無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件

無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件1無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件2無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件3無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件4潔淨(jìng)室基本要求(1)

空氣中的微塵粒子之?dāng)?shù)量少於一定標(biāo)準(zhǔn)。使用高效率濾網(wǎng)(HEPA,ULPA)使用不發(fā)塵材料(庫(kù)板、地板、燈具等)時(shí)常清潔使用不鏽鋼材質(zhì)

能防止外界微塵粒子的進(jìn)入。

潔淨(jìng)室的氣密性考量外氣先經(jīng)外氣空調(diào)箱過(guò)濾(初級(jí)、袋型、HEPA濾網(wǎng))，進(jìn)潔淨(jìng)室後有ULPA濾網(wǎng)過(guò)濾潔淨(jìng)室保持正壓(約15Pa)排氣與進(jìn)氣量的平衡(進(jìn)氣>排氣)室內(nèi)產(chǎn)生的微塵粒子或有害氣體能迅速排出室外。換氣次數(shù)大,氣流保持順暢潔淨(jìng)室基本要求(1)空氣中的微塵粒子之?dāng)?shù)量少於潔淨(jìng)室基本要求(2)

能維持溫度、濕度及室壓於一定的標(biāo)準(zhǔn)。除濕能力(潛熱與顯熱)冬季加濕能力(蒸氣加濕)精密的控制(Sensor與閥件)乾盤管的熱交換能力與數(shù)量外氣空調(diào)箱與Exhaust對(duì)潔淨(jìng)室的壓力控制能防止靜電、電磁的干擾。良好的接地材料的選擇(庫(kù)板塗料、導(dǎo)電地板)Ionizer的安裝適當(dāng)?shù)墓芾戆踩蛩丶肮?jié)約能源的考量。

潔淨(jìng)室基本要求(2)能維持溫度、濕度及室壓於一無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件7無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件8無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件9Class10：10顆/英呎^3Class100：100顆/英呎^3209E美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)粒徑0.3μmClass10：Class100：209E美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)粒徑10無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件11潔淨(jìng)室的氣流速度與換氣次數(shù)(IEST-RP-CC012/Table1)潔淨(jìng)室的氣流速度與換氣次數(shù)無(wú)塵室：係指製造廠內(nèi)維持穩(wěn)定溫度、濕度及潔淨(jìng)度等環(huán)境控制之生產(chǎn)場(chǎng)所。MAU：Make-upAirUnit，稱之謂外氣空氣調(diào)節(jié)箱；專為提供無(wú)塵室室內(nèi)新鮮外氣之處理器，外氣經(jīng)此設(shè)備後可降溫、除濕及除去外氣所攜帶之粉塵顆粒，以維持室內(nèi)一定之濕度及室內(nèi)正壓值，防止外氣經(jīng)由縫隙侵入，破壞無(wú)塵室環(huán)境。FFU：FanFilterUnit，稱之謂風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)組；專為提供無(wú)塵室室內(nèi)氣流循環(huán)及濾除室內(nèi)粉塵顆粒，以維持穩(wěn)定潔淨(jìng)度之設(shè)備。DCP：DryCoolingPump：乾盤管泵浦；專為DCC供應(yīng)穏定泠卻水，以維持DCC之穏定性。DCC：DryCoolingCoil，乾盤管：裝設(shè)於P層回風(fēng)道入口處，專為移除室內(nèi)因製程機(jī)臺(tái)生產(chǎn)及建築輻射等產(chǎn)生之熱量，以維持室內(nèi)穩(wěn)定之溫度環(huán)境。PB：PassBox，傳遞箱；專為提供無(wú)塵室室內(nèi)外物品傳遞使用。AS：AirShower，空氣浴塵室；HEPAFilter：HighEfficiencyParticulateAirFilter，高效過(guò)濾網(wǎng)。ULPAFilter：UltraLowPenetrationAirFilter，超高效過(guò)濾網(wǎng)。Cleanroom相關(guān)名詞無(wú)塵室：係指製造廠內(nèi)維持穩(wěn)定溫度、濕度及潔淨(jìng)度等環(huán)境控制C潔淨(jìng)室所需外氣量（Make-UpAir）

