補(bǔ)充1b石薄膜掃描電鏡觀察

頁(yè)做實(shí)驗(yàn)日期2004 第12

（一）0.001Pa下工作。各個(gè)按鈕旁（二）（其中電子可自由運(yùn)動(dòng)中組成，因此電子與樣品的作用包括電子與電子、電子與離子實(shí)兩種。()入射電子與樣品自由電子作用。入射電子損失少許能量使價(jià)電子或弱束縛電子從樣品逸(2)入射電子與正離子實(shí)作用可分為三種：.入射電子與離子實(shí)中的內(nèi)層軌道電子作用，把他們打出離子實(shí)而進(jìn)入價(jià)電子云。.電子入射到離原子核很近時(shí)，收到很強(qiáng)的阻滯作用而失去能量并改變運(yùn)動(dòng)方向。.入射電子接近正離子實(shí)時(shí)給出很小的一部分能量與動(dòng)量，這90 頁(yè) 頁(yè)做實(shí)驗(yàn)日期2004 （三）電子槍的熱陰極發(fā)出的電子受1~30V陽(yáng)極電壓的加速形成筆尖狀電23個(gè)（電磁透鏡的作用，在樣品表面將會(huì)聚成一個(gè)直徑小1~10nm二次電子象。a.二次電子是樣品原子的外層電子受入射電子激發(fā)后有足夠能量50eV的.eV到初始入射能量都有。它們所產(chǎn)生的區(qū)域在橫向與縱向上均（四）就是圖像各象元強(qiáng)度相對(duì)于其平均強(qiáng)度的變的“二次電子產(chǎn)率δ”所決定，電子探針在某.. 頁(yè)做實(shí)驗(yàn)日期2004 頁(yè)做實(shí)驗(yàn)日期2004 Current”的不同。(3)將掃描電鏡的抽氣系統(tǒng)開關(guān)（EVACPOWER）撥向ON，按下抽氣（EVAC）將燈絲旋鈕（IET）順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，使燈絲電流飽和。注意避免燈絲電（EISSNET不能超過(guò)100μ。(6)其它調(diào)節(jié)旋鈕有手動(dòng)聚焦（S）旋鈕，有粗調(diào)和細(xì)調(diào)兩個(gè)；自動(dòng)聚焦旋鈕（TOOS）；放大倍數(shù)（MIICTI旋鈕，也分粗調(diào)和細(xì)調(diào)兩個(gè)；對(duì)比度（TST）旋鈕和亮度（BITESS旋鈕；以及樣品臺(tái)上改變X軸、Y軸、Z軸和樣品臺(tái)傾角的旋鈕T。還可調(diào)整探針電子束的入射角將PTOSPE設(shè)置為（曝光時(shí)間100(5)按預(yù)設(shè)鍵▼（有不同速度選擇）□。水漂洗、定影15111802（未及時(shí)調(diào)整編號(hào)方面。5號(hào)樣品上覆蓋著致密的金剛石小晶粒及徑比前者高一個(gè)量級(jí)，覆蓋度約60%~70%，所53μm。金剛石覆蓋層厚26μm。形”晶粒的直徑約21μm。528060%~70%51.1k9026μm51.7k倍。單個(gè)大晶粒特35μm。 頁(yè)做實(shí)驗(yàn)日期2004 頁(yè)做實(shí)驗(yàn)