廣東佛智芯微電子技術(shù)研究有限公司大板級扇出封裝建設(shè)項目項目環(huán)境影響報告表

《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表》編制說明《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表》由具有從事環(huán)境影響評價工作資質(zhì)的單1.項目名稱――指項目立項批復(fù)時的名稱，應(yīng)不超過30個字(兩個英5.主要環(huán)境保護目標(biāo)――指項目區(qū)周圍一定范圍內(nèi)集中居民住宅區(qū)、學(xué)校、醫(yī)院、保護文物、風(fēng)景名勝區(qū)、水源地和生態(tài)敏感點等，應(yīng)盡可能6.結(jié)論與建議――給出本建設(shè)項目清潔生產(chǎn)、達標(biāo)排放和總量控制的分析結(jié)論，確定污染防治措施的有效性，說明本建設(shè)項目對環(huán)境造成的影響，給出建設(shè)項目環(huán)境可行性的明確結(jié)論。同時提出減少環(huán)境影響的其他7.預(yù)審意見――由行業(yè)主管部門填寫答復(fù)意見，無主管部門項目 1 13 15 30 35 71 73 126 127 136 138 139 140 141 143 144 145 146 147 149 152 153 1541/碼號號新建改擴建變更例/廣東佛智芯微電子技術(shù)研究有限公司大板級扇出封裝建設(shè)項目擬選址于佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)南海軟件科技園內(nèi)佛高科技智庫中心（原名南海產(chǎn)業(yè)智庫得佛山市南海區(qū)環(huán)境運輸和城市管理局的環(huán)評批復(fù)，批文為《關(guān)于<南海產(chǎn)業(yè)智庫城一2術(shù)研究有限公司為廣東省半導(dǎo)體智能裝備和系根據(jù)《關(guān)于公布2018年佛山市南海區(qū)廣工數(shù)控裝備協(xié)同創(chuàng)新研究院科技創(chuàng)新重大大板級扇出型封裝利用成熟的LCD、太陽能、PCB/封裝基板制造等生產(chǎn)設(shè)備進行度芯片封裝主要采用LCD生產(chǎn)設(shè)備進行封裝生產(chǎn)，價格相對昂貴，技術(shù)能力可以與晶圓級扇出相當(dāng)。國外的日月光等企業(yè)已實現(xiàn)300正在開展600mm×600mm的大板扇出產(chǎn)重大專項大板項目工藝創(chuàng)新，重點解決大板扇出封裝過程大板翹曲、芯片偏移等問題，3本項目主要從事大板級扇出封裝研發(fā)產(chǎn)品的研發(fā)，所在中心地理位置坐標(biāo)為北緯本項目占地面積約980m2，總投資4300萬元人民幣，年產(chǎn)大板級扇出封裝研發(fā)產(chǎn)表1-1項目工程組成項目規(guī)模用途主體工程綜合研發(fā)車間980m2研發(fā)車間位于所在科研樓一層A107室，研發(fā)車間主要分為干式加工區(qū)和濕式加工區(qū)，其中濕式加工區(qū)內(nèi)設(shè)有前處理線、顯影線、圖形電鍍線、退膜線、蝕刻線及實驗室，項目總占地約980m2倉儲工程倉庫兩間均位于研發(fā)車間內(nèi)，成品及原輔材料倉庫用于儲存產(chǎn)品及原輔材料，約16m2；化學(xué)品倉庫用來儲存化學(xué)品原料，約19m2公用工程純水制備系統(tǒng)一套位于項目所在建筑二層A212-2室，占地約80m2配電系統(tǒng)一套供應(yīng)研發(fā)用電4給排水系統(tǒng)一套供水源來自市政自來水，生活污水排入園區(qū)中心生活污水收集處理系統(tǒng)，生活污水經(jīng)預(yù)處理后排入市政管網(wǎng)，進入獅山西北污水廠處理；研發(fā)生產(chǎn)廢水經(jīng)自建污水設(shè)施處理后全部回用研發(fā)環(huán)保工程廢水處理設(shè)施研發(fā)生產(chǎn)廢水處理設(shè)施一套處理工藝為：預(yù)處理（氧化吸附+反應(yīng)沉淀）+微濾+超濾+二級膜過濾+蒸發(fā)冷凝+二次脫鹽，總處理規(guī)模20m3/d生活污水項目生活污水排入園區(qū)中心生活污水收集處理系統(tǒng)，生活污水經(jīng)預(yù)處理后排入市政管網(wǎng)，進入獅山西北污水廠處理酸性廢氣處理設(shè)施一套收集后通過“堿液噴淋”處理后引至35m排氣筒（P2）排放有機廢氣處理設(shè)施一套收集后通過“UV光解+活性炭”處理后引至35m排氣筒（P1）排放危險廢物暫存點一個位于科研樓二層，用于儲存危險廢物2.2主要研發(fā)規(guī)模、設(shè)備以及能耗情況表1-2項目產(chǎn)品產(chǎn)量產(chǎn)品類別寬(cm)面積（m2）備注大板級級出封裝研發(fā)產(chǎn)品60604680主要用途為電源開關(guān)，功率器件等表1-3項目主要原輔材料項目名稱單位數(shù)量最大儲儲存方式備注主要原輔材料用量芯片萬張規(guī)格：1.58*2mm*5400pcs玻璃張/年6500作為臨時載板，規(guī)格為：615mm*625mm樹脂板張/年6500介電膠噸/年0.10.02涂布使用干膜噸/年0.130.01原料倉用于覆膜工藝塑封料噸/年0.2750.02原料倉用于塑封工序研磨液噸/年0.40.04液體，20kg倉用于研磨工序銅靶材噸/年0.020.02用于真空濺射5Ti靶材噸/年0.010.01用于真空濺射四氟化碳（CF4）噸/年0.20.02氣體，瓶裝等離子清掃使用，N2用于烤箱吹掃，回流焊吹氣、解鍵合機吹氣氧氣（O2）噸/年0.20.02氣體，瓶裝氮氣（N2）噸/年0.40.04氣體，瓶裝氬氣（Ar2）噸/年0.20.02氣體，瓶裝氦氣（He2）噸/年0.20.02氣體，瓶裝前處理預(yù)浸液噸/年0.6760.1液體，20kg倉主要成分為硫酸前處理鍵合劑噸/年0.1液體，20kg倉主要成分為硫酸顯影開缸劑1392A噸/年0.2液體，20kg倉顯影添加劑1392B噸/年0.2液體，20kg倉無水硫酸銅溶液噸/年0.50.5液體，20kg倉38%鹽酸噸/年0.00020.0005液體，0.5kg倉蝕刻鈦用氫氧化鈉噸/年0.220.05原料倉退膜液噸/年3.00.5液體，20kg倉50%硫酸噸/年3.563860.8液體，20kg倉主要用于酸洗、電鍍、蝕刻銅工序50%過氧化氫溶液噸/年0.13650.05液體，20kg倉用于蝕刻工序氫氟酸噸/年0.00070.0007液體，0.5kg倉用于蝕刻鈦抗氧化劑噸/年0.0780.05液體，20kg倉用于蝕刻中抗氧化工序，含有少量乙醇介電材料噸/年0.16原料倉主要為ABF/PP/PI材料6防焊干膜噸/年10.1原料倉用于蝕刻后貼膜工序PET膜噸/年0.126原料倉用于兩次貼膜工序錫膏噸/年0.3150.05原料倉用于回流焊錫球噸/年0.3150.05原料倉主要原輔材料性質(zhì)表1-4a項目主要原輔材料性質(zhì)表1-4b鹽酸的性質(zhì)熔點(℃):-114.8；相對密度（水=1）:1.20；沸點(℃):108.6；相對密度（空氣=1）:1.26；表1-4c硫酸的性質(zhì)7熔點（C）:10.5；相對密度（水=1）:1.83；沸點(℃):330.0；相對密度（空氣=1）:3.4；飽力（Mpa）:無資料；辛醇/水分配系數(shù):無資料；閃點(℃):無；引燃溫度(℃):無；爆炸極限[%（V/V）]:無資料；最小點火能（Mj）:無料腐蝕性強，能造成組織灼傷，能使粉末狀可表1-4d氫氧化鈉的性質(zhì)英文名：Sodiunhydroxide；Ca熔點(℃):318.4；相對密度（水=1）:2.12；沸點(℃):1390；相對密度（空氣=1）:無；飽和無資料；辛醇/水分配系數(shù):無資料；閃點(℃):無；引燃溫度(℃):無；爆炸極限[%（V/V）]:無資料；最小點火能（Mj）:無資料；最大爆炸壓力-----表1-4e過氧化氫的性質(zhì)質(zhì)熔點(℃):-2；相對密度（水=1):1.46；沸點(℃):158；相對密度（空氣=1):無；飽和蒸氣壓8（kPa):0.13kPa(15.3℃)；燃燒熱（Kj/mol):無；臨界溫度(℃):無資料；臨界壓力（Mpa):無?辛醇/水分配系數(shù):無；閃點(℃):無；引燃溫度(℃):無；爆炸極限[%(V/V)]:無；最小點火能（Mj):逆損傷甚至失明。口服中毒出現(xiàn)腹痛、胸口痛、呼時性運動和感覺障礙、體溫升高等。個別病例出現(xiàn)性---爆炸性強氧化劑。過氧化氫本身不燃，但能與可量和氣氛而引起著火爆炸。它與許多有機物如糖產(chǎn)品等形成爆炸性混合物，在撞擊、受熱或電火花表1-5項目主要研發(fā)設(shè)備、原輔材料、能耗情況項目名稱單位數(shù)量備注研發(fā)設(shè)備貼膜機臺1假貼機臺1真空涂布機臺1貼片設(shè)備臺1倒裝機臺1等離子清洗設(shè)備臺1塑模設(shè)備臺1真空熱壓機臺1整平機臺1真空烤箱臺1無塵烤箱臺1減薄設(shè)備臺1為研磨機，見表1-6芯片檢測鐳射一體機臺1帶激光切割功能盲孔檢查機臺1真空濺射設(shè)備臺1清洗設(shè)備臺1為干膜前處理線，見表1-6曝光設(shè)備臺1顯影設(shè)備臺1鍍銅設(shè)備臺1為圖形電鍍線，見表1-6退膜設(shè)備臺19刻蝕設(shè)備臺1表面檢查一體機臺1大板顯微鏡臺1一般烤箱臺1回流焊設(shè)備臺1機械拆鍵合臺1皮秒激光切割設(shè)備臺1能源與水耗電萬千瓦時/年25研發(fā)用水噸/年140.75生活用水噸/年208表1-6項目主要研發(fā)線槽體情況量長寬高111111本項目依托園區(qū)現(xiàn)有供電系統(tǒng)。