半導(dǎo)體器件間歇工作壽命試驗(yàn)設(shè)備

1T/ZACAXXXXX—2022半導(dǎo)體器件間歇工作壽命試驗(yàn)設(shè)備本文件規(guī)定了半導(dǎo)體集成電路間歇工作壽命試驗(yàn)設(shè)備（以下簡(jiǎn)稱(chēng)壽命試驗(yàn)設(shè)備）的術(shù)語(yǔ)和定義、基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、使用說(shuō)明書(shū)、包裝、運(yùn)輸和貯存。本文件適用于Si/SiC二極管、三極管、MOSFET/IGBT等器件的間歇工作壽命試驗(yàn)設(shè)備。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T4793.1測(cè)量、控制和實(shí)驗(yàn)室用電氣設(shè)備的安全要求第1部分：通用要求GB/T5170.2—2017電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備檢驗(yàn)方法溫度試驗(yàn)設(shè)備GB/T6587—2012電子測(cè)量?jī)x器通用規(guī)范GB/T9969工業(yè)產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)總則GB/T17626.2電磁兼容性試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)靜電放電抗擾度試驗(yàn)GB/T17626.3電磁兼容性試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)射頻電磁場(chǎng)輻射抗擾度試驗(yàn)GB/T17626.4電磁兼容性試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)電快速瞬變脈沖群抗擾度試驗(yàn)GB/T17626.5電磁兼容性試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)浪涌（沖擊）抗擾度試驗(yàn)GB/T17626.6電磁兼容性試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)射頻場(chǎng)感應(yīng)的傳導(dǎo)騷擾抗擾度GB/T17626.8電磁兼容性試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)工頻磁場(chǎng)抗擾度試驗(yàn)GB/T17626.11電磁兼容性試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)電壓暫降、短時(shí)中斷和電壓變化的抗擾度試驗(yàn)GB/T18268.1測(cè)量、控制和實(shí)驗(yàn)室用的電設(shè)備電磁兼容性要求第1部分：通用要求3術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1半導(dǎo)體器件間歇工作壽命試驗(yàn)設(shè)備intermittentworkinglifetestequipmentforsemiconductorintegrateddevices2T/ZACAXXXXX—2022對(duì)各種封裝形式的Si/SiC二極管、三極管、MOSFET/IGBT等器件的進(jìn)行間歇壽命或穩(wěn)態(tài)壽命的試驗(yàn)設(shè)備。4基本參數(shù)檢測(cè)系統(tǒng)基本參數(shù)應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1檢測(cè)系統(tǒng)基本參數(shù)8885技術(shù)要求5.1工作環(huán)境壽命試驗(yàn)設(shè)備工作環(huán)境應(yīng)符合下列要求：a）環(huán)境溫度：5℃~35℃;b）相對(duì)濕度：≤80%RH；c）大氣壓強(qiáng)：86kPa～106kPa；d）電網(wǎng)電壓：AC220V±10%；e）電網(wǎng)頻率：50Hz±8Hz。f）周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)干擾和有害氣體侵蝕；g）周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)烈振動(dòng)，無(wú)其他熱源直接輻射。5.2外觀(guān)結(jié)構(gòu)3T/ZACAXXXXX—20225.2.1設(shè)備外殼不得有明顯斑點(diǎn)、劃痕、色斑等缺陷，應(yīng)無(wú)危害安裝、正常使用或維護(hù)的尖端或銳邊。5.2.2設(shè)備接插件插頭絕緣應(yīng)無(wú)任何破損，并接插穩(wěn)固。