保護區(qū)等生態(tài)保護區(qū)內，根據《玉環(huán)市生態(tài)保護紅線劃定技術報告》，不在劃定的生態(tài)保護紅線內，滿足生態(tài)保護紅線要求。(2)環(huán)境質量底線本項目所在區(qū)域的環(huán)境質量底線目標為：環(huán)境空氣質量目標為《環(huán)境空氣質量標準》（GB3095-2012）二級標準及其修改單（生態(tài)環(huán)境部公告公告2018年第29號水環(huán)境質量目標為《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）Ⅳ類標準。項目所在地區(qū)域環(huán)境空氣環(huán)境質量良好，基本污染物能達到《環(huán)境空氣質量標準》（GB3095-2012）二級標準及其修改單（生態(tài)環(huán)境部公告公告2018年第29號），其他相關特征因子均能達到相應標準限值要求；附近地表水體總體評價水質滿足Ⅳ類水功能區(qū)要求。企業(yè)廢水經廠內廢水處理設施預處理后，納入玉環(huán)市污水處理有限公司處理達標后排放，不直接排放附近水體，故不會對周圍地表水環(huán)境產生明顯影響。采取本環(huán)評提出的相關防治措施后，企業(yè)排放的污染物不會對周邊環(huán)境造成明顯影響，不會突破區(qū)域環(huán)境質量底線。(3)資源利用上線企業(yè)能源采用電，用水來自市政供水管網，本次擴建項目新增新鮮水用量138315t/a（461t/d）。玉環(huán)市亞海水淡化（一期）抗旱應急工程總投資約1.3億元，占地約40畝，通過在漩門二期圍墾區(qū)建設亞海水淡化系統(tǒng)，采用膜法水處理技術把亞海水經絮凝沉淀、過濾等預處理環(huán)節(jié)后，再通過超濾、反滲透脫鹽處理變成可飲用淡水。一期工程日產水量可達3萬立方米。該工程已于2019年10月底通水。臺州市南部灣區(qū)引水工程，以黃巖院橋為起點，接入臺州市引水工程原水管線，經溫嶺，到玉環(huán)。該項目總投資18.43億元，近期設計供水規(guī)模每天15萬立方米，輸水線路總長約40.56公里。南部灣區(qū)引水工程計劃于2022年6月建成通水。屆時，臺州南片將形成“三縱三橫”以及南北互備供水格局，將極大滿足臺州灣區(qū)建設與發(fā)展的用水需求，徹底解決溫嶺、玉環(huán)等地供水緊缺問題，全面提升臺州南片區(qū)域安全、可靠的供水保障能力。上述兩項工程的建成可有效緩解玉環(huán)市當前水資源緊張的現(xiàn)狀。本項目建成運行后通過內部管理、設備選擇、原輔材料的選用和管理、重復用水、中水回用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“節(jié)能、節(jié)水、降耗、減污”為目標，有效地控制污染，符合能源資源利用上線和水資源利用上線要求。企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門工業(yè)區(qū)老鷹窩98號，租用浙江環(huán)力煙機有限公司廠房，用地性質為工業(yè)用地，本次擴建項目在原有生產車間內實施。本項目其他符合性分析不涉及基本農田、林地等，滿足土地資源利用上線要求。綜上所述，本項目的建設不會突破區(qū)域的資源利用上線。(4)生態(tài)環(huán)境準入清單企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門工業(yè)區(qū)老鷹窩98號，租用浙江環(huán)力煙機有限公司廠房，用地性質為工業(yè)用地，本次擴建項目在原有生產車間內實施。根據《玉環(huán)市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》，屬于“ZH33108320104臺州市玉環(huán)市玉環(huán)玉城-坎門街道環(huán)境優(yōu)化準入區(qū)重點管控區(qū)”，本項目的建設符合該管控單元的環(huán)境準入清單要求，具體符合性分析見表1-1。表1-1生態(tài)環(huán)境準入清單符合性分析一覽表“三線一單”生態(tài)環(huán)境準入清單要求企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩江環(huán)力煙機有限公司廠房，用地性質為工業(yè)用地，本次擴建項目在原有生產車間內實施。本項目生產瞬態(tài)抑制二極管清洗、熱氧化、擴散、光刻、刻蝕、化學鍍鎳（金）、電鍍屬于《玉環(huán)市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》附件中規(guī)定的二類工業(yè)項目。最近居民點為東側35m處的漩門村是控嚴格實施污染物總量控制制度，根據區(qū)域環(huán)境質量改善目標，削減污加強污水處理廠建設及提升改造，推進工業(yè)園區(qū)（工業(yè)企業(yè)）“污水零直排區(qū)”建設，所有企業(yè)實現(xiàn)雨嚴格重污染行業(yè)重金屬和高濃度難降解廢水預處理和分質處理，加強對納管企業(yè)總氮、鹽分、重金屬和其他有毒有害污染物的管控，強化企業(yè)污染治理設施運行維護管理。全面推進汽摩配重點行業(yè)VOCs治理和工業(yè)廢氣清潔排放改造，強化工業(yè)企業(yè)無組織排放管控。二氧化硫、氮氧化物、顆粒物、揮發(fā)性有機物全面執(zhí)行國家排企業(yè)廠區(qū)實現(xiàn)雨污分流，本次擴建項目生產廢水依托企業(yè)現(xiàn)有廢水處理站，工藝廢水經預處理達標后納管進入玉環(huán)市污水處理有限公司處理達標后排放，廢氣經收集處理后達標排放，各污染物排放均能滿足相關廢氣排放標準，污染物排放水平可達到同行業(yè)國內先進水平。本項目實施后，污染總鎳、氮氧化物、VOCs排放是其他符合性分析放標準大氣污染物特別排放限值，深入推進工業(yè)燃煤鍋爐煙氣清潔排放改造。加強土壤和地下水污染防治與修定期評估沿江河湖庫工業(yè)企業(yè)、工業(yè)集聚區(qū)環(huán)境和健康風險，落實防控措施。相關企業(yè)按規(guī)定編制環(huán)境突發(fā)事件應急預案，重點加強事故廢水應急池建設，以及應急物資的儲備和應急演練。強化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風險防范設施設備建設和正常運行監(jiān)管，落實產業(yè)園區(qū)應急預案，加強風險防控體系建設，建立常態(tài)化的企業(yè)本次擴建項目實施后，企業(yè)應及時按規(guī)定更新和落實環(huán)境突發(fā)事件應急預案，符合環(huán)境風是企業(yè)能源采用電，用水來自市政供水管網，生產過程中加強節(jié)水管理，工藝清洗廢水部分重復利用，減少新鮮水用是建設內容1、項目報告類別判定本項目主要生產瞬態(tài)抑制二極管TVS5寸晶圓，主要生產工藝為清洗、熱氧化、擴散、光刻、刻蝕、化學鍍鎳（金）、電鍍錫等，為半導體分立器件制造，屬于《國民經濟行業(yè)分類》（GB/T4754—2017，2019年修訂）及其注釋中的C3972半導體分立器件制造。對照《建設項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》（2021年版），本項目評價類別為報告表，具體見表2-1。表2-1名錄對應類別//表2-2本項目基本情況表主體工程企業(yè)擬在原來可控硅項目及廠房的基礎上，將原來生產車間3樓的封裝車間改建為氧化、擴散、光刻、刻蝕、化學鍍鎳（金）、電鍍錫（依托現(xiàn)有生產線或外協(xié)）等工藝，公用工程廠區(qū)雨污分流，廢水經廠內污水處理站預處理達標后納入市政管網，進玉環(huán)市污水處環(huán)保工程統(tǒng)廢液委外處置，清液達標排放。對現(xiàn)有含氟磷廢水預處理系統(tǒng)進行改造，新增高濃廢液預處理系統(tǒng)，增加一套石灰加藥系統(tǒng)，并在二級沉淀后增加砂濾裝置。對現(xiàn)有氨氮廢水預處理系統(tǒng)進行改造，新增高濃廢液預處理系統(tǒng)。含金廢水利用現(xiàn)有含鎳廢水序批式處理設施與含鎳廢水交替使用。企業(yè)含氟磷廢水設計能力為12.5t/h，運行時間24h。