主要用電設(shè)備按三級負荷考慮，其中消防、報警線需要使用純水，需要項目內(nèi)制備純水后分項目總排水量為187.2m3/a，外排廢水為生活污水。研發(fā)系統(tǒng)總用水量為4318.81為2t/h（8h連續(xù)運行，合16t/d）。本項目排水采用雨污分流制度。項目產(chǎn)生的廢水包括研發(fā)生產(chǎn)廢水和生活污水，項目研發(fā)生產(chǎn)廢水產(chǎn)生量為4263.33m3/a，16.40m3/d（其中一般清洗廢水產(chǎn)生量20m3/d，處理工藝為：預(yù)處理（氧化吸附+反應(yīng)沉淀）+微濾+超濾+二級膜項目內(nèi)不設(shè)辦公生活區(qū)，辦公區(qū)依托廣東省佛山市佛高科技智庫中心內(nèi)辦公室，環(huán)保設(shè)施區(qū)包括污水處理設(shè)施及廢氣處理設(shè)施和固體廢物暫存設(shè)施，污水處理設(shè)險廢物暫存場所位科研樓二樓A212-2室內(nèi)，便于集中清運。本項目車間采用潔凈無塵與本項目有關(guān)的原有污染源情況及主要環(huán)境問題：項目位于廣東省佛山市佛高科技智庫中心A2座。項目租用已建成科研樓一層及二展有限公司，四層為廣工大研究院-眾創(chuàng)空間辦公室，五層及六層目前空置。項目東面為佛高科技智庫中心B2座，南面為佛高科技智庫中心A1座，西面為空地，北面為山產(chǎn)經(jīng)營過程中產(chǎn)生的廢水、廢氣、噪聲、固廢以及附近道路二、建設(shè)項目所在地自然環(huán)境簡況速公路、佛山一環(huán)連通南北。同事，鎮(zhèn)內(nèi)路網(wǎng)還與廣佛立體化可暢達國際。途徑鎮(zhèn)西南部的廣湛（茂）鐵路是溝通廣廣鐵路、廣珠鐵路、廣佛肇慶城際軌道、廣佛環(huán)線、佛山地和自廣州經(jīng)南海鹽步，大瀝，松崗，官窯，小塘至三水區(qū)的廣小斷裂帶，屬廣東省地震重點監(jiān)視區(qū)。南海區(qū)地貌類型以平原％；在南海區(qū)表現(xiàn)為，秋冬季盛行偏北風(fēng)，春、夏季盛行東內(nèi)河段長28公里，即使是在枯水期航。南海區(qū)境內(nèi)主要水庫有東風(fēng)水庫、仙溪水庫、赤坎水庫地帶以及水庫伸入山谷地段，形成了若干魚塘，另外有一些型主要有：平原、圍田、垌田的水稻土以寬谷沖積土田（垌南海區(qū)境內(nèi)植物種類為亞熱帶常綠林。由于長期路邊、河涌兩岸零星分布著木棉、榕、樟、荷木、烏柏、子、垂柳、仁面子、無花果、黃牙果、山肺、鴨腳木、形竹、籬竹、篙竹等植被。主表3-1建設(shè)項目評價區(qū)域環(huán)境功能屬性編號功能區(qū)名稱功能區(qū)確定依據(jù)功能區(qū)類別及屬性1水環(huán)境功能區(qū)《關(guān)于同意實施廣東省地表水環(huán)境功能區(qū)劃的批復(fù)》（粵府函[2011]29號）及《南海區(qū)環(huán)境保護和生態(tài)建設(shè)“十三五”規(guī)劃》解放涌為V類水體功能2地下水環(huán)境功能區(qū)劃《關(guān)于同意廣東省地下水功能區(qū)劃的復(fù)函》（粵辦函[2009]459號）及廣東省水利廳地下水功能區(qū)劃（文本）珠江三角洲佛山南海地下水水源涵養(yǎng)區(qū)(H074406002T01)，地下水水體功能為III類3環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)《印發(fā)佛山市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃的通知》（佛府〔2007〕154號）大氣環(huán)境二類功能區(qū)4聲環(huán)境功能區(qū)《關(guān)于印發(fā)佛山市聲環(huán)境功能區(qū)劃分方案的通知》（佛府函〔2015〕72號）聲環(huán)境2類功能區(qū)5基本農(nóng)田保護區(qū)《佛山市南海區(qū)土地利用總體規(guī)劃(2010-2020年)調(diào)整完善方案》否6風(fēng)景名勝區(qū)、自然保護區(qū)、森林公園、重點生態(tài)功能區(qū)《廣東省主體功能區(qū)劃》（粵府〔2012〕120號）否7重點文物保護單位---否8是否水源保保護區(qū)---否9是否污水處理廠納污范圍---是，獅山西北污水處理廠二級標(biāo)準(zhǔn)。為評價本項目所在區(qū)域的環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀，引用《2018年度佛山市南海區(qū)環(huán)境質(zhì)量報告書》中的數(shù)據(jù)及結(jié)論。2018年佛山市南海區(qū)共設(shè)置有2個城市環(huán)境空2表3-2環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀污染物月平均濃度標(biāo)準(zhǔn)值(mg/m3)超標(biāo)率(%)超標(biāo)倍數(shù)SO2(μg/m3）960//NO2(μg/m3）49（超標(biāo)）408.20.225PM10(μg/m3）5670//PM2.5(μg/m3）36（超標(biāo)）354.10.029CO*（mg/m3）4//O3-8H*(μg/m3）168（超標(biāo)）0.05*注：表中CO為年內(nèi)日平均值的第95百分位數(shù)，O3為年內(nèi)日最大8小時平均值的第90百分位城市（南海氣象局和桂城十七街區(qū)）測點SO2（二氧化硫）、NO碳）濃度日均值第95位百分數(shù)為1.3毫克/質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）二級標(biāo)準(zhǔn)，其他項目達標(biāo)。與201府辦函[2018]537號佛山市以2020氣污染精細化防空能力。屆時，佛山市南海區(qū)的環(huán)境空南面約1.398km）進行監(jiān)測，監(jiān)測報告編號順）研測字表3-3硫酸霧監(jiān)測點位基本信息監(jiān)測點名稱監(jiān)測因子監(jiān)測時段相對廠址方位相對廠界距離/m項目所在地硫酸霧值/輕工職業(yè)技術(shù)學(xué)院（南海校區(qū)）硫酸霧值北面887聚龍村硫酸霧值西南面表3-4硫酸霧現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果監(jiān)測監(jiān)測點名稱監(jiān)測點坐標(biāo)/m監(jiān)測監(jiān)測時段評價標(biāo)準(zhǔn)(μg/m3)監(jiān)測濃度范圍(mg/m3)最大濃度占標(biāo)率/%超標(biāo)率/%達標(biāo)情況年月日~月日XY項目所在地2硫酸霧小時值3000.005-0.0072.30達標(biāo)硫酸霧值0.005-0.00770輕工職業(yè)技術(shù)海校區(qū)）876硫酸霧小時值3000.005（L）/0硫酸霧值0.005（L）/0聚龍村482硫酸霧小時值3000.005-0.00620硫酸霧值0.005-0.00660備注L）表示低于檢出限（南海校區(qū)）、聚龍村處硫酸霧監(jiān)測結(jié)果均滿足《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》放涌。根據(jù)《廣東省地表水功能區(qū)劃》（粵府函【2011】14號）及《南海區(qū)環(huán)境保護圖3-1解放涌水質(zhì)監(jiān)測情況截圖由監(jiān)測結(jié)果可知，解放涌監(jiān)測斷面氨氮、總磷超出《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)，解放涌水質(zhì)現(xiàn)狀達不3）通過減排、生態(tài)技術(shù)解決、河涌綜合整治及污水處理廠的建設(shè)使，工業(yè)廢水污染物及生活污水的排放大大削減，為企業(yè)騰根據(jù)《佛山市人民政府辦公室關(guān)于印發(fā)佛山市江河涌綜合整治行動方案表3-5項目廠界聲環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)（單位：dB（A測試日期測試點位測試時間單位檢測結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)備注2019-10-23N1項目地東邊界外dB（A）50.62類，60達標(biāo)22:04dB（A）44.32類，50達標(biāo)N2項目地南邊界外dB（A）50.02類，60達標(biāo)22:28dB（A）45.42類，50達標(biāo)N3項目地北邊界外dB（A）45.92類，60達標(biāo)22:52dB（A）46.72類，50達標(biāo)2019-10-24N1項目地東邊界外08:57dB（A）51.22類，60達標(biāo)22:00dB（A）45.32類，50達標(biāo)N2項目地南邊界外09:33dB（A）50.52類，60達標(biāo)22:29dB（A）43.62類，50達標(biāo)N3項目地北邊界外09:59dB（A）48.92類，60達標(biāo)22:59dB（A）43.92類，50達標(biāo)角洲佛山南海地下水水源涵養(