摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的設(shè)計和研究的開題報告

摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的設(shè)計和研究的開題報告一、選題背景近年來，微納米機電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域得到了廣泛的關(guān)注和發(fā)展。在該領(lǐng)域的研究中，摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺作為一種新興的實驗裝置，可以用于研究微尺度機械系統(tǒng)的摩擦特性、動態(tài)行為等問題。同時，該試驗平臺的設(shè)計與制造也是研究微納米機電系統(tǒng)的重要環(huán)節(jié)之一。因此，本文擬對摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的設(shè)計和研究進行探討。二、研究內(nèi)容本文主要研究內(nèi)容包括以下幾個方面：1.摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的工作原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計介紹摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的工作原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計，并對其關(guān)鍵部件了解其性能參數(shù)。其中，主要包括力傳感器、位移傳感器、微懸臂結(jié)構(gòu)等。2.試驗平臺的制造技術(shù)研究介紹摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的制造技術(shù)，包括微加工技術(shù)、表面處理技術(shù)、懸臂結(jié)構(gòu)制造技術(shù)等。3.試驗平臺性能測試與分析對設(shè)計和制造好的試驗平臺進行性能測試，主要包括試驗平臺工作范圍、分辨率、信噪比等性能指標的測試與分析。三、研究意義摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺設(shè)計與研究，對于深入了解微納米機電系統(tǒng)的摩擦機理和動態(tài)行為具有重要的研究價值。同時，試驗平臺的制造技術(shù)研究也為微納米機電系統(tǒng)的制造提供了實踐價值。本研究還可為微納米機電系統(tǒng)在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域的應(yīng)用提供實驗支持基礎(chǔ)。四、研究計劃研究時間安排：2020年5月—2021年5月研究內(nèi)容及計劃：第一季度（2020年5月—2020年8月）：調(diào)研與文獻綜述、平臺結(jié)構(gòu)設(shè)計和分析。第二季度（2020年9月—2020年11月）：平臺制造技術(shù)研究省小試驗、芯片生產(chǎn)。第三季度（2020年12月—2021年2月）：工作原理與性能實驗室測試、結(jié)構(gòu)和性能分析。第四季度（2021年3月—2021年5月）：數(shù)據(jù)處理與結(jié)果分析、試驗平臺標定和打樣。五、預(yù)期成果完成本研究后，預(yù)計可獲得以下幾個方面的成果：1.摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的設(shè)計方案和結(jié)構(gòu)分析。2.試驗平臺的制造技術(shù)研究成果和工藝優(yōu)化方案。3.試驗平臺性能測試與分析數(shù)據(jù)，并對試驗平臺進行性能改善建議。4.研究文章、會議論文和專利申請等相關(guān)研究成果。六、參考文獻[1]宋洪平,張勝利.基于微減震結(jié)構(gòu)的顫振數(shù)學(xué)模型[J].控制工程,2012,19(2):237-240.[2]KohliP,LiJ,JiaQX,etal.Simulationoflow-frequencynoisevibrationinMEMSgyroscopes[J].JournalofMicromechanicsandMicroengineering,2007,17(12):2418.[3]Xue,L.,Qin,Y.,Liu,X.J.,etal.,IntrinsicstressandstressgradientinSiO2andpolyimidefilmsforMEMSapplications,SensorandActuatorsA,2009,151(1):28-34.[4]李紅波,錢富平,陳洪波.基于MEMS技術(shù)的微型光纖光柵光譜傳感器[J].光子學(xué)報,2008,37(6):1156-1160.[5]Xue,L.,Qin,Y.,Liu,X.J.,etal.IntrinsicstressandstressgradientinSiO2andpolyimi