企業(yè)工藝廢水經廠區(qū)廢水處理站處理達標后，與經化糞池預處理的生活污統(tǒng)擴建項目酸性廢氣依托企業(yè)現(xiàn)有酸性廢氣處理設施的基礎上，對廢氣處理設施工藝進僅留工人操作面開口，設置槽邊吸風系統(tǒng)，廢氣經槽邊排風抽出后經機臺頂部設置的管道分類收集進入對應的廢氣處理設施。各酸洗槽等配有密封蓋，不工作時蓋上以防止酸霧揮磷擴散尾氣經設備收集管道收集。各類酸性廢氣收集后進酸性廢氣處理設施，采用二級堿液噴淋（采用10%碳酸鈉+氫氧化鈉溶液）工藝，廢氣經處運行時基本密閉，僅在打開的情況下會有少量廢氣散發(fā)；顯影臺采用通風柜結構，僅留工人操作面開口，設置槽邊吸風系統(tǒng)，廢氣經槽邊排風抽出后經機臺頂部設置的管道分類收設置槽邊吸風及頂部吸風。各類有機廢氣經收集后進入有機廢氣處理設施，采用活性炭吸附脫附+催化燃燒工藝，處理后的有機廢氣經一根33m高排氣筒（DA003）高空排放，設要求企業(yè)對各塑封壓機壓鑄點設置側吸集氣罩，并對固化烘箱設置尾氣收集管，將塑封、固化過程產生的有機廢氣收集后經活性炭吸附設施處理后，通過一根30m高排氣筒建設內容依托工程已建危廢倉庫兩座，分別位于生產車間北側和辦公樓北側。其中危廢倉庫1面積約潔凈車間情況介紹：企業(yè)各生產車間均為潔凈車間，潔凈度要求分別為100-1000級。目前2F生產車間設新風系統(tǒng)1套（18000m3/h），本次擴建項目擬增加1套用于3F生產車間（12000m3/h）。新風系統(tǒng)具體工藝參數(shù)情況見表2-3。具體工藝圖見附圖10。表2-3新風系統(tǒng)工藝參數(shù)表建設內容/車間為正壓送風，壓力控制比外環(huán)境高5pa，企業(yè)車間空氣經新風系統(tǒng)出風口排出，經排風通道排放至生產車間外環(huán)境。3、主要產品及產能擴建項目主要產品方案見表2-4。表2-4擴建項目產品方案表12擴建項目實施后，企業(yè)全廠產品方案如下：表2-5企業(yè)全廠產品方案一覽表12管品3品4品建設內容56品78品圖2-1瞬態(tài)抑制二極管產品示意4、主要生產設施表2-6擴建項目主要生產設施一覽表（本次新增）建設內容表2-7擴建項目實施前后企業(yè)生產設備一覽表單位：臺建設內容建設內容4、主要原輔材料及能源表2-8擴建項目原輔材料及能源消耗情況表建設內容表2-9擴建項目實施前后企業(yè)原輔材料消耗一覽表單位：t/a建設內容建設內容注：原環(huán)評未考慮劃片工序金剛石刀片消耗，根據6、元素平衡和水平衡(1)元素平衡鎳元素平衡見表2-10。表2-10鎳元素平衡擴建項目涉及到氟元素的物料主要為混合酸（含氫氟酸）、BOE腐蝕液（含氫氟酸、氟化銨）、氫氟酸，氟元素物料平衡具體如下。表2-11氟元素平衡擴建項目涉及到磷元素的物料主要為三氯氧磷、次亞磷酸鈉。磷元素物料平衡具體如下。表2-12磷元素平衡擴建項目涉及到氮的物料主要為混合酸（含硝酸）、硝酸、BOE腐蝕液、氨水等，氮元素物料平衡具體如下。表2-13氮元素平衡建設內容擴建項目涉及到氯的物料主要為三氯氧磷、鹽酸、BOE、氯化鎳、氯化銨、氯化金等，氯元素物料平衡具體如下。表2-14氯元素平衡水擴建項目涉及到的VOCs物料主要為光刻膠、二甲苯、顯影漂洗液、硼乳膠源等。主要VOCs物料平衡如下。表2-15VOCs平衡VOCs（t/a）VOCs（t/a）(2)水平衡本項目水平衡圖見圖2-2。建設內容圖2-2擴建項目水平衡圖單位：t/a建設內容圖2-3擴建項目實施后全廠水平衡圖單位：t/a7、勞動定員及工作制度建設內容本項目新增勞動定員200人，年工作時間300天，實行24h/d三班制。8、廠區(qū)平面布置浙江里陽半導體有限公司廠區(qū)共設置1幢生產車間（共3F）、1幢辦公樓（共5F），其中物流入口位于廠區(qū)南側。本次擴建項目主要在現(xiàn)有生產車間3F實施，各功能布局情況具體見表表2-16項目廠區(qū)平面布置情況一覽表焊接車間（現(xiàn)有）、濕法車間（新增）、擴散車間（新增）、電鍍車間（已批未建設）、鍵合車間（已批工藝流程和產排污環(huán)節(jié)1、工藝流程簡述（1）芯片生產圖2-4擴建項目芯片生產工藝流程圖工藝流程說明：（2）TVS成品圖2-6TVS塑封成品制造工藝流程圖（3）電鍍錫（依托一期項目，部分外協(xié)）圖2-7電鍍錫工藝流程圖（4）純水工藝（依托一期項目）圖2-8純水站設計水量平衡圖圖2-9純水工藝一覽表2、工藝設備先進性分析本項目設備工藝先進性主要體現(xiàn)在以下幾個方面：(1)本項目為芯片及TVS成品制造，項目生產車間均為潔凈車間。濕法車間各清洗機均采用通風柜結構，僅留工人操作面開口，設置槽邊吸風系統(tǒng)，廢氣經槽邊排風抽出后經機臺頂部設置的管道分類收集進入對應的廢氣處理設施。各酸洗槽等配有密封蓋，不工作時蓋上以防止酸霧揮發(fā)。項目槽液配置均在通風柜內進行。(2)本項目濕法工藝采用重復用水、廢酸再用等手段有效減少廢酸、廢水排放，可減輕廢酸處理系統(tǒng)的運行負荷，減少污染物排放。(3)光刻機、擴散爐等設備運行時基本密閉，設備設置尾氣收集系統(tǒng)，收集效率較高。(4)項目電鍍生產線整體密閉，設置槽邊吸風及頂部吸風，廢氣收集率較高；采用逆流清洗工序，電鍍車間部分生產廢水采用純水制備產生的濃水。(5)擴散車間配有有毒有害氣體泄漏報警裝置。工藝流程和產排污環(huán)節(jié)(6)項目純水制備產生的二級RO濃水和EDI濃水回用于純水系統(tǒng)制水，一級RO濃水回用于項目冷卻塔補水、生化沖廁用水和景觀綠化用水，可有效減少項目廢水外排量。3、產排污環(huán)節(jié)分析表2-22本項目產排污環(huán)節(jié)匯總表pH、CODCrpH、CODCr/與項目有關的原有環(huán)境污染問題1、現(xiàn)有項目概況浙江里陽半導體有限公司成立于2018年，是一家專業(yè)從事功率半導體芯片及分立器件生產的電子企業(yè)。企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門工業(yè)區(qū)，租賃浙江環(huán)力煙機有限公司部分廠房進行生產。企業(yè)于2018年11月委托浙江泰誠環(huán)境科技有限公司編制了《浙江里陽半導體有限公司年產60萬片功率半導體芯片及分立器件制造生產線技改項目環(huán)境影響報告書》，并通過原臺州市環(huán)境保護局的審批（臺環(huán)建[2018]48號），審批規(guī)模為年產60萬片功率半導體芯片及分立器件制造。企業(yè)于2019年取得了排污許可證（證書編號91331021MA2ANXHM3J001V）。目前，該項目濕法車間、焊接車間已投入生產，并于2021年4月完成“三同時”竣工驗收。2、企業(yè)現(xiàn)有生產規(guī)模調查目前，企業(yè)現(xiàn)有項目僅濕法車間及相應配套設施投運，封裝及電鍍工序暫未建設。根據原環(huán)評及企業(yè)建設項目竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測報告（臺州綠科2020（驗）字第069號），企業(yè)現(xiàn)有項目生產規(guī)模情況見下表。表2-23企業(yè)驗收生產規(guī)模一覽表1/2/3/4萬片+整流二極管芯片12萬/5/6/表2-24企業(yè)現(xiàn)有生產規(guī)模一覽表例例3、企業(yè)現(xiàn)有生產設備和原輔料調查根據原環(huán)評及企業(yè)建設項目竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測報告（臺州綠科2020（驗）字第069號）以及現(xiàn)場調查，企業(yè)現(xiàn)有項目生產設備情況見表2-19，原輔料消耗情況見表2-20。與項目有與項目有關的原有環(huán)境污染問題與項目有關的原有環(huán)境污染問題表2-26現(xiàn)有項目動力及輔助設備單位：臺/套根據調查可知，企業(yè)在實際建設過程中對設備進行相應調整，生產設備數(shù)量較環(huán)評少3臺（其中硅片磨蝕機多1臺、硼擴爐管多1臺、玻璃鈍化少1臺、自動涂膠機多3臺、雙面光刻少1臺、單面光刻少3臺、顯影臺少1臺、圖示儀多2臺、鋁蒸發(fā)臺多1臺、銀蒸發(fā)臺少2臺、與項目有關的原有環(huán)境污染問題金屬化清洗機少1臺、貼膜機少1臺、砂輪劃片機多1臺、真空焊接爐少2臺），其余與環(huán)評一致。與驗收時相比，除增加一臺硅片磨蝕機外其余均一致。