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(Probe)。當(dāng)今商用的掃描探針顯微鏡一般配備反饋系統(tǒng)(FeedbackSystem),Probe)。當(dāng)今商用的掃描探針顯微鏡一般配備反饋系統(tǒng)(FeedbackSystem),選取形貌成像:原子力顯微鏡(AFM):非接觸模式(Non-contactMode),接觸模式(ContactMode),輕敲模式(TappingMode),峰值力輕敲模式(PFTmode)形貌成像:原子力顯微鏡(AFM):非接觸模式(Non-contactMode),接觸模式(ContactMode),輕敲模式(TappingMode),峰值力輕敲模式(PFTmode)相位成像模式(PhaseImaging),定量力學(xué)測量(PFQNM),高次諧波成像CP/Innova???Bruker是唯一一家同時專注于探針和AFM?Bruker是唯一一家同時專注于探針和AFM探針由三部分組成,基片、懸臂梁、針尖。一般的來說針尖會泛指AFM探針由三部分組成,基片、懸臂梁、針尖。一般的來說針尖會泛指AFMAFM懸臂長度L,懸臂寬度w,懸臂厚度t,針尖高度H,共振頻率
懸臂梁的幾個尺寸影響懸臂梁的彈性系數(shù)kAFM探針的重
??0彈性系數(shù)k是表征探針的重要指標(biāo),k越大,一般 (Front(FrontAngle),后角(BackAngle),TipSetBack,針尖高度(TipHeight),側(cè)角(SideAngle)彈性系數(shù)k是表征探針的重要指標(biāo),k越大,一般 ??0 (FrontAngle),后角(BackAngle),TipSetBack,針尖高度(TipHeight),側(cè)角(SideAngle)探針材料一般是單晶硅(Silicon)或氮化硅探針材料一般是單晶硅(Silicon)或氮化硅 BrukerBrukerAFM BrukerBrukerAFM121
BrukerBruker(MPP探針MPP????????????MPP????????????A:(Tappinglineof–中等(Multilineof(ContactlineofB:(Tap300,Multi75,(Tap150,Multi40,(Tap525,Multi190,Contact40)C:針尖對稱性Rotated對稱NotRotated非對稱
D02E:03已安裝到CP/InnovaZ10–10-packW–Wafer BrukerBrukerAFM BrukerBrukerAFM 接觸模式?輕敲模式?MPPMetrologyPointProbeA:懸臂長度(Tappinglineof–中等(Multilineof(Contactlineofprobes)B:懸臂厚度C:針尖對稱性Rotated對稱NotRotated非對稱
0203已安裝到CP/InnovaZ10–10-packW–WaferBioscopeCatalyst上AFM與光學(xué)聯(lián)用。該類別探針的曲率半徑一般為7nm。BioscopeCatalyst上AFM與光學(xué)聯(lián)用。該類別探針的曲率半徑一般為7nm。這類探針用于ScanAsyst智能掃描模式。ScanAsyst-Air這類探針用于ScanAsyst智能掃描模式。ScanAsyst-AirBioscopeCatalyst上AFM與光學(xué)聯(lián)用。該類別探針的曲率半徑一般為7nm。一般為LC35nm,HM80nm,LM一般為LC35nm,HM80nm,LM10nm這種探針用于超高分辨輕敲模式成像。曲率半徑DLCS1nm,IMPSC這種探針用于超高分辨輕敲模式成像。曲率半徑DLCS1nm,IMPSC這種探針用于超高分辨接觸模式成像。曲率半徑2nm這種探針用于超高分辨接觸模式成像。曲率半徑2nm這種探針用于超高分辨接觸模式成像。曲率半徑2nm這種探針用于超高分辨接觸模式成像。曲率半徑2nm這種探針用于基于峰值力輕敲模式的電學(xué)測量模式。PFTUNA用于TUNA模式,PFQNE用于PeakForceKPFM模式。曲率半徑PFTUNA25nm,PFQNE這種探針用于基于峰值力輕敲模式的電學(xué)測量模式。PFTUNA用于硬樣品表面的電學(xué)測量。曲率半徑DDESP35nm,SSRM電學(xué)分辨率可達(dá)1nm曲率半徑OSCM15nm,SCM,RMN曲率半徑OSCM15nm,SCM,RMN這種探針用于輕敲模式下測量超高或超深的表面形貌。長徑比超過5:1半徑10nm這種探針用于輕敲模式下測量超高或超深的表面形貌。長徑比超過5:110:1。曲率半徑1010:1。曲率半徑10nm。這種探針用于輕敲模式下測量超高或超深的表面形貌。曲率半徑10這種探針用于輕敲模式下測量超高或超深的表面形貌。曲率半徑10nm這種探針前段有電阻,可以加熱到350°C,這種探針前段有電阻,可以加熱到350°C,一般為LC35nm,HM80nm,LM這種探針用于超高分辨輕敲模式成像。曲率半徑DLCS1nm,IMPSC8nm,TESP-SS2nm。這種探針用于超高分辨接觸模式成像。曲率半徑2nm這種探針用于超高分辨接觸模式成像。曲率半徑2nmTUNA模式,PFQNE用于PeakForceKPFM模式。曲率半徑PFTUNA25nm,PFQNE硬樣品表
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