yǎng)區(qū)，地下水功能區(qū)保護目標(biāo)為《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》下游設(shè)置監(jiān)測布點，共設(shè)置4個水質(zhì)監(jiān)測點，7個水位監(jiān)測點，監(jiān)測報告編號為：表3-6地下水監(jiān)測布點情況采樣日期采樣點位經(jīng)度緯度海拔地下水埋深（m）2019-10-28項目所在地23°9'16"0.57聚龍村113°2'38"23°9'0"牛溪西村23°10'2"3.17仁福村23°10'34"8.40平北村23°10'26"7.80黃洞村113°0'38"23°9'46"2.58塱下村23°8'39"0.65表3-7地下水水位監(jiān)測結(jié)果采樣日期采樣點位檢測項目單位檢測結(jié)果2019-10-28平北村地下水位m黃洞村地下水位m塱下村地下水位m項目所在地地下水位m聚龍村地下水位m9.46牛溪西村地下水位m仁福村地下水位m6.8表3-8地下水水質(zhì)監(jiān)測結(jié)果采樣日期檢測項目單位檢測結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)達標(biāo)情況項目所在地聚龍村牛溪西村仁福村2019-10-28pH值——6.236.366.306.566.5~8.5不達標(biāo)氨氮mg/L<0.020.46<0.020.080.5達標(biāo)氟化物mg/L<0.2<0.20.34<0.2達標(biāo)鎘μg/L<0.05<0.050.13<0.055達標(biāo)汞mg/L<0.00005<0.00005<0.00005<0.000050.001達標(biāo)耗氧量mg/L0.873.0達標(biāo)揮發(fā)酚mg/L<0.0003<0.0003<0.0003<0.00030.002達標(biāo)硫酸鹽mg/L71.587.234.4250達標(biāo)六價鉻mg/L<0.004<0.004<0.004<0.0040.05達標(biāo)鋁mg/L<0.0080.0140.016<0.008/達標(biāo)氯化物mg/L50.337.431.3250達標(biāo)錳μg/L44.461.842.423.0達標(biāo)鎳μg/L0.814.6920達標(biāo)鉛μg/L0.822.452.180.57達標(biāo)氰化物mg/L<0.002<0.002<0.002<0.0020.05達標(biāo)溶解性總mg/L218213302達標(biāo)砷mg/L<0.0005<0.0005<0.0005<0.00050.01達標(biāo)碳酸根mg/L<5<5<5<5/達標(biāo)鐵μg/L40.230.6300達標(biāo)銅μg/L2.29達標(biāo)細菌總數(shù)CFU/mL3320達標(biāo)硝酸鹽氮mg/L2.9達標(biāo)鋅μg/L達標(biāo)亞硝酸鹽氮mg/L0.0060.010.0020.009達標(biāo)重碳酸根mg/L395767//總大腸菌群MPN/100mL33493503.0不達標(biāo)總硬度mg/L83.198.794.6450達標(biāo)鈣離子mg/L26.721.233.2//鉀離子（K+）mg/L22.29.5474.6//鎂離子（mg2+）mg/L3.81//鈉離子mg/L429.3//硫酸根mg/L72.285.635.8//氯離子mg/L45.937.730.9//根據(jù)監(jiān)測結(jié)果可知，項目所在地、聚龍村、牛溪西村的地下水監(jiān)測點pH超標(biāo)，以‘、土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀苯、氯苯、1,2-二氯苯、1,4-二氯苯、乙苯、苯乙烯、甲表3-9土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀調(diào)查方案布點類型布點位置土地利用類型采樣深度監(jiān)測項目土壤理化特性基本因子特征因子占地范圍內(nèi)項目東側(cè)T1建設(shè)用地柱狀樣0.0-4.5mpH、陽離子交換量、氧化還原電位、土壤容重/銅、鈦項目南側(cè)T2建設(shè)用地/項目西側(cè)T3建設(shè)用地/項目北側(cè)T4建設(shè)用地表層樣0.0~0.2mGB36600-201845個基本項目占地范圍外項目西北面空地T5建設(shè)用地表層樣0.0~0.2m/項目南面（距項目0.2km左右，桃園東路對面）T6建設(shè)用地表層樣0.0~0.2mGB36600-201845個基本項目表3-10土壤現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果檢測點位采樣深度檢測項目T4項目北側(cè)檢測點位采樣深度檢測項目T6項目南面（距項目0.2km左右，桃園東路對面）標(biāo)準(zhǔn)值達標(biāo)情況0-20cm0-20cm鎘0.01鎘0.0765達標(biāo)鎳鎳7900達標(biāo)鉛38.8鉛32.8800達標(biāo)銅銅18000達標(biāo)汞0.036汞0.03938達標(biāo)砷砷60達標(biāo)鈦2.96鈦2.08//2-氯酚<0.042-氯酚<0.042256達標(biāo)苯胺<0.10苯胺<0.10260達標(biāo)硝基苯<0.09硝基苯<0.0976達標(biāo)萘<0.09萘<0.0970達標(biāo)<0.1<0.1達標(biāo)?<0.1?<0.1達標(biāo)苯并（b）熒蒽<0.2苯并（b）熒蒽<0.2達標(biāo)苯并（k）熒蒽<0.1苯并（k）熒蒽<0.1達標(biāo)<0.1<0.1達標(biāo)茚并[1,2,3-cd]芘<0.1茚并[1,2,3-cd]芘<0.1達標(biāo)二苯并[a,h]蒽<0.1二苯并[a,h]蒽<0.1達標(biāo)氯甲烷<0.0010氯甲烷<0.001037達標(biāo)氯乙烯<0.0010氯乙烯<0.00100.43達標(biāo)1,1-二氯乙烯<0.00101,1-二氯乙烯<0.001066達標(biāo)反式-1,2-二氯乙烯<0.0014反式-1,2-二氯乙烯<0.001454達標(biāo)二氯甲烷<0.0015二氯甲烷<0.0015616達標(biāo)1,1-二氯乙烷<0.00121,1-二氯乙烷<0.00129達標(biāo)順式-1,2-二氯乙烯<0.0013順式-1,2-二氯乙烯<0.0013596達標(biāo)氯仿<0.0011氯仿<0.00110.9達標(biāo)<0.0013<0.0013840達標(biāo)四氯化碳<0.0013四氯化碳<0.00132.8達標(biāo)1,2-二氯乙烷<0.00131,2-二氯乙烷<0.00135達標(biāo)苯<0.0019苯<0.00194達標(biāo)三氯乙烯<0.0012三氯乙烯<0.00122.8達標(biāo)1,2-二氯丙烷<0.00111,2-二氯丙烷<0.00115達標(biāo)<0.0013<0.0013達標(biāo)1,1,2-三氯乙烷<0.00121,1,2-三氯乙烷<0.00122.8達標(biāo)四氯乙烯<0.0014四氯乙烯<0.001453達標(biāo)氯苯<0.0012氯苯<0.0012270達標(biāo)<0.0012<0.0012達標(biāo)<0.0012<0.001228達標(biāo)間+對-二甲苯<0.0012間+對-二甲苯<0.0012570達標(biāo)鄰-二甲苯<0.0012鄰-二甲苯<0.0012640達標(biāo)苯乙烯<0.0011苯乙烯<0.0011達標(biāo)<0.0012<0.00126.8達標(biāo)1,2,3-三氯丙烷<0.00121,2,3-三氯丙烷<0.00120.5達標(biāo)1,4-二氯苯<0.00151,4-二氯苯<0.001520達標(biāo)1,2-二氯苯<0.00151,2-二氯苯<0.0015560達標(biāo)表3-11土壤現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果采樣日期檢測項目單位檢測結(jié)果超標(biāo)率最大超標(biāo)倍數(shù)T1項目東南側(cè)T2項目南側(cè)T3項目西側(cè)T5項面空地標(biāo)準(zhǔn)值達標(biāo)情況0-50cm100-150cm250-300cm41-450cm0-50cm100-150cm200-250cm500-550cm0-50cm100-150cm210-260cm530-570cm0-20cm2019-10-16pH——5.515.335.334.468.316.398.507.356.705.018.56///水分%21.525.67.0滲濾率（滲濾系數(shù)、飽和導(dǎo)水率）mm/min0.320.380.320.380.320.440.380.320.380.320.380.320.50機械組成（蘇聯(lián)制）<0.01mm%18.9428.3627.8631.4718.7816.7548.7848.6255.8151.0732.46質(zhì)地——壤土壤土壤土壤土壤土壤土壤土壤土壤土壤土壤土壤土壤土質(zhì)地名稱——砂壤土砂壤土輕壤土輕壤土中壤土砂壤土砂壤土重壤土重壤土重壤土重壤土重壤土中壤土土壤容重g/cm3陽離子交換量cmol(+)/kg2.04.45.06.4氧化還原電位mV298353318371360297360318366