企業(yè)增減設備主要目的為了應急或根據客戶不同產品尺寸、大小、型號的不同要求而做出的調整，增減設備不改變主要污染物的產排情況，不新增污染物排放，產品產能基本保持不變。表2-27現(xiàn)有項目主要原輔料情況一覽表與項目有關的原有環(huán)境污染問題注：本評價統(tǒng)計的是出庫量，與消耗量可能存在誤4、企業(yè)現(xiàn)有生產工藝調查目前，企業(yè)現(xiàn)有項目僅濕法車間及相應配套設施投運，封裝及電鍍工序暫未建設。根據原環(huán)評及現(xiàn)狀調查，企業(yè)現(xiàn)有項目生產工藝與原環(huán)評審批、竣工驗收一致，具體工藝如下。與項目有關的原有環(huán)境污染問題（1）芯片生產（2）封裝及電鍍工序（暫未建設）A.電極芯片封裝制造工藝B.分立器件TO系列封裝制造工藝與項目有關的原有環(huán)境污染問題（3）工藝說明：5、企業(yè)現(xiàn)有污染源強調查（1）廢水根據企業(yè)原環(huán)評及現(xiàn)狀調查，現(xiàn)有廢水主要為生活污水和工藝廢水，其中工藝廢水分為氟磷廢水（包括含氟氨混合廢水、含氟廢水、含磷廢水）和氨氮廢水（包括酸堿廢水、含氨廢水、混合清洗廢水、廢氣噴淋廢水、純水制備廢水）。電鍍工序暫未投運，因此現(xiàn)有廢水不含電鍍車間工藝廢水（去毛刺清洗廢水、含錫廢水、去氧化廢水（含鎳廢水）、活化工序廢酸液、有機清洗廢水）。企業(yè)工藝廢水大部分采用純水，其中濃水產生量約為23732t/a（3.3t/h），根據現(xiàn)狀調查，純水制備的濃水均回用于冷卻塔補充用水。目前，企業(yè)設有4臺冷卻水塔，循環(huán)量共計850m3/h，平均補充水量按1%計（根據季節(jié)不同存在變化），約為8.5m3/h，純水制備產生的濃水可全部回用于冷卻塔補充用水。根據企業(yè)提供的廢水臺賬和在線監(jiān)控數(shù)據，2021年6月——11月的工藝廢水在線數(shù)據如下表。表2-31企業(yè)廢水在線監(jiān)測情況一覽表（2021年6月——11月）pH值1234596789與項目有關的原有環(huán)境污染問題00與項目有關的原有環(huán)境污染問題9967與項目有關的原有環(huán)境污染問題7876與項目有關的原有環(huán)境污染問題676606///根據企業(yè)在線監(jiān)控（2021年6月——11月），企業(yè)現(xiàn)有項目工藝廢水排放量為29993t，預計年排放量為59986t。另外，企業(yè)現(xiàn)有職工150人，年生活用水量約為4500t/a，排水量按用水量的85%計，生活污水產生量為3825t/a。生活污水經化糞池預處理后與經預處理后的工藝廢水一起納管處理?，F(xiàn)有項目廢水污染物排放情況見表2-32。表2-32企業(yè)現(xiàn)有項目廢水排放源強一覽表與項目有關的原有環(huán)境污染問題/////////由于企業(yè)投產不久，生產能力尚在爬坡期（即芯片投入量＞產出量，芯片從進入生產線生產至成品生產周期約45天左右因此濕法生產時投入芯片雖然未完全達到預計產能（設計量為25片/籃，每個清洗槽可同時清洗2-4籃但達產時廢水排放量基本不會增加。隨著產能的釋放，單片芯片廢水排放量會繼續(xù)降低。（2）廢氣根據企業(yè)原環(huán)評及現(xiàn)狀調查，現(xiàn)有廢氣主要為酸性氣體（鹽酸霧、硫酸霧、醋酸、磷酸、氮氧化物、甲基磺酸）、堿性氣體（氨氣、氫氧化鉀堿霧）、含氟氣體（氫氟酸）、有機廢氣（二甲苯、乙酸丁酯、甲醇、異丙醇、非甲烷總烴）、干法刻蝕工序排氣（CF4）、CVD排氣、磷擴散尾氣、焊接廢氣，現(xiàn)有項目廢氣產排情況如下表。表2-33現(xiàn)有項目廢氣產排情況一覽表00000與項目有關的原有環(huán)境污染問題020根據調查，企業(yè)產生的固廢已分類收集、規(guī)范堆放。生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一收集處理；產生的危險廢物為廢水處理污泥、氟化鈣渣、廢有機溶劑、廢鋁腐蝕液、廢有機剝離液、廢顯影液、廢光刻膠、廢硼源、廢?；钒b材料（含光刻膠沾染物）、實驗廢液廢渣，廢樹脂、廢過濾膜、廢芯片、廢活性炭、鍍槽和退掛槽渣、廢固體吸附劑屬于危險廢物，暫未產生。一般固廢包括廢銅框架、廢塑封料、廢石英砂，其中塑封車間未實施，廢銅框架、廢塑封料暫未產生；純水設備廢石英砂暫未更換，未產生。具體產生情況見下表。表2-34現(xiàn)有項目實際固廢產生情況一覽表審批月產生量6-11月臺賬統(tǒng)（t/a）1劑液液生1-4次2液酸、水液1生3-9次3面活性橡膠等液生1-4次4液危與項目有關的原有環(huán)境污染問題等5劑固//6片等固//7鈣固/8固9固//渣固//膜固//脂固//固般固廢///固般固廢///固般/5//與項目有關的原有環(huán)境污染問題砂固般固廢//固//（折合膠涂布甩膠過程會產生廢光收利用后庫源液//一次染料固2際部分無法回收的需要按危前暫存于另外光刻過程產生沾染廢光刻膠的紙計入其中液//原環(huán)評未目前企業(yè)產能尚在爬坡期，芯片投入量大于產出量，按投入量折算達產固廢產生量。其中，原環(huán)評未考慮廢光刻膠、廢硼源、實驗廢液廢渣產生量，經調查，廢光刻膠、廢硼源、實驗廢與項目有關的原有環(huán)境污染問題液廢渣目前暫存于危廢倉庫，今后將委托有資質單位處置。原環(huán)評廢?；钒b材料均由相關廠家回收，實際部分無法回收的（硼乳膠源、顯影漂洗液、光刻膠（含光刻膠沾染物）等包裝瓶以及片堿（廢水處理藥劑）等塑料包裝袋）需要按危廢處置，目前暫存于危廢倉庫，今后將委托有資質單位處置。(4)噪聲現(xiàn)有項目噪聲主要為各類設備運行的噪聲。6、企業(yè)現(xiàn)有污染防治設施及可達性調查(1)廢水污染防治措施1收集系統(tǒng)項目廠區(qū)建有雨水管網、污水管網，可實現(xiàn)項目排水的雨污分流、清污分流、污污分流。表2-35企業(yè)現(xiàn)有廢水分類收集情況1/2345洗機、硼擴清洗機、磷擴清洗機、金屬化清洗機、有機去膠機、劃片/2處理系統(tǒng)企業(yè)建有一座處理能力為300t/d的廢水處理設施，包括氟磷廢水預處理系統(tǒng)、含錫廢水預處理系統(tǒng)、含鎳廢水預處理系統(tǒng)、電鍍綜合廢水預處理系統(tǒng)、氨氮廢水預處理系統(tǒng)和綜合廢水生化系統(tǒng)。目前電鍍及封裝工序暫未建設，因此含錫廢水、含鎳廢水、電鍍綜合廢水預處理系統(tǒng)暫未使用。各系統(tǒng)處理工藝具體如下。A.氟磷廢水氟磷廢水中含一定濃度的氟、磷、鋁等污染物，采用兩級物化沉淀工藝同步除氟、除磷、沉鋁。廢水提升后加堿調節(jié)pH值8-9，同時投加氯化鈣進行反應，廢水中所含鋁在此pH條件與項目有關的原有環(huán)境污染問題下形成氫氧化物去除，氟、磷與鈣反應形成溶解度極低的鈣鹽。其反應原理如下：氟磷廢水經兩級物化處理后，進入中間水池1，和氨氮預處理廢水混合后進入生化處理。其處理工藝流程框圖如下：含氟氨混合廢水B.氨氮廢水酸堿廢水、含氨廢水、混合廢水調質均化后采用物化沉淀+A/O/A生化處理工藝處理。廢水經提升后，加酸堿調節(jié)pH，發(fā)生酸堿中和反應：同時投加PAC、PAM，在網捕、架橋、電中和、吸附等原理作用下，將廢水中懸浮物形成與項目有關的原有環(huán)境污染問題大顆粒絮狀物而沉淀，上清液進入pH調節(jié)槽，然后進入生化系統(tǒng)。缺氧脫氮池后端好氧硝化后的廢水回流至缺氧生物池，在此處理過程中硝酸根被反硝化為N2，從而達到脫氮目的。其化學反應式如下：好氧硝化池經一級脫氮后的廢水進入好氧硝化池，在硝化菌的作用下進行硝化反應，其化學反應式如經物化沉淀——缺氧脫氮——好氧硝化——缺氧脫氮處理后的廢水，進入二沉池，上清液過濾后，進入放流池納管。本單元處理工藝如下：與項目有關的原有環(huán)境污染問題3可達性分析根據企業(yè)驗收監(jiān)測報告（臺州綠科2020（驗）字第069號）和日常監(jiān)測（臺州綠科2021（綜）字第0291號），臺州市綠科檢測技術有限公司于2020年11月26日~11月27日和2021年12月7日對企業(yè)廢水進行取樣監(jiān)測，監(jiān)測結果見表2-27。