潔淨(jìng)室所需外氣量（Make-UpAir）CMH/CR-M2目前各潔淨(jìng)室室內(nèi)正壓一般設(shè)定在1~2mmAq，外氣量規(guī)劃：外氣量O.A（CMH）＝排氣量E.A（CMH）+2次換氣量(CMH）以目前各廠實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)下，其各種不同產(chǎn)業(yè)潔淨(jìng)室內(nèi)單位面積（CR-M2）所需的外氣量如表列：可知各廠生產(chǎn)線所需處理的外氣量用量非常大(10,000~1,000,000）CMH；而外氣空調(diào)箱的運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用佔(zhàn)了全廠空調(diào)系統(tǒng)極大的比例，夏季時(shí)必須將高溫高溼空氣除濕降溫至與潔淨(jìng)室內(nèi)條件下的露點(diǎn)溫度再經(jīng)由顯熱加溫到設(shè)定的送風(fēng)溫度（一般設(shè)定小於室內(nèi)乾球溫度5°C）而導(dǎo)入潔淨(jìng)室內(nèi)與室內(nèi)循環(huán)氣體進(jìn)行混合。無(wú)塵室內(nèi)之濕度係由MAU作調(diào)節(jié)及控制項(xiàng)次產(chǎn)業(yè)類別外氣用量CMH/CR-M21.300mm晶圓代工廠100~1202.300mmD-RAM廠90~1003.3.5代TFT-LCD廠50~604.5代Color-Filter廠30~405.6代TFT-LCD廠80~906.面板光罩廠90~1007.液晶偏光板廠18~25潔淨(jìng)室所需外氣量（Make-UpAir）潔淨(jìng)室所需外氣量潔淨(jìng)室內(nèi)循環(huán)風(fēng)量的決定(第2種)粒子粒徑(μm)潔淨(jìng)度EA/ft3濾網(wǎng)規(guī)格美商（I）日商（M）日商（S）覆蓋率（%）換氣次數(shù)（次/小時(shí)）或FFU面風(fēng)速（m/s）覆蓋率（%）換氣次數(shù)（次/小時(shí)）或FFU面風(fēng)速（m/s）覆蓋率（%）換氣次數(shù)（次/小時(shí)）或FFU面風(fēng)速（m/s）0.1CLASS-1ULPA:99.99995%@0.05μm1000.45m/s1000.35m/s1000.3m/s0.1CLASS-10ULPA:99.99995%@0.05μm1000.4m/s1000.3m/s1000.3m/s0.1CLASS-100ULPA:99.9999%@0.1μm75260次/小時(shí)1000.25m/s50180次/小時(shí)0.1CLASS-1000ULPA:99.9999%@0.1μm50180次/小時(shí)500.2m/s30100次/小時(shí)0.3CLASS-100ULPA:99.999%@0.1μm30100次/小時(shí)500.2m/s2080次/小時(shí)0.3CLASS-1000HEPA:99.995%@0.3μm2585次/小時(shí)2560~80次/小時(shí)1550次/小時(shí)0.3CLASS-10000HEPA:99.99%@0.3μm1240次/小時(shí)1220~40次/小時(shí)830次/小時(shí)潔淨(jìng)室內(nèi)循環(huán)風(fēng)量的決定(第2種)粒子粒徑潔淨(jìng)度濾網(wǎng)規(guī)格美商（潔淨(jìng)室內(nèi)循環(huán)風(fēng)量的決定(第2種)粒子粒徑(μm)潔淨(jìng)度EA/ft3濾網(wǎng)規(guī)格美商（I）日商（M）日商（S）覆蓋率（%）換氣次數(shù)（次/小時(shí)）或FFU面風(fēng)速（m/s）覆蓋率（%）換氣次數(shù)（次/小時(shí)）或FFU面風(fēng)速（m/s）覆蓋率（%）換氣次數(shù)（次/小時(shí)）或FFU面風(fēng)速（m/s）0.1CLASS-1ULPA:99.99995%@0.05μm1000.45m/s1000.35m/s1000.3m/s0.1CLASS-10ULPA:99.99995%@0.05μm1000.4m/s1000.3m/s1000.3m/s0.1CLASS-100ULPA:99.9999%@0.1μm75260次/小時(shí)1000.25m/s50180次/小時(shí)0.1CLASS-1000ULPA:99.9999%@0.1μm50180次/小時(shí)500.2m/s30100次/小時(shí)0.3CLASS-100ULPA:99.999%@0.1μm30100次/小時(shí)500.2m/s2080次/小時(shí)0.3CLASS-1000HEPA:99.995%@0.3μm2585次/小時(shí)2560~80次/小時(shí)1550次/小時(shí)0.3CLASS-10000HEPA:99.99%@0.3μm1240次/小時(shí)1220~40次/小時(shí)830次/小時(shí)潔淨(jìng)室內(nèi)循環(huán)風(fēng)量的決定(第2種)粒子粒徑潔淨(jìng)度濾網(wǎng)規(guī)格美商（無(wú)塵室建造流程圖工務(wù)所建置地坪批土研磨及修補(bǔ)舖設(shè)自平水泥牆面批土粉刷無(wú)塵室地面/屋頂舖設(shè)環(huán)氣樹酯外圍庫(kù)板及內(nèi)隔間施工高架地板施工導(dǎo)電地磚施工水/電工程一次側(cè)施工空調(diào)工程一次側(cè)施工空廠務(wù)設(shè)施定位按裝製程機(jī)器進(jìn)廠設(shè)備按裝定位測(cè)試水/電工程二次側(cè)施工無(wú)塵室清潔及擦拭FFU及HEPAFILTER按裝無(wú)塵室測(cè)試內(nèi)/外隔間放樣地面舖設(shè)塑膠布及夾板保護(hù)空調(diào)送風(fēng)，維持無(wú)塵室正壓臨時(shí)用水/電申請(qǐng)施工照明及安全防護(hù)器具準(zhǔn)備天花板吊標(biāo)施工天花板水平儀放樣無(wú)塵室建造流程圖工務(wù)所建置地坪批土研磨及修補(bǔ)舖設(shè)自平水泥牆面17無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件18無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件19無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件20無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件21無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件22指地面在承受900Kg的集中荷重(6.45㎝2測(cè)頭)時(shí)，面板上任一點(diǎn)的垂直變形量(deflection)不得超過(guò)2mm。高架地板強(qiáng)度變形量2mm測(cè)頭900kg指地面在承受900Kg的集中荷重(6.45㎝2測(cè)頭)時(shí)，高架23低頻(0~100Hz)範(fàn)圍內(nèi)之微幅震動(dòng)微震位移量μ-m速度μ-m/sec加速度μ-m/sec^2提供給工廠之等級(jí)低頻(0~100Hz)範(fàn)圍內(nèi)之微幅震動(dòng)微震位移量μ-m提供給24機(jī)臺(tái)單一支撐點(diǎn)重量超過(guò)2500kg以上採(cǎi)用剛性基座設(shè)計(jì)，以滿足特殊載重需求設(shè)計(jì)環(huán)境震動(dòng)值符合精密設(shè)備所需，如VC-A，VC-B，VC-CSpecialFoundationFigureA.1VibrationDiagramfortheArrayFloor(Level40)(30um/s)(30um/s)(12.5um/s)(12.5um/s)機(jī)臺(tái)單一支撐點(diǎn)重量超過(guò)2500kg以上採(cǎi)用剛性基座設(shè)計(jì)，以滿25無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件26潔淨(jìng)室環(huán)境控制-室內(nèi)靜壓及溼度dPTCCHCCC溫度露點(diǎn)INV室壓FanMC/R3FDETTEDCHWS9℃HWS35℃OAMAU除供應(yīng)潔淨(jìng)室之室壓條件外另負(fù)責(zé)維持潔淨(jìng)室之相對(duì)溼度條件HCHWS35℃CHWS5℃AirWasher焓值Cond.溫度潔淨(jìng)室環(huán)境控制-室內(nèi)靜壓及溼度dPTCHC溫度露點(diǎn)INV室壓27為什麼叫乾盤管?Drycoils盤管二次冰水12~14。C二次冰水17~19。CFFU無(wú)塵室空氣(進(jìn)入乾盤管之前)