312336289287有機質(zhì)g/kg6.870.710.862.443.226.495.699.62總孔隙度體積%49494847484645444947474447采樣日期檢測項目單位檢測結(jié)果超標(biāo)率最大超標(biāo)倍數(shù)T1項目東南側(cè)T2項目南側(cè)T3項目西側(cè)T5項面空地標(biāo)準(zhǔn)值達標(biāo)情況0-50cm100-150cm250-300cm41-450cm0-50cm100-150cm200-250cm500-550cm0-50cm100-150cm210-260cm530-570cm0-20cm2019-10-16鎘mg/kg0.070.050.820.070.500.420.290.050.060.080.010.0665達標(biāo)----鎳mg/kg972985421900達標(biāo)----鉛mg/kg43.733.723.820.024.126.032.020.821.7800達標(biāo)----銅mg/kg332924273618000達標(biāo)----汞mg/kg0.0280.0060.0110.0050.0200.0160.0200.0180.0130.0200.0280.0360.01138達標(biāo)----砷mg/kg2.942.672.513.2195.921.160超標(biāo)0.33鈦g/kg0.252.462.28//----表3-12土壤采樣點位基本信息采樣日期采樣點位顏色濕度結(jié)構(gòu)質(zhì)地砂礫含量(%)其他異物植物根系2019-10-16T1項目東南側(cè)0-50cm淺灰干團粒結(jié)構(gòu)體砂壤土5無少100-150cm淺灰干塊狀結(jié)構(gòu)體砂壤土5無無250-300cm黃色干核狀結(jié)構(gòu)體輕壤土3無無41-450cm紅色干團狀結(jié)構(gòu)體重壤土1無無T2項目南側(cè)0-50cm褐色干塊狀結(jié)構(gòu)體輕壤土3無少100-150cm淺黃干團狀結(jié)構(gòu)體砂壤土5無無200-250cm淺黃潮團粒結(jié)構(gòu)體砂壤土5無無500-550cm黃色潮塊狀結(jié)構(gòu)體中壤土3無無T3項目西側(cè)0-50cm紅色潮核狀結(jié)構(gòu)體輕壤土3無少100-150cm紅色潮塊狀結(jié)構(gòu)體輕壤土3無無210-260cm紅褐色潮塊狀結(jié)構(gòu)體1無無530-570cm紅褐色濕塊狀結(jié)構(gòu)體1無無T4項目北側(cè)0-20cm褐色干團粒結(jié)構(gòu)體輕壤土5無少T5項目西北面空地0-20cm褐色干團粒結(jié)構(gòu)體輕壤土3無無T6項目南面（距項目0.2km左右，桃園東路對面）0-20cm棕黃色干團粒結(jié)構(gòu)體砂壤土5無少從監(jiān)測結(jié)果來看，項目所在地及周邊土壤環(huán)境質(zhì)量土壤污染風(fēng)險管控標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB36600-2018主要環(huán)境保護目標(biāo)（列出名單及保護級別）地表水：項目納污水體為解放涌，為Ⅴ類水體環(huán)境功能區(qū)，地表水環(huán)境保護目標(biāo)為保證納污水體不因本項目的建設(shè)而改變其水環(huán)境功能區(qū)類別地下水：根據(jù)《廣東省地下水功能區(qū)劃》（粵辦函[2009]459號），項目所在區(qū)域準(zhǔn)》（GBT14848-2017）的Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，地下水環(huán)境保護目標(biāo)為表3-13項目主要環(huán)境保護目標(biāo)序號名稱坐標(biāo)/m保護對象保護環(huán)境功能區(qū)相對廠址方位相對廠界距離/mXY1廣東省石油化工職業(yè)技術(shù)學(xué)校37人群大氣二類區(qū)東南面2022華南師范大學(xué)-293-207師生大氣二類區(qū)西南面3593輕工職業(yè)技術(shù)學(xué)院（南海校區(qū)）334師生大氣二類區(qū)西北面3634依云小鎮(zhèn)-605人群大氣二類區(qū)西南面6175禾粵尚德居71人群大氣二類區(qū)西北面6聚龍村-399人群大氣二類區(qū)西南面7南海東軟信息技術(shù)學(xué)院-793師生大氣二類區(qū)東南面8仙溪村722人群大氣二類區(qū)西南面9佛山科學(xué)技術(shù)學(xué)院-544人群大氣二類區(qū)東南面博雅中學(xué)911師生大氣二類區(qū)東南面平北村-774人群大氣二類區(qū)西北面黃洞村712人群大氣二類區(qū)東南面唐邊村-493人群大氣二類區(qū)西北面小洞村2156-630人群大氣二類區(qū)東南面2246塘連村2067人群大氣二類區(qū)東北面2578北社村2019人群大氣二類區(qū)東北面2676牛溪村592人群大氣二類區(qū)東北面?zhèn)渥ⅲ涵h(huán)境保護目標(biāo)坐標(biāo)以廠址中心為原點（0，0）,正東方向為X軸正方向，正北方為Y軸正方表4-1環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)單位：ug/m3污染物項目類別濃度限值選用標(biāo)準(zhǔn)SO2年平均60《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)及2018年修改單二級標(biāo)準(zhǔn)24小時平均1小時平均500NO2年平均4024小時平均1小時平均200PM1024小時平均年平均70PM2.524小時平均75年平均35CO（mg/m3)24小時平均41小時平均O3日最大8小時平均1小時平均200TSP24小時平均300年平均200NOx年平均5024小時平均1小時平均250氟化物1小時平均207TVOC8小時平均600《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》（HJ2.2-2018）附錄D硫酸1小時平均300錫及其化合物1小時平均60《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》推薦值表4-2地表水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)單位：mg/L，pH無量綱指標(biāo)pHCODCrBOD5溶解氧氨氮總磷（以P計）石油類標(biāo)準(zhǔn)6-9≤40≤10≥2≤2.0≤0.4≤1.0表4-3《地下水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（單位：mg/L，pH值：無量綱；總大腸菌群：MPNh/100mL）序號項目III類標(biāo)準(zhǔn)序號項目III類標(biāo)準(zhǔn)1pH6.5~8.58氨氮（以N計）0.502總硬度(以CaCO3計)4509銅3硫酸鹽250鉻（六價）0.054氯化物250鉛0.0150.002鎳0.026硝酸鹽（以N計）20.0耗氧量（CODMn法，以O(shè)2計）3.07亞硝酸鹽（以N計）總大腸菌群3.0表4-4《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008單位：dB（A類別晝間2類6050表4-5建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險篩選值（單位：mg/kg）序號污染物項目篩選值（第二類用地）序號污染物項目篩選值（第二類用地）1砷6025氯乙烯0.432鎘6526苯43鉻（六價鉻）5.727氯苯2704銅18000281,2-二氯苯5605鉛800291,4-二氯苯206汞3830287鎳90031苯乙烯8四氯化碳2.8329氯仿0.933間二甲苯+對二甲苯570氯甲烷3734鄰二甲苯6401,1-二氯乙烷935硝基苯761,2-二氯乙烷536苯胺2601,1-二氯乙烯66372-氯酚2256順-1,2-二氯乙烯59638苯并[a]蒽反-1,2-二氯乙烯5439苯并[a]芘二氯甲烷61640苯并[b]熒蒽1,2-二氯丙烷541苯并[k]熒蒽42?6.843二苯并[a,h]蒽20四氯乙烯5344茚并[1,2,3-cd]芘2184045萘70221,1,2-三氯乙烷2.8///23三氯乙烯2.8///241,2,3-三氯丙烷0.5///準(zhǔn)水主要是生活污水，項目生活污水排入園區(qū)中心表4-6生活污水污染物排放濃度限值項目pHCODCrBOD5氨氮生活污水6～9500300---400表4-7污水廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)BOD5CODCr氨氮動植物油《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二時段一級標(biāo)準(zhǔn)204020《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB178918-2002)一級A標(biāo)準(zhǔn)501獅山西北污水處理廠出水執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)401項目屬于集成電路研發(fā)企業(yè)，并配套有電鍍工序。