與項目有關的原有環(huán)境污染問題表2-36廢水污染物排放達標分析單位：mg/L（除pH值外）日pH（無量綱）/6~9/8//////2監(jiān)測期間，企業(yè)廢水標排口pH值范圍為6.85~7.10，污染物最大日均值分別為化學需氧量23.3mg/L、氨氮0.33mg/L、總磷1.12mg/L、總氮46.4mg/L、懸浮物<4mg/L、五日生化需氧量5.6mg/L、氟化物9.66mg/L。標排口中廢水各污染物均符合玉環(huán)市污水處理有限公司進管標準；其中氨氮、總磷日均最大排放濃度符合《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中間接排放限值；氟化物、總鋁最大排放濃度符合《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）表3標準。另外，現(xiàn)有芯片車間產能為5英寸芯片60萬片/年，現(xiàn)狀廢水量為59986t/a，對照《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020），現(xiàn)狀排水量為0.1m3/片可滿足基準排水量（3.2m3/片）要求。(2)廢氣污染防治措施1收集系統(tǒng)現(xiàn)有項目根據廢氣污染物特性，共分為酸性氣體收集系統(tǒng)、堿性氣體收集系統(tǒng)、有機廢氣收集系統(tǒng)，另外真空焊接爐尾氣經設備管道收集后高空排放。車間為正壓送風，壓力控制比外環(huán)境高5pa，企業(yè)車間空氣經新風系統(tǒng)出風口排出，經排風通道排放至生產車間外環(huán)境。與項目有關的原有環(huán)境污染問題表2-37廢氣收集系統(tǒng)一覽表氣焊接廢氣由1根30m排氣筒樓頂直排，風2處理系統(tǒng)A.酸性氣體現(xiàn)有項目設1套酸性氣體處理設施，采用二級堿液噴淋（添加硫代硫酸鈉）工藝，酸性氣體（包括含氟氣體）、干法刻蝕工序排氣、磷擴散尾氣收集后接入酸性廢氣處理設施處理后經位于車間樓頂?shù)?5m高排氣筒高空排放。排氣筒B.堿性氣體現(xiàn)有項目設1套堿性氣體處理設施，采用水噴淋工藝，堿性氣體收集后接入堿性廢氣處理設施處理后經位于車間樓頂?shù)?1m高排氣筒高空排放。與項目有關的原有環(huán)境污染問題排氣筒C.有機廢氣現(xiàn)有項目設1套有機廢氣處理設施，采用活性炭吸附濃縮+催化燃燒的組合工藝，有機廢氣收集后接入有機廢氣處理設施處理后經位于車間樓頂33m高排氣筒高空排放。排氣筒3可達性分析根據臺州市綠科檢測技術有限公司提供的驗收監(jiān)測報告（臺州綠科2020（驗）字第069號，2021.4），各處理設施廢氣達標分析如下。表2-38酸性廢氣監(jiān)測結果//煙溫(℃)4444123-2-31//2//3/////-3/-3123與項目有關的原有環(huán)境污染問題-31//2//3//度1//2//53//7//4/-2/123-3-3-3-3表2-39堿性廢氣監(jiān)測結果//煙溫(℃)123-2-31//2//3//表2-40有機廢氣監(jiān)測結果//煙溫(℃)與項目有關的原有環(huán)境污染問題123123-5-5123-5-5123-5-53123-21231//2//3//表2-41有組織廢氣總排放口達標分析標標-3-3與項目有關的原有環(huán)境污染問題1-34-3-3/////2氨/-3/////3-2/////4-2-2表2-42無組織廢氣監(jiān)測達標分析1234非甲烷總烴mg/m3456789//非甲烷總烴mg/m36根據上表，現(xiàn)有項目各廢氣排放可滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）二與項目有關的原有環(huán)境污染問題級標準要求，其中乙酸丁酯、醋酸排放濃度滿足執(zhí)行中華人民共和國國家職業(yè)衛(wèi)生標準《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值化學有害因素》（GBZ2.1-2019）的時間加權平均容許濃度，氨、臭氣濃度排放滿足《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）中的二級標準要求。(3)固廢污染防治措施根據調查，企業(yè)產生的固廢已分類收集、規(guī)范堆放。生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一收集處理；危險廢物為廢水處理污泥、廢樹脂（暫未產生）、廢固體吸附劑（暫未產生）、廢活性炭（調查期間未更換）、氟化鈣渣、廢過濾膜（暫未產生）、廢芯片（暫未產生）、廢有機溶劑、廢鋁腐蝕液、廢有機剝離液、廢顯影液、鍍槽和退掛槽渣（暫未建設）、廢光刻膠、廢硼源、實驗廢液廢渣、廢?；钒b材料（含光刻膠沾染物），均暫存于廠區(qū)東側的獨立危廢倉庫內。其中廢水處理污泥（包括氟化鈣渣）、廢有機溶劑、廢有機剝離液、廢顯影液、廢鋁腐蝕液、廢活性炭已委托相應有資質的單位進行安全處置。原環(huán)評未考慮廢光刻膠、廢硼源、實驗廢液廢渣產生量，經調查，廢光刻膠、廢硼源、實驗廢液廢渣目前暫存于危廢倉庫，今后將委托有資質單位處置。原環(huán)評廢危化品包裝材料均由相關廠家回收，實際部分無法回收的需要按危廢處置，目前暫存于危廢倉庫，今后將委托有資質單位處置。企業(yè)已建危廢倉庫兩座，分別位于生產車間北側和辦公樓北側。其中危廢倉庫1面積約20m2，危廢倉庫2面積約60m2，現(xiàn)有項目折算達產危廢產生量約為21.23t/a，暫存周期為1~3個月不等，可滿足現(xiàn)有項目危廢暫存要求。危廢倉庫已做好防風、防雨、防腐防滲，相應標識標牌、臺賬、轉移聯(lián)單制度均已落實到位。(4)噪聲污染防治措施本項目的主要噪聲源為各設備運行時產生的噪聲，環(huán)評中提出的噪聲防治措施如下：1在設計和設備采購階段下，優(yōu)先選用低噪聲設備，從源頭上控制噪聲源強。加強設備的日常維護保養(yǎng)，定期潤滑傳動設備，使其處于良好的工況，避免設備因不正常運轉產生的高噪現(xiàn)象。2優(yōu)化布局，對高噪聲設備采取集中放置，盡量布置于車間中間位置，不要設置在廠界附近，不得已而設置在廠界附近的，必須增加隔聲措施。3加強對高噪聲設備的隔聲降噪措施：如引風機設置在車間內且安裝整體隔聲罩，進出口裝橡膠軟接頭；一般設備底部安裝橡膠減振墊。4生產車間靠近廠界一側盡量少設置可開啟式窗戶，生產時關閉門窗。5加強廠界綠化，種植喬木為主，輔以灌木等，減輕噪聲對廠外環(huán)境影響。6加強對職工的管理、培訓和教育，提供文明生產，防止人為高噪聲現(xiàn)象。本項目須做好噪聲防治工作，保證廠界噪聲達標。與項目有關的原有環(huán)境污染問題經現(xiàn)場調查，針對噪聲企業(yè)已采取以下措施：1在空間布局上，噪聲較大的車間遠離廠內生活辦公區(qū)，并避免布置在靠近敏感點的廠界，目前生產設備及其配套環(huán)保設備等均在生產廠房和周邊區(qū)域，主要生產設備位于廠區(qū)中央；噪聲較大的車間墻體采用隔音效果較好的建筑材料；冷卻塔布置在動力廠房樓頂部；應急發(fā)電機布置在配電站室內。2高噪聲設備底座設置減振裝置；選用低噪的冷凍站、空壓站、水泵等設備，冷凍站、空壓站置于室內，水泵、風機采用減震墊等。3加強機械設備的維護和檢修，避免因不正常運行導致噪聲增大。4廠界砌筑圍墻，加強廠界綠化，可以有效隔音降噪。5廠區(qū)物料運輸通道合理優(yōu)化，加強對運輸車輛的管理和維護，保持車況良好，要求機動車駕駛人員經過噪聲敏感區(qū)地段限制車速，禁止鳴笛，避免夜間運輸。通過以上降噪措施，減少噪聲影響，建設單位噪聲防治措施能符合環(huán)評要求。根據臺州市綠科檢測技術有限公司提供的驗收監(jiān)測報告（臺州綠科2020（驗）字第069號，2021.4），企業(yè)廠界噪聲監(jiān)測結果如下。表2-43噪聲監(jiān)測結果間由上表可知，監(jiān)測期間，里陽公司廠界南側晝間噪聲值范圍為61.1~62.0dB（A）、夜間噪聲值范圍為52.3~52.9dB（A），滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12348-2008)中的4類標準限值要求；其余各側根據晝間噪聲值范圍為53.8~58.6dB（A）、夜間噪聲值范圍為45.6~49.6dB（A其排放符合《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）2類標準限值要求。