T: 22。C

RH: 45%

DP: 9.6。C無(wú)塵室空氣(進(jìn)入乾盤管之後)

T: 18。C

RH: 58%

DP: 9.6。C乾其主要目的就只是降低無(wú)塵室空氣的溫度,移除無(wú)塵室產(chǎn)生的顯熱負(fù)載.DLP迴風(fēng)區(qū)為什麼叫乾盤管?Drycoils盤管二次冰水12~14。C28什麼是換氣次數(shù)?ACH體積Vm3HWL平均風(fēng)速0.3m/sACH=360平均風(fēng)速0.4m/sACH=480平均風(fēng)速0.5m/sACH=600ACH越高,則過(guò)濾次數(shù)越多,無(wú)塵室會(huì)越乾淨(jìng),但較耗能.覆蓋率＝FFU總臺(tái)數(shù)×每臺(tái)FFU的面積÷無(wú)塵室內(nèi)總面積FFU滿佈什麼是換氣次數(shù)?ACH體積Vm3HWL平均風(fēng)速0.3m29無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件30風(fēng)速量測(cè)量測(cè)條件1.量測(cè)範(fàn)圍2.量測(cè)程序

2.1時(shí)間:30秒/filter2.2量測(cè)點(diǎn)數(shù)

2.3量測(cè)流速進(jìn)口FFU>0.4m/s,臺(tái)製FFU>0.3m/s3.量測(cè)儀器vanetypeanemometerofschiltknechttype4.113andalmemo2290-7display誤差值+/-3%

或同等級(jí)儀器4.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)速量測(cè)量測(cè)條件31潔淨(jìng)等級(jí)測(cè)試量測(cè)條件?天花板與高架地板安裝完畢?室壓正常

?FFU安裝完畢?FFU洩漏測(cè)量正常?氣流調(diào)整至設(shè)計(jì)條件下1.量測(cè)範(fàn)圍每一獨(dú)立潔淨(jìng)等級(jí)之房間2.量測(cè)程序

2.1利用particlecounter距高架地板約1.2M處量測(cè)