硫酸霧、氯化氫、氟化物執(zhí)行級標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)《佛山市環(huán)境保護委員會辦公室關(guān)于印發(fā)2014年佛山市陶制造行業(yè)、鋁型材行業(yè)和VOCs排放企業(yè)整治方案的通知》(佛環(huán)委辦〔2014〕18號)，“在國家、省未出臺行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)前，金屬制品、鋁型材、設(shè)備制造行業(yè)參照執(zhí)行《表面涂表4-9廢氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)污染源污染物（排氣排氣筒高度最高允許排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率(kg/h)周界外濃度最高點濃度限值(mg/m3)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)工藝廢氣錫及其化合物（P1)358.50.975（35m）0.3(DB44/27-2001)中第二時段二級標(biāo)準(zhǔn)硫酸霧(P2)3530//(GB21900-2008)表5標(biāo)準(zhǔn)限值氟化物(P2)357//VOCs(P1)35302.0（DB44/814-2010）Ⅱ時段排放限值及表2無組織排放監(jiān)控點濃度限值臭氣濃度(P1)35/750020(廠界）（GB14554-1993）中的惡臭污染物廠界標(biāo)準(zhǔn)值和排放標(biāo)準(zhǔn)值備注：1、項目排氣筒高度均為35m，200m范圍內(nèi)最高建筑物高度約為32m，排氣筒高度未高出5米以上，排放速率均減半執(zhí)行。2、項目VOCs無組織排放統(tǒng)一執(zhí)行《家具制造行業(yè)揮發(fā)性有機化合物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/814-2010）表2無組織排放監(jiān)控點濃度限值要求。項目邊界執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》系統(tǒng)，生活污水經(jīng)預(yù)處理后排入市政管網(wǎng)，進入獅山西北污水廠處理，CODCr排放量為0.0075t/a，NH3-N排放量為0.0019t/a。研發(fā)生產(chǎn)廢水（1）貼膜：以不銹鋼鋼板或玻璃或樹脂片作為臨時基板，使用真空涂布機將介電（2）貼片：用貼片設(shè)備將處理好的載板壓上芯片。貼片工序會產(chǎn)生有機廢氣及噪（3）偏移檢查：將產(chǎn)品放上檢測設(shè)備進行芯片線路情況觀察，將檢查完成的產(chǎn)品（4）塑封：將貼片完成的工件均勻撒上塑封料以及介電材料，塑封前壓合的PET（6）固化：將固定好塑封料的工件放入烤箱進行加熱烘烤，使塑封料在載板上固（8）激光鉆孔：采用UV光的光束在樹脂板上在載板鉆孔工序(機械鉆孔及鐳射鉆孔)中因高溫造成高分子材料熔融在孔壁金屬面的焦圖5-2蝕刻線酸洗工序示意圖圖5-3顯影線上的顯影清洗工序示意圖③鍵合：清洗后加入鍵合劑預(yù)浸液（10%-20%的硫酸溶液）和純水，按1：4的比膜表面起保護作用的PE層分離架在滾筒上，將準(zhǔn)備好的產(chǎn)品放入壓膜機的入料口，產(chǎn)使光照部分的干膜發(fā)生聚合，便于后續(xù)將圖形顯像出③一級水洗：顯影后再用自來水進行清洗，用自來水中的鈣鎂 分簡單、分散能力和深鍍能力好，電流效率高作電解液，還有微量HCl（60ppm）和銅光劑（0.4-20mL/L）。硫酸銅是鍍液中主鹽，鍍電源提供，Cu2+得到電子還原成金屬①預(yù)退膜：通過退膜液將產(chǎn)品表面附著的干膜軟化，退膜液②退膜：通過退膜液將產(chǎn)品表面附著的干膜全部去除，退膜液（43酸洗：利用硫酸酸洗，中和殘留輕度堿性蝕刻銅→二級水洗→蝕刻鈦→二級水洗→酸洗→一級水洗→抗氧化→三級水洗→1蝕刻銅：通過硫酸與過氧化氫溶液調(diào)配的蝕刻液，將部分薄銅層去除;整槽更換，更換、逆流的清洗廢水經(jīng)過污水處理⑦抗氧化：抗氧化試劑稀釋到5%后加入槽體，抗氧化使表銅附著一層保護膜來提高產(chǎn)品儲存時間，抗氧化劑內(nèi)含有乙醇，會有VOCs產(chǎn)生；將產(chǎn)品包裹，以防止材料在壓合過程中與粘附在設(shè)備上。P氮氣充入回流爐排出氧氣。并增加可焊性，防止氧化?；?、產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析表5-1項目產(chǎn)污環(huán)節(jié)說明序號污染物名稱主要污染因子產(chǎn)生環(huán)節(jié)處理排放方式及排氣筒編號G1真空貼膜廢氣VOCs貼膜涂布UV光解+活性炭P1G2固化廢氣VOCsUV光解+活性炭P1G3除膠渣廢氣氟化物除膠渣堿液噴淋P2G4干膜前處理硫酸霧干膜前處理酸洗堿液噴淋P2G5電鍍廢氣硫酸霧圖形電鍍堿液噴淋P2G6退膜酸洗廢氣硫酸霧退膜酸洗堿液噴淋P2G7蝕刻廢氣硫酸霧銅蝕刻堿液噴淋P2G8蝕刻廢氣氟化物鈦蝕刻堿液噴淋P2G9蝕刻酸洗廢氣硫酸霧蝕刻后酸洗堿液噴淋P2G9蝕刻抗氧化廢氣VOCs蝕刻抗氧化UV光解+活性炭P1G10回流焊廢氣錫及其化合物回流焊UV光解+活性炭P1G11激光鉆孔、切割廢氣VOCs激光鉆孔、激光切割/W1研磨廢液pH、SS研磨清洗廢水、廢槽液（電鍍槽除外）進入自建廢水處理站處理，電鍍廢液委外處理W2前處理預(yù)浸廢液pH干膜前處理預(yù)浸W3前處理鍵合廢液pH、SS干膜前處理鍵合W4前處理酸洗廢液pH、SS干膜前處理酸洗W5干膜前處理清洗廢pH、COD干膜前處理清洗水W6顯影廢液pH顯影W7顯影清洗廢液pH顯影清洗W8顯影水洗廢水pH、COD顯影水洗W9圖形電鍍預(yù)浸廢液COD、SS圖形電鍍W10圖形電鍍酸洗廢液pH、Cu圖形電鍍W11圖形電鍍清洗廢水pH、COD、Cu圖形電鍍W12預(yù)退膜廢液COD退膜W13退膜廢液pH、SS退膜W14退膜酸洗廢液pH、SS退膜W15退膜清洗廢水pH、COD退膜W16蝕刻銅廢液pH、Cu蝕刻W17蝕刻鈦廢液pH、Ti蝕刻W18蝕刻酸洗廢液pH蝕刻W19蝕刻抗氧化廢液pH、COD蝕刻W20蝕刻清洗廢水pH、COD蝕刻W21純水制備濃水/純水制備W22酸霧廢氣噴淋廢水pH、COD堿液噴淋進入自建污水站處理W23生活污水CODCr、BOD5、NH3-N、SS生活用水生活污水經(jīng)預(yù)處理后排入市政管網(wǎng)，進入獅山西北污水廠處理W24實驗廢液pH、COD實驗臺委外處理生活垃圾生活市政邊角料不銹鋼板、樹脂板、玻璃切割外賣回收商回收利用廢銅靶材、廢鈦靶材銅板、鈦板真空濺射廢PET膜PET膜貼膜交由有處理能力的單位處理。廢石英砂石英砂純水制備廢基板樹脂板、玻璃板、樹脂膜解鍵合廢含油抹布危險廢物廢氣處理委托有危廢處理資質(zhì)單位處理廢機油危險廢物設(shè)備維修廢包裝桶危險廢物設(shè)備維修污水處理站污泥危險廢物廢水處理S10污水處理站產(chǎn)生的蒸發(fā)殘渣危險廢物廢水處理S11廢活性炭危險廢物廢氣處理S12電鍍廢液危險廢物S13廢樹脂膜危險廢物純水制備、廢水處理S14實驗室廢液危險廢物實驗信息產(chǎn)業(yè)19、集成電路設(shè)計中的系統(tǒng)級封裝（SIP）等先進封裝與測（2）VOCs政策符合性分析項目揮發(fā)性有機物（VOCs）排放符合性表5-2項目與揮發(fā)性有機物（VOCs）排放規(guī)定相符性分析序號文件規(guī)定項目實際符合判定1《珠江三角洲地區(qū)嚴格控制工業(yè)企業(yè)揮發(fā)放的意見》（粵環(huán)〔2012〕18號）自然保護區(qū)、水源保護區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、森林公園、重要濕地、生態(tài)敏感區(qū)和其他重要生態(tài)功能區(qū)實行強制性保護，禁止新建VOCs污染企業(yè)?！边x址不在規(guī)定區(qū)域符合2關(guān)于印發(fā)《廣東省揮發(fā)性有機物（VOCs）整治與減排工作方案（2018-2020年）》的通知（粵環(huán)發(fā)〔2018〕6號）嚴格嚴格限制石化、化工、包裝印刷、工業(yè)涂裝等高VOCs排放建設(shè)項目本項目屬于電子設(shè)備制造，不屬于上述高VOCs排放建設(shè)項目符合3推廣使用低毒、低（無）VOCs含量的油墨、膠黏劑、清洗劑、潤版劑、洗車水、涂布液等原輔材料項目使用介電膠不屬于高VOCs含量的膠粘劑。項目介電膠密度為1020g/L，VOC含量約為10%，符合香港《空氣污染管制（揮發(fā)性有機化合物）規(guī)例》中“紙質(zhì)、布料及薄膜涂層粘合劑的揮發(fā)性有機化合物含量的最高限值265g/L的要求。符合4《關(guān)于印發(fā)<“十三五”揮發(fā)性有機物污染防治工作方案>的通知》（環(huán)大氣[2017]121號）加強源頭控制。大力推廣使用水性、大豆基、能量固化等低（無）VOCs含量的油墨和低（無）VOCs含量的膠粘劑、清洗劑、年底前，低（無）VOCs含量綠60%。項目使用的介電膠VOCs含量均符合香港《空氣污染管制(揮發(fā)性有機化合物)規(guī)例》要求，屬于低VOCs含量原料符合5加強廢氣收集與處理。對油墨、膠粘劑等有機原輔材料調(diào)配和使用等，要采取車間環(huán)境負壓改造、安裝高效集氣裝置等措施，有機廢氣收集率達到70%以上。