7、總量控制根據原環(huán)評及批復要求，企業(yè)現(xiàn)有總量控制情況如下。與項目有關的原有環(huán)境污染問題表2-44本項目總量控制建議值單位：t/a量0根據現(xiàn)有污染源強調查，企業(yè)現(xiàn)有項目污染物排放總量在原審批總量控制范圍之內。8、防護距離根據原環(huán)評要求，企業(yè)生產車間需設置100m衛(wèi)生防護距離。浙江里陽半導體有限公司位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門工業(yè)區(qū)，租用浙江環(huán)力煙機有限公司部分廠房。企業(yè)東側為漩門村居民區(qū)，南側為S226省道，隔路為漩門工業(yè)城企業(yè)集聚區(qū)，西側為蘆北大道，北側為山體。主要環(huán)境敏感點為：企業(yè)東北面35m（距離生產車間131m）處的漩門村居民點；西南面280m（距離生產車間295m）處的海邊村居民點等，滿足衛(wèi)生防護距離要求。9、企業(yè)現(xiàn)有環(huán)境問題及整改措施表2-45現(xiàn)有環(huán)境問題及整改措施一覽表1由于原環(huán)評未核原環(huán)評廢?；钒b材料均由相關廠盡快委托有資質單位處置并嚴待本項目環(huán)評文件2對高濃度廢液進行預處理后再與清的處理壓力；增加一套石灰加藥系溶液用于除氟，提高氟化物去除能與項目有關的原有環(huán)境污染問題3現(xiàn)有廢氣處理設施效率未達到原環(huán)評進一步加強廢氣的有效收集和擬將現(xiàn)有酸性廢氣設施的第一級旋流板塔改造為處理效果更好的采用高質量的活性炭作為吸附4后再進入調節(jié)池。企業(yè)已落實環(huán)境保護“三同時”制度，通過本次擴建項目做好“以新帶老”環(huán)保措施，今后生產運行中須進一步加強環(huán)境管理，確保“三廢”治理設施的穩(wěn)定達標運行，做好固體廢物管理工作。區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀1、大氣環(huán)境年）》，項目所在區(qū)域環(huán)境空氣能滿足二類功能區(qū)的要求，屬于環(huán)境空氣質量達標區(qū)。二甲苯、非甲烷總烴、乙酸丁酯、氟化物、氯化氫現(xiàn)狀參考浙江科達檢測有限公司于2020年9月在項目所在地南側600m處的監(jiān)測結果（報告編號：浙科達檢（2020）綜字第0196號），硫酸霧、氯氣現(xiàn)狀參考浙江科達檢測有限公司于2021年6月在項目所在地南側600m處的監(jiān)測結果（報告編號：浙科達檢（2021）綜字第0207號）。根據監(jiān)測報告，氟化物監(jiān)測結果滿足《環(huán)境空氣質量標準》（GB3095-2012）二級標準，氯、氯化氫、硫酸霧、二甲苯監(jiān)測結果能滿足《環(huán)境影響評價技術導則大氣環(huán)境》（HJ2.2-2018）附錄D參考限值，非甲烷總烴監(jiān)測結果滿足原環(huán)保部科技標準司《大氣污染物綜合排放標準詳解》中的建議值，異丙醇監(jiān)測結果滿足美國EPA工業(yè)環(huán)境實驗室的AMEG計；乙酸丁酯監(jiān)測結果滿足《大氣污染物綜合排放標準詳解》中的計算值。項目所在地環(huán)境空氣質量良好。具體見大氣環(huán)境影響評價專題。2、地表水環(huán)境本項目所在地附近水體為人民塘河、城坎河，根據《浙江省水功能區(qū)水環(huán)境功能區(qū)劃分方案》，屬于椒江（溫黃平原）水系，編號113，水功能區(qū)為城坎河玉環(huán)工業(yè)、景觀娛樂用水區(qū)，水環(huán)境功能區(qū)為工業(yè)、景觀娛樂用水區(qū)，地表水環(huán)境質量執(zhí)行《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）Ⅳ類標準。本項目所在區(qū)域地表水水質現(xiàn)狀參考浙江省臺州生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心提供的2020年礁頭閘斷面（南面約6.7km處）的常規(guī)監(jiān)測數(shù)據，具體數(shù)據見表3-1。表3-1礁頭閘站位2020年常規(guī)監(jiān)測數(shù)據單位：mg/L（pH除外）pH值BOD5NH3-N計）銅IⅢⅢⅢIⅢII根據以上監(jiān)測結果，對照《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）有關標準限值，礁頭總磷（以P計）為Ⅲ類，總體評價該水體水質為Ⅲ類，水體水質能滿足Ⅳ類水功能區(qū)要求。另外，本項目附近水體質量現(xiàn)狀參考浙江科達監(jiān)測有限公司于2020年9月10日至9月12綜字第0196號），具體數(shù)據見表3-2。區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀表3-2人民塘河2020年補充監(jiān)測數(shù)據單位：mg/L（pH除外）pH值6.72203.70.045.626.745.826.745.69///ⅠⅡⅢⅢⅢⅠⅢ數(shù)銅鋅鎳鐵值//ⅢⅠⅠⅠⅠ//礁頭閘斷面礁頭閘斷面本項目所在本項目所在6.7km圖3-1地表水監(jiān)測斷面位置示意圖3、聲環(huán)境本項目所在地位于漩門工業(yè)區(qū)，租用浙江環(huán)力煙機有限公司廠房，根據“玉環(huán)市人民政府辦公室抄告單玉辦第40號”（附件12），該地塊聲環(huán)境質量執(zhí)行《聲環(huán)境質量標準》（GB3096-2008）中的2類標準。同時，根據《玉環(huán)市聲環(huán)境功能區(qū)劃方案》，項目所在地靠226區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀省道、蘆北大道一側（南廠界、西廠界）聲環(huán)境質量執(zhí)行4a類標準；本項目廠界東側35m處敏感點漩門村位于《玉環(huán)市聲環(huán)境功能區(qū)劃方案》規(guī)定的“1083-3-15”區(qū)域，屬于1類聲功能區(qū)，聲環(huán)境質量執(zhí)行《聲環(huán)境質量標準》（GB3096-2008）中的1類標準。根據“浙科達檢（2021）綜字第0207號”，廠界外50m范圍內敏感點的聲環(huán)境質量現(xiàn)狀監(jiān)測結果見表3-3、監(jiān)測點位見附圖6。表3-3聲環(huán)境質量現(xiàn)狀評價表單位：dB是由監(jiān)測結果可知，項目所在地廠界外50m范圍內敏感點（漩門村）噪聲監(jiān)測值能滿足《聲環(huán)境質量標準》（GB3096-2008）中的1類標準要求。項目所在區(qū)域聲環(huán)境質量較好。4、生態(tài)環(huán)境項目位于玉環(huán)市漩門工業(yè)區(qū)，無產業(yè)園區(qū)外新增用地。無需進行生態(tài)現(xiàn)狀調查。本項目不屬于電磁輻射類項目，無需開展電磁輻射現(xiàn)狀監(jiān)測。6、地下水廠區(qū)現(xiàn)狀地下水環(huán)境質量參考浙江科達檢測有限公司于2021年6月17日對企業(yè)廠區(qū)地下水監(jiān)測結果（浙科達檢（2021）綜字第0207號），具體監(jiān)測結果見表3-4~表3-6，監(jiān)測點位見附圖6。表3-4地下水環(huán)境質量現(xiàn)狀監(jiān)測布點及監(jiān)測因子稱#廠區(qū)氰化物、總硬度、六價鉻、氟化物、溶解性總固體、高錳酸鹽指數(shù)、硫酸鹽、氯化物、鐵、錳、鎳、銀、錫、銅、汞、砷、Na+、表3-5地下水環(huán)境質量現(xiàn)狀陰陽離子監(jiān)測數(shù)據單位：mol/L測項目Na+Mg2+計HCO3-計誤差#4.73×10-40區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀表3-6地下水環(huán)境質量現(xiàn)狀監(jiān)測數(shù)據統(tǒng)計及評價結果地點//ⅠⅠⅢⅠⅠⅡ體鎘錫錳鐵ⅠⅢⅢⅠⅠ/ⅢⅠ地鉛鎳汞砷2Ⅰ/ⅠⅠⅠⅣⅣⅠ根據監(jiān)測結果，項目所在區(qū)域地下水水質現(xiàn)狀為Ⅳ類。