2.2測(cè)量點(diǎn)數(shù)NL=√AA:面積(m2)

2.3每個(gè)房間至少量測(cè)兩點(diǎn)3.量測(cè)儀器4.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)潔淨(jìng)等級(jí)測(cè)試量測(cè)條件?天花板與高架地板安裝完畢?室壓正常32照度量測(cè)量測(cè)條件?日光燈系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)100小時(shí)後?無(wú)塵室相關(guān)系統(tǒng)至少運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)2小時(shí)及溫濕度已達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)後?量測(cè)範(fàn)圍每20M2量測(cè)一點(diǎn)1.量測(cè)程序

1.1測(cè)量點(diǎn)需離高架地板或地板1.2m處測(cè)量

1.2測(cè)量時(shí)間1min/次2.量測(cè)儀器Photometer(Luxmeter)typeGossenMetrawattMX4orequivalent

3.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)依各廠建廠標(biāo)準(zhǔn)照度量測(cè)量測(cè)條件?日光燈系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)100小時(shí)後?無(wú)塵室相33噪音量測(cè)1.量測(cè)程序

1.1每40m2測(cè)一點(diǎn)或每一獨(dú)立房間量測(cè)一點(diǎn)

1.2以噪音計(jì)逐點(diǎn)量測(cè)，量測(cè)高度為高架地板上1.5m之處，離牆最少3m避免干擾，每點(diǎn)量測(cè)約5分鐘

2.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)≦60dB(A)噪音量測(cè)1.量測(cè)程序34室壓量測(cè)1.量測(cè)程序

1.1每一獨(dú)立房間與相鄰房間測(cè)試1點(diǎn)(10min.)1.2測(cè)試時(shí)潔淨(jìng)室內(nèi)所有門均為關(guān)閉狀態(tài)2.量測(cè)儀器HalstrupEMA84,Muellerorequivalent3.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)每一測(cè)量點(diǎn)之值需在15PA以上(製程區(qū)對(duì)維修區(qū)維持正壓即可)

室壓量測(cè)1.量測(cè)程序35溫度及溼度測(cè)試1.量測(cè)範(fàn)圍每一個(gè)溫度控制區(qū)域必須量測(cè)一點(diǎn)且每個(gè)獨(dú)立之房間皆須量測(cè)一點(diǎn)

2.量測(cè)程序

2.1量測(cè)高度距地板上1.5m2.2量測(cè)時(shí)間為1小時(shí)且至少每6分鐘確認(rèn)一次測(cè)值

3.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)依各廠建廠標(biāo)準(zhǔn)溫度及溼度測(cè)試1.量測(cè)範(fàn)圍每一個(gè)溫度控制區(qū)域必須量測(cè)一點(diǎn)36高架地板接地阻抗測(cè)試1.量測(cè)範(fàn)圍每10平方米1點(diǎn)每個(gè)房間最少3點(diǎn)2.量測(cè)程序

