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文檔簡介

（）（）答案:ABC結構的分辨率決定于某種光刻方法的分辨率。()5.間接加工技術就是光刻加圖形轉移技術。()（）（）4.分辨率就是能夠清晰分辨出間隔很近的特征圖形的能力。()5.正膠在感光時，使聚合物發(fā)生交聯(lián)。()1.先進的電子束曝光機主要適用于（）以下的超微細加工。（）3.電子槍包括發(fā)射電子的陰極和對發(fā)射電子聚束的電子透鏡。()()（）2.聚焦離子束系統(tǒng)的聚焦系統(tǒng)與電子束系統(tǒng)大致相同。()()4.LMIS穩(wěn)定發(fā)射的關鍵是液態(tài)金屬與鎢絲的良好浸潤。()5.垂直入射的離子可以獲得最大的離子濺射產(chǎn)額。()（）（）4.當AFM以STM方式工作時，也可以用AFM實現(xiàn)對抗蝕劑的曝光。()（）（）3.納米壓印包括陽模壓印和陰模壓印，陰模壓印相對容易。()（）（）答案:ABC3.溶脫剝離是薄膜沉積方法的目的之一。()（）2.反應離子刻蝕是離子轟擊輔助的()。4.與等離子體刻蝕不同，離子濺射刻蝕方法中等離子分開的。()5.飛秒激光加工是熱加工。()1.側壁沉積法獲得側壁時用到了()答案:ABC藝。()4.橫向添加法用來獲得窄間隙結構，橫向抽減法用來獲得窄線條結構。()向異性刻蝕。()1.傳統(tǒng)的平面集成電路加工技術是（）技術，分子自組裝是（）技術。（）4.硫醇

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