7、土壤環(huán)境廠區(qū)現(xiàn)狀土壤環(huán)境質量參考浙江科達檢測有限公司于2021年6月3日對企業(yè)廠區(qū)土壤監(jiān)測結果（浙科達檢（2021）綜字第0207號），具體監(jiān)測結果見表3-7~表3-8，監(jiān)測點位見附表3-7土壤環(huán)境質量現(xiàn)狀監(jiān)測布點方案帶表3-8土壤環(huán)境質量監(jiān)測結果（1）單位：mg/kg，標注的除外值值值////六價鉻mg/kg否否否否否否否否否否否否否否否否否否否否否區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀性有機物否否否否否否否否否烯否否否否否否烷否否否否否否否否否烷否否否否否否苯4否否否烷5否否否否否否烷5否否否否否否烷否否否否否否否否否否否否否否否苯否否否否否否否否否否否否烷否否否否否否否否否物否否否否否否萘否否否否＜0.1否否否＜0.1否否蒽否否否蒽否＜0.1否否芘否＜0.1否否?否＜0.1否否蒽否＜0.1否否否否否從監(jiān)測結果看，項目所在地廠區(qū)內各監(jiān)測點位的監(jiān)測結果均未超過《土壤環(huán)境質量建設用地土壤污染風險管控標準（試行）》(GB36600-2018)第二類建設用地土壤污染風險篩選值，用地符合國家有關建設用地土壤污染風險管控標準。環(huán)境保護目標1、大氣環(huán)境項目廠界外500m范圍內不存在自然保護區(qū)、風景名勝區(qū)等保護目標，但廠界東面35m處有漩門村、西南面280m處有海邊村、北面452m處有道頭村等。2、聲環(huán)境項目廠界50m范圍內聲環(huán)境敏感點為東面35m處的漩門村。3、地下水環(huán)境項目廠界外500m范圍內不存在地下水集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源。4、生態(tài)環(huán)境項目位于玉環(huán)市漩門工業(yè)區(qū)，無產業(yè)園區(qū)外新增用地。但企業(yè)廠區(qū)北側毗鄰山體，為公益林。西南側233m處為農用地。本項目的主要環(huán)境保護目標情況見表3-9、附圖5。表3-9環(huán)境保護目標一覽表環(huán)境要素象/m/m環(huán)境空氣區(qū)EN聲E生態(tài)/N工藝廢氣排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）二級標準，乙酸丁酯、醋酸排放濃度參照執(zhí)行中華人民共和國國家職業(yè)衛(wèi)生標準《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值污染物排放控制標準化學有害因素》（GBZ2.1-2019）的時間加權平均容許濃度，甲基磺酸的排放濃度參考美國環(huán)保局工業(yè)環(huán)境實驗室的多介質環(huán)境目標值（MEG），以排放環(huán)境目標值（DMEG）計，上述特征因子的最高允許排放速率按照《制定地方大氣污染物排放標準的技術方法》（GB/T3840-91）的有關規(guī)定計算，具體見表3-10。表3-10工藝廢氣排放標準值排氣筒(m)2污染物排放控制標準90.3842.88高排氣筒各因子最高允許排放速率分別為1.98kg/h、1.08kg/h、0.384kg③DMEGAH(μg/m3）=45×LD50，甲基磺酸的LD50=200mg/kg，則甲基磺酸的DMEGAH(μg/m3）（GB37822-2019）中的表A.1的特別排放限值，具體指標見表3-11。表3-11廠區(qū)內VOCs無組織排放限值（GB37822-2019）單位：mg/m362、廢水企業(yè)工藝廢水收集后由廠內污水處理設施處理達標后與經化糞池預處理的生活污水一起納入市政管網，進入玉環(huán)市污水處理有限公司處理。目前玉環(huán)市污水處理廠出水執(zhí)行《臺州市城鎮(zhèn)污水處理廠出水指標及標準限值表（試行）》（準地表水Ⅳ類）。本項目為半導體分立器件制造，屬于電子工業(yè)。根據《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020），電子工業(yè)新建企業(yè)自2021年7月1日起，其水污染物排放控制按本標準的規(guī)定執(zhí)行，不再執(zhí)行《污水綜合排放標準》（GB8978-1996）和《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）的相關規(guī)定。因此本項目廢水排放執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）中規(guī)定的間接排放限值，其中CODCr、SS、總氮執(zhí)行玉環(huán)市污水處理有限公司進水指標要求，氨氮指標執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）污染物排放控制標準相關標準限值，重金屬等指標從嚴執(zhí)行浙江省地標《電鍍水污染物排放標準》（DB33/2260-2020），氟化物從嚴執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）直接排放標準，總鋁參照執(zhí)行《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）中表3排放限值，總錫排放濃度參照上海市《污水綜合排放標準》中的B級標準。表3-12本項目廢水排放標準準1pH值230034CODCr40056357508889////2.0/////0.1//品控位置一致斑馬魚卵急性毒性（DB33/887-2013）相關標準限值。鑒于玉環(huán)市污水處理有限公司廢水處理工藝對氟化氟化物從嚴執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）直接排放標準。重金屬等指標從嚴執(zhí)行浙江省地標《電鍍水污染物排放標準》（DB33放要求審批，執(zhí)行表1規(guī)定的其他地區(qū)水污染物排放要求）。《電子工業(yè)水污染物排放標準》污染物排放控制標準照執(zhí)行《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）中表3排放限值?！峨娮庸I(yè)水污染物排放標準》均未規(guī)定總錫排放濃度，總錫排放濃度參照企業(yè)一期項目審批標準，即表3-13玉環(huán)市污水處理有限公司出水標準單位：mg/L(pH除外)pHCODCrBOD5NH3-N///65/3、噪聲本項目所在地位于漩門工業(yè)區(qū)，租用浙江環(huán)力煙機有限公司廠房，根據“玉環(huán)市人民政府辦公室抄告單玉辦第40號”（附件12），該地塊聲環(huán)境質量執(zhí)行《聲環(huán)境質量標準》（GB3096-2008）中的2類標準。同時，根據《玉環(huán)市聲環(huán)境功能區(qū)劃方案》，項目所在地靠226省道、蘆北大道一側（南廠界、西廠界）聲環(huán)境質量執(zhí)行4a類標準。因此，企業(yè)廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）2類標準，其中靠226省道、蘆北大道一側（南廠界、西廠界）執(zhí)行4類標準，具體標準限值見下表。表3-14工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準單位：dB244、固廢危險廢物按照《國家危險廢物名錄》（2021年版）分類，危險廢物貯存應符合《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2001）及其標準修改單（環(huán)境保護部公告2013年第36號）、《危險廢物收集貯存運輸技術規(guī)范》（HJ2025-2012）要求；一般工業(yè)固體廢物的貯存場所應滿足防滲漏、防雨淋、防揚塵等環(huán)境保護要求，按照《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》（2020年4月29日修訂）的工業(yè)固體廢物管理條款要求執(zhí)行。為控制環(huán)境污染的進一步加劇，推行可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略，國家提出污染物排放總量控制的要求，并把總量控制目標分解到省。