對轉(zhuǎn)運、儲存等，要采取密閉措施，減少無組織排放。對烘干過程，要采取循環(huán)風(fēng)烘干技術(shù)，減少廢氣排放。對收集的廢氣，要建設(shè)吸附回收、吸附燃燒等高效治理設(shè)施，確保達標(biāo)排放。VOCs產(chǎn)生工位均密閉，并采用管道收集，收集效率可達95%，采用UV光解+活性炭吸附處理有機廢氣，廢氣可穩(wěn)定達標(biāo)排放符合6《廣東省人民政府關(guān)于印發(fā)<廣東省打贏藍天保衛(wèi)戰(zhàn)實施方案（2018-2020年）>的128號）珠三角地區(qū)禁止新建生產(chǎn)和使用高VOCs含量溶劑型涂料、油墨、膠黏劑、清洗劑等項目（共性工項目使用的介電膠VOCs含量均符合香港《空氣污染管制(揮發(fā)性有機化合物)規(guī)例》要求，屬于低VOCs含量原料符合7《重點行業(yè)揮發(fā)性有機物綜合治理方案》（環(huán)大氣〔2019〕53全面加強無組織排放控制。重點對含VOCs物料（包括含VOCs原輔材料、含VOCs產(chǎn)品、含VOCs廢料以及有機聚合物材料等）儲存、轉(zhuǎn)移和輸送、設(shè)備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝過程等五類排放源實施管控，通過采取設(shè)備與場所密閉、工藝改進、廢氣有效收集等措施，削減VOCs無組織排放項目在工序中產(chǎn)生的有機廢氣由管道收集后通過“UV光解+活性炭吸附”處理后，經(jīng)35m排氣筒P1排放，廢氣收集效率達90%符合（3）與《廣東省飲用水源水質(zhì)保護條例》的相符性分析域為廣州、珠海、佛山、中山、江門、肇慶、云浮、澳門、韶關(guān)、清遠、深圳、河源、（s）與主體功能區(qū)規(guī)劃的配套環(huán)保政策的相符性開發(fā)區(qū)中的珠三角外圍片區(qū)對電鍍、制漿造紙、合成革與人造革、制糖、火電、鋼鐵、石化、化工、有色、水泥等行業(yè)及燃煤鍋爐執(zhí)行有關(guān)污染本項目選址位于廣東省優(yōu)化開發(fā)區(qū)；本項目屬于電子信息產(chǎn)業(yè)，其設(shè)備和技術(shù)將按因此，綜合分析，本項目的建設(shè)基本符合《廣東項目選址所在地位于佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)南海軟件科技園內(nèi)佛高科技智庫中心內(nèi)，0083649號，現(xiàn)狀為科教用地，項目為科研、教育展項目研磨工序設(shè)有一個研磨槽，研磨槽容積為0.7立方米，每月整槽更換一次，更圖5-2干膜前處理水平衡圖水站內(nèi)處理。逆流水洗共3段，每段逆流量為3L/min，每天工作4小時，每周工作5綜合計算，項目干膜清洗設(shè)備產(chǎn)生的一般清洗廢水產(chǎn)生量為577.2m3/a，折算為圖5-3顯影水平衡圖圖5-4電鍍廢水水平衡圖項目兩個電鍍槽一年更換一次槽液。電鍍工序在2個容積為0.97立方米的槽體內(nèi)圖5-5退膜水平衡圖綜合計算，項目退膜線產(chǎn)生的一般清洗廢水產(chǎn)生量為585m3/a，折算為2.25圖5-6蝕刻水平衡圖圖5-7純水制備工序項目中使用的水均為純水，項目有一套純水制備系統(tǒng)，會接收自來水及回用水制取。自來水制備純水過程中會產(chǎn)生的濃水，制純水采用二級過濾+二級RO膜處理表5-3項目生活污水污染物產(chǎn)生及排放情況工程類別廢水量污染物CODCrBOD5NH3-N生活污水產(chǎn)生量187.2m3/a濃度（mg/L）25030產(chǎn)生量（t/a）0.04680.01870.00560.0187排放量187.2m3/a濃度（mg/L）405排放量（t/a）0.00750.00190.00090.0019削減量t/a0.03930.01680.00470.0168圖5-8項目總水平衡圖鈦等，其中高濃有機廢液（包括研磨槽液、前處理廢槽液、顯影過程高濃槽液蝕刻廢液，酸洗時加入硫酸，pH值會較低。項目電鍍和蝕刻工序的清洗廢水、廢液會含有心生活污水收集處理系統(tǒng)，生活污水經(jīng)預(yù)處理后滿足廣東省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)市政污水管網(wǎng)引入獅山西北表5-4項目綜合廢水污染物產(chǎn)生及排放情況項目廢水量（t/a）污染物pHCODCrBOD5NH3-N總銅鈦高濃度有機廢液61.627—8/////酸洗廢液54.135—62006045///0.0110.0030.0020.004//蝕刻廢水8.755—8400605/0.0030.0010.0010.001一般清洗廢水1578.565—82006045///0.3160.0950.0710.126//電鍍清洗廢水642.725—820060454//0.1290.0390.0290.051/蝕刻清洗廢水761.805—8200604542/0.1520.0460.0340.076純水制備濃水848.355—8/////堿噴淋廢水297.007—84006045///0.1190.0180.0130.024//生活污水187.20/25030///0.0470.0190.0060.019//187.20/405///0.00750.00190.00090.0019//本項目總產(chǎn)生量*（t/a）4450.53產(chǎn)生量（t/a)/0.8880.2500.1760.357污水站收集量（t/a）4263.33/0.8410.2310.1710.339會產(chǎn)生氟化物。氯化氫、氟化物、硫酸霧采用《污染源源強核算技術(shù)指南電鍍》(HJA—鍍槽液面面積，m2；表5-5項目各研發(fā)線酸霧廢氣蒸發(fā)面積情況表研發(fā)線產(chǎn)污工序子槽規(guī)格（立方米）所加藥劑污染物蒸發(fā)面積（m)干膜前處理預(yù)浸預(yù)浸液硫酸霧0.35×0.75有機酸洗鍵合劑硫酸霧0.88×0.8酸洗硫酸硫酸霧0.35×0.75圖形電鍍硫酸硫酸霧0.9×0.9鹽酸氯化氫0.9×0.9酸洗0.3硫酸硫酸霧0.51×1.2退膜酸洗0.13硫酸硫酸霧0.35×0.75蝕刻蝕刻銅硫酸硫酸霧0.45×1.2蝕刻鈦硫酸氟化物0.58×1.2酸洗硫酸硫酸霧0.35×0.75表5-6酸霧產(chǎn)生情況計算表裝置槽體名稱溫度污染物收集效率質(zhì)量百分比濃度分子質(zhì)量產(chǎn)污系數(shù)酸霧揮發(fā)速率（kg/h）工作時間（h)揮發(fā)量（t/a）干膜前處理預(yù)浸25硫酸0.262595%2%98///鍵合25硫酸0.70495%2%98///酸洗25硫酸0.262595%2%98///圖形電鍍酸洗25硫酸0.8195%2%98///25硫酸0.8195%9825.20.08060.083925鹽酸0.61295%0.01%36.5////退膜酸洗25硫酸0.262595%2%98///蝕刻蝕刻銅25硫酸0.5495%20%9825.20.017640.0183蝕刻鈦25氫氟酸0.69695%200.720.00050.0005酸洗25硫酸0.262595%2%98///備注1）本項目使用配槽后的氫氟酸配比為1%，根據(jù)產(chǎn)污系數(shù)按比例折算；(2)本項目鹽酸作為微量添加劑在電鍍時使用，年用量0.0002t，且濃度極低，產(chǎn)生的HCl可忽略不計。合劑和硫酸溶液，以上藥劑的主要成分均為硫酸。配槽后硫酸含量均約為2%，運行過酸霧直接通過塑料管抽出，其中，有機酸洗槽體設(shè)置兩個抽氣管，預(yù)浸與酸洗各一個，霧的收集效率按95%以上計。干膜清洗設(shè)備收集所需風(fēng)管直徑約為0.075m，共四條風(fēng)項目電鍍前需要使用2%的硫酸溶液酸洗，電鍍過程采用酸性電鍍液，酸性電鍍液3/h的抽風(fēng)口，酸洗槽配備1個直徑為0.075m抽風(fēng)口。收集的酸霧經(jīng)酸霧凈化塔采用堿液徑約為0.15m，風(fēng)速取20m/s，則等離子清洗設(shè)備收集所需風(fēng)量為2260.8m3/h，取和反應(yīng)，本項目酸霧處理效率取90%，本項目不考慮堿液對CF4的去除效率。排氣筒表5-7排氣筒P2廢氣風(fēng)量統(tǒng)計表工序風(fēng)量（m3/h）干膜前處理圖形電鍍2600退膜500銅蝕刻、鈦蝕刻2300等離子清洗2500合計9500項目使用塑封料2.75t/a，塑封固化產(chǎn)污系數(shù)參考《上海市工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放品制造有機廢氣（VOCs）產(chǎn)污系數(shù)0.33kg/t原料，則項目塑封料在固化加熱時會產(chǎn)生VOCs為0.0009t/a。項目烤箱加工時為密閉狀態(tài)，收集的有機廢氣經(jīng)“UV光解+活性炭有機廢氣的收集效率按95%以上計。烤箱收集所需風(fēng)管直徑約為0.2m，共兩臺烤箱，風(fēng)速取20m/s，則單臺烤箱設(shè)備收集所需風(fēng)量為2260為0.00033t/a。干膜固化與塑封固化使用相同的烤箱，項目烤箱加工時為密閉狀態(tài)，收機廢氣的收集效率按95%以上計。抗氧化裝置收集所需風(fēng)管直徑約為0.075m，風(fēng)速取機廢氣，本項目考慮最不利情況，取異丙基酒精含量為10%，項目介電膠的使用量為焊料，本項目錫膏、錫球用量為0.63t/a，參考同類型企業(yè)，錫膏、錫球產(chǎn)生的煙塵按度較易控制，惡臭氣體收集后經(jīng)排氣筒P1排放。