2.1測(cè)試電壓100V時(shí)電阻值需≦106Ω

2.2測(cè)試電壓500V時(shí)電阻值需

≧106Ω

高架地板接地阻抗測(cè)試1.量測(cè)範(fàn)圍每10平方米1點(diǎn)37牆板接地阻抗測(cè)試

1.量測(cè)範(fàn)圍每30米寬1點(diǎn)每個(gè)房間最少3點(diǎn)2.量測(cè)程序

2.1測(cè)試電壓100V時(shí)電阻值需≦106Ω

2.2測(cè)試電壓500V時(shí)電阻值需

≧106Ω

牆板接地阻抗測(cè)試1.量測(cè)範(fàn)圍每30米寬1點(diǎn)38無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件39在美國(guó)的照明照度單位為呎燭(foot-candle,fc)，相等於每平方呎一流明(lumen)。流明是被用來(lái)描述光源的光輸出(光束)螢光燈在紫外線(UV)光譜內(nèi)產(chǎn)生一些能量，它對(duì)於某些無(wú)塵室內(nèi)的製程是有害的。濾除UV可以採(cǎi)用燈罩遮蔽或是用管子覆蓋住燈泡來(lái)完成。但是此種遮蔽會(huì)轉(zhuǎn)換可見光至黃色，而對(duì)在室內(nèi)者而言是不舒適的。雖然此種遮蔽可能僅僅降低10%至20%的照度水準(zhǔn)無(wú)塵室的基本燈具型式有淚滴型(teardrop)、崁入式、表面固定以及整體天花板格架(grid)型式。燈具的選擇通常是依據(jù)無(wú)塵室的分類等級(jí)。在美國(guó)的照明照度單位為呎燭(foot-candle,fc)40各種不同設(shè)計(jì)之潔淨(jìng)室耗能比較(單位KW)各種不同設(shè)計(jì)之潔淨(jìng)室耗能比較(單位KW)41無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件42無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件43無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件44無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件45無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件46無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件47無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件48無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件49無(wú)塵室施工規(guī)範(fàn)====金屬隔間庫(kù)板A.採(cǎi)用總厚t=50mm於工廠預(yù)制成型組合金屬庫(kù)板，四邊以t=0.5mm錏板框材密封，板與板間用t=0.5mmㄇ型錏板成型骨材崁合，每@900mm/1200mm放置一支做連接固定。B.金屬庫(kù)板雙面外覆總厚度≧0.5mm彩色鋼板，材質(zhì)符合以下要求:1.采鍍鋅冷軋鋼板,符合JISG3312CGLC規(guī)定。2.鋁鋅層至少50g/M2(雙面)符合ASTMA90規(guī)定。3.烤漆:正面采二塗二烤PE聚脂面漆,至少15μm以上。背面采一塗一烤EPOXY漆,至少5μm以上。4.特性需求引用標(biāo)準(zhǔn)●鋁硬度ASTMD3363●鹽霧試驗(yàn)ASTM8117●衝擊試驗(yàn)ASTMD2794●耐候試驗(yàn)ASTMG53●塗膜厚度ASTMD1005●光澤度ASTMD523●彎曲耐試驗(yàn)ASTMD4145●濕潤(rùn)試驗(yàn)ASTMD22472.t50mm一小時(shí)防火金屬巖棉庫(kù)板A.金屬庫(kù)板中蕊材質(zhì)採(cǎi)密度100kg/m3耐火性巖棉填充，纖維鋪設(shè)方向與鋼板垂直黏合處理。B.金屬庫(kù)板表面抗靜電處理需求值106~108Ω，配合圖面位置按置。C.金屬庫(kù)板採(cǎi)標(biāo)準(zhǔn)寬度900mm/1200mm，高度詳設(shè)計(jì)圖。D.金屬庫(kù)板需符合防火時(shí)效一小時(shí)要求，引用標(biāo)準(zhǔn)GB9978型式認(rèn)證。E.金屬庫(kù)板於出廠前於烤漆鋼板表面須貼PE保護(hù)膜，以防污損烤漆鋼板表面。F.金屬庫(kù)板H6000m/m時(shí)中心載重測(cè)試時(shí),必須符合200Kg施力撓度小於7/1000L。G.天地軌等零組件，採(cǎi)≧1.5mm以上鋁擠型，表面陽(yáng)極或烤漆處理，尺寸詳設(shè)圖。無(wú)塵室施工規(guī)範(fàn)====金屬隔間庫(kù)板50無(wú)塵室施工規(guī)範(fàn)====門及窗A.