根據《浙江省建設項目主要污染物總量準入審核辦法（試行）》（浙環(huán)發(fā)[2012]10號）要求，對化學需氧量、氨氮、二氧化硫和氮氧化物四種主要污染物實行排放總量控制；根據《國務院關于印發(fā)“十三五”生態(tài)環(huán)境保護規(guī)劃的通知》（國發(fā)[2016]65號）文件，將重點地區(qū)的總磷、總氮和揮發(fā)性有機物作為排放總量控制指標。同時根據《關于做好揮發(fā)性有機物總量控制工作的通知》（浙環(huán)發(fā)[2017]29號）和《關于印發(fā)臺州市揮發(fā)性有總量控制指標機物污染防治實施方案的通知》等要求，探索建立VOCs排放總量控制制度。根據項目特征，納入總量控制的是CODCr、氨氮、總氮、總磷、NOx、VOCs、總鎳。表3-15總量控制指標單位：t/aCODCrNOx擴建后，企業(yè)建議總量控制指標值為：廢水量180726t/a、CODCr5.421t/a、氨氮0.271t/a、TN2.169t/a、TP0.054t/a、總鎳0.0026t/a、NOx0.691t/a、VOCs3.991t/a，具體值由當?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境主管部門確定。根據《浙江省建設項目主要污染物總量準入審核辦法（試行）》（浙環(huán)發(fā)[2012]10號）的要求：各級生態(tài)環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃及其他相關規(guī)劃明確主要污染物排放總量削減替代比例的地區(qū)，按規(guī)劃要求執(zhí)行。其他未作明確規(guī)定的地區(qū)，新增主要污染物排放量與削減替代量的比例不得低于1:1。新建、改建、擴建項目同時排放生產廢水和生活污水且新增水主要污染物排放的，應按規(guī)定的化學需氧量和氨氮替代削減比例要求執(zhí)行。根據《臺州市環(huán)境保護局關于進一步規(guī)范建設項目主要污染物總量準入審核工作的通知》（臺環(huán)保[2013]95號）的要求：生態(tài)環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃及國家、省有關規(guī)定削減替代比例與本文件通知要求有出入的，按照較高削減替代比例要求執(zhí)行；未做明確規(guī)定的地區(qū)，主要污染物新增排放量削減替代比例不得低于1:1。熔煉等重污染行業(yè)其主要污染物新增排放量的削減替代比例CODCr不得低于1:1.2，氨氮、二氧化硫、氮氧化物不得低于1:1.5。根據《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機物綜合治理方案》（浙環(huán)發(fā)[2021]10號），2020年度臺州市屬于環(huán)境空氣質量達標區(qū)，項目新增VOCs排放量實行等量削減，即VOCs排放量實施1:1削減替代。根據以上文件，本項目新增CODCr削減替代比例為1:1.2，新增氨氮、NOx的削減替代比例為1:1.5，新增VOCs的削減替代比例為1:1，則本項目CODCr削減替代量為3.598t/a，氨氮削減替代量為0.225t/a，NOx削減替代量為1.035t/a，VOCs削減替代量為3.451t/a。根據《關于進一步推進排污權有償使用和交易試點工作的指導意見》（國辦發(fā)[2014]38號）、《浙江省人民政府關于開展排污權有償使用和交易試點工作的指導意見》（浙政發(fā)[2009]47號）、《浙江省排污權有償使用和交易試點工作暫行辦法》（浙政辦發(fā)[2010]132號）、《臺州市主要污染物排污權交易辦法（試行）》（臺政發(fā)[2009]48號）、《臺州市排污權交易實施細則（試總量控制指標行）》相關規(guī)定，本項目新增CODCr、氨氮、氮氧化物排污權須在排污權交易平臺進行競拍交易。其中VOCs總量交易平臺目前尚未建立，本環(huán)評僅先提出總量控制值及削減替代量，待當?shù)叵嚓P平臺建立后再另行調劑或交易。表3-16總量平衡一覽表CODCr氨氮NOxVOCs/施工期環(huán)境保護措施本項目位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門工業(yè)區(qū)浙江里陽半導體有限公司現(xiàn)有廠區(qū)，僅涉及設備安裝等，施工量較小。企業(yè)施工期環(huán)境影響主要為生活污水、施工噪聲等，其中生活污水經廠內化糞池處理后納管排放，不會對周圍環(huán)境產生明顯影響，要求企業(yè)加強施工期環(huán)境管理。運營期環(huán)境影響和保護措施（1）源強分析本項目廢氣包括酸性氣體（濕法車間酸性氣體G1、擴散廢氣G3、電鍍錫廢氣G8）、有機廢氣（硼乳膠源涂布廢氣G2、光刻膠甩膠廢氣G4、顯影廢氣G5、電鍍錫中和廢氣G9）、塑封廢氣G6、后固化廢氣G7、焊接廢氣G10、噴砂粉塵G11。1酸性氣體A.濕法車間酸性氣體G1擴建項目產生的酸性氣體主要包括各類酸洗產生的鹽酸霧、硫酸霧、氮氧化物、氟化物、醋酸等。各類產污槽體設置情況見表4-1，污染物產生系數(shù)參考《污染源源強核算技術指南電鍍》（HJ984-2018）附錄B。表4-1槽體設置情況一覽表氣12NOx3/4H2SO45H2SO4678NOx9/H2SO4H2SO4H2SO4機膠鍍金機NOx/NOx運營期環(huán)境影響和保護措施膠鍍金機H2SO4機H2SO4表4-2酸性氣體產生情況一覽表氣面積設計風11213NOx114/1/5H2SO416H2SO41718191NOx11/1/H2SO41H2SO41H2SO4111液/////1液/////機2洗NOx11/1/NOx2運營期環(huán)境影響和保護措施H2SO422機H2SO42NOx////////H2SO4////////////注：RCA自動清洗機和二氧化硅蝕刻去玻璃去膠鍍金機單個槽側吸集氣面積約為0.5m×0.3m，其余清洗為356m3/h和190356m3/h。本項目混合酸消耗量74.45t/a（硝酸:氫氟酸:冰乙酸=2），擴建項目濕法車間各清洗機均采用通風柜結構，僅留工人操作面開口，設置槽邊吸風系統(tǒng)，廢氣經槽邊排風抽出后經機臺頂部設置的管道分類收集進入對應的廢氣處理設施。各酸洗槽等配有密封蓋，不工作時蓋上以防止酸霧揮發(fā)。各清洗機酸性廢氣收集率按95%計。未收集的車間內無組織廢氣經新風系統(tǒng)換風排出。濕法車間酸性廢氣排風量為7004m3/h，磷擴散尾氣排風量為500m3/h，電鍍錫生產線酸性廢氣排風量為3851m3/h（活化槽0.2m×0.9m×0.6m/s，電鍍錫槽5×0.2m×0.9m×0.6m/s，退掛槽3×0.2m×0.9m×0.6m/s，調整系數(shù)取1.1），則擴建項目酸性廢氣總風量為11355m3/h。企業(yè)現(xiàn)有項目設1套酸性廢氣處理設施，采用二級堿液噴淋工藝（旋流板塔+填料塔），設計最大風量28000m3/h（采用變頻風機，實際運行風量為12200~12600m3/h）。擴建項目實施后，依托現(xiàn)有酸性廢氣處理設施的基礎上，對廢氣處理設施工藝進行優(yōu)化，將第一級旋流板塔改造為填料塔，并添加10%碳酸鈉溶液。擴建項目實施后，廢氣總風量為23955m3/h，按24000m3/h計。擴建項目酸性氣體收集后接入酸性廢氣處理設施（二級堿液噴淋，采用10%碳酸鈉+氫氧化鈉溶液）處理后經35m高排氣筒（DA001）高空排放，去除效率按90%。則酸性廢氣排放情況見表4-3。表4-3擴建項目酸性廢氣源強核算表NOxH2SO4運營期環(huán)境影響和保護措施//酸表4-4擴建后酸性廢氣有組織源強核算表號（kg/h）（kg/h）NOxH2SO4//酸B.擴散廢氣G3磷擴散工序采用POCl3液體作為源，具體反應為4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2，會產生氯氣。本項目POCl3消耗量為119kg/a，則氯氣產生量為82.6kg/a，磷擴散尾氣經設備收集管道收集后接入酸性廢氣處理設施處理后經35m高排氣筒（DA005）高空排放，收集率按100%、處理效率按90%計，具體見表4-3。C.