5.2.3設(shè)備開(kāi)關(guān)及按鍵應(yīng)靈活可靠，零部件裝配應(yīng)牢固，無(wú)卡澀、松動(dòng)現(xiàn)象。5.2.4試驗(yàn)通道應(yīng)光滑平整、無(wú)變形、損失，箱門(mén)應(yīng)開(kāi)關(guān)靈活，閉合緊密。5.2.5設(shè)備整體尺寸應(yīng)符合設(shè)計(jì)圖紙要求，尺寸偏差應(yīng)為±5mm。5.2.6說(shuō)明性文字、符號(hào)、標(biāo)志應(yīng)清晰、耐久。5.3性能要求5.3.1檢測(cè)板性能試驗(yàn)通道檢測(cè)板性能應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2檢測(cè)板性能項(xiàng)目要求加熱電流控制范圍（A）0～20加熱電流控制分辨率（mA）加熱電流控制精度（mA）1%±10測(cè)試電流（mA）測(cè)試電流精度（mA）測(cè)試脈沖寬度us400加熱電流檢測(cè)范圍（A）0～20加熱電流檢測(cè)分辨率（mA）加熱電流檢測(cè)控制精度（mA）1%±0.20VF檢測(cè)范圍（V）0～4.000VF檢測(cè)分辨率（V）0.001VF檢測(cè)精度（V）0.2%±0.0015.3.2試驗(yàn)電源性能試驗(yàn)電源應(yīng)為穩(wěn)壓穩(wěn)流直流電源，最大輸出電流67A。應(yīng)具有過(guò)壓、過(guò)流、短路、過(guò)熱等保護(hù)功能。5.3.3檢測(cè)系統(tǒng)軟件性能系統(tǒng)軟件性能應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3軟件性能項(xiàng)目要求加熱電流IH可調(diào)每路加熱電流IH可調(diào)，調(diào)整區(qū)間0～20A回路可并聯(lián)使用各個(gè)回路可以并聯(lián)組合，抬升加熱電流范圍。VF離散補(bǔ)償試驗(yàn)過(guò)程中對(duì)每顆器件Vf進(jìn)行離散補(bǔ)償，以便進(jìn)行精確地結(jié)溫4T/ZACAXXXXX—2022換算。結(jié)溫Tj測(cè)試可對(duì)每個(gè)工位進(jìn)行結(jié)溫Tj測(cè)試，數(shù)據(jù)每秒記錄一次電流檢測(cè)對(duì)每一回路進(jìn)行精準(zhǔn)的IH檢測(cè)。Ta檢測(cè)每個(gè)通道都可以檢測(cè)腔體環(huán)境溫度Ta。老化板插板狀態(tài)檢測(cè)可以檢測(cè)老化板插板狀態(tài)，確定老化板狀態(tài)，是否可以繼續(xù)進(jìn)行試驗(yàn)。數(shù)據(jù)記錄。試驗(yàn)全程記錄VDS、ID、VF、Ta、Tjmax、Tjmin、△Tj、TC、VF@IM、VF@IH、TON、TOFF。5.4安全性能5.4.1介電強(qiáng)度電氣強(qiáng)度（引線(xiàn)殼體間）在耐壓試驗(yàn)電壓2100V下1min，應(yīng)無(wú)擊穿和閃絡(luò)現(xiàn)象。5.4.2絕緣電阻帶電體與外殼間的絕緣電阻應(yīng)大于10MΩ。5.5噪聲檢測(cè)系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)聲壓級(jí)噪聲不應(yīng)大于70dB(A)。5.6環(huán)境適應(yīng)性環(huán)境適應(yīng)性應(yīng)符合GB/T6587—2012中4.7的規(guī)定。5.7電磁兼容電磁兼容抗擾度性能應(yīng)符合GB/T18268.1的規(guī)定。5.8電源適應(yīng)性電源適應(yīng)性應(yīng)符合GB/T6587—2012中4.10的規(guī)定。5.9可靠性可靠性應(yīng)符合GB/T6587—2012中4.11的規(guī)定。6試驗(yàn)方法6.1試驗(yàn)條件試驗(yàn)應(yīng)在下列條件下進(jìn)行：a）溫度：15℃~35℃;5T/ZACAXXXXX—2022b）濕度40～60）%RH；c）大氣壓：86kPa～106kPa；d）電源：標(biāo)稱(chēng)交流電源；e）狀態(tài)：正常工作狀態(tài)。6.2外觀(guān)結(jié)構(gòu)外觀(guān)檢查可采用目測(cè)和手感。尺寸及偏差用精度不低于1mm的鋼卷尺或等精度儀器測(cè)量。6.3性能要求6.3.1檢測(cè)板性能用電流表、電壓表和萬(wàn)用表逐項(xiàng)檢查檢測(cè)板各項(xiàng)性能，應(yīng)符合表2的規(guī)定。6.3.2試驗(yàn)電壓性能6.3.2.1用萬(wàn)用表測(cè)試電源的最大輸出電流。6.3.2.2檢查電源的各項(xiàng)功能，應(yīng)符合5.3.2.2的規(guī)定。6.3.3系統(tǒng)軟件性能對(duì)照產(chǎn)品設(shè)計(jì)說(shuō)明逐項(xiàng)檢查軟件性能。