組合門：面材規(guī)格同隔間牆，門板上裝設(shè)窗口，並附門弓器及五金。切割牆板之門框踏板須以鋁擠型收邊表面陽(yáng)極或烤漆處理，尺寸詳設(shè)計(jì)圖。B.自動(dòng)門：采上懸式鋁框結(jié)構(gòu)，玻璃厚度t=5mm鋼化玻璃或t=6.8mm鋼絲玻璃，國(guó)產(chǎn)自動(dòng)門機(jī)，尺寸詳設(shè)計(jì)圖。C.視窗：（1）見習(xí)視窗：採(cǎi)潔淨(jìng)室專用型，總厚度50mm由雙層t5mm鋼化玻璃，內(nèi)夾可調(diào)百葉處理，尺寸詳設(shè)計(jì)圖。（2）氣密視窗：採(cǎi)潔淨(jìng)室專用型，鋁窗需為防落塵之斜面，玻璃厚度t=5mm鋼化玻璃、t=6.8mm鋼絲玻璃或6mm防火玻璃，與玻璃接合處均須氣密處理，尺寸詳設(shè)計(jì)圖。D.玻璃：裝設(shè)於防火牆之玻璃須采6mm防火玻，璃防火時(shí)數(shù)90分鐘（引用符合國(guó)家GB15763-1-2001標(biāo)準(zhǔn)），使用於一般內(nèi)隔間者爲(wèi)5mm鋼化玻璃，黃光區(qū)內(nèi)之窗口若有一般光線滲入時(shí)，須裝設(shè)t=5mm黃色鋼化玻璃，位置及尺寸詳設(shè)計(jì)圖。E.鋁門及鋁框：均須採(cǎi)用鋁擠型製造，鋁擠材須符合JIS6063之規(guī)格，鋁材表面須經(jīng)電鍍陽(yáng)極處理或烤漆，採(cǎi)用不銹鋼材者不受此限。2.05材料質(zhì)量檢驗(yàn)A.每疊材料抽樣二片(含)以上，需符合以下標(biāo)準(zhǔn)1.長(zhǎng)度±2mm以內(nèi)2.厚度±0.5mm以內(nèi)3.寬度±1mm以內(nèi)4.板面平整度±1.5mm以內(nèi)@1000mmB.包裝保護(hù)是否依規(guī)定執(zhí)行C.材料外觀目視是否有汙損與變形情事産生2.06其他A.金屬庫(kù)板可配合預(yù)埋電管，位置詳設(shè)計(jì)圖或施工圖或業(yè)主指示。B.無(wú)塵室隔間組立方式採(cǎi)用NONSILICOME活動(dòng)可拆式組立方式,可任意一片獨(dú)立拆卸組立。無(wú)塵室施工規(guī)範(fàn)====門及窗51無(wú)塵室施工規(guī)範(fàn)====CeilingGrid天花板A.鋁合金擠型骨架天花板骨架的長(zhǎng)度允許工差值為±0.05mm，平坦度為0.01mm。骨架表面以靜電粉體塗裝，塗裝厚度為陽(yáng)極處理10μm以上；T-Bar骨架吊桿需採(cǎi)用3/8”以上螺桿。B.骨架接頭骨架接頭為鋁合金材質(zhì)，接頭承受破壞負(fù)荷至少為1000Kg，幾何外型尺寸工差為0.01mm，平坦度為0.01mm。接頭中心部分可以安裝消防灑水頭，溫、溼度感應(yīng)器，無(wú)塵室燈具，消防感應(yīng)器與電源線。接頭表面為靜電粉體塗裝處理，厚度至少為30μm。由T形鋁和十字型構(gòu)件連接而成形成天花板框架。T形鋁底面開口槽用來(lái)安裝照明系統(tǒng)，隔牆等。C.盲板採(cǎi)用2.0mm以上厚度之鍍鋅鋼板以六折或(八折)角彎製成，盲板的尺寸工差為±0.05mm，表面靜電粉體塗裝，雙面表層採(cǎi)烤漆處理30μm以上，其平坦度須置於骨架時(shí)不致有洩漏產(chǎn)生，盲板於出廠時(shí)均需以立式存放，盲板色彩由業(yè)主選色確認(rèn)後施工；板材需有足夠強(qiáng)度支撐維修人員重量及走動(dòng)衝擊，作業(yè)時(shí)不可有倒塌、變形之情況發(fā)生，尺寸精度容許±1mm。。D.所有收邊、連接材料均為厚度1.2mm以上之陽(yáng)極處理鋁擠型。E.天花板系統(tǒng)需通過(guò)FMorUL的認(rèn)證。無(wú)塵室施工規(guī)範(fàn)====CeilingGrid天花板52高架地板工程2.01基本規(guī)格A.高架地板系統(tǒng)須能將面板表面所產(chǎn)生的靜電連續(xù)的導(dǎo)入接地系統(tǒng)。B.走道區(qū)域採(cǎi)用1000KG型鋁合金盲板及沖孔板。C.製程設(shè)備下方須採(cǎi)用1200KG型鋁合金盲板及沖孔板。D.回風(fēng)道採(cǎi)用鋁合金格柵板。2.02走道區(qū)高架地板規(guī)格A.材質(zhì)：鋁合金壓鑄B.尺寸：600mm×600mm×52mmC.正方度公差±0.2mm，對(duì)角線公差±0.5mm以內(nèi)。D.平板及沖孔板荷重：面板任一點(diǎn)在1000KGf/6.45㎝2集中荷重時(shí)其撓度（Deflection）應(yīng)在2.0mm以內(nèi)，面板之安全係數(shù)為3倍之載重值。E.塗裝：面板之背面須作EpoxyCoating。F.沖孔板之要求：每一個(gè)之上緣須作圓弧之導(dǎo)角處理。G.製造：須於原製造工廠鑚孔。H.面板出廠前須以超音波洗淨(jìng)，再加以無(wú)塵之包裝。