電鍍錫廢氣G8企業(yè)電鍍錫生產線設1個活化槽（10%甲基磺酸溶液）、1個電鍍錫槽（150g/L甲基磺酸、20g/L甲基磺酸錫、20mL/L添加劑）以及3個電解退掛槽（甲基磺酸20-75%，按50%計會產生甲基磺酸廢氣，廢氣產生量按甲基磺酸使用量的5%計。擴建項目新增甲基磺酸（70%）用量為0.5325t/a，電解退鍍液（甲基磺酸50%）用量為0.75t/a，則預計甲基磺酸廢氣產生量約為0.037t/a。電鍍線要求整體密閉，設置槽邊吸風及頂部吸風，廢氣收集率按95%計，電鍍錫廢氣收集后進酸性廢氣處理設施處理，處理效率按90%計，具體見表4-3。2有機廢氣A.硼乳膠源涂布廢氣G2N型硅片硼擴散前，采用自動涂漿機在硅片表面涂覆一層乳膠硼源，其中約20%芯片進行單面硼擴，40%芯片進行雙面硼擴，其他不進行硼擴。根據現(xiàn)狀調查類比，涂布過程利用率為運營期環(huán)境影響和保護措施70%，擴建項目硼乳膠源用量為1.565t/a，則附著在芯片上的硼乳膠源為1.096/a（其中85%為乙二醇甲醚，在涂布過程揮發(fā)，以非甲烷總烴計），其余未涂布的作為廢硼源處置。則硼乳膠源涂布廢氣產生量為0.932t/a。B.光刻膠甩膠廢氣G4光刻膠涂布過程中，約40%未附著的光刻膠形成廢光刻膠，60%附著在晶圓上，附著在晶圓上的光刻膠中的溶劑在固化過程中全部揮發(fā)。由于光刻膠價格昂貴，未附著的光刻膠采用二甲苯稀釋回收，回用于光刻膠涂布工序。最終約有10%光刻膠形成廢膠作固廢處置。根據企業(yè)提供的原輔料，光刻膠主要成分為二甲苯75-95%（取85%計）、環(huán)化橡膠5-25%（取14.7%）、2,6-二（4-疊氮苯亞甲基）-4甲基環(huán)己酮0.2-0.5%（取0.3%，以非甲烷總烴計），年消耗量為11.95t/a；二甲苯消耗量為0.031t/a。則光刻甩膠廢氣產生情況見下表。表4-5甩膠工序有機廢氣產生情況一覽表光刻甩膠廢氣經自動涂膠機、烘箱自帶管路收集后，進企業(yè)有機廢氣處理設施處理。具體源強核算見表4-5。C.顯影廢氣G5本項目采用顯影液對曝光后的光刻膠進行去除，根據企業(yè)提供的原輔料，顯影液主要成分為乙酸丁酯50%、溶劑油（乙醇）50%（按非甲烷總烴計），年消耗量為23.1t/a。類比現(xiàn)狀調查，廢顯影液產生量約占消耗量的60%，則顯影工序揮發(fā)的有機廢氣按顯影液用量的40%計算。則光刻顯影廢氣產生情況為：乙酸丁酯4.62t/a、非甲烷總烴4.62t/a。擴建項目新增2臺自動顯影機，顯影廢氣經設備管道收集后進入有機廢氣處理設施處理。具體源強核算見表4-5。D.電鍍錫中和廢氣G9電鍍錫生產線中和工序采用10%異丙醇溶液，擴建項目新增異丙醇使用量為0.07t/a。異丙醇溶于水，且本項目中和槽中異丙醇濃度較低，異丙醇揮發(fā)量按照使用量的5%計，則擴建項目異丙醇產生量為0.0035t/a，以非甲烷總烴計。E.小結目前，企業(yè)設有1套有機廢氣處理設施，采用活性炭吸附脫附+催化燃燒工藝，設計吸附風量為15000m3/h，脫附風量為3000m3/h，目前實際運行風量約8960-9260m3/h，處理后的有機廢氣經一根33m高排氣筒（DA003）高空排放。擴建項目有機廢氣依托現(xiàn)有有機廢氣處理設施。自動涂漿機、自動涂膠機和烘箱運行時基本密閉，僅在打開的情況下會有少量廢氣散發(fā)，廢氣收集率按95%計；顯影臺采用通風柜結構，僅留工人操作面開口，設置槽邊吸風系統(tǒng)，廢氣經運營期環(huán)境影響和保護措施槽邊排風抽出后經機臺頂部設置的管道分類收集進入對應的廢氣處理設施，廢氣收集率按95%計；企業(yè)電鍍車間采用全自動電鍍生產線，電鍍線要求整體密閉，設置槽邊吸風及頂部吸風，廢氣收集率按95%計?；钚蕴课叫拾?0%計，催化燃燒效率按97%計，則有機廢氣總去除率約87.3%，則擴建項目有機廢氣源強核算情況見下表。表4-6擴建項目有機廢氣源強核算表烴烴烴烴表4-7擴建后有機廢氣有組織源強核算表號（kg/h）（kg/h）酯//3塑封廢氣G6、后固化廢氣G7擴建項目使用環(huán)氧樹脂對芯片進行塑封，少量產品使用環(huán)氧樹脂粉進行涂裝，對芯片與框架進行封裝保護與管腳的固定。塑封采用塑封壓機，將壓焊完成的框架放在塑封模具內并加入加熱的環(huán)氧樹脂進行高壓壓鑄，該過程會產生少量有機廢氣，約占原料用量的0.5%。部分產品采用涂裝機涂裝環(huán)氧樹脂粉，涂裝機密閉操作，該過程會產生極少量粉塵。塑封后的工件送入烘箱進行后固化。塑封固化工作溫度170℃,固化過程會有少量有機廢氣產生，產生量約占原運營期環(huán)境影響和保護措施料用量的1%。一期項目（擬建）環(huán)氧樹脂用量為9t/a，擴建項目環(huán)氧樹脂用量為24.15t/a，環(huán)氧樹脂粉用量為0.2t/a。目前，企業(yè)塑封車間未建設，由于原有環(huán)評未計算塑封、固化廢氣產生量，且未要求處理，本次擴建項目實施后一并考慮。企業(yè)共設8臺塑封壓機、10臺烘箱，要求企業(yè)對各塑封壓機壓鑄點設置側吸集氣罩，并對固化烘箱設置尾氣收集管，將塑封、固化過程產生的有機廢氣收集后經活性炭吸附設施處理后，通過一根30m高排氣筒（DA005）高空排放，設計風量按9000m3/h計（單臺塑封壓機、烘箱收集風量按500m3/h），其中塑封壓機收集率按85%計，烘箱收集率按100%計，處理效率按75%計（由于塑封過程非甲烷總烴產生濃度小，處理效率相對較低），具體源強核算見下表。表4-8塑封、后固化廢氣源強核算表節(jié)號004焊接廢氣G10企業(yè)使用焊料的焊接工序采用真空焊接爐和隧道焊接爐，設備運行時均密閉，擴建項目焊料用量共2.88t/a，焊接產生的煙氣量極少，本評價不定量分析。企業(yè)目前焊接廢氣由1根30m高排氣筒（DA004）高空排放，風量3000m3/h。要求擴建項目焊接廢氣經設備集氣管收集后通過同一根排氣筒（DA004）高空排放，則焊接煙塵不會對周圍環(huán)境產生明顯影響。5噴砂粉塵G11本項目采用噴砂機對部分單向產品背面進行研磨減薄，約研磨掉1-10um表層，采用碳化硅砂，噴砂工序加工量較少，產生的粉塵不作定量分析，廢氣經設備自帶的布袋除塵器處理后通過一根30m高排氣筒（DA006）高空排放，排放風量按1500m3/h計。6非正常工況本項目以有機廢氣處理設施非正常運行作為非正常工況考慮，按活性炭吸附接近飽和后未及時更換，導致有機廢氣處理設施吸附效率下降至45%計算。則非正常工況下有機廢氣排放源強見表4-9。表4-9污染源非正常排放量核算表1換234運營期環(huán)境影響和保護措施7匯總表4-10擴建項目廢氣源強匯總表號NOxH2SO4//布NOx//H2SO4///////////（2）防治措施1酸性廢氣處理設施企業(yè)現(xiàn)有項目設1套酸性廢氣處理設施，采用二級堿液噴淋工藝（旋流板塔+填料塔），設計風量28000m3/h（實際運行風量為12200~12600m3/h）。擴建項目實施后，依托現(xiàn)有酸性廢氣處理設施的基礎上，對廢氣處理設施工藝進行優(yōu)化，將第一級旋流板塔改造為填料塔，并添加10%碳酸鈉溶液。擴建項目實施后，廢氣總風量為23955m3/h，按24000m3/h計。具體工藝流程見圖4-1。運營期環(huán)境影響和保護措施NaOH溶液NaOH溶液酸性氣體12600m3/h旋流板塔填料塔引風機排氣筒圖4-1現(xiàn)有酸性廢氣處理設施流程圖10%NaCO3+NaOH溶液10%NaCO3+NaOH溶液酸性氣體24000m3/h填料塔24000m3/h填料塔填料塔由現(xiàn)有第一級旋流板塔改造成填料塔液堿根據pH值控制加藥泵的開關引風機排氣筒圖4-2改造后企業(yè)酸性廢氣處理設施流程圖工藝說明：吸收塔以填料作為氣、液接觸和傳質的基本構件，液體在填料表面呈膜狀自上而下流動，氣體呈連續(xù)相自下而上與液體作遞向流動，并進行氣、液兩相間的傳質和傳熱。兩相的組分濃度和溫度沿塔高連續(xù)變化。填料塔屬于微分接觸型的氣、液傳質設備。填料塔主要由圓柱形的塔體和堆放在塔內的填料（各種形狀的固體物，用于增加兩相流體間的面積，增強兩相間的傳質）等組成。氣體從塔底送入，經氣體分布裝置分布后，與液體呈逆流連續(xù)通過填料層的空隙，在填料表面上，氣液兩相密切接觸進行傳質。液體再分布裝置包括液體收集器和液體再分布器兩部分，上層填料流下的液體經液體收集器收集后，送到液體再分布器，經重新分布后噴淋到下層填料上。填料塔具有生產能力大，分離效率高，壓降小，持液量小，操作彈性大等優(yōu)點。表4-11填料塔設計參數(shù)一覽表12345678工藝可行