6.4安全性能6.4.1介電強(qiáng)度按GB/T4793.1—2007中6.8的規(guī)定執(zhí)行。6.4.2絕緣電阻按GB/T4793.1—2007中6.8.4的規(guī)定執(zhí)行。6.5噪聲按GB/T5170.2—2017中8.11的規(guī)定執(zhí)行。6.6環(huán)境適應(yīng)性按GB/T6587—2012中5.9的規(guī)定執(zhí)行。6.7電磁兼容按GB/T17626.2、GB/T17626.3、GB/T17626.4、GB/T17626.5、GB/T17626.6、GB/T17626.8、GB/T17626.11中的規(guī)定執(zhí)行。6T/ZACAXXXXX—20226.8電源適應(yīng)性按GB/T6587—2012中5.12的規(guī)定執(zhí)行。6.9可靠性按GB/T6587—2012中5.13的規(guī)定執(zhí)行。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢驗(yàn)分類(lèi)產(chǎn)品檢驗(yàn)分為出廠(chǎng)檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)，檢驗(yàn)項(xiàng)目見(jiàn)表4。表4檢驗(yàn)項(xiàng)目序號(hào)檢驗(yàn)項(xiàng)目技術(shù)要求試驗(yàn)方法出廠(chǎng)檢驗(yàn)型式試驗(yàn)1外觀(guān)結(jié)構(gòu)5.26.2√√2檢測(cè)板性能5.3.16.3.1√√3試驗(yàn)電源性能5.3.26.3.2√√4系統(tǒng)軟件性能5.3.36.3.3√√5介電強(qiáng)度5.4.16.4.1√√6絕緣電阻5.4.26.4.2√√7噪聲5.56.5 √8環(huán)境適應(yīng)性5.66.6—√9電磁兼容性能5.76.7—√電源適應(yīng)性5.86.8—√可靠性5.96.9—√7.2出廠(chǎng)檢驗(yàn)7.2.1產(chǎn)品應(yīng)經(jīng)質(zhì)量檢驗(yàn)部門(mén)檢驗(yàn)，每項(xiàng)檢驗(yàn)項(xiàng)目符合要求，判定出廠(chǎng)檢驗(yàn)合格。7.2.2產(chǎn)品檢驗(yàn)合格并附有合格證方能出廠(chǎng)。7.3型式檢驗(yàn)7.3.1型式檢驗(yàn)項(xiàng)目見(jiàn)表4。7.3.2有下列情況之一，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：a)新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠(chǎng)生產(chǎn)的試制定型鑒定時(shí)；b)正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)、材料、工藝等有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；c)正常生產(chǎn)，每年應(yīng)進(jìn)行一次型式試驗(yàn)；7T/ZACAXXXXX—2022d）產(chǎn)品長(zhǎng)期停產(chǎn)1年后，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；e)出廠(chǎng)檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異時(shí)。7.3.3型式檢驗(yàn)樣品應(yīng)從出廠(chǎng)檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中隨機(jī)抽取2個(gè)樣品。型式檢驗(yàn)全部項(xiàng)目合格應(yīng)判定型式檢驗(yàn)合格，若有不合格項(xiàng)時(shí)，應(yīng)對(duì)不合格項(xiàng)進(jìn)行復(fù)檢，復(fù)檢合格應(yīng)判定為合格，復(fù)檢仍不合格，應(yīng)判定型式檢驗(yàn)不合格。8標(biāo)志、使用說(shuō)明書(shū)、包裝、運(yùn)輸和貯存8.1標(biāo)志8.1.1產(chǎn)品標(biāo)志應(yīng)字跡清晰耐久，固定牢靠。8.1.2標(biāo)志應(yīng)有下列內(nèi)容：a)產(chǎn)品名稱(chēng)、型號(hào)；b)溫度范圍；c)電源電壓、頻率及總功率；d）制造日期或出廠(chǎng)編號(hào)；e)產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)；e)制造廠(chǎng)商名稱(chēng)。8.2使用說(shuō)明書(shū)產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)應(yīng)按GB/T9969的規(guī)定編寫(xiě)。8.3包裝8.3.