其外排的惡臭氣體量不大，預(yù)計有組表5-8項目廢水情況匯總表量數(shù)用水（液）量量廢水（液）量次量量)耗耗量長寬高m3/dm3/a/m3/dm3/am3/am3/dm3/a理11//1//1//1313//1313//1313//////6//110/槽10/131313//////3//110/10/10/10////20/11/////2//110/10/10/1616//16//11//1//////6///110/10/10/量數(shù)用水（液）量量廢水（液）量次量量)耗耗量長寬高m3/dm3/a/m3/dm3/am3/am3/dm3/a10/1313//1313//131313//13//////8/11108/備注1）水洗廢水損耗率按槽體10%計算，槽液損耗率按使用量10%計算（電鍍表5-9項目廢氣產(chǎn)排氣情況匯總表工序裝置污染物核算方法總產(chǎn)生量t/a污染源收集效率（%）產(chǎn)生情況治理措施排放情況工作時間產(chǎn)生量t/a產(chǎn)生速率kg/h產(chǎn)生濃度mg/m3工藝處理效率)排放量t/a排放速率kg/h排放濃度mg/m3圖形電鍍電鍍槽、電鍍酸洗槽硫酸霧系數(shù)法0.0425P2950.04040.03884.0865堿液噴淋900.00400.00390.4087無組織/0.00210.0020///0.00210.0020/蝕刻銅槽硫酸霧系數(shù)法0.0115950.01090.01051.1058堿液噴淋900.00110.00110.1106無組織/0.00060.0006///0.00060.0006/蝕刻鈦蝕刻槽氟化物系數(shù)法0.0005P2950.00050.00050.0481堿液噴淋900.000050.000050.0048無組織/0.000030.00002///0.000030.00002/電鍍槽、電鍍酸洗槽硫酸霧系數(shù)法0.0425P2950.04040.03884.0865堿液噴淋900.00400.00390.4087無組織/0.00210.0020///0.00210.0020/除膠渣等離子清洗機CF4系數(shù)法0.200P2950.19000.182719.2308/00.19000.182719.2308無組織/0.01000.0096///0.01000.0096/塑封固化烤箱VOCs系數(shù)法0.0009P1950.00090.00160.2222UV+活性炭吸附750.00020.00040.0555520無組織/0.000050.0001///0.00000.0001/520干膜固化烤箱VOCs系數(shù)法0.00033P1950.00030.00060.0815UV+活性炭吸附750.00010.00020.0204520無組織/0.000020.0000///0.000020.00003/520抗氧化蝕刻線VOCs系數(shù)法0.0078P1950.00740.00710.9628/750.00190.00180.2407無組織/0.00040.0004///0.00040.0004/介電膠涂布機VOCs系數(shù)法0.01P1950.00950.00911.2344UV+活性炭吸附750.00240.00230.3086無組織/0.00050.0005///0.00050.0005/回流焊煙塵回流焊錫及其化合物系數(shù)法0.00217P1950.00210.00200.2679/00.00210.00200.2679無組織/0.00010.0001///0.00010.0001/////0.05130.04935.1923//0.00510.00490.5192/0.00050.00050.0481//0.000050.000050.0048/0.19000.182719.2308//0.19000.182719.2308/0.01810.01852.5009//0.00450.00460.6252/P10.00210.00200.2679//0.00210.00200.2679/0.00270.0026///0.00270.0026//無組織0.000030.00002///0.000030.00002//0.01000.0096///0.01000.0096//0.000950.0010///0.00100.0010//0.00010.0001///0.00010.0001//表5-10項目主要聲源及噪聲源強一覽表序號噪聲源源強（dB(A)）1貼膜機、假貼機、真空涂布機、貼片設(shè)備、倒裝機、等離子清洗設(shè)備、塑模設(shè)備、真空熱壓機、整平機、真空烤箱、無塵烤箱、減薄設(shè)備、芯片檢測鐳射一體機、盲孔檢查機、真空濺射設(shè)備、機械拆鍵合、皮秒激光切割設(shè)備85～902清洗設(shè)備、電鍍線、刻蝕設(shè)備、顯影設(shè)備、曝光設(shè)備75～85項目載板切割加工過程中會產(chǎn)生一定量的邊角料，產(chǎn)生系數(shù)約為5項目進行真空濺射時會使用廢銅靶材、廢鈦靶材根據(jù)上文分析，廢銅靶材產(chǎn)生量項目制備純水時會定期更換廢石英砂，根據(jù)建設(shè)單位提供資料，每年產(chǎn)生的廢石表5-11廢包裝統(tǒng)計表原輔料包裝規(guī)格單個包裝重量（kg/個）年原輔材料用量（t）年包裝用量（個）廢包裝產(chǎn)生量前處理預(yù)浸液20kg桶裝10.676340.034前處理鍵合劑20kg瓶裝1580.058顯影開缸劑1392A20kg瓶裝1600.06顯影添加劑1392B20kg瓶裝10.089硫酸銅溶液20kg桶裝10.5250.02538%鹽酸0.5kg瓶裝0.10.000210.0001氫氧化鈉盒裝0.10.2210.0001退膜液20kg瓶裝13.00.1550%硫酸20kg瓶裝13.563860.17950%過氧化氫溶液20kg瓶裝10.136570.007氫氟酸0.5kg瓶裝0.10.000710.0001抗氧化劑20kg瓶裝10.07840.004合計0.6063渣約為污水處理量的0.5%，污水處理站產(chǎn)生的蒸發(fā)殘渣可能含有金屬銅，因此暫列為有機廢氣采用“活性炭吸附”處理設(shè)施，活性炭需要定期更換，活性炭。項目活性炭VOCs吸附量為0.0136×0.7×0.7=0.0067t/a，則廢活性炭產(chǎn)生量為定期更換。純水制備需要定期更換活性炭，根據(jù)下表5-13統(tǒng)計，純水設(shè)備年更換的活表5-12污水處理站固體廢物產(chǎn)生量項次項目耗材名稱耗材數(shù)量單個的重量（kg）更換頻率（年）年更換量1超濾超濾膜422.520.182低壓反滲透濃縮設(shè)備反滲透膜62020.243高壓反滲透濃縮設(shè)備高壓特種反滲透膜42020.164二次脫鹽凈化反滲透設(shè)備低壓反滲透膜22020.08表5-13純水制備裝置固體廢物產(chǎn)生量序號名稱每年更換數(shù)量（每年）年更換量1廢石英砂約0.7立方0.42廢活性碳約0.7立方0.13廢軟化樹脂175kg0.1754廢反滲膜20支0.052-3年5廢40寸PP棉芯42支0.01266廢20寸PP棉芯0.0027廢EDI膜板0.052-3年8廢混合床超純水樹脂2套0.07一年2次需要定期更換濾芯，濾芯主要成分為PP等有機樹脂，根據(jù)建設(shè)方提供的資料，濾芯更藥劑的質(zhì)量，實驗會產(chǎn)生少量實驗廢液，根據(jù)企業(yè)提供資料，各類實驗廢液產(chǎn)生量為表5-14項目危險廢物產(chǎn)生情況危險廢物名稱危險廢物類別危險廢物代碼產(chǎn)生量（噸/年）產(chǎn)生工序及裝置形態(tài)主要成分有害成分產(chǎn)廢周期危險特性污染防治措施含油廢抹布HW49900-041-490.2設(shè)備維修纖維布石油類每天T委托有資質(zhì)單位處置廢機油HW08900-249-080.2設(shè)備維修液態(tài)機油石油類每半年廢包裝HW49900-041-490.6063研發(fā)殘余化學(xué)品每天T廢水處理污泥HW22406-004-2221.3污水處理污泥污泥每天T污水處理站產(chǎn)生的蒸發(fā)殘渣HW22406-004-2221.3污水處理銅、鈦銅、鈦每天T廢活性炭HW22900-041-490.0344污水處理VOC每三月T液HW08397-051-22液體銅離子銅離子每年T廢樹脂膜HW13900-015-130.8926廢水處制備有機樹脂有機樹脂每年T實驗廢液HW49900-047-490.02實驗液體廢酸廢酸每月T合計46.2993//////備注：T為毒性、I為易燃性。根據(jù)建設(shè)方提供的資料，項目在真空濺射時，會在載板上附著上層及0.1微米的鈦層。在電鍍過程中，會電鍍上15微米的銅線路，電鍍面積占基板的項目覆上的銅層量約為0.0125t/a，鈦層為0.00417t/a。