2.03格柵板除下列規(guī)格外，其餘皆與盲板規(guī)格相同通風(fēng)率：50％以上，並以鍍Ni-Cr之處理，以達(dá)導(dǎo)電耐磨之需求。A.荷重：(1)平板任一點(diǎn)在1200kgf/6.45㎡集中時(shí)其撓度（Deflection）應(yīng)在2.0㎜以內(nèi)，面板之安全係數(shù)為3倍之載重值。(2)面板在2400kg/㎡之情形下，其均佈荷重之撓度不得超過(guò)1.0㎜B.特定要求：(1)以最大載重70kg運(yùn)行時(shí)，平板間之高差小於0.5㎜。(2)傾斜度少於0.1°(3)每塊接鄰高架地板裝設(shè)後之高度差需小於0.1mm，整段完成後之前後段落差須小於2.0㎜2.05支撐結(jié)構(gòu)A.腳架：(1)須為鋁合金製品，表面須以陽(yáng)極處理完成。(2)軸向荷重5000kgf以上，橫向荷重耐地震係數(shù)0.4G以上。(3)基座之底盤直徑應(yīng)為150mm以上，支撐之圓管管徑以ψ45㎜以上連接，上基座頭為特殊角扣，以加強(qiáng)地板之穩(wěn)固性。(4)高架地板基座之底盤與主鋼構(gòu)之固定須以專用膠固定。(5)上基座與面板間須覆以0.1㎜之不銹鋼網(wǎng)PVC消音墊片。(6)底盤為鋁合金壓鑄成型，支架上附螺帽可微調(diào)高度。(7)每片面板須以不銹鋼螺絲與腳架上基座鎖住固定。螺絲頭須採(cǎi)內(nèi)六腳螺紋設(shè)計(jì)，並不得使用十字頭。B.橫樑：(1)須為鋁合金製品(2)採(cǎi)用放置式鎖固裝置，確保裝卸之方便。(3)橫樑中央撓度試驗(yàn)在跨距60㎝時(shí)，其降伏載重應(yīng)大於130kg以上。高架地板安裝完成後須為一穩(wěn)固整體，面板不得有任何搖晃，並保持水平，地板完成面，其水平誤差在10呎內(nèi)不得超過(guò)±0.06吋，總誤差不得超過(guò)±0.01吋。整體高架地板平整度要求在X、Y軸線延申50m不能超過(guò)1mm的誤差。高架地板工程53環(huán)氧樹脂工程2.01基本規(guī)格A.高架地板下之樓地板須塗覆至少含底塗平整磨光及兩層環(huán)氧樹脂，淨(jìng)厚度至少3㎜。B.樓頂板（DECK），牆（柱為庫(kù)板包覆）面塗覆至少兩層環(huán)氧樹脂，淨(jìng)厚度至少0.2㎜。C.所有在潔淨(jìng)室與回風(fēng)接觸的鋼構(gòu)面塗覆至少乾膜總厚度0.1㎜。D.潔淨(jìng)室1P層柱頭EPOXY厚度須3㎜。E.鋼構(gòu)上如有防火漆部份取消EPOXY塗裝。F.環(huán)氧樹脂（Epoxy）需為不含solvent之材料。2.02環(huán)氧樹脂塗裝作業(yè)具備下列性能：A.良好填補(bǔ)孔隙性能。B.高黏著力。C.抗衝擊性。D.拘束灰塵。E.耐久性。F.抗耐磨性。G.良好抗化學(xué)品性。參.施工及保固3.01準(zhǔn)備工作A.須先規(guī)劃適當(dāng)之塗裝材料貯存室與攪拌室，並提供適當(dāng)之排氣系統(tǒng)，塗料須有完整之密封與標(biāo)示。B.須對(duì)本項(xiàng)工作之特殊需求與工法對(duì)作業(yè)工人施以完整之技術(shù)訓(xùn)練。C.塗裝作業(yè)前廠家須先核對(duì)並確認(rèn)水泥面已符合塗料製造商之要求：(1)塗裝前水泥面之乾燥狀態(tài)（含水率）。(2)混凝土表面需平整，不得有乳化面現(xiàn)象，且不可使用化學(xué)性養(yǎng)護(hù)，經(jīng)自然乾燥28天以上。(3)混凝土面之小裂縫、凹洞部份，須用樹脂補(bǔ)平並經(jīng)研磨平整。3.02施工規(guī)範(fàn)A.水泥面表面須有良好之抓力以增加塗料之接合力。B.修補(bǔ)板面上之針孔、裂痕及刮傷，修補(bǔ)材料限用非收縮性水泥。C.清理並保持清潔。必要時(shí)使用砂紙磨擦地板使有足夠之粗造度以增加數(shù)之附著力。D.塗裝膜厚度不得小於3㎜亮光表面層。E.環(huán)氧樹脂（Epoxy）塗料顏色須由廠家設(shè)計(jì)經(jīng)業(yè)主確認(rèn)並同意後方可施工。環(huán)氧樹脂工程54不銹鋼管材內(nèi)壁表面處理方式說(shuō)明：1.電解拋光（Electro-polished）：EP管電解拋光是利用陽(yáng)極處理的方式，藉由電化學(xué)的原理，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整電壓、電流、酸液組成、溫度以及拋光時(shí)間，不但可使表面達(dá)到明亮、滑順、潔淨(jìng)的效果，更可提升表面的抗蝕性，因?yàn)殡娊鈷伖鈺?huì)凸顯鋼管表面的原始狀態(tài)，所以金屬組織越細(xì)，EP效果越好，但其成本與技術(shù)也最高。經(jīng)電解拋光（Electro-Polish）處理耐腐蝕、管表面粗糙度低，約為0.3~0.8μm，316LEP管因平整度高不容易形成微渦流而將污染粒子帶出，常使用於製程用的反應(yīng)氣體。2.