項目電鍍過程電鍍上載板的Cu表5-15項目銅平衡投入單位產(chǎn)出單位Cu靶材20.0千克/年研發(fā)產(chǎn)品含銅量68.728千克/年五水硫酸銅溶液千克/年廢水污泥、殘渣中含銅量6.25千克/年///廢電鍍槽液57.522千克/年//5/廢Cu靶材7.5千克/年合計千克/年合計千克/年表5-16項目鈦平衡投入單位產(chǎn)出單位Ti靶材千克/年載板含Ti量2.085千克/年///廢Ti靶材5.83千克/年///廢水污泥、固體中含銅量2.085千克/年合計千克/年合計千克/年六、項目主要污染物產(chǎn)生及預(yù)計排放情況類型排放源污染物名稱產(chǎn)生濃度和產(chǎn)生量排放濃度及排放量濃度(mg/L)產(chǎn)生量(t/a)濃度(mg/L)排放量(t/a)水污染物研發(fā)生產(chǎn)廢水4263.33m3/aCODCr100-4000.841------BOD50.231------NH3-N30-450.171------50-2000.339------Cu0.025------2-50.002------生活污水187.2m3/aCODCr2500.047400.0075BOD50.0190.0019NH3-N300.00650.00090.0190.0019大氣污染物單位mg/m3t/amg/m3t/aP1電鍍、蝕刻硫酸霧5.19230.05130.51920.0051蝕刻氟化物0.04810.00050.00480.00005等離子機CF419.23080.190019.23080.1900P2固化、抗氧化VOCs3.46370.01810.62520.0045回流焊錫及其化合物992.7310.990.027研發(fā)車間（無組織）硫酸霧---0.0027---0.0027氟化物---0.00003---0.00003CF4---0.0100---0.0100VOCs---0.00095---0.00095錫及其化合物---0.0001---0.0001臭氣濃度≤20(廠界）設(shè)備噪聲75dB(A)～90dB(A)晝間≤60dB(A)夜間≤50dB(A)廢物員工生活生活垃圾2.6t/a0研發(fā)過程邊角料0.025t/a0廢銅靶材、廢鈦靶材0.00583t/a0廢PET膜0廢石英砂0廢基板0.5t/a0危險廢物廢機油及廢含機油抹布、含油廢抹布、廢機油、廢包裝、廢水處理污泥、污水處理站產(chǎn)生的蒸發(fā)殘渣、電鍍廢液、廢樹脂膜、實驗廢液45.8993t/a0項目所在地沒有需要特殊保護的植被和重要生態(tài)環(huán)境保護目標(biāo)，項目的建設(shè)對周圍生態(tài)環(huán)境的影響不施工期環(huán)境影響簡要分析項目租用已經(jīng)建設(shè)完畢的科研綜合樓，不涉及廠房建設(shè)，施工過程主要是內(nèi)部裝修和設(shè)備安裝，沒有基建工程，因此施工期間基本不存在大型土建工程，施工期間產(chǎn)施工期建設(shè)方應(yīng)嚴格遵守有關(guān)建筑施工的環(huán)境保護條例，防止運輸揚塵，建筑垃圾、廢物等及時清運，降低施工過程對周圍環(huán)境造成的影響。施工期較短，因此如果項目建設(shè)方加強施工管理，那么項目施工時質(zhì)量現(xiàn)狀、水環(huán)境保護目標(biāo)等綜合確定。本項目屬于水污染影響型建設(shè)項目，應(yīng)根據(jù)表7-1水污染影響型建設(shè)項目評價等級判定評價等級判定依據(jù)排放方式廢水排放量Q/(m3/d)；水污染物當(dāng)量數(shù)W/（無量綱）水污染物當(dāng)量數(shù)#/(無量綱）一級直接排放Q≥20000或W≤600000二級直接排放其他三級A直接排放Q＜200且W＜6000三級B間接排放 本項目研發(fā)生產(chǎn)廢水收集后，經(jīng)自建污水站處理后全部回用不外排。項目外排廢水為生活污水，項目生活污水排入園區(qū)中心生活污水收集處理系統(tǒng)，生活污水經(jīng)預(yù)處理后排入市政管網(wǎng)，進入獅山西北污水廠處理，屬于間接排放，因此，評價等級直接表7-2廢水類別、污染物及污染治理設(shè)施信息表序號廢水類別污染物種類排放去向排放規(guī)律污染治理設(shè)施排放口編號排放口設(shè)置是否符合要求排放口類型污染治理設(shè)施編號污染治理設(shè)施名稱污染治理設(shè)施工藝1員工生活污水BOD5、NH3-N排入獅山西北污水處理廠間斷排放/生活污水預(yù)處理設(shè)施三級化糞池水-01/企業(yè)總排□雨水排放□清凈下水排放□溫排水排放□車間或車間處理設(shè)施排放口表7-3廢水污染物排放執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)表序號排放口編號污染物種類國家或地方污染物排放標(biāo)準(zhǔn)及其他按規(guī)定商定的排放協(xié)議名稱濃度限值/(mg/L)1水-01CODCr《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）中的三級標(biāo)準(zhǔn)（第二時段）500BOD5300NH3-N---400表7-4廢水間接排放口基本情況表序號排放口編號廢水排放量/(萬t/a)排放去向排放規(guī)律間歇排放時段受納污水處理廠信息名稱污染物種類國家或地方污染物排放標(biāo)準(zhǔn)濃度限值1水-010.01872排入獅山西北排放工作日8:00-12:00，獅山西北污水處理CODCr40BOD5污水處理廠廠NH3-N5表7-5廢水污染物排放信息表序號排放口編號污染物種類排放濃度/(mg/L)日排放量/(t/d)年排放量/(t/a)1水-01CODCr400.00002880.0075BOD50.00000730.0019NH3-N50.00000350.00090.00000730.0019全廠排放口合計CODCr0.0075BOD50.0019NH3-N0.00090.0019經(jīng)預(yù)處理后排入市政管網(wǎng)，進入獅山西北污水廠處理，污水處理廠尾水處理達到《水水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918－2002）一級標(biāo)準(zhǔn)A標(biāo)準(zhǔn)這兩者中的較嚴者后（4）水污染控制和水環(huán)境影響減緩措施有效項目生活污水主要來自于員工的洗手、沖廁廢水，這部分廢水的主要污染因子為CODCr、BOD5、氨氮等，污染物濃度不高，排放限值》（DB44/26-2001）中的三級標(biāo)準(zhǔn)（第二時段），再通過市政管網(wǎng)排入西北項目研發(fā)生產(chǎn)廢水、廢液除電鍍廢槽液作為危廢委外處理外，其他廢水、廢液均進入自建污水站處理，處理后的產(chǎn)水不外排，全部回用于圖7-1研發(fā)生產(chǎn)廢水處理流程圖表7-6污水治理設(shè)施各單位處理效率表鈦度度度————————————————————————————————————5————6————其余研發(fā)生產(chǎn)廢水與預(yù)處理的高濃有機廢液、蝕刻槽液、蝕刻——————6————————————————理>>>>備>>>>————————————項目研發(fā)生產(chǎn)廢水來源于干膜前處理清洗廢水、顯影清洗廢水、圖形電鍍預(yù)浸廢干膜前處理酸洗廢液、顯影廢液、圖形電鍍酸洗廢液、圖形電鍍電鍍銅廢液、預(yù)退膜廢液、退膜廢液、退膜酸洗廢液、蝕刻銅廢液、蝕刻鈦廢液、蝕刻酸洗廢液、蝕刻抗進入反應(yīng)沉淀預(yù)處理，顯影廢液、研磨廢液、退膜槽液等高濃度有機廢液，經(jīng)調(diào)節(jié)槽收集后，進入一套高級氧化處理裝置進行預(yù)處理。其余的一般清洗廢水、濃水、噴淋膜處理時會產(chǎn)生濃水和清水。低壓膜處理產(chǎn)生的清水直接進入二次脫鹽凈化反滲透裝置進行處理，產(chǎn)生的濃水進入高壓RO膜二段濃縮處理。高壓膜濃縮處理同樣會產(chǎn)生清水和濃水，濃水進入一同低溫蒸發(fā)處理裝置處理，處理后的清水，與二次膜處理產(chǎn)生的清水，一同進入最后的二次脫鹽凈化反滲透裝置，脫鹽出水后的清水暫存在一個由于進入污水站廢液、廢水的內(nèi)部所含污染物種類少、濃度不高，在可處理范圍之內(nèi)，通過適當(dāng)?shù)念A(yù)處理可以將水處理到進膜指標(biāo)；通過高低壓特種分離膜和對該種膜再次進行膜二級處理之后，可以將廢水內(nèi)大部分污染物分離出去，且經(jīng)高壓、低壓足工業(yè)純水用水要求。根據(jù)第五章工程分析可知，項目產(chǎn)生的槽液、清洗廢水經(jīng)分類且在污水處理過程中會產(chǎn)生污泥及固體廢物，造成一定的水量損失。處理后的清水全該工藝較成熟，各項污染因子均能達標(biāo)排放，所以達標(biāo)排放，且處理能力符合處理需求，經(jīng)過進一步深化處理后求，項目無研發(fā)生產(chǎn)廢水排放量，研發(fā)生產(chǎn)廢水污根據(jù)已通過審批的《佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)西北污水處理廠提標(biāo)改造工程項目》，西北污水處理廠處理規(guī)模為2.5萬t/d，提標(biāo)后西北污水處理廠采用“AAO生化工藝+3/d本項目污廢水納入西北污水處理廠處理是可），治與城市改造、文化建設(shè)相結(jié)合，逐步實現(xiàn)河將城市河涌建成集防洪、排澇、綠化、美化、文化、旅游等功能BOT和TOT等不同形式參與污水處理廠配套管網(wǎng)投資、建設(shè)和運行通過政府相關(guān)部門開展的以上水環(huán)境綜合整治工作，項將大大改善，將逐步大大水功能區(qū)劃要求。為了減少對周圍環(huán)境嚴格控制其污染物的排放，同時，生活污水經(jīng)預(yù)處理后達標(biāo)后通三級標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)市政污水管網(wǎng)引入獅山西北污水處理廠綜上，項目研發(fā)生產(chǎn)廢水、廢液經(jīng)自建污水處理站處理后全部回用，定期添加新鮮水。項目外排廢水為生活污水，生活污