光輝退火（BrightAnneal）：BA管鋼管在抽製的過(guò)程中，一定會(huì)需油脂潤(rùn)滑，而且晶粒也會(huì)因加工而變形，為了避免這些油脂殘留在鋼管中，除了要謹(jǐn)慎地清洗鋼管外，尚可利用在高溫退火以消除變形時(shí)，以100％氫氣充當(dāng)爐內(nèi)氣氛，藉由氫氣與鋼管表層的碳、氧的結(jié)合燃燒，進(jìn)一步的清潔鋼管表面，產(chǎn)生亮面的效果，其效果也與氫氣的含量與加熱的次數(shù)有關(guān)，這種利用純氫氣退火爐加熱並快速冷卻，以亮化鋼管表面的方式稱為光輝退火。經(jīng)光輝燒結(jié)退火（BrightAnneal）處理管表面粗糙度較高，約為3~6μm，316LBA管則常使用於和晶片接觸但不參與製程反應(yīng)的氣體。3.退火及酸洗（Annealing＆Picking）：AP管利用硝酸與氫氟酸等酸性溶液來(lái)除去鋼管表面厚實(shí)的氧化層，雖便宜快速，但易造成晶界腐蝕，且鋼管內(nèi)外表面較粗糙，易有懸浮雜質(zhì)附著。經(jīng)退火及酸洗（Annealing＆Picking）處理，管表面未經(jīng)特殊處理（潔淨(jìng)室焊接用管件必須經(jīng)過(guò)clean處理），用於不做為供氣管路的雙套外管或與製程無(wú)關(guān)之管件。不銹鋼管材內(nèi)壁表面處理方式說(shuō)明：55一般氣體及特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)配管工程施工規(guī)範(fàn)所有配管焊接應(yīng)於每天施工前，先作該管徑之試片，並須填寫焊接機(jī)之參數(shù)；合格試片及數(shù)據(jù)經(jīng)監(jiān)工人員檢驗(yàn)合格後，施工人員才可開始施工。並於各管路標(biāo)示施作人員編號(hào)做為追蹤依據(jù)。必須使用高純度氬氣(99.999%以上)作為焊接之purgegas(需附該氣體之出廠檢驗(yàn)報(bào)告)，施工完後所有管路須用超高純度氬氣或氮?dú)?4小時(shí)不間斷沖吹，沖吹排氣須排至室外避免人員窒息危險(xiǎn)。測(cè)試及分析項(xiàng)目測(cè)試項(xiàng)目測(cè)試方式說(shuō)明規(guī)格合格於否之判別保壓測(cè)試以GN2或CDA作為壓力源，連續(xù)紀(jì)錄24hrs（CDA&GN28hrs即可）測(cè)試壓力須大於8KG/cm2圓盤保壓器，無(wú)壓降。InboardHeLeakageTest以氦氣測(cè)漏儀測(cè)試新配置管路He小於1*10-9atmcc/sec.所有焊道與接點(diǎn)皆以氦氣噴灑後He分壓無(wú)回升狀況水份含量測(cè)試使用GN2作為吹沖(Purge)氣體，分析時(shí)必須連續(xù)記錄分析值流量與壓力須符合該儀器操作條件讀值須小於20ppb微氧含量測(cè)試使用GN2作為吹沖(Purge)氣體，分析時(shí)必須連續(xù)記錄分析值流量與壓力須符合該儀器操作條件讀值須小於20ppbParticle含量測(cè)試使用GN2作為吹沖(Purge)氣體，分析時(shí)必須連續(xù)記錄分析值，每五分鐘印依次DATA，連續(xù)3次通過(guò)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，第4次為平均值流量為1CF/min.每張data須0.1μm≦1pcs一般氣體及特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)配管工程施工規(guī)範(fàn)所有配管焊接應(yīng)於每56無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件57無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件58無(wú)塵室技術(shù)手冊(cè)課件59A).BulkGas(CDA;GN2;PN2;PO2;PH2)：由sub-maintake-offvalve之後，若於高架地板以下，且管徑≦1/2”，則以BENDING方式施作（曲率7D），進(jìn)入2次盤面前到機(jī)臺(tái)改用MicroTypeElbowwelding方式施作。若管徑≧1/2”則須全部以WeldingTypeElbow方式施作。B)SiH4;PH3/H2;NF3;HCl;CL2;BCL3:全部以doubletube＆doubleFitting焊接施作。C)NH3&INERTGAS(CO2;He;Ar;Kr;SF6;N2O;CF4)：由take-offvalve至機(jī)臺(tái)端必須以MicroTypeElbowwelding方式施作D)管路支撐架(SUPPORT)製作每1.2米需架設(shè)管路支撐架(SUPPORT)，C型鋼材質(zhì)為316L，若該管路變換高層或進(jìn)入與穿出高架地板時(shí)應(yīng)於該處增設(shè)管路支撐架(SUPPORT)。A).BulkGas(CDA;GN2